專利名稱：單晶爐用籽晶夾頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導體材料制備設(shè)備，尤其涉及一種單晶爐用籽晶夾頭。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有籽晶夾頭，夾頭本體及重錘上會產(chǎn)生各種氧化物及其他雜物，因難以承受 高溫，細小的雜物脫落，受重力作用向下掉落，掉入硅熔體，會對拉晶產(chǎn)生很大的影 響，使晶棒產(chǎn)生位錯或斷棱。中國專利公告號CN201301358Y，公告日2009年9月2日，公告了一種新型籽 晶夾頭，新型籽晶夾頭由夾頭座和夾頭嘴組成，夾頭嘴的上部和夾頭座的下連接孔螺紋 連接，夾頭嘴由左右對稱的兩個半圓塊組成，每個半圓塊的圓錐體一端中心有一個長方 形卡槽，夾頭嘴的兩個半圓塊合在一起其長方形卡槽組成方形工字型卡槽，籽晶為正方 形截面的長方體，上端部有工字型頭，籽晶通過工字型頭和夾頭嘴的方形工字型卡槽安 裝在夾頭嘴上，再通過夾頭座的上連接孔和晶體生長機重錘螺紋連接，把籽晶夾頭和籽 晶安裝在晶體生長機上。該實用新型的籽晶是方形，不需要滾磨工序，切割可以保證精 確的晶向，用于生長鍺單晶和鍺多晶，能夠保證晶體生長后的晶向。但是該籽晶夾頭上 會產(chǎn)生各種氧化物及其他雜物，因難以承受高溫，細小的雜物脫落，受重力作用向下掉 落，掉入硅熔體，會對拉晶產(chǎn)生很大的影響，使晶棒產(chǎn)生位錯或斷棱。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供了一種單晶爐用籽晶夾頭，解決了現(xiàn)有籽晶夾頭， 夾頭本體及重錘上會產(chǎn)生各種氧化物及其他雜物，因難以承受高溫，細小的雜物脫落， 受重力作用向下掉落，掉入硅熔體，會對拉晶產(chǎn)生很大的影響，使晶棒產(chǎn)生位錯或斷棱 的問題。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種單晶爐用籽晶夾頭，包括夾頭本體，夾頭本體上軸向設(shè)有籽晶槽，夾頭本 體連接于重錘上，所述夾頭本體靠近重錘處設(shè)有軸肩，軸肩上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物 槽。夾頭本體靠近重錘處設(shè)有軸肩，軸肩上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽，當夾頭本體和重 錘上產(chǎn)生各種的氧化物及其他雜物，受重力作用向下掉落時，會掉入圓環(huán)形雜物槽，雜 物槽阻止雜物掉入硅熔體，從而使晶棒不會產(chǎn)生位錯或斷棱，促進拉晶效果，提高晶棒 質(zhì)量。作為優(yōu)選，所述夾頭本體的材質(zhì)為石墨，重錘的材質(zhì)為不銹鋼。夾頭本體的材 質(zhì)為石墨，耐高溫和氧化，不易產(chǎn)生各種的氧化物及其他雜物，重錘的材質(zhì)為不銹鋼， 耐氧化，不易產(chǎn)生各種的氧化物。作為優(yōu)選，所述夾頭本體上徑向設(shè)有定位孔，定位孔與籽晶槽相交。夾頭本體 上徑向設(shè)有定位孔，定位孔與籽晶槽相交，籽晶上設(shè)有與籽晶槽處定位孔相對應的孔， 將籽晶插入籽晶槽，在定位孔處插入定位銷，固定籽晶。[0009]作為優(yōu)選，所述夾頭本體和重錘螺紋連接。夾頭本體和重錘螺紋連接，可拆卸 更換夾頭本體，及時拆下夾頭本體，清理雜物槽中積累的雜物。[0010]作為優(yōu)選，所述雜物槽的橫截面為倒直角梯形，雜物槽外側(cè)面為斜面。雜物槽 的橫截面為倒直角梯形，雜物槽外側(cè)面為斜面，便于雜物掉入雜物槽內(nèi)存儲，一定堆積 后，便于清洗。[0011]本實用新型的有益效果是(1)、夾頭本體靠近重錘處設(shè)有軸肩，軸肩上表 面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽，阻止氧化物及其他雜物掉入硅熔體，提高晶棒質(zhì)量；(2)、 夾頭本體上徑向設(shè)有定位孔，使用定位銷定位籽晶，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。


[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0013]圖中1、重錘，2、夾頭本體，3、軸肩，4、雜物槽，5、定位孔，6、籽晶槽。
具體實施方式
[0014]下面通過具體實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步的具體 描述[0015]一種單晶爐用籽晶夾頭(參見附圖1)，包括夾頭本體2，夾頭本體2上軸向設(shè) 有籽晶槽6，夾頭本體2螺紋連接于重錘1上，夾頭本體2的材質(zhì)為石墨，重錘的材質(zhì)為 不銹鋼，夾頭本體2靠近重錘處設(shè)有軸肩3，軸肩3上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽4，雜物 槽4的橫截面為倒直角梯形，雜物槽4外側(cè)面為斜面，夾頭本體2上徑向設(shè)有定位孔5， 定位孔5與籽晶槽6相交，重錘1為圓柱體，籽晶槽6為圓柱形槽。單晶爐用籽晶夾頭 使用時，將夾頭本體2連接于重錘1上，籽晶上設(shè)有與籽晶槽6處定位孔5相對應的孔， 將籽晶插入籽晶槽6，在定位孔5處插入定位銷，固定籽晶，夾頭本體2靠近重錘處設(shè)有 軸肩3，軸肩3上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽4，當重錘1和夾頭本體2上產(chǎn)生各種的氧化 物及其他雜物，受重力作用向下掉落時，會掉入圓環(huán)形雜物槽4，雜物槽阻止雜物掉入硅 熔體，從而使晶棒不會產(chǎn)生位錯或斷棱，促進拉晶效果，提高晶棒質(zhì)量，當雜物積累， 應及時拆下夾頭本體2，清理雜物槽4中積累的氧化物及其他雜物。[0016]以上所述的實施例只是本實用新型的一種較佳的方案，并非對本實用新型作任 何形式上的限制，在不超出權(quán)利要求所記載的技術(shù)方案的前提下還有其它的變體及改 型。權(quán)利要求1.一種單晶爐用籽晶夾頭，包括夾頭本體(2)，夾頭本體(2)上軸向設(shè)有籽晶槽 (6)，夾頭本體(2)連接于重錘(1)上，其特征是，所述夾頭本體(2)靠近重錘 (1)處設(shè)有軸肩(3)，軸肩(3)上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述單晶爐用籽晶夾頭，其特征是，所述夾頭本體(2)的材質(zhì)為 石墨，重錘(1)的材質(zhì)為不銹鋼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述單晶爐用籽晶夾頭，其特征是，所述夾頭本體(2)上徑向設(shè) 有定位孔(5)，定位孔(5)與籽晶槽(6)相交。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述單晶爐用籽晶夾頭，其特征是，所述夾頭本體(2) 和重錘(1)螺紋連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述單晶爐用籽晶夾頭，其特征是，所述雜物槽(4)的 橫截面為倒直角梯形，雜物槽(4)外側(cè)面為斜面。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述單晶爐用籽晶夾頭，其特征是，所述雜物槽(4)的橫截面為 倒直角梯形，雜物槽(4)外側(cè)面為斜面。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐用籽晶夾頭，包括夾頭本體，夾頭本體上軸向設(shè)有籽晶槽，夾頭本體連接于重錘上，所述夾頭本體靠近重錘處設(shè)有軸肩，軸肩上表面上設(shè)有圓環(huán)形雜物槽，雜物槽的橫截面為倒直角梯形，雜物槽外側(cè)面為斜面，夾頭本體上徑向設(shè)有定位孔，定位孔與籽晶槽相交，夾頭本體的材質(zhì)為石墨，重錘的材質(zhì)為不銹鋼。解決了現(xiàn)有籽晶夾頭，夾頭本體和重錘上會產(chǎn)生各種氧化物及其他雜物，細小的雜物脫落，受重力作用向下掉落，掉入硅熔體，會對拉晶產(chǎn)生很大的影響，使晶棒產(chǎn)生位錯或斷棱的問題。
文檔編號C30B15/32GK201801635SQ20102055803
公開日2011年4月20日 申請日期2010年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者鐘小平 申請人:浙江舒奇蒙能源科技有限公司