專利名稱：有機el顯示面板及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及排列有發(fā)光元件的發(fā)光顯示面板及其制造方法，尤其涉及將有機電致發(fā)光元件(以下稱為“有機EL元件”)排列成矩陣狀的有機EL顯示面板。
背景技術：
近年來，作為發(fā)光型的顯示器，在基板上沿著行列方向排列多個有機EL元件而成的有機EL顯示面板作為小型電子設備的顯示器而被實用化。各有機EL元件是具有在陽極和陰極這一對電極對之間配置有包含有機發(fā)光材料的發(fā)光層的基本構造，驅(qū)動時在一對電極對之間施加電壓，隨著從陽極注入到發(fā)光層的空穴與從陰極注入到發(fā)光層的電子的復合而進行發(fā)光的電流驅(qū)動型的發(fā)光元件。該有機EL顯示面板中，各有機EL元件進行自發(fā)光，因此視覺識別性高，并且由于是完全固體元件，因而耐沖擊性優(yōu)異。在有機EL顯示器中，一般而言，發(fā)光層按各EL元件而通過由絕緣材料構成的隔壁 (提)來隔開，由該隔壁規(guī)定發(fā)光層的形狀。另外，在陽極和發(fā)光層之間，根據(jù)需要而插入空穴注入層、空穴輸送層、空穴注入兼輸送層這樣的有機層。另外，在陰極和發(fā)光層之間也根據(jù)需要而插入電子注入層、電子輸送層或電子注入兼輸送層。在全彩色顯示的有機EL顯示器中，這樣的有機EL元件形成RGB各顏色的子像素， 相鄰的RGB的子像素相互配合而形成一個像素。在形成各有機EL元件的發(fā)光層、電荷注入層時多使用濕法方式，所述濕法方式中，在基板上預先形成將相鄰的各有機EL元件彼此隔開的隔壁，通過噴墨等方式涂覆含有高分子材料和/或薄膜形成性優(yōu)良的低分子的墨水。通過該濕法方式，能夠在大型面板中也較容易地形成有機層、發(fā)光層。在典型的噴墨方式中，在作業(yè)臺上載置作為涂覆對象的基板，以在該基板上沿著行列方向中的任一方向進行橫穿的方式使噴墨頭移動，從噴嘴向由基板上的隔壁區(qū)劃出的元件形成區(qū)域排出含有用于形成有機層、發(fā)光層等的有機材料和溶劑的溶液(以下簡稱為 “墨水”。)的液滴(參照專利文獻1)。在此，通常用于形成發(fā)光層的墨水根據(jù)顏色的不同而不同，但對于形成有機層的墨水，使用所有顏色通用的墨水。在這樣地制造有機EL面板時，需要按各顏色使各有機EL元件的特性基本上一致。 因此，在以噴墨方式涂覆墨水的工序中，以液滴為單位從噴嘴對各像素提供墨水時，使對各元件排出的墨水的液滴數(shù)量相同，向各元件形成區(qū)域均勻地排出墨水，以使得相同顏色的各元件形成區(qū)域中的有機層的膜厚及發(fā)光層的膜厚一致。在先技術文獻專利文獻1 日本特開2003-241683號公報發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題但是，適于提高各有機EL元件的發(fā)光效率的有機層的膜厚依賴于發(fā)光顏色的波長。即，對于紅色光、綠色光和藍色光，由于其波長不同，有機EL元件內(nèi)的最佳光路長度(共振條件)不同，因此在各顏色的子像素中，最好是與發(fā)光顏色的波長相匹配地對有機層的膜厚進行微調(diào)來提高發(fā)光效率。但是，實際上在以濕法方式形成有機層時，難以按子像素的各顏色而對有機層的膜厚進行微調(diào)。具體而言，如上所述，含有有機層的材料的墨水在所有顏色中是通用的，對各子像素提供的有機層形成用的墨水量是固定的。例如，以噴墨方式涂覆有機層的墨水時， 對各顏色的有機EL元件形成區(qū)域排出的墨水的液滴數(shù)量相同，并且同時使從噴嘴排出的墨水的每一滴的體積也是固定的。在此，在為噴墨方式時，也考慮通過按子像素的顏色改變要滴下的墨水液滴數(shù)量，從而調(diào)整有機層的膜厚，但提供給各子像素的墨水量僅能以墨水液滴為單位來進行改變，因此實際上依然難以按子像素的顏色微調(diào)有機層的膜厚。本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的發(fā)明，目的在于提供一種有機EL顯示面板及其制造方法，其能夠在有機EL顯示面中，一邊以濕法方式形成有機層，一邊按各發(fā)光色容易地進行有機層的膜厚的微調(diào)，以具有優(yōu)異的發(fā)光效率。用于解決課題的手段為了解決上述課題，本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板，具備第1電極板組， 其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板；第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成；第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方，所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，形成在所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部的體積大于形成在所述第2電極板組所包括的各第2電極板上的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成在所述第1電極板組所包括的各第1 電極板上的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成在所述第2電極板組所包括的各第2電極板上的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。或者，在第1陽極板組所包括的各第1陽極板設置凹部，使各第1陽極板上的第1 有機功能層的體積與各第2陽極板上的第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，第1有機功能層的一部分進入到形成于第1陽極板組所包括的各第1電極板的凹部，由此使該凹部以外的區(qū)域中的第1有機功能層的膜厚小于各第2電極板上的第2有機功能層的膜厚。
在此，“各第1電極板上的第1有機功能層的體積與各第2電極板上的第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)”指的是第1有機功能層的體積與第2有機功能層的體積實質(zhì)上相同、第1有機功能層的體積與第2有機功能層的體積之差在數(shù)值上相對于第1有機功能層的體積在5%以內(nèi)。另外，本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列有多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組；第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列有多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁；第4工序，沿著所述第 1電極板組和所述第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁；第5工序，沿著所述第 2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁；第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2 有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極，所述第1工序包括在所述各第1電極板形成凹部的工序，所述第2工序包括在所述各第2電極板形成凹部的工序，形成在所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部的體積大于形成在所述第2電極板組所包括的各第2電極板上的凹部的體積，使所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積與所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，進入到形成在所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板上的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，多于進入到形成在所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板上的凹部內(nèi)的所述第2有機功能層的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。或者，在第1工序中設有在所述各第1電極板形成凹部的工序，使在第6工序中形成的第1有機功能層的體積與在第7工序中形成的第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，使第1有機功能層的一部分進入到形成于第1電極板組所包括的各第1 電極板的凹部，使該凹部以外的區(qū)域中的第1有機功能層的膜厚形成為小于各第2電極板上的第2有機功能層的膜厚。發(fā)明的效果在上述方式中，當使形成于各第1電極板的凹部的體積變化時，則在通過濕法在各第1電極板的上方形成第1有機功能層時，墨水進入該凹部的量會發(fā)生變化，第1電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚也會發(fā)生變化。另外，同樣地當使形成于各第2電極板的凹部的體積變化時，則在通過濕法在各第2電極板的上方形成第2有機功能層時，墨水進入該凹部的量會發(fā)生變化，第2電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第2有機功能層的膜厚也會發(fā)生變化。在此，形成于各第1電極板和第2電極板的凹部的體積可以用比從噴嘴排出的每一滴墨水的體積更微小的單位來進行調(diào)整。因此，通過微調(diào)形成于第1電極板或第2電極板的凹部的體積，能夠容易地微調(diào)第 1電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚或第2電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第2有機功能層的膜厚。
由此，能夠按各顏色的子像素而與該子像素的發(fā)光顏色的波長相匹配且容易地將有機層的膜厚微調(diào)成使光有效地射出的最佳值，因此能夠容易地制造發(fā)光效率優(yōu)異的發(fā)光顯示面板。并且，使發(fā)光效率提高也有助于低功耗化。


圖1是示意表示實施方式1的顯示面板100的結(jié)構的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的概略結(jié)構的立體圖。圖3 (a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構的俯視圖、圖3 (b)是沿圖3 (a)的A-A線剖開而得到的剖視圖、圖3(c)是沿圖3(a)的B-B線剖開而得到的剖視圖。圖4是用于說明顯示面板100的整體制造方法的圖。
圖5是表示剛在基板上涂覆有機層形成用的墨水后的狀況的剖面示意圖。
圖6是示意表示實施方式2的顯示面板100的結(jié)構的俯視圖和剖視圖。
圖7是表示實施方式2的凹部15a、凹部15b、15c的形狀的示意圖。
圖8是示意表示實施方式3的顯示面板100的結(jié)構的俯視圖和剖視圖。
圖9是表示實施方式4的顯示面板100及其制造工序的示意剖視圖。
圖10是表示實施方式的顯示裝置200的整體結(jié)構的圖。
圖11是表示使用了顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一例的外觀形狀。
標號說明
1基板
2TFT的SD電極
3層間絕緣膜
4TFT基板
5( 5c)陽極板
6 (6a 6c)空穴注入層
7像素限制層
8a、8b、8c 隔壁
9 (9a 9c)有機層
10發(fā)光層
11陰極層
13接觸孔
15 (15a 15c)凹部
20a 20c有機EL元件
23 (23a,23b)凹部
100顯示面板
具體實施例方式〈發(fā)明的方式〉在本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板中，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板；第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成；第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方， 所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，形成在所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部的體積大于形成在所述第2 電極板組所包括的各第2電極板上的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第 1有機功能層的一部分進入到形成在所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成在所述第2電極板組所包括的各第2電極板上的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。根據(jù)上述方式，通過對形成于第1陽極板的凹部和形成于第2陽極板上的凹部的體積進行微調(diào)，能夠容易地微調(diào)第1陽極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚、和第2陽極板的不設置凹部的區(qū)域上的第2有機功能層的膜厚，因此容易按各顏色與發(fā)光色的發(fā)光波長相匹配地對有機層的膜厚進行微調(diào)，有助于制造發(fā)光特性優(yōu)異的發(fā)光顯示面板。在本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板的制造方法中，在第1工序中設有在各第 1電極板形成凹部的工序，在第2工序中設有在各第2電極板形成凹部的步驟，使形成于第 1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于第2電極板組所包括的各第2 電極板的凹部的體積，使第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的第1有機功能層的體積與第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，使進入到形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的第1有機功能層的量大于進入到形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的第2有機功能層的量，由此使該凹部以外的區(qū)域中的第1有機功能層的膜厚形成為小于各第2電極板上的第2有機功能層的膜厚。根據(jù)上述方式，也能夠通過對形成于第1電極板的凹部和形成于第2電極板的凹部的體積進行微調(diào)，從而容易地調(diào)整第1電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚、和第2電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第2有機功能層的膜厚，容易按各顏色而與發(fā)光色的發(fā)光波長相匹配地對有機層的膜厚進行微調(diào)，有助于制造發(fā)光特性優(yōu)異的發(fā)光顯示面板。在此，也可以在第1電極板組和第2電極板組的下方設置TFT層，在第1電極板組及第2電極板組與TFT層之間設置層間絕緣膜，在層間絕緣膜設置多個接觸孔，使在第1電極板組所包括的各第1電極板和第2電極板組所包括的各第2電極板所設置的凹部沿著接觸孔而設置，所述多個接觸孔用于配置將第1電極板組所包括的各第1電極板及第2電極板組所包括的各第2電極板與TFT層連接的布線。
另外，也可以使第1電極板組所包括的各第1電極板經(jīng)由接觸孔而與TFT層所包括的SD電極接觸的面積與第2電極板組所包括的各第2電極板經(jīng)由接觸孔而與TFT層所包括的SD電極接觸的面積相同(或相同的鄰近值)，使進入到設置于第1電極板組所包括的各第1電極板的所有凹部的第1有機功能層的體積大于進入到設置于第2電極板組所包括的各第2電極板的所有凹部的第2有機功能層的體積。也可以在使形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部和形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的形狀為上面的直徑大于下面的直徑的圓錐臺形狀時， 使形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的上面的直徑大于形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的上面的直徑，由此使形成于第1電極板組所包括的各第 1電極板的凹部的體積大于形成于第2陽極板組所具有的各第2陽極板的凹部的體積。在此，也可以使形成于第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部的下面的直徑大于形成于第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部的下面的直徑。或者，也可以使形成于第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部的下面的直徑與形成于第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部的下面的直徑相同或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)(雙方直徑的差相當于直徑在5%以內(nèi))。也可以通過第1像素限制層覆蓋設置于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部，在該第1像素限制層的上方形成第1有機功能層，通過第2像素限制層覆蓋設置于第2 電極板組所包括的各第2電極板的凹部，在該第2像素限制層的上方形成第2有機功能層。以噴墨式涂覆方法通過預定體積的液滴在第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層，以噴墨式涂覆方法通過與上述預定體積相同(或相同的鄰近值)的體積的液滴在第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層，從而能夠使第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的第1有機功能層的體積與第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的第2有機功能層的體積相同或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，與沒有凹部的情況相比，能夠使墨水厚度為η滴(η為自然數(shù))時的墨水厚度與η+1滴時的墨水厚度的中間厚度。因此，能夠使通過干燥墨水而形成的有機功能層的膜厚取為η滴時的墨水厚度與η+1滴時的墨水厚度的中間厚度。在上述方式中，也可以將設置于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的數(shù)量設定為多于設置于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的數(shù)量，使進入到設置于第1電極板組所包括的各第1電極板的所有凹部內(nèi)的第1有機功能層的體積大于進入到設置于第2電極板組所包括的各第2電極板的所有凹部內(nèi)的第2有機功能層的體積。另外，在上述方式中，可以形成隔著第3隔壁與第2電極板組相鄰、呈線狀排列多個第3顏色用的第3電極板的第3電極板組，沿著第3電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第4隔壁，沿著第3隔壁和第4隔壁之間而在第3電極板組的上方連續(xù)地形成第3有機功能層，在第3有機功能層的上方形成發(fā)出第3顏色的光的第3有機發(fā)光層，在第1電極板組、第2電極板組和第3電極板組的下方設置TFT層，在第1電極板組、第2電極板組、第3電極板組與TFT層之間設置層間絕緣膜，在該層間絕緣膜設置用于配置將第1 電極板組、第2電極板組以及第3電極板組與TFT層連接的布線的接觸孔，對置電極設置在第2有機功能層的上方，沿著接觸孔而配置設置于第1電極板組、第2電極板組和第3電極板組所包括的各電極板的凹部，將形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積設定為大于形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積、及形成于第3電極板組所包括的各第3電極的凹部的體積，將第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的第1有機功能層的體積設定為與第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的第2有機功能層的體積、及第3電極板組所包括的各第3電極的區(qū)域所對應的第3有機功能層的體積相同、或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，使進入到形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的第1有機功能層的量多于進入到形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的第2有機功能層的量、及進入到形成于第3電極板組所包括的各第3電極的凹部內(nèi)的第3有機功能層的量，由此，使第1電極板上的凹部以外的區(qū)域中的第1有機功能層的膜厚小于第2電極板上的凹部以外的區(qū)域中的第2有機功能層的膜厚、 及第3電極上的凹部以外的區(qū)域中的第3有機功能層的膜厚。在此，在為發(fā)出與RGB這三種顏色對應的光的有機EL顯示面板的情況下，由于藍色具有最短的波長，因此優(yōu)選第1顏色取為藍色。第1有機功能層、第2有機功能層和第3有機功能層既可以是電荷注入層或電荷輸送層也可以是有機發(fā)光層。也可以是電極板(第1電極板、第2電極板、第3電極板)為陽極，對置電極為陰極，或者電極板為陰極，對置電極為陽極。也可以使用上述方式的有機EL顯示面板構成顯示裝置。另外，本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板，包括第1電極板組，其呈線狀地包括多個第1顏色用的第1電極板；第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈矩陣狀的多個第2顏色用的第2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成；第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成；第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2 電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方，所述第1電極板組所包括的各第1電極板具有凹部，所述各第1電極板上的所述第1有機功能層的體積與所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部，由此該凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述各第 2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。根據(jù)上述方式，通過對形成于第1電極板的凹部的體積進行微調(diào)，能夠容易地微調(diào)第1電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚，因此容易按各顏色而發(fā)光色的發(fā)光波長相匹配地微調(diào)有機層的膜厚，有助于制造發(fā)光特性優(yōu)異的發(fā)光顯示面板。另外，本發(fā)明的一種方式的有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組；第2工序，與所述第1電極板組相鄰地呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁；第4工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁；第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁；第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第 2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；第 8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極，所述第1工序包括在所述各第1電極板形成凹部的工序，在所述第6工序中形成的所述第1有機功能層的體積與在所述第7步驟中形成的所述第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部中，由此該凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。根據(jù)上述方式，也能夠通過對形成于第1電極板的凹部的體積進行微調(diào)，容易地微調(diào)第1電極板的不設置凹部的區(qū)域上的第1有機功能層的膜厚，因此容易按各顏色而與發(fā)光色的發(fā)光波長相匹配地微調(diào)有機層的膜厚，有助于制造發(fā)光特性優(yōu)異的發(fā)光顯示面板。在此，也可以在第1電極板組和第2電極板組的下方設置TFT層，在第1電極板組、 第2電極板組與TFT層之間設置層間絕緣膜，在層間絕緣膜設置用于配置將第1電極板組所包括的各第1電極板、第2電極板組所包括的各第2電極板與TFT層連接的布線的多個接觸孔，沿著接觸孔配置設置于第1電極板組所包括的各第1電極板和第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部。<實施方式1>(顯示面板100的結(jié)構)顯示面板100是利用了有機材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的有機EL面板。圖1是示意表示實施方式1的顯示面板100的結(jié)構的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的概略結(jié)構的立體圖。在顯示面板100中，像素(pixel)在縱橫方向(X_Y方向)上呈矩陣狀排列，各像素由相鄰的RGB這三種色的子像素形成。圖2所示的有機EL元件20a、20b、20c是排列在 TFT基板4上的頂部發(fā)射型EL元件，有機EL元件20a相當于第1顏色(藍色)的子像素， 有機EL元件20b相當于第2顏色(綠色)的子像素，有機EL元件20c相當于第3顏色(紅色)的子像素。如圖2所示，藍色的有機EL元件20a在縱向(Y方向)上呈線狀排列，綠色的有機 EL元件20b與該有機EL元件20a相鄰而在縱向(Y方向)上呈線狀排列，進一步，紅色的有機EL元件20c與該有機EL元件20b相鄰而在縱向(Y方向)上呈線狀排列。并且，由在橫向(X方向)上相鄰的3個有機EL元件20a、20b、20c形成一個像素。圖1示出沿縱向(Y方向)切開所排列的有機EL元件20a而得到的剖面，如圖1 所示，TFT基板4構成為在基板1的主面上依次形成TFT及線布線、層間絕緣膜3。并且，在 TFT基板4上依次層疊有陽極板5、空穴注入層6、像素限制層7，進一步形成有隔壁8 (在圖 1中未作圖示、圖2中的8a Sc)、有機層9、發(fā)光層10、陰極層11，從而形成有機EL元件 20a、20b、20c。在圖2中，未示出有機層9、發(fā)光層10、陰極層11?；?是成為顯示面板100的基底部分的基板，可以使用無堿玻璃、鈉鈣玻璃、無熒光玻璃、磷酸類玻璃、硼酸類玻璃、石英、丙烯類樹脂、苯乙烯類樹脂、聚碳酸酯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、聚乙烯、聚酯、硅酮系樹脂或氧化鋁等絕緣性材料形成。
在基板1的表面形成有用于以有源矩陣方式對面板整體的各有機EL元件20a 20c進行驅(qū)動的TFT和布線、SD電極等構成的TFT層。在圖1中，標號2表示TFT的SD電極。層間絕緣膜3由絕緣性優(yōu)異的有機材料、例如聚酰亞胺、聚酰胺、丙烯酸類樹脂材料形成，整體地覆蓋基板1的上述TFT層。在該層間絕緣膜3按各有機EL元件20a、20b、20c而形成有沿著厚度方向(Z方向)挖出的接觸孔13。該接觸孔13為具有圓形下面的孔。圖1所示的接觸孔13的內(nèi)面呈正錐形狀地傾斜，該接觸孔13為上面?zhèn)?開口側(cè))的孔徑比下面?zhèn)鹊目讖酱蟮膱A錐臺形狀，但也可以形成為下面?zhèn)扰c上面?zhèn)鹊目讖较嗟鹊膱A柱形狀。另外，不言而喻，接觸孔的下面的形狀除了圓形之外，也可以采用橢圓形、矩形等形狀。在此，在藍色的子像素中形成的接觸孔13的體積(容積)被設定為大于在綠色和紅色的子像素中形成的接觸孔13的體積(容積)。接著，參照圖3(a) (c)詳細說明上述顯示面板100的結(jié)構。圖3 (a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構的俯視圖，圖3(b)是沿圖3(a)的A-A線剖開而得到的剖面，圖3 (c) 是沿圖3(a)的B-B線剖開而得到的剖面。在圖3中也沒有示出有機層9、發(fā)光層10和陰極層11。如圖3所示，在顯示面板100中，在縱向(Y方向)上呈線狀排列藍色用的陽極板 5a、空穴注入層6a而形成第1陽極板組，與該第1陽極板組相鄰地在縱向(Y方向)上呈線狀排列多個綠色用的陽極板5b、空穴注入層6b而形成第2陽極板組，與該第2陽極板組相鄰地在縱向(Y方向)上呈線狀排列多個紅色用的陽極板5c、空穴注入層6c。并且，沿著第1陽極板組的與第2陽極板組相反一側(cè)的邊緣而在縱向(Y方向)上形成有第1隔壁(隔壁8a)，沿著第1陽極板組和第2陽極板組的相互相鄰的邊緣而在縱向 (Y方向)上形成有第2隔壁(隔壁8b)，沿著第2陽極板組和第3陽極板組的相互相鄰的邊緣而在縱向(Y方向)上形成有第3隔壁(隔壁8c)，沿著第3陽極板組的與第2陽極板組相反一側(cè)的邊緣而在縱向(Y方向)上形成有第4隔壁(隔壁8a)。并且，沿著隔壁8a和隔壁8b之間而在第1陽極板組的上方形成有有機層9a，沿著隔壁8b和隔壁8c之間而在第2陽極板組的上方形成有有機層％，沿著隔壁8c和隔壁8a 之間而在第3陽極板組的上方形成有有機層9c。在有機層9a的上方形成有發(fā)出藍色光的發(fā)光層10，在有機層9b的上方形成有發(fā)出綠色光的發(fā)光層10，在有機層9c的上方形成有發(fā)出紅色光的發(fā)光層10。陽極板5在層間絕緣膜3上呈矩形狀地形成在與各子像素相當?shù)膮^(qū)域，其尺寸在任何子像素中均是相同的。形成該陽極板5的材料優(yōu)選是具有光反射性，除了 Ag(銀)之外，例如也可以使用 Al或Al合金、銀-鈀-銀的合金、銀-銣-金的合金、MoCr (鉬和鉻的合金),NiCr (鎳和鉻的合金)等?？昭ㄗ⑷雽?由鉬、鎢的氧化物在陽極板5上形成為與陽極板5同樣的形狀。如圖3 (b)、圖3 (c)所示，陽極板5、空穴注入層6沿著接觸孔13的內(nèi)面而凹入，陽極板5在接觸孔13的內(nèi)部與TFT的SD電極2電連接。
像素限制層7為氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、氮氧化硅(SiON)等的絕緣性無機膜。其厚度為IOnm 200nm左右。像素限制層7是在橫向(X方向)上延長的線狀的層，以覆蓋縱向(Y方向)上相鄰的有機EL元件的陽極板5、空穴注入層6彼此的間隙和接觸孔13的內(nèi)面的方式，在縱向 (Y方向)上以等節(jié)距且等寬度地配置?？昭ㄗ⑷雽?和像素限制層7也沿著陽極板5形成，因此在空穴注入層6和像素限制層7的上面沿著接觸孔13的內(nèi)面而形成有凹部15。并且，如上所述，接觸孔13的體積在藍色的子像素中被設定為較大，因此形成在藍色的子像素中的凹部15a的體積比形成在綠色和紅色的子像素中的凹部15b、15c的體積大。在圖3中，凹部1 的上面和下面均形成為大于凹部Mb、15c的上面和下面，但也可以使下面的尺寸(直徑)為同等程度(即，兩者直徑的差相對于直徑在5%左右)，使凹部15a的上面的尺寸(直徑)大于凹部15b、15c的上面的尺寸，從而使凹部15a的體積大于凹部15b、15c的體積。隔壁8 (8a 8d)由絕緣性的有機材料(例如丙烯酸類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛型苯酚樹脂等)形成，形成為至少表面具有撥水性。各隔壁8a、8b、8c為在縱向(Y方向) 上伸長的線狀的圖案，以通過相鄰的有機EL元件20a、20b、20c彼此之間的方式在橫向(X 方向)上等節(jié)距地形成。各隔壁8a、8b、8c的剖面形狀為梯形，隔壁寬度均勻。有機層9在由相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域以覆蓋空穴注入層6、像素限制層7的方式形成。另外，發(fā)光層10在由相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域形成在有機層9上。并且，各空穴注入層6、各像素限制層7、各有機層9和各發(fā)光層10部分地進入上述凹部15。有機層9是由相對于發(fā)光層10具有空穴注入效果的材料形成的空穴輸送層，作為材料的具體例，可以舉出4，4’_ 二 [N-(萘基)-N_苯基-氨基]聯(lián)苯(α-ΝΡΒ或α-NPD)、 Ν，Ν，- 二(3-甲基苯基)-(1，1，-聯(lián)苯)-4，4，- 二胺(TPD)等的三芳胺類化合物。陽極板5、空穴注入層6、有機層9使用3種顏色的有機EL元件20a、20b、20c所共用的材料，但發(fā)光層10在3種顏色的有機EL元件20a、20b、20c分別由發(fā)出藍色光、綠色光、 紅色光的發(fā)光材料形成。作為發(fā)光層10的材料，例如可以列舉出日本特開平5-163488號公報中所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、 熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、奠(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒雜環(huán)己二烯鐺化合物、碲雜環(huán)己二烯鐺化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、 蒽化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)等。陰極層11形成為一并覆蓋三種顏色的有機EL元件20a、20b、20c的發(fā)光層10。陰極層11由具有光透射性的材料、例如ITO、IZO(銦鋅氧化物)等形成。雖然未在圖中示出，但在陰極層11上設有封止層。該封止層例如由SiN (氮化硅)、 SiON(氮氧化硅)等光透射性的材料形成。在這樣的顯示面板100中，如上所述，隔壁8的節(jié)距(pitch)和隔壁寬度是均等的，像素限制層7的節(jié)距和寬度也是均等的，隔壁8和像素限制層7所包圍的子像素的尺寸是均等的。(顯示裝置的結(jié)構例)圖10是表示使用了上述顯示面板100的顯示裝置200的結(jié)構的圖。顯示裝置200具有顯示面板100和與其連接的驅(qū)動控制部120。驅(qū)動控制部120 具有4個驅(qū)動電路121 M和控制電路125。圖11是表示使用了顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一例的外觀形狀。(顯示面板100的制造方法)首先，對于顯示面板100的整體制造方法，參照圖4說明是其一例。說明制作TFT基板4的工序。準備基板1，將其載置于濺射成膜裝置的腔室內(nèi)。TFT層形成工序然后，向腔室內(nèi)導入預定的濺射氣體，基于反應性濺射法，形成包括TFT及布線、 SD電極2的TFT層(圖4的(a))層間絕緣膜形成工序在基板1上以約4 μ m的厚度形成層間絕緣膜3，以覆蓋上述TFT層(圖4的(b))。 此時，在層間絕緣膜3中，在SD電極2上形成接觸孔13?？梢孕抗母泄庑杂袡C材料 (例如硅氧烷共聚型感光性聚酰亞胺)，通過使用圖案掩模的光刻法進行圖案化，由此形成具有這種接觸孔13的層間絕緣膜3。在此，接觸孔13的開口形狀形成為按照形成于圖案掩模的開口形狀的形狀，因此通過調(diào)整圖案掩模的開口形狀，也能夠調(diào)整接觸孔13的開口形狀。另外，可以通過作為圖案掩模而使用半色調(diào)掩模，由此來調(diào)整接觸孔13的內(nèi)周面的傾斜。此外，通過在形成了同樣的層間絕緣膜之后以蝕刻來除去要形成接觸孔的部位的方法，也可以形成接觸孔13。S卩，在層間絕緣膜上重疊涂覆光致抗蝕劑，在其上重疊與要形成的接觸孔相匹配的圖案掩模。接著，將用于從圖案掩模上使光致抗蝕劑材料感光的預定波長的光照射在光致抗蝕劑上，之后以顯影液進行顯影，形成抗蝕劑圖案。之后，用水類或非水類蝕刻液(剝離劑)洗掉多余的層間絕緣膜材料和未固化的光致抗蝕劑，從而在層間絕緣膜形成接觸孔 13。之后，用純水洗凈光致抗蝕劑的殘渣而將其除去，從而完成圖案化。下面，說明在這樣制作出的TFT基板4上形成各顏色的有機EL元件的工序。陽極板制作工序 在層間絕緣膜3上通過濺射法將陽極板5用的金屬材料形成為例如50nm 400nm 的預定厚度的薄膜，通過濕法刻蝕進行圖案化，從而形成陽極板5。此時，陽極板5也形成在接觸孔13的內(nèi)面，因此陽極板5沿著接觸孔13的內(nèi)面凹入，也與SD電極2接觸而電連接 (圖4的(c))。在該工序中，在各陽極板fe 5c也形成有凹部15a 15c。
空穴注入層制作工序接著，在陽極板5上通過反應性濺射法使鉬、鎢等金屬材料成膜，通過光刻法和濕法刻蝕進行圖案化，從而形成空穴注入層6(圖4的(d))。像素限制層形成工序接著，通過CVD法使Si02、SiN或SiON成膜，通過干法刻蝕進行圖案化，從而形成像素限制層7(圖4的(e))?？昭ㄗ⑷雽?和像素限制層7也成為沿著陽極板5部分地凹入到凹部15a 15c 內(nèi)的形態(tài)。隔壁形成工序接著，作為隔壁材料例如將感光性的抗蝕劑材料或者含有氟類、丙烯類材料的抗
蝕劑材料涂覆在層間絕緣膜3上，通過光刻法進行圖案化，從而形成隔壁8a、8b、8c (圖4的 ⑴)。在該隔壁形成工序中，為了調(diào)節(jié)隔壁8相對于接著涂覆的墨水的接觸角、使表面具有撥水性，可以通過堿性溶液、水、有機溶劑等對隔壁8的表面進行表面處理或進行等離子體處理。有機層(空穴輸送層)制作工序接著以濕法方式形成有機層9 (圖4的(g))。S卩，按預定比例混合作為有機層材料的有機材料和溶劑來制作有機層用的墨水， 將該墨水涂覆在相鄰的隔壁8彼此之間。即，通過公知的噴墨方式，沿著作為第1隔壁的隔壁8a和作為第2隔壁的隔壁8b之間、作為第2隔壁的隔壁8b和作為第3隔壁的隔壁8c 之間、作為第3隔壁的隔壁8c和作為第4隔壁的隔壁8a之間而涂覆墨水。圖5是表示以濕法方式剛在基板上涂覆了有機層形成用的墨水之后的狀況的剖面示意圖。在該圖5中，各箭頭表示從噴嘴對于基板1排出墨水液滴的位置。對于各子像素的陽極板5和空穴注入層6之上，在相同位置滴下相同液滴數(shù)量的墨水。在圖5的例子中， 對于各子像素形成區(qū)域，在7處部位滴下墨水。所涂覆的墨水將空穴注入層6上整體地覆蓋，也進入到因接觸孔13而形成的凹部 15中。在此，從噴嘴排出的各墨水液滴的量是固定的，因此對于多個各子像素形成區(qū)域以同樣的形成方式進行涂覆。涂覆在各陽極板5上的墨水量也是同等的，其偏差在5%以內(nèi)。作為將形成有機層9的墨水填充在提之間的方法，除上述之外，也可以使用分配 (dispenser)法、噴嘴涂層法、旋涂法、凹版印刷、凸版印刷等方法，無論哪種方法，在各陽極板5和空穴注入層6上涂覆的墨水的量在所有顏色的子像素中是同等的。通過使這樣形成的墨水層干燥來形成有機層9。發(fā)光層形成工序在該有機層9上以濕法方式形成發(fā)光層10。該工序與上述有機層形成工序同樣地，將溶解有發(fā)光層形成用的材料的墨水涂覆在相鄰的隔壁8彼此之間并使其干燥，由此來進行形成，但使用的發(fā)光層材料根據(jù)發(fā)光顏色不同而不同。作為將形成有機層9的墨水填充在提之間的方法，除上述之外，也可以使用分配法、噴嘴涂層法、旋涂法、凹版印刷、凸版印刷等方法。
接著，在發(fā)光層10的表面上以真空蒸鍍法使ΙΤ0、ΙΖ0等材料成膜。由此形成陰極層11。進一步，在陰極層11的表面上以真空蒸鍍法使SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料成膜，從而形成封止層。通過以上的工序，形成所有的有機EL元件20a 20c，完成顯示面板100。(關于凹部15的體積和有機層9的膜厚)在顯示面板100中，形成在第1顏色即藍色用的陽極板如上的凹部15a的體積被設定為大于形成在第2顏色即綠色用的陽極板恥上的凹部15b的體積及形成在第3顏色即紅色用的陽極板5c上的凹部15c的體積，各有機層9的一部分進入到該凹部15a、15b、 15c。因凹部1 與凹部15b、15c的體積之差，藍色子像素的有機層9形成為膜厚(凹部以外的區(qū)域中的膜厚)小于綠色子像素的有機層9和紅色子像素的有機層9的膜厚。因此，在顯示面板100中，容易按子像素的顏色將有機層9的膜厚設定為與發(fā)光色的波長相匹配的適當值。以下對形成在陽極板5上的凹部15的體積和有機層9的膜厚的關系進行詳細的考察。在1個子像素中，將陽極板5上的墨水填充區(qū)域(在圖3的(a)中以標號5、6表示的區(qū)域)的面積設為S，將在1個子像素的陽極板5上填充的墨水(圖5中的斜線區(qū)域C) 的填充量設為V0。將有機層用的墨水的溶質(zhì)濃度設為N，將形成在陽極板5上的凹部15的體積設為Vl (將藍色子像素的凹部15a的體積設為Via、將綠色和紅色子像素的凹部15b、 15c的體積設為Vlb, Vlc)。若在陽極板5不存在凹部，則在陽極板5上填充的墨水層的高度為V0/S，干燥后形成的有機層9的膜厚估計為NV0/S，但在陽極板5上形成有凹部15(體積VI)，所填充的墨水的一部分會灌入到該凹部15 (在圖5中，如斜線區(qū)域D那樣墨水灌入凹部的整體內(nèi))， 因此對于填充在陽極板5上的凹部15以外的區(qū)域的墨水的體積，減去該灌入量Vl而變?yōu)?(VO-Vl)。因此，墨水層的高度(圖5中的H)變?yōu)閂0/S的(VO-Vl)/Vl倍，墨水干燥后的膜厚(圖5中的h)也變?yōu)镹V0/S的(VO-Vl)/VO倍。由此，有機層9的膜厚h變?yōu)镹(VO-Vl)/ S。在此，藍色的子像素中的灌入量Vla比綠色和紅色的子像素中的灌入量Vlb大，因此在藍色的子像素中形成在陽極板5的凹部15a以外的區(qū)域上的有機層9的膜厚將會比在綠色和紅色的子像素中形成在陽極板5的凹部15b、15c以外的區(qū)域上的有機層9的膜厚小 N(Vla-Vlb)/S。在此，各凹部15a、15b、15c的大小通過形成于層間絕緣膜3的接觸孔的大小來規(guī)定，可以如后所述那樣進行微調(diào)。因此，由于凹部的體積Vla、Vlb能夠以比墨水液滴1滴的體積小的單位進行調(diào)整，所以能夠?qū)Ω饔袡C層9的膜厚進行微調(diào)。作為與此相對的比較例，通過按子像素的顏色改變填充的墨水液滴的滴數(shù)的方法也能夠調(diào)整膜厚，但與該比較例相比，在本實施方式中，能夠使Vla與Vlb相差極小，因此能夠?qū)⑺{色的墨水厚度與綠色的墨水厚度之差取為極小的差(微差)。接著，加入具體的數(shù)值例進行考察。例如，在1個子像素中，將陽極板5上的墨水填充區(qū)域(圖3(a)的標號5、6所示的區(qū)域)的尺寸取為縱300μ m、橫70 μ m時，陽極板5上的墨水填充區(qū)域的面積S = 2. lXl(T8m2。另外，將有機層用的墨水的溶質(zhì)濃度N取為2Vol%，噴墨頭排出的每1滴的液滴量為30pL，在各子像素的陽極板5上各填充7滴時，填充在1個子像素的陽極板5上的墨水的填充量 VO = 2IOpL (2. lXl(T13m3)。當陽極板5沒有凹部時，則填充在陽極板5上的墨水層的高度H為VO/S= 10 μ m， 干燥后形成的有機層9的膜厚h為NVO/S = 0. 2 μ m，然而在此，在任一顏色的子像素中，均在陽極板5形成有圓柱狀的凹部15a 15c。并且，凹部15a 15c的高度取為固定的4 μ m， 對于直徑，在綠色和紅色子像素的凹部1恥、15c取為直徑30 μ m，在藍色子像素的凹部1 增加5μπι而取為直徑35μπι時，則在綠色和紅色子像素中，凹部體積Vlb = 2. 826pL，在藍色子像素中，凹部體積Via = 3. 847pL。因此，綠色和紅色子像素的有機層9的膜厚h為N(VO-Vlb)/S = 0. 1973 μ m，藍色子像素的有機層9的膜厚h為N(VO-Vla)/S = 0. 1963 μ m，其膜厚差為N(Vlb-Vla)/S = 0. OOlOym(Inm)。這樣，對于藍色子像素中的有機層9的膜厚，與綠色子像素和紅色子像素中的有機層9的膜厚相比，能夠以微小單位進行調(diào)整以使其變薄。另一方面，在比較例中，將在每一個子像素中填充的墨水液滴的滴數(shù)增減1滴時， 所形成的有機層的膜厚增減0. 0285 μ m,因此能夠以0. 0285 μ m為單位來調(diào)整膜厚。如上所述，根據(jù)本實施方式的顯示面板100的制作方法，通過比墨水液滴的體積更小地對形成于各色子像素的凹部15a、15b、15c的體積進行微調(diào)，由此能夠比較容易地微調(diào)各色子像素的有機層9的膜厚，因此容易按子像素的各顏色將有機層9的膜厚設定為與發(fā)光色的波長相匹配的合適值，從而有效取出光?！磳嵤┓绞?>圖6是示意表示實施方式2的顯示面板100的結(jié)構的俯視圖和剖視圖。在上述實施方式1中，將藍色子像素的凹部15a的體積Vla設定為大于綠色和紅色子像素的凹部15b、15c的體積Vlb，但在本實施方式中，通過在藍色的有機EL元件20a 中，在SD電極2上形成2個接觸孔13，從而在藍色子像素中使凹部15a的個數(shù)為2個。在綠色和紅色子像素中，凹部15b、15c的個數(shù)依然為1個。并且，將形成于藍色子像素的2個凹部15a的合計體積設定為大于形成于綠色子像素的凹部15b的體積、及形成于紅色子像素的凹部15c的體積。在這樣的實施方式2的顯示面板100中，由于與上述實施方式1中說明過的同樣的理由，也能夠?qū)τ袡C層9的膜厚進行微調(diào)。在要使各顏色的子像素中的接觸孔與SD電極的接觸電阻為固定的情況下，優(yōu)選將藍色子像素中的2個的凹部15a的下面(與SD電極2接觸的底面)的合計面積、綠色子像素中的1個的凹部15b的下面(與SD電極2接觸的底面)的面積、紅色子像素中的1個的凹部15c的下面(與SD電極2接觸的底面)的面積設定為相等。當將各凹部15a、15b、15c的形狀形成為上方的直徑比下方的直徑大的正錐狀時， 則能夠一邊使其下面的面積相等，一邊將2個凹部15a的合計體積設定為大于凹部15b的體積及凹部15c的體積。
針對這一點，以下具體地進行說明。圖7(a)是表示形成于藍色子像素的凹部15a的形狀的示意圖，圖7 (b)是表示形成于綠色子像素及紅色子像素的凹部15b、15c的形狀的示意圖。在該例子中，各凹部1 和凹部15b、15c的形狀是上方的孔徑比上方的孔徑大的正錐狀的圓錐臺形狀，各凹部的下面與SD電極2的上面相接。凹部1 的高度和凹部15b、 15c的高度與層間絕緣膜的厚度T相同，各凹部15a、15b、15c的內(nèi)面與SD電極2的上面所成的錐角α也是固定的。當將凹部1 的下面的直徑設為r、使2個凹部1 的下面面積的合計面積與凹部 15b (15c)的下面的面積相等時，則凹部15b(15c)的下面的直徑為r。并且，1個凹部15a的體積由算式1來表達。[ Γ + r Ttan α + — Τ 2tan 2 α }πΤ......算式 1
Α3.》另外，1個凹部15b的體積由算式2來表達。ι- γ +γ- r Ttan α +|τ 2tan 2 εφΓ ……算式2因此，從2個凹部15a的合計體積減去1個凹部15b的體積得到的體積差由算式
3來表達。
2 一 α r Ttana +|x2tan 2 α\πτ……算式3可知若錐角α為正數(shù)(正錐)，則算式3的值也為正數(shù)，2個凹部15a的合計體積大于凹部15b(15c)的體積。另外，可知將錐角α設定得越大，則算式1、算式2、算式3的值也越大，因此凹部 15a的體積、凹部15b的體積、以及從2個凹部15a的體積減去1個凹部15b的體積而得到的體積差也越大。由此，通過調(diào)整錐角α的設定，能夠調(diào)整上述體積差，因此也能夠微調(diào)藍色子像素中的有機層9的膜厚與綠色子像素及紅色子像素中的有機層9的膜厚的差。該錐角α通常為20 30°左右，但在錐角α為0時(各凹部為圓柱形狀時)， 算式3的值為0，2個凹部15a的合計體積與凹部15b (15c)的體積相同。在此，將形成于藍色子像素的接觸孔的個數(shù)取為2、將形成于綠色和紅色子像素的接觸孔的個數(shù)取為1，但也可以將形成于藍色子像素的接觸孔的個數(shù)取為3，將將形成于綠色和紅色子像素的接觸孔的個數(shù)取為1個或2個?！磳嵤┓绞?>在上述實施方式1、2中，在制造顯示面板100的工序中，通過使有機層9的一部分進入到沿著接觸孔13形成的陽極板5上的凹部15內(nèi)，從而調(diào)整有機層9的膜厚，但在本實施方式中，將陽極板5上的凹部15設在不存在接觸孔的部位。此時，如下所述，也能夠與實施方式1、2同樣地將藍色子像素中的有機層9的厚度微調(diào)成比綠色和紅色子像素的有機層9的厚度小。圖8是表示實施方式3的顯示面板100及其制造工序的示意剖視圖。
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在層間絕緣膜3的上面，在形成有陽極板5的區(qū)域中，形成有凹部23Q3a、2;3b)。 藍色子像素的凹部23a被設定為體積比綠色子像素和紅色子像素的凹部23b的體積大。并且，陽極板5沿著層間絕緣膜3的上面而形成，但陽極板5的一部分形成為沿著該凹部23 的內(nèi)面而凹入。并且，在沿著陽極板5形成的空穴注入層6和像素限制層7的上面，沿著凹部23 的內(nèi)面而形成凹部15，有機層9的一部分進入到凹部15中。凹部23a、2;3b不是接觸孔，因此在凹部23a、23b的下面不存在TFT的SD電極，陽極板5在未圖示的位置與TFT的SD電極連接。在本實施方式中，也是以覆蓋空穴注入層6、像素限制層7的方式涂覆墨水，并使其干燥而形成有機層9，但形成于藍色子像素的凹部15a的體積比形成于綠色和紅色子像素的凹部Mb、15c的體積大，且其體積差能夠微調(diào)，因此能夠使藍色子像素的有機層9的厚度比綠色和紅色子像素的有機層9的厚度薄。并且，能夠?qū)ζ浜穸冗M行微調(diào)。因此，容易按R、G、B各顏色將有機層9的膜厚控制成適于有效地使光射出的值。〈實施方式4>圖9是表示實施方式4的顯示面板100及其制造工序的示意剖視圖。(關于有機層的膜厚)在實施方式1 3中，在任一顏色的子像素中均在陽極板5上形成凹部15a、15b、 15c，使有機層9的一部分進入到這些凹部中，但在本實施方式中，在綠色和紅色的子像素中，在陽極板上不形成凹部15b、15c，而僅在藍色子像素中在陽極板如上形成凹部 15a0此時，在實施方式1中說明過的“有機層的膜厚”中，在綠色和紅色子像素沒有凹部，因此體積Vlb = 0，但同樣地對藍色子像素的凹部體積Vla進行微調(diào)，由此能夠?qū)⑺{色子像素的有機層9的厚度調(diào)整為比綠色和紅色子像素的有機層9的厚度小微小量。因此，能夠按子像素的各顏色將有機層9的膜厚控制為適于使光有效地射出的值。<變形例等>在上述實施方式1 4中，將藍色子像素中的有機層9的膜厚設定為比綠色子像素和紅色子像素中的有機層9的膜厚薄，將綠色子像素和紅色子像素中的有機層9的膜厚設定為相同，但也可以通過設定為與藍色子像素中形成于陽極板如的凹部15a的體積Vla 相比，按綠色子像素中形成于陽極板恥的凹部15b的體積Vlb、紅色子像素中形成于陽極板5c的凹部15的體積Vlc的順序使兩者的體積依次變小，從而設定為有機層9的膜厚按藍色子像素、綠色子像素、紅色子像素的順序而依次變大。在上述實施方式中，1個像素由3種顏色的子像素構成，但是在1個像素由2種顏色的子像素構成的情況下，也能夠同樣地通過僅在第1顏色的子像素的陽極板5形成凹部 15，或者通過在第1顏色的子像素和第2顏色的子像素這兩者的陽極板5形成凹部15來改變這兩者的凹部15的體積，從而使第1顏色用的有機層9的膜厚小于第2顏色用的有機層 9的膜厚，按子像素的各顏色而將有機層9的膜厚控制成適于有效地使各色光射出的值。在上述實施方式中，示出了在陽極板5的上方作為有機層而以濕法方式形成空穴輸送層的例子，但在作為有機層而以濕法方式形成空穴注入層、空穴注入兼輸送層的情況下，也能夠同樣地對該有機層的膜厚進行微調(diào)，能夠有效地使各發(fā)光顏色的光射出。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的制造方法適于作為便攜電話用、電視機等的顯示器而制造有機EL顯示面板，對于制作發(fā)光效率良好的顯示器是有效的。
權利要求
1.一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第 2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方； TFT層，其設置在所述第1電極板組和所述第2電極板組的下方； 層間絕緣膜，其設置在所述第1電極板組及所述第2電極板組與TFT層之間；以及多個接觸孔，其設置于所述層間絕緣膜，用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1 電極板及所述第2電極板組所包括的各第2電極板與所述TFT層連接的布線，所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，在所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板所設置的凹部沿著所述接觸孔而設置，在所述第1電極板組所包括的各第1電極板所形成的凹部的體積大于在所述第2電極板組所包括的各第2電極板所形成的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。
2.根據(jù)權利要求1所述的有機EL顯示面板，所述第1電極板組所包括的各第1電極板經(jīng)由所述接觸孔與所述TFT層所包括的SD 電極接觸的面積，等于所述第2電極板組所包括的各第2電極板經(jīng)由所述接觸孔與所述TFT 層所包括的SD電極接觸的面積，進入到設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所有凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的體積，大于進入到設置于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的所有凹部內(nèi)的所述第2有機功能層的體積。
3.一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，呈包括線狀的多個第2顏色用的第第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方， 所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部、和形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的形狀，為上面的直徑大于下面的直徑的圓錐臺形狀，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的上面的直徑，大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的上面的直徑，由此使形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。
4.根據(jù)權利要求3所述的有機EL顯示面板，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的下面的直徑，大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的下面的直徑。
5.根據(jù)權利要求3所述的有機EL顯示面板，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的下面的直徑，與形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的下面的直徑相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
6.一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第 2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方， 所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所述凹部被第1像素限制層所覆蓋，在所述第1像素限制層的上方形成有所述第1有機功能層，設置于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的所述凹部被第2像素限制層所覆蓋，在所述第2像素限制層的上方形成有所述第2有機功能層，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。 7. 一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第 2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；以及對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方， 所述第1電極板組所包括的各第1電極板和所述第2電極板組所包括的各第2電極板具有凹部，所述第1有機功能層以噴墨式涂覆方法通過預定體積的液滴來連續(xù)形成在所述第1電極板組的上方，所述第2有機功能層以噴墨式涂覆方法通過與所述預定體積相同的體積的液滴來連續(xù)形成在所述第2電極板組的上方，在以所述噴墨式涂覆方法將所述預定體積的液滴涂覆時，所述第1有機功能層的膜厚或所述第2有機功能層的膜厚形成為處于涂覆η滴所述液滴而形成的膜厚與涂覆η+1滴所述液滴而形成的膜厚之間的膜厚，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的量多于所述第2有機功能層的一部分進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚。
8.根據(jù)權利要求1 7中的任一項所述的有機EL顯示面板，設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所述凹部的數(shù)量多于設置于所述第 2電極板組所包括的各第2電極板的所述凹部的數(shù)量，進入到設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所有所述凹部內(nèi)的所述第1 有機功能層的體積，大于進入到設置于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的所有所述凹部內(nèi)的所述第2有機功能層的體積。
9.根據(jù)權利要求1 8中的任一項所述的有機EL顯示面板，所述第1有機功能層和所述第2有機功能層為電荷注入層或電荷輸送層。
10.根據(jù)權利要求1 8中的任一項所述的有機EL顯示面板， 所述第1有機功能層和所述第2有機功能層為有機發(fā)光層。
11.一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第 2電極板；第3電極板組，其與所述第2電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第3顏色用的第 3電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組和第3電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第4隔壁，其沿著所述第3電極板組的與所述第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；第3有機功能層，其沿著所述第3隔壁和所述第4隔壁之間而連續(xù)形成在所述第3陽極板組的上方；對置電極，其設置在所述第1有機功能層、所述第2有機功能層以及所述第3有機功能層的上方；TFT層，其設置在所述第1陽極板組、所述第2陽極板組以及所述第3陽極板組的下方；層間絕緣膜，其設置在所述第1陽極板組、所述第2陽極板組以及所述第3陽極板組與所述TFT層之間；以及多個接觸孔，其設置于所述層間絕緣膜，用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1 電極板、所述第2電極板組所包括的各第2電極板以及所述第3電極板組所包括的各第3 電極板與所述TFT層連接的布線，所述第1電極板組所包括的各第1電極板、所述第2電極板組所包括的各第2電極板以及所述第3電極板組所包括的各第3電極板具有凹部，所述凹部沿著所述接觸孔而設置， 形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積，大于形成于所述第2 電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積及形成于所述第3電極板組所包括的各第3 電極板的凹部的體積，所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積，與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積及所述第3電極板組所包括的各第3電極板的區(qū)域所對應的所述第3有機功能層的體積相同、或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，大于進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量、及進入到形成于所述第3電極板組所包括的各第3電極板的凹部內(nèi)的所述第3有機功能層的量，由此使所述第1電極板上的所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚，小于所述第2電極板上的所述凹部以外的區(qū)域中的所述第2有機功能層的膜厚、及所述第3 電極板上的所述凹部以外的區(qū)域中的所述第3有機功能層的膜厚。
12.根據(jù)權利要求1 9中的任一項所述的有機EL顯示面板， 所述第1顏色為藍色。
13.根據(jù)權利要求11所述的有機EL顯示面板， 所述第3有機功能層為電荷注入層或電荷輸送層。
14.根據(jù)權利要求11所述的有機EL顯示面板， 所述第3有機功能層是有機發(fā)光層。
15.根據(jù)權利要求1 14中的任一項所述的有機EL顯示面板， 所述電極板是陽極，所述對置電極是陰極。
16.根據(jù)權利要求1 14中的任一項所述的有機EL顯示面板， 所述電極板是陰極，所述對置電極是陽極。
17.—種顯示裝置，其具備權利要求1 14中的任一項所述的有機EL顯示面板。
18.一種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第4工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁；第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極， 所述第1工序包括在各所述第1電極板形成凹部的工序， 所述第2工序包括在各所述第2電極板形成凹部的工序，在所述第1工序之前包括準備基板的工序、在所述基板上形成TFT層的工序、以及在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序中，在所述層間絕緣膜設置多個接觸孔，所述多個接觸孔用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1電極板及所述第2電極板組所包括的各第2電極板與所述TFT層連接的布線，對于在所述第1工序中形成的各第1電極板和在所述第2工序中形成的各第2電極板， 其一部分沿著所述接觸孔的內(nèi)面而設置，由此在各第1電極板和各第2電極板形成凹部，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，使所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積與所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，進入到形成于所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，多于進入到形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。 19. 一種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第4工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁； 第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極， 所述第1工序包括在所述各第1電極板形成凹部的工序， 所述第2工序包括在所述各第2電極板形成凹部的工序，形成于所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的凹部、和形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部的形狀為上面的直徑比下面的直徑大的圓錐臺形狀，形成于所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部的上面的直徑大于形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部的上面的直徑，由此使形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，使所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積與所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，進入到形成于所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，多于進入到形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。
20.根據(jù)權利要求19所述的有機EL顯示面板的制造方法，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的下面的直徑，大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的下面的直徑。
21.根據(jù)權利要求19所述的有機EL顯示面板的制造方法，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的下面的直徑，與形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的下面的直徑相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)。
22.—種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第4工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁； 第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極， 所述第1工序包括在各所述第1電極板形成凹部的工序， 所述第2工序包括在各所述第2電極板形成凹部的工序，在所述第1工序之后，設置形成第1像素限制層的工序，以使覆蓋形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所述凹部，在所述第2工序之后，設置形成第2像素限制層的工序，以使覆蓋形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的所述凹部，在所述第6工序中，在所述第1像素限制層的上方形成所述第1有機功能層， 在所述第7工序中，在所述第2像素限制層的上方形成所述第2有機功能層， 形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積，使所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積與所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，進入到形成于所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，多于進入到形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。 23. 一種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第4工序，沿著所述第1電極板組和所述第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁；第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁； 第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極， 所述第1工序包括在各所述第1電極板形成凹部的工序， 所述第2工序包括在各所述第2電極板形成凹部的工序，在所述第6工序中，所述第1有機功能層以噴墨式涂覆方法通過預定體積的液滴而連續(xù)形成在所述第1電極板組的上方，在所述第7工序中，所述第2有機功能層以噴墨式涂覆方法通過與所述預定體積相同的體積的液滴而連續(xù)形成在所述第2電極板組的上方，使所述第1電極板組所包括的各第1陽極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積與所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積相同、或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，在以所述噴墨式涂覆方法涂覆所述預定體積的液滴時，所述第1有機功能層的膜厚或所述第2有機功能層的膜厚形成為處于涂覆η滴所述液滴而形成的膜厚與涂覆η+1滴所述液滴而形成的膜厚之間的膜厚，形成在所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部的體積大于形成在所述第2 電極板組所包括的各第2電極板上的凹部的體積，進入到形成于所述第1陽極板組所包括的各第1陽極板的凹部內(nèi)的所述第1有機功能層的量，多于進入到形成于所述第2陽極板組所包括的各第2陽極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。
24.根據(jù)權利要求18所述的有機EL顯示面板的制造方法，在所述第1工序中形成于第1電極板組所包括的各第1電極板的所述凹部的數(shù)量，多于在所述第2工序中形成于第2電極板組所包括的各第2電極板的所述凹部的數(shù)量，進入到設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所有所述凹部內(nèi)的所述第1 有機功能層的體積，大于進入到設置于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的所有所述凹部內(nèi)的所述第2有機功能層的體積。
25.根據(jù)權利要求18 M中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述第1有機功能層和所述第2有機功能層為電荷注入層或電荷輸送層。
26.根據(jù)權利要求18 M中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述第1有機功能層和所述第2有機功能層為有機發(fā)光層。
27.根據(jù)權利要求18 M中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述電極板為陽極，所述對置電極為陰極。
28.根據(jù)權利要求18 M中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述電極板為陰極，所述對置電極為陽極。
29.一種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，與所述第2電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第3顏色用的第3電極板的第3電極板組；第4工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第5工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第6工序，沿著所述第2電極板組和第3電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第7工序，沿著所述第3電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第4隔壁； 第8工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第9工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2陽極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；第10工序，沿著所述第3隔壁和所述第4隔壁之間而在所述第3陽極板組的上方連續(xù)地形成第3有機功能層；以及第11工序，在所述第1有機功能層、所述第2有機功能層以及所述第3有機功能層的上方形成對置電極，在所述第1工序中形成的各第1電極板、在所述第2工序中形成的各第2電極板以及在所述第3工序中形成的各第3電極板具有凹部，所述第1工序包括在所述各第1電極板形成凹部的工序， 所述第2工序包括在所述各第2電極板形成凹部的工序， 所述第3工序包括在所述各第3電極板形成凹部的工序，在所述第1工序之前包括準備基板的工序、在所述基板上形成TFT層的工序、以及在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序中，在所述層間絕緣膜設置多個接觸孔，所述多個接觸孔用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1電極板、所述第2電極板組所包括的各第2電極板以及所述第3電極板組所包括的各第3電極板與TFT層連接的布線，對于在所述第1工序中形成的各第1電極板、在所述第2工序中形成的各第2電極板以及在所述第3工序中形成的各第3電極板，其一部分沿著所述接觸孔的內(nèi)面而設置，由此在各第1電極板、各第2電極板以及各第3電極板形成凹部，形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部的體積，形成為大于形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部的體積、及形成于所述第3電極板組所包括的各第3電極板的凹部的體積，將所述第1電極板組所包括的各第1電極板的區(qū)域所對應的所述第1有機功能層的體積形成為與所述第2電極板組所包括的各第2電極板的區(qū)域所對應的所述第2有機功能層的體積及所述第3電極板組所包括的各第3電極板的區(qū)域所對應的所述第3有機功能層的體積相同、或者處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，使進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部中的所述第1有機功能層的量多于進入到形成于所述第2電極板組所包括的各第2電極板的凹部內(nèi)的所述第2 有機功能層的量、及進入到形成于所述第3電極板組所包括的各第3電極板的凹部內(nèi)的所述第3有機功能層的量，由此在所述凹部以外的所述第1電極板上的區(qū)域中，使所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述凹部以外的所述第2電極板上的區(qū)域的所述第2有機功能層及所述第3電極板上的區(qū)域的所述第3有機功能層的膜厚。
30.根據(jù)權利要求18 四中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述第1顏色為藍色。
31.根據(jù)權利要求18 四中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述第1有機功能層、所述第2有機功能層以及所述第3有機功能層為電荷注入層或電荷輸送層。
32.根據(jù)權利要求18 四中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述第1有機功能層、所述第2有機功能層以及所述第3有機功能層為有機發(fā)光層。
33.根據(jù)權利要求18 四中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述電極板為陽極，所述對置電極為陰極。
34.根據(jù)權利要求18 四中的任一項所述的有機EL顯示面板的制造方法， 所述電極板為陰極，所述對置電極為陽極。
35.一種有機EL顯示面板，具備第1電極板組，其包括呈線狀的多個第1顏色用的第1電極板； 第2電極板組，其與所述第1電極板組相鄰地形成，包括呈線狀的多個第2顏色用的第 2電極板；第1隔壁，其沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第2隔壁，其沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成； 第3隔壁，其沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成； 第1有機功能層，其沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而形成在所述第1電極板組的上方；第2有機功能層，其沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而形成在所述第2電極板組的上方；對置電極，其設置在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方； TFT層，其設置在所述第1電極板組的下方； 層間絕緣膜，其設置在所述第1電極板組與所述TFT層之間；以及接觸孔，其設置于所述層間絕緣膜，用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1電極板與所述TFT層連接的布線，所述第1電極板組所包括的各第1電極板具有凹部，設置于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的所述凹部沿著所述接觸孔而設置， 所述各第1電極板上的所述第1有機功能層的體積與各所述第2電極板上的所述第2 有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板上的凹部內(nèi)，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚小于所述各第2 電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。
36. 一種有機EL顯示面板的制造方法，包括第1工序，形成呈線狀排列多個第1顏色用的第1電極板的第1電極板組； 第2工序，與所述第1電極板組相鄰地形成呈線狀排列多個第2顏色用的第2電極板的第2電極板組；第3工序，沿著所述第1電極板組的與第2電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第1隔壁； 第4工序，沿著所述第1電極板組和第2電極板組的相互相鄰的邊緣而形成第2隔壁； 第5工序，沿著所述第2電極板組的與第1電極板組相反一側(cè)的邊緣而形成第3隔壁； 第6工序，沿著所述第1隔壁和所述第2隔壁之間而在所述第1電極板組的上方連續(xù)地形成第1有機功能層；第7工序，沿著所述第2隔壁和所述第3隔壁之間而在所述第2電極板組的上方連續(xù)地形成第2有機功能層；以及第8工序，在所述第1有機功能層和所述第2有機功能層的上方形成對置電極， 所述第1工序包括在各所述第1電極板形成凹部的工序，在所述第1工序之前包括準備基板的工序、在所述基板上形成TFT層的工序、以及在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜的工序中，在所述層間絕緣膜設置多個接觸孔，所述多個接觸孔用于配置將所述第1電極板組所包括的各第1電極板與所述TFT層連接的布線，在所述第1工序中形成的各第1電極板的一部分沿著所述接觸孔的內(nèi)面而設置，由此在各第1電極板形成凹部，在所述第6工序中形成的所述第1有機功能層的體積與在所述第7工序中形成的所述第2有機功能層的體積相同或處于相同的鄰近值的范圍內(nèi)，所述第1有機功能層的一部分進入到形成于所述第1電極板組所包括的各第1電極板的凹部內(nèi)，由此使所述凹部以外的區(qū)域中的所述第1有機功能層的膜厚形成為小于所述各第2電極板上的所述第2有機功能層的膜厚。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機EL顯示面板及其制造方法，在有機EL顯示面板中，在各色子像素的陽極板(5)形成凹部(15a、15b、15c)，使形成在藍色用的陽極板組所具有的各陽極板(5a)上的凹部(15a)的體積大于形成在綠色和紅色用的陽極板組所具有的各陽極板(5b、5c)上的凹部(15b、15c)的體積，使進入到凹部(15a)的有機層(9)的量大于進入到凹部(15b、15c)的有機層(9)的量。由此，將藍色子像素的凹部(15a)以外的區(qū)域中的有機層(9)的膜厚形成為小于綠色和紅色子像素的凹部(15b、15c)以外的區(qū)域中的有機層(9)的膜厚。根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示面板，能夠一邊以濕法方式形成有機層，一邊容易地按各發(fā)光顏色而微調(diào)有機層的膜厚，獲得優(yōu)異的發(fā)光效率。
文檔編號H05B33/26GK102405687SQ20108000302
公開日2012年4月4日 申請日期2010年7月5日 優(yōu)先權日2010年7月5日
發(fā)明者小野晉也, 近藤哲郎 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社