專(zhuān)利名稱(chēng)：通過(guò)定向凝固法制造單晶錠的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
通過(guò)定向凝固法制造單晶錠的裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及單晶錠制造領(lǐng)域，特別是涉及一種通過(guò)定向凝固法制造例如藍(lán)寶 石單晶錠的制造單晶錠的裝置。
背景技術(shù)：
[0002]1970年美國(guó)晶體系統(tǒng)公司的F. Schmid D. J. Viechnicki公開(kāi)了一種“梯度法生長(zhǎng) 藍(lán)寶石晶體片”，首次提出了用熱交換法生長(zhǎng)具有較高熱交換法生長(zhǎng)的A1203晶體。石墨加 熱器熱量通過(guò)熔體、晶體而到達(dá)熱交換器，由氦氣流帶走，建立起由坩堝內(nèi)壁、經(jīng)過(guò)熔體籽 晶而到達(dá)坩堝底中心的溫度梯度場(chǎng)。在晶體的生長(zhǎng)過(guò)程中，可通過(guò)流動(dòng)的氦氣來(lái)建立和調(diào) 節(jié)溫度梯度，并在晶體生長(zhǎng)后期，有限度地實(shí)現(xiàn)晶體原位退火。但是在現(xiàn)有的裝置中，需要 大量的流動(dòng)氦氣來(lái)建立所需要的溫度梯度，從而導(dǎo)致裝置的結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜、且成本很高。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型需 要提供一種制造單晶錠的裝置，所述裝置可以改善例如藍(lán)寶石的單晶錠的質(zhì)量、且充分利 用冷卻流體的利用效率。[0004]根據(jù)本實(shí)用新型的一方面，提供了一種制造單晶錠的裝置，包括主體；設(shè)置在所 述主體內(nèi)的坩堝，所述坩堝的下部形成有錐形部分；至少一個(gè)主加熱部件，所述加熱部件用 于加熱和完全熔化容納在所述坩堝內(nèi)的給料，以及部分熔化設(shè)置在所述錐形部分底部中心 位置的籽晶；輔助溫度調(diào)節(jié)部件，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件與所述錐形部分相鄰設(shè)置；熱交 換器，所述熱交換器相鄰地設(shè)置在所述坩堝底部的中心位置，用于通過(guò)從主體之外將用于 熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器內(nèi)來(lái)控制所述坩堝內(nèi)的熱交換，以控制所述部分 熔化的籽晶和熔化的給料的定向凝固；以及絕熱件，所述絕熱件設(shè)置在所述主體內(nèi)，且位于 所述主加熱部件和主體之間。[0005]根據(jù)本實(shí)用新型的制造單晶錠的裝置，通過(guò)利用所述熱交換器，可以通過(guò)從主體 之外將用于熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器內(nèi)來(lái)控制所述坩堝內(nèi)的熱交換，以 控制所述部分熔化的籽晶和熔化的給料的定向凝固，從而實(shí)現(xiàn)了例如氦氣的流體的充分利 用。此外，由于所述坩堝的下部錐形部分可以在所述坩堝之內(nèi)獲得更好的溫度梯度場(chǎng)，所述 錐形部分還有利于將晶體生長(zhǎng)中形成的位錯(cuò)排出晶體外，降低晶體的位錯(cuò)密度，從而實(shí)現(xiàn) 了所述單晶錠的良好生長(zhǎng)，并提高了所述單晶錠的質(zhì)量。[0006]另外，根據(jù)本實(shí)用新型上述實(shí)施例的制造單晶錠的裝置還可以具有如下附加的技 術(shù)特征[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述熱交換器包括第一管，所述第一管的伸入到 所述坩堝底部的端部密封；以及第二管，所述第二管插入到所述第一管內(nèi)，所述流體從第二 管流入并從所述第一管流出。[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一管的外表面形成有絕熱層。[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述熱交換器進(jìn)一步包括熱交換部件，所述熱交 換部件設(shè)置在所述第一管和所述坩堝的底部中心之間，用于在所述第一管和所述坩堝的底 部中心之間進(jìn)行熱交換。[0010]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述流體為氦氣，且所述流體的流速在化料階段 控制成保持所述籽晶部分被熔化，在定向凝固階段控制成保持晶體生長(zhǎng)所需的溫度梯度。[0011]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述錐形部分的底部形成有籽晶槽，用于放置籽曰曰曰O[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述錐形部分相對(duì)于縱向的斜度為30-60度。[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由輔助加熱器形成，用于 加熱所述錐形部分。[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由與所述錐形部分外表面 相鄰設(shè)置的熱反射部件形成，用于反射所述錐形部分輻射的熱量。[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由與所述錐形部分外表面 相鄰設(shè)置的保溫部件形成，用于所述錐形部分的保溫。[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述制造單晶錠的裝置進(jìn)一步包括輔助絕熱部 件，所述輔助絕熱部件位于主體內(nèi)部，且水平設(shè)置在所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件和所述主體之 間。[0017]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述主加熱部件由鎢、鎢鉬合金或石墨形成。[0018]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述單晶錠為藍(lán)寶石晶錠。[0019]本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。


[0020]本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中[0021]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的制造單晶錠的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及[0022]圖2是圖1中A部分的放大示意圖。
具體實(shí)施方式
[0023]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參 考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的 限制。[0024]在本實(shí)用新型的描述中，術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅 是為了便于描述本實(shí)用新型而不是要求本實(shí)用新型必須以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不 能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0025]下面將參照附圖來(lái)描述根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的制造單晶錠的裝置100， 其中圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的制造單晶錠的裝置100的結(jié)構(gòu)示意圖。此外，在下述中將以制造藍(lán)寶石單晶錠為例，來(lái)描述制造單晶錠的裝置100。但是，需要說(shuō)明的是， 本實(shí)用新型的制造單晶錠的裝置100也可以利用制造其他類(lèi)型的單晶，例如硅單晶、氧化 物(如釔鋁石榴石YAG等)單晶等，此處只是出于示例的目的，而不是為了限制本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍。[0026]如圖1中所示，制造藍(lán)寶石單晶錠的裝置100包括主體1 ；設(shè)置在所述主體1內(nèi) 的坩堝2，所述坩堝2的下部形成有錐形部分3 ；主加熱部件4，所述主加熱部件4用于加熱 和完全熔化容納在所述坩堝2內(nèi)的給料，以及部分熔化設(shè)置在所述錐形部分3底部中心位 置的籽晶5 ；輔助溫度調(diào)節(jié)部件6，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件6與所述錐形部分3相鄰設(shè)置；熱 交換器8，所述熱交換器8相鄰地設(shè)置在所述坩堝2底部的中心位置，用于通過(guò)從主體1之 外將用于熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器8內(nèi)來(lái)控制所述坩堝2內(nèi)的熱交換，以 控制所述部分熔化的籽晶5和熔化的給料的定向凝固；以及絕熱件7，所述絕熱件7設(shè)置在 所述主體1內(nèi)，且位于所述主加熱部件4和主體1之間。[0027]在上述的制造藍(lán)寶石單晶錠的裝置100中，主體1、坩堝2或者絕熱件7等可以形 成為圓柱體形，但是需要說(shuō)明的是，主體1、坩堝2或者絕熱件7等也可以形成為其他的形 狀，例如長(zhǎng)方體形等，此處只是出于說(shuō)明的目的，而不是為了限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。 主體1內(nèi)可以容納有多個(gè)主加熱部件4和多個(gè)輔助溫度調(diào)節(jié)部件6。[0028]由此，在根據(jù)本實(shí)用新型的制造單晶錠的裝置100，通過(guò)利用所述熱交換器8，可 以通過(guò)從主體1之外將用于熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器內(nèi)來(lái)控制所述坩堝 2內(nèi)的熱交換，以控制所述部分熔化的籽晶5和熔化的給料的定向凝固，從而實(shí)現(xiàn)了例如氦 氣的流體的充分利用。[0029]此外，由于所述坩堝2的下部錐形部分可以在所述坩堝2之內(nèi)獲得更好的溫度梯 度場(chǎng)，從而實(shí)現(xiàn)了所述單晶錠的良好生長(zhǎng)，減少了晶體的內(nèi)應(yīng)力；并且，晶體中很少位錯(cuò)會(huì) 豎直延伸而縱向貫穿整個(gè)晶體，所述錐形部分使大部分位錯(cuò)延伸并終止到錐形表面，即有 利于將晶體生長(zhǎng)中形成的位錯(cuò)排出晶體外，降低晶體的位錯(cuò)密度，從而提高了所述單晶錠 的質(zhì)量。[0030]下面將參照?qǐng)D1來(lái)進(jìn)一步詳細(xì)描述制造單晶錠的裝置100的各組成部件。[0031]如圖1中所示，坩堝2的下部形成有錐形部分3，這主要是考慮了藍(lán)寶石單晶錠的 生長(zhǎng)過(guò)程中，坩堝2內(nèi)的溫度場(chǎng)分布不均勻，特別是在靠近坩堝2的側(cè)壁的位置處，從而在 藍(lán)寶石單晶錠的生長(zhǎng)過(guò)程，由于局部區(qū)域溫差過(guò)大導(dǎo)致巨大內(nèi)應(yīng)力，容易導(dǎo)致藍(lán)寶石單晶 錠內(nèi)部出現(xiàn)裂紋。通過(guò)形成錐形部分3，從而消除了坩堝2內(nèi)部的溫度場(chǎng)的不均勻性，使得 藍(lán)寶石單晶錠生長(zhǎng)的更加均勻，內(nèi)應(yīng)力更低。此外，所述錐形部分使大部分位錯(cuò)延伸并終止 到錐形表面，有利于將晶體生長(zhǎng)中形成的位錯(cuò)排出晶體外，從而降低晶體的位錯(cuò)密度。[0032]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述錐形部分3相對(duì)于縱向的斜度為30-60度，以 獲得最好的溫度場(chǎng)分布。[0033]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，錐形部分3的底部形成有籽晶槽9，用于放置籽晶 5。籽晶槽9的作用如下[0034]首先，籽晶5可以被該籽晶槽9固定；[0035]其次，在化料過(guò)程中，由于籽晶槽9下部是熱交換器8，這樣更容易通過(guò)控制交換 的熱量，實(shí)現(xiàn)籽晶部分熔化，而不是完全熔化或者完全不熔化；[0036]再次，籽晶向上生長(zhǎng)時(shí)，在熔體與籽晶的界面由于熱沖擊的作用形成大量位錯(cuò)，這 些位錯(cuò)可以延伸到籽晶槽壁而終止，從而有利于將位錯(cuò)排出晶體，降低位錯(cuò)密度。[0037]為了控制坩堝2的錐形部分3處的溫度場(chǎng)分布的均勻性，與該錐形部分3相鄰處 設(shè)置輔助溫度調(diào)節(jié)部件6，從而可以利用該輔助溫度調(diào)節(jié)部件6來(lái)進(jìn)一步優(yōu)化錐形部分3處 的溫度場(chǎng)，從而獲得良好的藍(lán)寶石單晶錠的生長(zhǎng)溫度梯度。[0038]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件6可以由輔助加熱器形 成，用于加熱所述錐形部分3。[0039]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件6也可由與所述錐形部分 3外表面相鄰設(shè)置的熱反射部件形成，用于反射所述錐形部分3輻射的熱量。例如，所述輔 助溫度調(diào)節(jié)部件6可以形成為熱屏，該熱屏由鎢鉬合金形成，且該熱屏與錐形部分的表面 分開(kāi)預(yù)定的距離，該熱屏可以將從錐形部分3輻射出來(lái)的熱量反射回去。[0040]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件6也可以由與所述錐形部 分3外表面相鄰設(shè)置的保溫部件形成，用于所述錐形部分3的保溫。從而防止錐形部分3 的熱量被散逸，以防止晶體內(nèi)部形成過(guò)大的溫度梯度。[0041]下面將參照?qǐng)D2來(lái)說(shuō)明制造單晶錠的裝置100中的熱交換器8。熱交換器8包括 第一管81，第一管81的伸入到所述坩堝2底部的端部密封；以及第二管82，所述第二管82 插入到所述第一管81內(nèi)，所述流體從第二管82流入并從所述第一管81流出。根據(jù)本實(shí)用 新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一管81的外表面可以形成有絕熱層83。從而防止熱量從主體1 內(nèi)傳遞給例如氦氣的冷卻流體。[0042]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述熱交換器進(jìn)一步包括熱交換部件84，所述 熱交換部件84設(shè)置在所述第一管和所述坩堝2的底部中心之間，用于在第一管81和所述 坩堝2的底部中心之間進(jìn)行熱交換。[0043]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述流體為氦氣，且所述流體的流速在化料階段 控制成保持所述籽晶5部分被熔化，在定向凝固階段控制成保持晶體生長(zhǎng)所需的溫度梯度。[0044]如圖1中所示，制造單晶錠的裝置100可以進(jìn)一步包括輔助絕熱部件10，輔助絕 熱部件10位于主體1內(nèi)部，且水平設(shè)置在輔助溫度調(diào)節(jié)部件6和主體1之間。根據(jù)本實(shí)用 新型的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助絕熱部件10由鎢、鉬、或鎢鉬合金制成，用于反射從輔助溫度 調(diào)節(jié)部件6和主加熱部件4表面輻射的熱量，以防止所述熱量被輻射到所述主體1，從而造 成對(duì)所述裝置100表面的損壞。根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，所述輔助絕熱部件10由 保溫碳?xì)种瞥?，用于防止熱量從輔助溫度調(diào)節(jié)部件6和主加熱部件4表面輻射到主體1。[0045]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述主加熱部件4由鎢、鎢鉬合金或石墨形成。[0046]下面將參照?qǐng)D1來(lái)簡(jiǎn)單描述制造藍(lán)寶石單晶錠的過(guò)程。首先將藍(lán)寶石給料放入到 坩堝中，并對(duì)主體1內(nèi)抽真空，然后利用主加熱器4進(jìn)行化料，同時(shí)部分熔化籽晶5，此時(shí)將 流體通入到熱交換器8內(nèi)，且流體的流速在化料階段控制成保持所述籽晶部分被熔化，然 后開(kāi)始定向凝固生長(zhǎng)晶體，流體的流速在定向凝固階段控制成保持晶體生長(zhǎng)所需的溫度梯 度，定向凝固完成后，保溫以降低晶體內(nèi)應(yīng)力，然后冷卻出爐。如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型的 制造單晶錠的裝置100，通過(guò)利用所述熱交換器8，可以通過(guò)從主體1之外將用于熱交換的 流體循環(huán)地通入到所述熱交換器8內(nèi)來(lái)控制所述坩堝2內(nèi)的熱交換，以控制所述部分熔化6的籽晶5和熔化的給料的定向凝固，從而實(shí)現(xiàn)了例如氦氣的流體的充分利用。此外，由于所 述坩堝2的形狀可以在所述坩堝2之內(nèi)獲得更好的溫度梯度場(chǎng)，從而實(shí)現(xiàn)了所述單晶錠的 良好生長(zhǎng)，并提高了所述藍(lán)寶石單晶錠的質(zhì)量。[0047]在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示 例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特 點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表 述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在 任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。[0048]盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解 在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換 和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種制造單晶錠的裝置，其特征在于，包括 主體；設(shè)置在所述主體內(nèi)的坩堝，所述坩堝的下部形成有錐形部分； 至少一個(gè)主加熱部件，所述加熱部件用于加熱和完全熔化容納在所述坩堝內(nèi)的給料， 以及部分熔化設(shè)置在所述錐形部分底部中心位置的籽晶；輔助溫度調(diào)節(jié)部件，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件與所述錐形部分相鄰設(shè)置； 熱交換器，所述熱交換器相鄰地設(shè)置在所述坩堝底部的中心位置，用于通過(guò)從主體之 外將用于熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器內(nèi)來(lái)控制所述坩堝內(nèi)的熱交換，以控制 所述部分熔化的籽晶和熔化的給料的定向凝固；以及絕熱件，所述絕熱件設(shè)置在所述主體內(nèi)，且位于所述主加熱部件和主體之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述熱交換器包括 第一管，所述第一管的伸入到所述坩堝底部的端部密封；以及第二管，所述第二管插入到所述第一管內(nèi)，所述流體從第二管流入并從所述第一管流出ο
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一管的外表面形成有絕熱層。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述熱交換器進(jìn)一步包括熱交換部件，所述熱交換部件設(shè)置在所述第一管和所述坩堝的底部中心之間，用于在 所述第一管和所述坩堝的底部中心之間進(jìn)行熱交換。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述流體為氦氣，且所述流體的流速在化 料階段控制成保持所述籽晶部分被熔化，在定向凝固階段控制成保持晶體生長(zhǎng)所需的溫度 梯度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述錐形部分的底部形成有籽晶槽，用于 放置籽晶。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述錐形部分相對(duì)于縱向的斜度為30-60度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由輔助加熱器形 成，用于加熱所述錐形部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由與所述錐形部 分外表面相鄰設(shè)置的熱反射部件形成，用于反射所述錐形部分輻射的熱量。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件由與所述錐形部 分外表面相鄰設(shè)置的保溫部件形成，用于所述錐形部分的保溫。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括輔助絕熱部件，所述輔助絕熱部件位于主體內(nèi)部，且水平設(shè)置在所述輔助溫度調(diào)節(jié)部 件和所述主體之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述主加熱部件由鎢、鎢鉬合金或石墨 形成。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述單晶錠為藍(lán)寶石晶錠。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種制造單晶錠的裝置，包括主體；設(shè)置在所述主體內(nèi)的坩堝，所述坩堝的下部形成有錐形部分；至少一個(gè)主加熱部件；輔助溫度調(diào)節(jié)部件，所述輔助溫度調(diào)節(jié)部件與所述錐形部分相鄰設(shè)置；熱交換器，所述熱交換器相鄰地設(shè)置在所述坩堝底部的中心位置，用于通過(guò)從主體之外將用于熱交換的流體循環(huán)地通入到所述熱交換器內(nèi)來(lái)控制所述坩堝內(nèi)的熱交換，以控制所述部分熔化的籽晶和熔化的給料的定向凝固；以及絕熱件，所述絕熱件設(shè)置在所述主體內(nèi)，且位于所述主加熱部件和主體之間。根據(jù)本實(shí)用新型的制造單晶錠的裝置，不僅可以充分地循環(huán)利用例如氦氣的冷卻氣體，而且可以提高所制造的單晶錠的質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B11/00GK201817570SQ20102056450
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月9日
發(fā)明者李園 申請(qǐng)人:王楚雯