專利名稱：一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
單晶硅是具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，被廣泛用 于制造半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池。目前單晶硅一般是采用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制 而成。普通的單晶爐一般由爐底、下?tīng)t體、上爐體、爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。在本 實(shí)用新型做出之前，目前現(xiàn)有的單晶爐下?tīng)t體是用雙層不銹鋼材料制成，其內(nèi)爐壁和外爐 壁之間有水夾層，在單晶爐工作過(guò)程中，可以通過(guò)往水夾層中注水來(lái)降低爐壁的溫度，增加 下?tīng)t體的使用壽命。但是因?yàn)楣I(yè)用水大多是自來(lái)水，自來(lái)水中含有大量的氯離子，氯離子 對(duì)不銹鋼爐壁會(huì)產(chǎn)生腐蝕作用，這會(huì)縮短下?tīng)t體的使用壽命。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種使用壽命長(zhǎng)的防腐蝕的單晶爐下 爐體。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的它包括上法蘭、下法蘭、外爐壁和內(nèi)爐壁，所述 外爐壁和內(nèi)爐壁之間設(shè)置有水夾層，外爐壁上設(shè)置有與水夾層相連通的進(jìn)水口和出水口， 其特點(diǎn)是所述外爐壁上還設(shè)置鎂棒接口，所述鎂棒接口與水夾層相連通，且鎂棒接口中插 接有鎂棒。所述鎂棒接口位于外爐壁下部緊鄰下法蘭的位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，其外爐壁上設(shè)置有鎂棒接口，鎂棒接口與 水夾層相連通，鎂棒接口中插有鎂棒，單晶爐工作時(shí)需要通過(guò)對(duì)水夾層注水來(lái)降低爐體溫 度，但工業(yè)用水中存在的大量氯離子會(huì)與爐壁反應(yīng)腐蝕爐壁，但由于鎂是比鐵更活潑的金 屬，所以在水夾層內(nèi)插入鎂棒后，鎂棒能代替不銹鋼下?tīng)t體與氯離子發(fā)生反應(yīng)，提高了下?tīng)t 體的耐腐蝕性，延長(zhǎng)了下?tīng)t體的使用壽命。

圖1為本實(shí)用新型一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體的結(jié)構(gòu)示意圖。其中上法蘭1、出水口 2、進(jìn)水口 3、下法蘭4、鎂棒接口 5、鎂棒6、外爐壁7、水夾層8、內(nèi) 爐壁9。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型涉及的一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，它包括上法蘭1、下法蘭 4、外爐壁7和內(nèi)爐壁9，上法蘭1用于連接單晶爐隔離閥，下法蘭4用于連接單晶爐爐底，所述外爐壁7和內(nèi)爐壁9之間設(shè)置有水夾層8，外爐壁7上設(shè)置有與水夾層8相連通的進(jìn)水口 3和出水口 2，所述出水口 2位于外爐壁7上部緊鄰上法蘭1的位置，所述進(jìn)水口 3位于外 爐壁7下部緊鄰下法蘭4的位置，所述外爐壁7上還設(shè)置有用于插接鎂棒的鎂棒接口 5，鎂 棒接口 5與水夾層8相連通，所述鎂棒接口 5位于外爐壁7下部緊鄰下法蘭4的位置，且鎂 棒接口 5內(nèi)插接有鎂棒6。 在單晶爐工作過(guò)程中，水通過(guò)下部進(jìn)水口 3進(jìn)入水夾層8，對(duì)單晶爐下?tīng)t體進(jìn)行冷 卻，降低爐壁溫度。鎂棒接口 5內(nèi)插接有鎂棒6后，由于鎂是比鐵的更活躍的金屬，所以鎂 棒將代替單晶爐上爐體中的鐵與工業(yè)用水中的氯離子發(fā)生反應(yīng)，減少氯離子對(duì)不銹鋼爐壁 的腐蝕。
權(quán)利要求1.一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，它包括上法蘭(1)、下法蘭G)、外爐壁(7)和內(nèi)爐壁 (9)，所述外爐壁(7)和內(nèi)爐壁(9)之間設(shè)置有水夾層(8)，外爐壁(7)上設(shè)置有與水夾層 (8)相連通的進(jìn)水口( 和出水口 O)，所述外爐壁(7)上還設(shè)置鎂棒接口(5)，所述鎂棒接 口(5)與水夾層(8)相連通，且鎂棒接口( 中插接有鎂棒(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，其特征在于所述鎂棒接口(5) 位于外爐壁(7)下部緊鄰下法蘭的位置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。它包括上法蘭(1)、下法蘭(4)、外爐壁(7)和內(nèi)爐壁(9)，所述外爐壁(7)和內(nèi)爐壁(9)之間設(shè)置有水夾層(8)，外爐壁(7)上設(shè)置有與水夾層(8)相連通的出水口(2)、進(jìn)水口(3)，其特征在于所述外爐壁(7)上還設(shè)置鎂棒接口(5)，所述鎂棒接口(5)與水夾層(8)相連通，且鎂棒接口(5)中插接有鎂棒(6)。本實(shí)用新型一種防腐蝕單晶爐下?tīng)t體具有耐腐蝕性強(qiáng)，使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201901724SQ20102065340
公開日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月11日
發(fā)明者施宇峰, 査如德, 査建洪 申請(qǐng)人:江陰市華英光伏科技有限公司