專利名稱：基板搬運處理系統(tǒng)及基板搬運處理方法、以及部件安裝裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及相對于對基板進行規(guī)定的作業(yè)處理的多個作業(yè)裝置進行基板的搬運的基板搬運處理系統(tǒng)及方法，例如涉及在其端部(緣部)具有部件安裝區(qū)域的基板、特別是以液晶面板、等離子顯示面板及有機EL面板等為代表的顯示面板的部件安裝區(qū)域安裝部件的部件安裝裝置及方法。
背景技術(shù)：
目前，通過在液晶顯示器(LCD)面板及等離子顯示面板(PDP)等基板(下面稱為“面板基板”)上安裝電子部件、機械部件、光學(xué)部件等部件、撓性印刷配線基板(FPC基板)等基板、或者 COG (Chip On Glass)、IC 芯片、C0F(Chip On Film)、TCP (Tape Carrier Package)等半導(dǎo)體封裝部件等，來進行顯示器裝置的制作。相對于這種面板基板(例如，液晶顯示器基板)1的現(xiàn)有的部件安裝線的構(gòu)成如圖 14所示。如圖14所示，部件安裝線500具備ACF貼附裝置510，其進行對形成于面板基板 1的兩邊的緣部(端部)的各端子部(部件安裝區(qū)域)2貼附各向異性導(dǎo)電膜(ACF)片3的 ACF貼附工序；部件預(yù)壓接裝置520，其進行在各端子部2中經(jīng)由ACF片對準(zhǔn)并預(yù)壓接TCP 等部件4的部件預(yù)壓接工序；長邊側(cè)實壓接裝置530，其進行對預(yù)壓接在長邊側(cè)的端子部2 上的部件4加壓同時加熱，并經(jīng)由ACF片3實壓接接合的長邊側(cè)實壓接工序；短邊側(cè)實壓接裝置M0，其進行對預(yù)壓接在短邊側(cè)的端子部2上的部件4實壓接接合的短邊側(cè)實壓接工序；及基板搬運裝置陽0，其從其下面?zhèn)韧ㄟ^搬運臂551保持面板基板1，并在各裝置中可作業(yè)地依次搬運。在這種構(gòu)成的現(xiàn)有的部件安裝線500中，通過基板搬運裝置550沿面板基板搬運方向D依次搬運面板基板1，且同時在各裝置中實施規(guī)定的工序，由此進行部件4相對于面板基板1的各端子部2的安裝(例如，參照專利文獻1)。更具體而言，在進行各工序的各自的裝置中，具備載置面板基板1并保持其載置位置的面板臺512、522、532542。另外，通過基板搬運裝置550具有的各搬運臂551進行鄰接的面板臺間的面板基板1的交接。另外，在部件安裝線500中，各裝置510、520、530及 540按照該順序排成一列，形成依次搬運面板基板1的一條持續(xù)的搬運線。在部件安裝線 500中，在沿該搬運線的一端部側(cè)El配置有在各裝置510等中對面板基板1進行規(guī)定的作業(yè)處理(例如ACF貼附工序等)的頭等裝置構(gòu)成構(gòu)件，在另一端部側(cè)E2配置有基板搬運裝置 550。接著，其它的現(xiàn)有的部件安裝線600的構(gòu)成如圖15所示。如圖15所示，部件安裝線600具備ACF貼附裝置610、部件預(yù)壓接裝置620、長邊側(cè)實壓接裝置630及短邊側(cè)實壓接裝置640，在形成有對面板基板1依次進行規(guī)定的作業(yè)處理的搬運線的構(gòu)成中，具有與圖 14所示的部件安裝線500相同的構(gòu)成，但基板搬運裝置的構(gòu)成不同。具體而言，在各裝置 610,620,630及640具備的面板臺612、622、632及642之間，具備將面板從一方的面板臺滑動搬運至另一方的面板臺的滑動搬運裝置650。各滑動搬運裝置650將從一方的面板臺收取的面板基板1保持在其兩端且同時進行搬運，并將面板基板1搬運至另一方的面板臺。專利文獻1 特開2001-228452號公報近年來，顯示器的大型化較為顯著，并趨于對30英寸以上的尺寸、例如40英寸、50 英寸級或者60英寸級的顯示器進行處理。因此，在這種部件安裝線中，需要應(yīng)對相對于大型化的面板 基板的部件安裝。在圖14的部件安裝線500中，在產(chǎn)生了面板基板1的搬運錯誤或搬運故障等情況下，操作人員會從端部E2側(cè)進入，通過手工作業(yè)拆除面板基板1，并進行確定問題部位等作業(yè)。但是，由于在端部E2配置有基板搬運裝置550，因此，不能說在手工作業(yè)中拆除面板基板1時的作業(yè)性良好。另外，由于面板基板1是大型的，因此，這種作業(yè)性會進一步降低。另外，在圖15的部件安裝線600中，由于在各裝置610、620、630及640之間設(shè)置有滑動搬運裝置650，因此，部件安裝線600的總長度大型化。特別是在處理大型的面板基板1的情況下，滑動搬運裝置650自身的尺寸也大型化，從而搬運面板基板1的搬運方向的部件安裝線600的大型化變得更加顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種基板搬運處理系統(tǒng)及基板搬運處理方法、以及使用這種基板搬運的部件安裝裝置及方法，其在相對于對基板進行規(guī)定的作業(yè)處理的多個作業(yè)裝置進行基板的搬運的基板搬運中，即使在處理大型化的基板的情況下，也能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性，并且能夠使裝置的總長度小型化。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明如下構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明第一方面，提供一種基板搬運處理系統(tǒng)，具備第一及第二作業(yè)裝置，其彼此鄰接配置，且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺和對保持于基板臺的基板進行處理的作業(yè)處理單元；基板移載裝置，其具有臂部；支承軸，其固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元，其支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，其以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，從而使保持單元回旋移動；姿勢保持機構(gòu)，其使回旋移動的保持單元在水平方向上保持為一定姿勢，基板移載裝置的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置在第一作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第一移載位置和第二作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第二移載位置之間進行保持單元的回旋移動，并從第一作業(yè)裝置的基板臺向第二作業(yè)裝置的基板臺在水平方向上保持為一定姿勢且同時搬運基板。根據(jù)本發(fā)明第二方面，提供第一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，在第一及第二作業(yè)裝置中，各作業(yè)處理單元按照彼此鄰接的方式配置于沿基板的搬運方向的一端部區(qū)域，在各作業(yè)處理單元之間配置有基板移載裝置的支承軸。根據(jù)本發(fā)明第三方面，提供第一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，各基板臺具備基板載置部，其能夠解除地吸附保持基板的下表面；
升降裝置，其使基板載置部升降；水平方向移動裝置，其使基板載置部在水平方向上移動，水平方向移動裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置，升降裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置中的移載高度。根據(jù)本發(fā)明第四方面，提供第一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的姿勢保持機構(gòu)是具備第一聯(lián)桿和第二聯(lián)桿的平行聯(lián)桿機構(gòu)，所述第一聯(lián)桿是臂部，所述第二聯(lián)桿與該第一聯(lián)桿平行配置且通過臂部的回旋動作在保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系的狀態(tài)下回旋。根據(jù)本發(fā)明第五方面，提供第一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的保持單元具備多個吸附保持構(gòu)件，其吸附保持基板的上表面；多個落下防止用卡合構(gòu)件，其能夠在保持基板的端部的卡合位置和解除保持的卡合解除位置之間動作；卡合構(gòu)件動作裝置，其至少在基板移載裝置的基板的移載動作異常時使落下防止用卡合構(gòu)件從卡合解除位置動作至卡合位置。根據(jù)本發(fā)明第六方面，提供第一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，在基板移載裝置中，還具備能夠與位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的狀態(tài)的基板的水平方向的姿勢對應(yīng)而對保持單元的水平方向的姿勢進行調(diào)整的調(diào)整機構(gòu)，被調(diào)整機構(gòu)對應(yīng)于位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板的水平方向的姿勢而調(diào)整了其水平方向的姿勢的保持單元進行回旋移動，由此，在從第一移載位置向第二移載位置保持了水平方向的姿勢的狀態(tài)下，進行基板的移載。根據(jù)本發(fā)明第七方面，提供一種部件安裝裝置，在第一 第六方面中任一方面所述的基板搬運處理系統(tǒng)中，各作業(yè)裝置通過作業(yè)處理單元對配置于基板的端部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，通過利用基板移載裝置從第一作業(yè)裝置向第二作業(yè)裝置移載基板，而對基板的部件安裝區(qū)域依次進行用于部件安裝的作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明第八方面，提供一種基板搬運處理方法，在彼此鄰接配置且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺和對保持于基板臺的基板進行處理的作業(yè)處理單元的第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間進行基板的搬運，使用具有臂部、支承軸和保持單元的基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第一移載位置，通過保持單元吸附保持被吸附保持于基板臺上的基板的上表面， 并且解除基于基板臺的吸附保持并將基板從基板臺向保持單元交接，所述支承軸固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，所述保持單元支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面，通過以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而在第二作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第二移載位置，在保持了水平方向的基板的姿勢的狀態(tài)下，使保持單元回旋移動，在第二移載位置，由基板臺吸附保持基板，并且解除基于保持單元的吸附保持并將基板從保持單元向基板臺交接，進行基板的搬運。
也可以是，通過在基板移載裝置的移載高度位置進行基板從第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板臺向保持單元的交接，使臂部回旋，由此，在維持該移載高度位置的狀態(tài)下回旋移動保持單元，在基板移載裝置的移載高度位置進行基板從第二作業(yè)裝置的第二移載位置的保持單元向基板臺的交接。根據(jù)本發(fā)明第 九方面，提供第八方面所述的基板搬運處理方法，其中，通過臂部的回旋使保持單元位于移載位置后，在移載位置使基板臺上升而位于移載高度位置，在該狀態(tài)下，進行在第一移載位置及第二移載位置的基板臺和保持單元之間的基板的交接。根據(jù)本發(fā)明第十方面，提供一種使用了第八或第九方面所述的基板搬運處理方法的部件安裝方法，作為基板，使用在短邊側(cè)端子部及長邊側(cè)端子部具有部件安裝區(qū)域的長方形形狀的顯示面板，在第一作業(yè)裝置中，在進行了作業(yè)處理單元和基板的長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對位后，由作業(yè)處理單元對長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，使基板臺旋轉(zhuǎn)移動，進行作業(yè)處理單元和基板的短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對位，之后，通過作業(yè)處理單元對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，在保持對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行作業(yè)處理的水平方向的姿勢的狀態(tài)下，進行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運，之后，在第二作業(yè)裝置中，在對長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理之前，通過作業(yè)處理單元對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明，通過以配置于第一及第二作業(yè)裝置之間的支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而使保持單元回旋移動，能夠使吸附保持有從位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的第一作業(yè)裝置的基板臺交接的基板的上表面的保持單元向第二作業(yè)裝置的第二移載位置移動，從而使基板移載至第二作業(yè)裝置的基板臺上。即，通過以臂部的一端為旋轉(zhuǎn)中心回旋，能夠使支承于臂部的另一端的保持單元回旋移動，從而進行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運。因此，能夠使基板移載裝置的構(gòu)成變得簡單，并能夠使基板移載裝置的設(shè)置空間成為較小的空間。因此，即使在搬運作為基板的例如以大型的顯示面板為代表的大型基板的情況下，也能夠確保用于搬運中的維修的空間，能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性。另外，對于這種基板移載裝置而言，由于其支承軸設(shè)置于作業(yè)裝置間，因此，能夠使其設(shè)置空間減小。因此，能夠減小作業(yè)裝置間的距離，能夠使采用這種基板搬運處理系統(tǒng)的部件安裝裝置的裝置長度小型化。本發(fā)明的這些方式和特征，通過結(jié)合附圖的優(yōu)選實施方式的如下敘述予以明示。


圖IA是在本發(fā)明一實施方式的部件安裝線中實施ACF貼附工序之前的狀態(tài)的面板基板的 示意圖；圖IB是在本實施方式的部件安裝線中實施ACF貼附工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖IC是在本實施方式的部件安裝線中實施部件預(yù)壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖ID是在本實施方式的部件安裝線中實施長邊側(cè)實壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖IE是在本實施方式的部件安裝線中實施短邊側(cè)實壓接工序之后的狀態(tài)的面板基板的示意圖；圖2是本實施方式的部件安裝線的示意圖；圖3是圖2的部件安裝線具備的基板移載裝置的示意圖；圖4是圖3的基板移載裝置的回旋動作(回旋軌跡)的示意圖；圖5是圖2的基板移載裝置具備的落下防止用保持爪的動作狀態(tài)的示意圖；圖6A是部件預(yù)壓接裝置及長邊側(cè)實壓接裝置的示意俯視圖；圖6B是部件預(yù)壓接裝置及長邊側(cè)實壓接裝置的示意主視圖；圖7A是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意俯視圖；圖7B是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意主視圖；圖8A是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意俯視圖；圖8B是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意主視圖；圖9A是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意俯視圖；圖9B是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意主視圖；圖IOA是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意俯視圖；圖IOB是說明在部件預(yù)壓接裝置和長邊側(cè)實壓接裝置之間搬運面板基板的順序的示意主視圖；圖11是本實施方式的變形例的基板移載裝置的示意圖；圖12A是由圖11的基板移載裝置保持面板基板的狀態(tài)的示意圖；圖12B是由圖11的基板移載裝置保持面板基板(切換90度)的狀態(tài)的示意圖；圖13是使用了圖11的變形例的基板移載裝置的部件安裝方法的示意說明圖；圖14是現(xiàn)有的部件安裝線的示意圖；圖15是現(xiàn)有的其它的部件安裝線的示意圖。
具體實施方式
在繼續(xù)本發(fā)明的記述之前，在附圖中對相同的部件標(biāo)注相同的參照符號。下面，基于附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細的說明。在對本發(fā)明的一實施方式的基板搬運處理系統(tǒng)及基板搬運處理的方法、以及部件安裝裝置及部件安裝方法進行說明時，首先，利用圖1A、圖1B、圖1C、圖ID及圖IE對在這些部件安裝裝置及方法等中處理的面板基板1的方式和對該面板基板1實施的安裝處理的概要進行說明。首先，如圖IA所示，在本實施方式中處理的基板是以液晶顯示器(LCD)面板基板及等離子顯示面板(PDP)基板等為代表的基板(以下稱為“面板基板”)1，在方形狀的彼此鄰接的兩邊的緣部(端部)具有配置安裝部件的部件安裝區(qū)域Rl的端子部2。另外，這種面板基板1通常具有長方形形狀，各端子部2作為長邊側(cè)端子部(圖IA中圖示里側(cè)的端子部)2A和短邊側(cè)端子部(圖IA中圖示面前側(cè)的端子部)2B形成。另外，在各端子部2形成有多個端子電極加，在這些端子電極加上安裝各部件并進行電連接。另外，面板基板1的緣部內(nèi)側(cè)的區(qū)域為顯示圖像或文字信息等映像的顯示區(qū)域。另外，面板基板1主要由玻璃材料形成，按照其厚度成為例如0. 5mm以下的方式實現(xiàn)薄型化。另外，在本實施方式中處理的面板基板1為特別大型化的面板基板，例如為用于30英寸以上的尺寸、例如40英寸、50 英寸級或者60英寸級的顯示器那樣的面板基板。對于這種構(gòu)造的面板基板1，在本實施方式的部件安裝方法中，實施以下各工序， 即，在ACF貼附工序中，對各端子部2的端子電極加貼附ACF片3作為接合構(gòu)件(參照圖 IA及圖1B)，之后，在部件預(yù)壓接工序中，經(jīng)由ACF3，作為部件例如將TCP4相對于端子電極加進行對準(zhǔn)(進行對位)并進行預(yù)壓接(參照圖IB及圖1C)，進而，之后，在長邊側(cè)部件實壓接工序中，在長邊側(cè)端子部2A按壓預(yù)壓接的狀態(tài)的TCP4，將TCP4安裝于長邊側(cè)端子部 2A(參照圖1C)，然后，在短邊側(cè)部件實壓接工序中，在短邊側(cè)端子部2B按壓預(yù)壓接的狀態(tài)的TCP4，將TCP4安裝于短邊側(cè)端子部2B (參照圖1D)，由此，如圖IE所示，在面板基板1上安裝TCP4。另外，這種工序例如被稱作外引線接合工序。接著，表示進行這種部件安裝方法(即，外引線接合工序)的部件安裝裝置的一個例子即部件安裝線100的構(gòu)成的示意立體圖如圖2所示。如圖2所示，部件安裝線100具備對面板基板1進行ACF貼附工序的ACF貼附裝置20、對貼附有ACF片3的狀態(tài)的面板基板1進行TCP4等部件的部件預(yù)壓接工序的部件預(yù)壓接裝置30、進行對預(yù)壓接在面板基板1的長邊側(cè)端子部2A上的TCP4實壓接并安裝的長邊側(cè)實壓接工序的長邊側(cè)實壓接裝置40、進行對預(yù)壓接在面板基板1的短邊側(cè)端子部2B上的TCP4實壓接并安裝的短邊側(cè)實壓接工序的短邊側(cè)實壓接裝置50。另外，在各裝置20、30、 40及50之間，進行面板基板1的交接(移載)的基板移載裝置60設(shè)置于它們各自之間。 另外，在如圖2所示的部件安裝線100中，使長邊側(cè)實壓接裝置40和短邊側(cè)實壓接裝置50 為不同的裝置，但在部件安裝線中，也可以根據(jù)要求的節(jié)奏，在一臺實壓接裝置中切換面板基板的長邊側(cè)和短邊側(cè)而進行實壓接工序。另外，本實施方式的各裝置20、30、40及50為作業(yè)裝置(第一作業(yè)裝置及第二作業(yè)裝置)的一個例子，作為作業(yè)處理，對面板基板1進行上述的各工序。另外，在部件安裝線100中，以從ACF貼附裝置20朝向短邊側(cè)實壓接裝置 50的方式形成有面板基板1的搬運線(搬運方向)。ACF貼附裝置20具有將通過帶供給部向帶回收部送出的帶狀的ACF片3切斷成規(guī)定的長度并貼附于面板基板1的端子部2的壓接單元21 ；載置搬入ACF貼附裝置20的面板基板1，并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部23，且具備對載置于基板載置部23的面板基板1的端子部2和壓接單元21進行定位的面板臺(基板臺)22。 另外，面板臺22具有具有使載置的面板基板1向圖示X軸方向或者Y軸方向移動的功能 (XY移動功能)和使面板基板1在包含X軸方向及Y軸方向的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的功能(θ旋轉(zhuǎn)功能)的XY θ移動裝置24 ；具有使面板基板1在Z軸方向升降的功能(升降功能)的升降裝置25，通過這種功能能夠使面板基板1的長邊側(cè)端子部2Α及短邊側(cè)端子部2Β與壓接單元21進行對位。另外，在圖2中，X軸方向和Y軸方向成為沿面板基板1的大致表面的方向，面板基板1的搬運方向D為X軸方向，與X軸方向正交的方向為Y軸方向，圖示垂直方向為Z軸方向。 部件預(yù)壓接裝置30具備供給收容于盒內(nèi)的狀態(tài)的多個TCP4的TCP供給盒部31 ； 將從TCP供給盒部31供給的TCP4經(jīng)由ACF片3與各端子電極2a對準(zhǔn)并進行預(yù)壓接的預(yù)壓接頭32 ；載置面板基板1，并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部33 ； 對載置于基板載置部33的面板基板1的端子部2和預(yù)壓接頭32進行定位的面板臺34。另夕卜，面板臺34具備具有XY移動功能及θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動裝置35和具有升降功能的升降裝置36。長邊側(cè)實壓接裝置40具備多個熱壓接單元41，其具備安裝頭的一個例子即熱壓接頭和在進行實壓接動作時將面板基板1的端子部2從其下面?zhèn)戎С械闹С泄ぞ?，所述熱壓接頭通過對經(jīng)由ACF片3預(yù)壓接在面板基板1的長邊側(cè)端子部2Α上的狀態(tài)的TCP4進行按壓且同時加熱，而經(jīng)由ACF片3將TCP4實壓接即熱壓接(安裝)于各端子電極2a;面板臺42，其進行各熱壓接單元41和面板基板1的長邊側(cè)端子部2A的對位。另外，面板臺42 具備載置面板基板1且并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部43、 具有相對于基板載置部43的XY移動功能及θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動裝置44、具有升降功能的升降裝置45。短邊側(cè)實壓接裝置50具備多個熱壓接單元51，其具備熱壓接頭和在進行實壓接動作時將面板基板1的端子部2從其下面?zhèn)戎С械闹С泄ぞ?，所述熱壓接頭通過對經(jīng)由ACF 片3預(yù)壓接在面板基板1的短邊側(cè)端子部2Β上的狀態(tài)的TCP4進行按壓且同時加熱，而經(jīng)由ACF片3將TCP4實壓接于各端子電極2a ；面板臺52，其進行各熱壓接單元51和面板基板1的短邊側(cè)端子部2B的對位。另外，面板臺52具備載置面板基板1并且能夠解除地吸附保持被載置的面板基板1的基板載置部53、具有相對于基板載置部53的XY移動功能及 θ旋轉(zhuǎn)功能的XY θ移動裝置54、具有升降功能的升降裝置55。接著，對部件安裝線100所具備的基板移載裝置60的構(gòu)成進行詳細的說明。在該說明中，基板移載裝置60的示意立體圖如圖3所示，表示動作狀態(tài)的示意俯視圖如圖4所
7J\ ο如圖3所示，基板移載裝置60具備臂部61、在水平平面(XY平面)內(nèi)使臂部61 能夠回旋地支承臂部61的一端的支承軸62、支承于臂部61的另一端且能夠解除地吸附保持面板基板1的上表面的保持單元70。支承軸62在經(jīng)由框架63固定于裝置基座的狀態(tài)下，配置于裝置基座的上方，以支承軸62的軸芯為旋轉(zhuǎn)中心，臂部61能夠回旋。另外，基板移載裝置60具備以支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心使臂部61在規(guī)定的角度范圍內(nèi)回旋(或者擺動)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置64。通過利用這種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置64使臂部61回旋，可使支承于臂部61的另一端的保持單元70回旋移動。另外，如圖3所示，保持單元70具備在其中心位置支承于臂部61的板構(gòu)件71、 設(shè)置于板構(gòu)件71的下表面且吸附保持面板基板1的上表面的多個吸附保持部72。吸附保持部72相對于板構(gòu)件71的中心位置對稱且均等地配置，且與未圖示的真空線連接。另外，基板移載裝置60具備姿勢保持機構(gòu)，在進行如上所述的基于臂部61的回旋的保持單元70的回旋移動時，所述姿勢保持機構(gòu)用于將保持單元70的水平方向的姿勢 (即，XY平面的姿勢)保持為不會在回旋移動的作用下發(fā)生變化。具體而言，如圖3及圖4 所示，作為這種姿勢保持機構(gòu)，具備平行聯(lián)桿機構(gòu)，所述平行聯(lián)桿機構(gòu)作為第一聯(lián)桿具備臂部61，作為第二聯(lián)桿具備聯(lián)桿構(gòu)件68，所述聯(lián)桿構(gòu)件68與該第一聯(lián)桿平行配置，且在進行臂部61的回旋動作時保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系而進行回旋。進一步對平行聯(lián)桿機構(gòu)進行詳細說明，如圖3及圖4所示，通過臂部61的一端固定于支承軸62并使支承軸62旋轉(zhuǎn)，由此，可以以支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心進行回旋。另外，在臂部61的另一端經(jīng)由可相對于臂部61轉(zhuǎn)動(可動部分)的聯(lián)軸節(jié)65支承有板構(gòu)件71，板構(gòu)件71固定于聯(lián)軸節(jié)65。進而，相對于支承軸62可相對轉(zhuǎn)動地卡合的聯(lián)桿構(gòu)件66在相對于框架63固定的狀態(tài)下沿圖示X軸方向配置。即，不管支承軸62及臂構(gòu)件的轉(zhuǎn)動或回旋， 相對于框架63固定的狀態(tài)的聯(lián)桿構(gòu)件66都與支承軸62卡合。另外，在該聯(lián)桿構(gòu)件66的端部，經(jīng)由可動部分即聯(lián)軸節(jié)67卡合有聯(lián)桿構(gòu)件68的一端部，該聯(lián)桿構(gòu)件68具有與臂部 61相同的長度Li，相對于臂部61平行配置。另外，在聯(lián)桿構(gòu)件68的另一端部，經(jīng)由其它的聯(lián)軸節(jié)67卡合有具有和與支承軸62和聯(lián)桿構(gòu)件68卡合的聯(lián)桿構(gòu)件66的聯(lián)桿長度L2相同的長度的聯(lián)桿構(gòu)件69的一端部，該聯(lián)桿構(gòu)件69的另一端部固定于聯(lián)軸節(jié)65，并經(jīng)由聯(lián)軸節(jié)65卡合于臂部61的另一端。即，與臂部61平行配置并經(jīng)由互為平行關(guān)系的聯(lián)桿構(gòu)件 66及69連結(jié)有聯(lián)桿構(gòu)件68，聯(lián)桿構(gòu)件66在沿X軸方向配置的狀態(tài)下固定其位置，由此，不管臂部61的回旋位置，均保持各聯(lián)桿構(gòu)件66、68、69及臂部61形成由聯(lián)桿長度L1、L2構(gòu)成的平行四邊形的狀態(tài)，聯(lián)桿構(gòu)件69成為總是沿著X軸方向的狀態(tài)。因此，如圖4所示，在使臂部61回旋動作的情況下，相對于聯(lián)桿構(gòu)件69及聯(lián)軸節(jié)65處于固定關(guān)系的板構(gòu)件71的姿勢沒有轉(zhuǎn)動而保持一定姿勢(朝向)。另外，在如圖3及圖4所示的例子中，第二聯(lián)桿由聯(lián)桿構(gòu)件66、68、69及聯(lián)軸節(jié)65、67構(gòu)成。另外，如圖3所示，對于保持單元70而言，通過由多個吸附保持部72吸附保持面板基板1的上表面，對面板基板1進行保持，但例如具備以在產(chǎn)生搬運錯誤時等異常時(例如，吸附保持面板基板1的真空壓力濺少等)被保持的狀態(tài)的面板基板1不會落下的方式機械性保持的多個落下防止用保持爪(落下防止用保持構(gòu)件)73。各保持爪73能夠在保持位置Ql和保持解除位置Q2之間轉(zhuǎn)動，如圖5所示，通常成為位于保持解除位置(或者待機位置)的狀態(tài)，由未圖示的動作裝置(卡合構(gòu)件動作裝置)在異常時向保持位置轉(zhuǎn)動而對面板基板1進行保持。由于具備這種落下防止用保持爪73，從而即使為通過相對于大型且高價的面板基板1進行上表面吸附保持來進行面板基板1的搬運的情況，在發(fā)生了真空壓力濺少或停電等異常的情況下，也能夠防止面板基板1下落。另外，各落下防止用保持爪 73具備以能夠與各種大小的面板基板1的保持相對應(yīng)的方式滑動調(diào)整相對于板構(gòu)件71的安裝位置的滑動機構(gòu)74。另外，作為上述的動作裝置的例子，例如，可采用在各種裝置中適用于自動防故障安全裝置(fail safe)設(shè)計的各種裝置。另外，部件 安裝線100具備使各裝置20、30、40、50及60的動作控制與彼此的動作相關(guān)聯(lián)并同時統(tǒng)一地進行的控制裝置19。通過該控制裝置19 一邊進行各裝置的獨立的動作控制，一邊從上游側(cè)的裝置向下游側(cè)的裝置依次進行面板基板1的搬運控制，并進行相對于多個面板基板1的部件安裝動作。另外，控制裝置19也可以是作為一個集中控制裝置的控制方式的構(gòu)成?；蛘?，也可以是在各裝置上獨立配備且在彼此的裝置間進行面板基板 1的搬運控制信號的交換的控制方式。接著，對具有這種構(gòu)成的部件安裝線100的部件安裝動作進行說明。另外，以下說明的各動作由控制裝置19控制進行。首先，在圖2的部件安裝線100中，搬入如圖IA所示的面板基板1，將其載置于ACF 貼附裝置20的面板臺22上，由面板臺22吸附保持面板基板1的下表面。 接著，通過XY θ移動裝置24進行由面板臺22保持的面板基板1的XY移動，并且， 通過升降裝置25進行升降，對面板基板1的長邊側(cè)端子部2Α和壓接單元21進行對位。之后，使壓接單元21下降，在長邊側(cè)端子部2Α上貼附ACF片3 (ACF貼附工序)。之后，進行基于面板臺22的θ旋轉(zhuǎn)，對短邊側(cè)端子部2Β和壓接單元21進行對位，通過壓接單元21將 ACF片3貼附于短邊側(cè)端子部2Β。若ACF貼附工序結(jié)束，則進行基于面板臺22的θ旋轉(zhuǎn)， 面板基板1的長邊側(cè)端子部2Α沿X軸方向配置。之后，基板搬運裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺22的吸附保持，將面板基板1交接到基板搬運裝置60。之后，由基板搬運裝置60將面板基板1搬運至部件預(yù)壓接裝置30。在基板預(yù)壓接裝置30中，將通過基板搬運裝置60搬運的面板基板1載置并交接到面板臺34上。另一方面，在預(yù)壓接頭32上，從TCP供給盒部31供給TCP4，形成為將TCP4 吸附保持于預(yù)壓接頭32的狀態(tài)。之后，通過面板臺34進行面板基板1的長邊側(cè)端子部2A 的一端子電極2a和吸附保持有TCP4的預(yù)壓接頭32的對位，之后，使預(yù)壓接頭3下降至端子電極2a，由此，將TCP4經(jīng)由ACF片3預(yù)壓接在端子電極2a上。依次反復(fù)進行同樣的動作，在各端子電極2a預(yù)壓接TCP4(部件預(yù)壓接工序)。若相對于長邊側(cè)端子部2A的TCP4 的預(yù)壓接結(jié)束，則通過面板臺34進行面板基板1的θ旋轉(zhuǎn)，并對短邊側(cè)端子部2Β和預(yù)壓接頭32進行對位，依次進行TCP4向短邊側(cè)端子部2Β的各端子電極2a的預(yù)壓接。若部件預(yù)壓接工序結(jié)束，則基板搬運裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺34的吸附保持，將面板基板1交接至基板搬運裝置60。之后，通過基板搬運裝置60向長邊側(cè)實壓接裝置40搬運面板基板1。在長邊側(cè)實壓接裝置40中，將通過基板搬運裝置60搬運的面板基板1載置并交接到面板臺42上。之后，在各壓接單元41中，通過面板臺42將面板基板1的長邊側(cè)端子部2A載置于支承工具上后，使熱壓接頭下降，由此，經(jīng)由ACF片3將處于預(yù)壓接狀態(tài)的各 TCP4按壓于各端子電極2a且同時進行加熱，進行基于熱壓接的TCP4的安裝(長邊側(cè)實壓接工序)。若長邊側(cè)實壓接工序結(jié)束，則基板搬運裝置60的保持單元70吸附保持面板基板 1的上表面，并且解除基于面板臺42的吸附保持，交接至基板搬運裝置60。之后，由基板搬運裝置60向短邊側(cè)實壓接裝置50搬運面板基板1。在短邊側(cè)實壓接裝置50中，通過與長邊側(cè)實壓接裝置40的順序相同的順序，進行相對于面板基板1的短邊側(cè)端子部2B的實壓接，經(jīng)由ACF片3將TCP4安裝于各端子電極2a (短邊側(cè)實壓接工序)。若短邊側(cè)實壓接工序結(jié)束，則基板搬運裝置60的保持單元70吸附保持面板基板1的上表面，并且解除基于面板臺52的吸附保持，將面板基板1交接至基板搬運裝置60。之后，通過基板搬運裝置60從部件安裝線100搬出面板基板1。另外，在部件安裝線100中，通過基板搬運裝置60依次搬運多個面板基板1，并在各裝置中實施規(guī)定的工序，由此，對面板基板1進行部件安裝工序接著，對具有這種構(gòu)成的部件安裝線100具備的基板移載裝置60所進行的面板基板1的搬運(移載)動作進行詳細的說明。由于部件安裝線100具備的各基板移載裝置 60具有相同的構(gòu)成，因此，以各裝置為代表，對進行部件預(yù)壓接裝置30和長邊側(cè)實壓接裝置40之間的面板基板1的搬運(交接)的基板移載裝置60，利用圖6A的示意俯視圖及圖 6B的示意主視圖進行說明。進而，對使用該基板移載裝置60從部件預(yù)壓接裝置30向長邊側(cè)實壓接裝置40搬運面板基板1的順序，利用圖7A、圖7B、圖8A、圖8B、圖9A、圖9B、圖IOA 及圖IOB所示的示意俯視圖及主視圖進行以下的說明。首先，如圖6A及圖6B所示，朝向部件預(yù)壓接裝置30和長邊側(cè)實壓接裝置40之間的面板基板1的搬運方向(X軸方向)在左側(cè)的端部配置有基板移載裝置60的框架63。在部件預(yù)壓接裝置30中，面板臺34在面板基板1的搬運方向即X軸方向上可通過 XY θ移動裝置35進行平行移動，以至少在其可動范圍的大致中央的位置即作業(yè)位置Ρ11、 比作業(yè)位置Pll靠搬運方向上游側(cè)的位置即收取位置Ρ12、比作業(yè)位置Pll靠搬運方向下游側(cè)的位置即交接位置Ρ13(第一移載位置的一個例子)能夠進行定位。在此，作業(yè)位置Pll 為對面板基板1進行部件預(yù)壓接工序(處理)的位置，收取位置Ρ12 (第二移載位置的一個例子)為從配置于ACF貼附裝置20和部件預(yù)壓接裝置30之間的基板移載裝置60相對于面板臺34移載面板基板1的位置。另外，交接位置Ρ13為從面板臺34向配置于面板部件預(yù)壓接裝置30和長邊側(cè)實壓接裝置40之間的基板移載裝置60移載面板基板1的位置。在長邊側(cè)實壓接裝置40也同樣，面板臺42在面板基板1的搬運方向即X軸方向上可通過XY Θ移動裝置44進行平行移動，以至少在其可動范圍的大致中央的位置即作業(yè)位置Ρ21、比作業(yè)位置Ρ21靠搬運方向上游側(cè)的位置即收取位置Ρ22、比作業(yè)位置Ρ21靠搬運方向下游側(cè)的位置即交接位置Ρ23能夠進行定位。另外，作業(yè)位置Ρ21為相對于面板基板1進行長邊側(cè)實壓接工序(處理)的位置。另外，各面板臺34、42可通過升降裝置36、45進行升降，在交接位置Ρ13、Ρ23及收取位置Ρ12、Ρ22，在面板臺34、42和基板移載裝置60之間進行面板基板1的交接動作時， 基板載置部33、43可定位于一定的高度位置即基板移載高度位置HI。另外，如圖6A及圖6B所示，在基板移載裝置60上，保持單元70的保持中心以通過使臂部61回旋而能夠定位于部件預(yù)壓接裝置30的交接位置P13的上方的方式設(shè)定交接位置P13及臂部61的長度。另外，保持單元70的保持中心以通過使臂部61回旋而能夠定位于長邊側(cè)實壓接裝置40的收取位置P22的上方的方式設(shè)定收取位置P22及臂部61的長度。接著，對基板移載裝置60搬運面板基板1的具體的搬運順序進行說明。首先，如圖7A及圖7B所示，在部件預(yù)壓接裝置30中，實施了部件預(yù)壓接工序的面板基板1在其長邊側(cè)端子部2A成為沿面板基板1的搬運方向那樣的姿勢的狀態(tài)下，由面板臺34的基板載置部33保持，由XY θ移動裝置35進行XY移動(或者X移動)，由此使其位于交接位置P13。此時，為了防止面板基板1和基板移載裝置60的保持單元70等干涉，基板載置部33位于比基板移載高度位置Hl靠下方的高度位置即退避高度位置。與此同時， 在基板移載裝置60上，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動支承軸62并回旋臂部61，將保持單元70定位于交接位置P13。若保持單元70定位于交接位置P13，則在面板臺34上，基板載置部33通過升降裝置36從退避高度位置上升至基板移載高度位置HI。另一方面，與這些動作并 行，在長邊側(cè)實壓接裝置40中，沒有保持面板基板1的狀態(tài)的面板臺42的基板載置部43由XY θ移動裝置44進行XY移動(或X移動)，由此位于收取位置Ρ22。此時，為了防止面板基板1和基板移載裝置60的保持單元70等干涉，基板載置部43位于比基板移載高度位置Hl靠下方的高度位置即退避高度位置。接著，如圖8Α及圖8Β所示，在部件預(yù)壓接裝置30的交接位置Ρ13，位于基板移載高度位置Hl的狀態(tài)的面板基板1的上表面和保持單元70的各吸附保持部72抵接，將吸附保持面板基板1的真空壓力施加給吸附保持部72，由此，通過保持單元70吸附保持面板基板1的上表面。之后，解除面板臺34的基板載置部33對面板基板1的吸附保持，之后，基板移載部33下降至靠基板移載高度位置Hl的下方，由此從面板臺34向基板移載裝置60 進行面板基板1的交接。如圖9Α及圖9Β所示，若進行面板基板1的交接，則在基板移載裝置60中，在維持交接面板基板1的基板移載裝置60的基板的移載高度位置Hl的狀態(tài)下，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動支承軸62，回旋臂部61，回旋移動保持面板基板1的保持單元70，定位于長邊側(cè)實壓接裝置40的收取位置Ρ22。由于基板移載裝置60采用平行聯(lián)桿機構(gòu)，因此，在位于收取位置Ρ22的狀態(tài)下，面板基板1的XY平面的姿勢與交接位置Ρ13處的姿勢不發(fā)生變化。若保持單元70定位于收取位置Ρ22，則在面板臺42上，基板載置部43從退避高度位置上升至基板移載高度位置Hl，將保持于保持單元70的狀態(tài)的面板基板1載置于基板移載部 43上。之后，保持單元70的各吸附保持部72解除吸附保持，并且面板臺42的基板載置部 43吸附保持面板基板1的下表面。之后，在面板臺43上，使保持面板基板1的基板載置部 43從基板移載高度位置Hl下降，由此，在維持了移載高度位置的基板移載裝置的移載高度位置Η1，從基板載置裝置60向面板臺42進行面板基板1的交接。通過以上的順序，進行面板基板1從部件預(yù)壓接裝置30向長邊側(cè)實壓接裝置40 的搬運。部件安裝線100具備的其它的基板移載裝置60也以相同的順序進行面板基板1 的搬運。另外，在本實施方式中，例如，作為與部件預(yù)壓接裝置30和長邊側(cè)實壓接裝置40 彼此鄰接配置的作業(yè)裝置，以在兩臺作業(yè)裝置間通過基板移載裝置進行面板基板的搬運的情況為基板搬運處理系統(tǒng)的例子進行了說明，但若作為作業(yè)裝置為對基板實施規(guī)定的作業(yè)處理的裝置，則能夠適用這種基板搬運處理系統(tǒng)的搬運方法。另外，在本實施方式中，ACF貼附裝置20的壓接單元21、部件預(yù)壓接裝置30的預(yù)壓接頭32、長邊側(cè)實壓接裝置40的熱壓接單元41及短邊側(cè)實壓接裝置50的熱壓接單元51為作業(yè)裝置具備的作業(yè)處理單元的一個例子。根據(jù)本實施方式的部件安裝線100，通過以配置于彼此鄰接配置的裝置間的基板移載裝置60的支承軸62為旋轉(zhuǎn)中心使臂部61回旋，能夠使保持單元70回旋移動，例如在部件預(yù)壓接裝置30的交接位置Ρ13，使保持有位于面板臺34上的面板基板1的上表面的保持單元70例如向長邊側(cè)實壓接裝置40的收取位置P22移動，將面板基板1交接即搬運至面板臺42。S卩，通過以臂部61的一端為旋轉(zhuǎn)中心進行回旋，使支承于臂部61的另一端的保持單元70回旋移動，能夠進行面板基板1從交接位置P13向收取位置P22的搬運。因此，與通過搬運臂從下方側(cè)支承面板基板進行搬運的現(xiàn)有的基板搬運裝置相比，能夠使基板移載裝置60的構(gòu)成簡單，且能夠使基板移載裝置60的設(shè)置空間成為較小的空間。因此，即使在搬運作為面板基板的例如用于大型的顯示面板那樣的大型基板的情況下，也能夠確保用于搬運中的維修的空間，能夠提高維修等中操作人員的作業(yè)性。特別是如圖6A所示，基板移載裝置60的框架63采用了朝向面板基板1的搬運方向配置于左側(cè)的裝置端部的配置構(gòu)成。通過采用這種構(gòu)成，在部件安裝線100中，能夠朝向面板基板1的搬運方向，例如使左側(cè)的裝置空間成為各作業(yè)單元及基板移載裝置60的框架 63的配置空間，能夠朝向搬運方向?qū)⒂覀?cè)的空間作為沒有配置其它的裝置的維修空間活用。例如，在大型的面板基板1的搬運中，在產(chǎn)生異常等而需要操作人員維修那樣的情況下也能夠確保這種維修空間，因此，能夠確保良好的作業(yè)性。另外，這種基板移載裝置60，由于支承其支承軸62的框架63設(shè)置于裝置間，因此， 與現(xiàn)有的滑動搬運裝置相比，能夠使其設(shè)置空間減小。因此，能夠減小裝置間的距離，能夠使采用這種基板搬運處理系統(tǒng)的部件安裝線100的裝置長度小型化。另外，在通過這種基板移載裝置60的臂部61的回旋進行保持單元70的回旋移動的情況下，也可以在基板移載裝置60上具備使回旋移動的保持單元70在水平方向保持一定姿勢的平行聯(lián)桿機構(gòu)。因此，可以在不使面板基板1的交接位置P13處的面板基板1的姿勢(XY平面的姿勢或朝向)變化的情況下在收取位置P22進行面板基板1的交接。另外，基板移載裝置60的臂部61的保持單元70和面板臺(22、34、42、52)的面板基板1的交接通過面板臺(22、34、42、52)上下動作而進行，在維持基板移載裝置60的基板的移載高度位置Hl且保持水平方向上的基板的姿勢的狀態(tài)下，能夠回旋移動保持單元70， 進行面板基板1從交接位置P13向收取位置P22的搬運。因此，即使在搬運作為面板基板的例如用于大型的顯示面板那樣的大型及/或薄型的面板基板的情況下，也可以采用基于這種臂部61的回旋動作的面板基板1的移動構(gòu)成，且同時在通過基板移載裝置60的保持單元70吸附保持有面板基板1的上表面的狀態(tài)下不進行面板基板1的自轉(zhuǎn)及上下動作等多余的動作，而能夠?qū)崿F(xiàn)對面板基板1降低由慣性產(chǎn)生的壓力的搬運，特別是在從上表面吸附保持有大型及/或薄型的面板基板的狀態(tài)下，由于不進行面板基板1的上下動作，因此，能夠降低面板的下落等風(fēng)險。另外，在上述實施方式的說明中，作為相對于這種面板基板1的姿勢保持機構(gòu)的一個例子，對采用平行聯(lián)桿機構(gòu)的情況進行了說明，但作為姿勢保持機構(gòu)，也可以采用其它各種構(gòu)成。例如也可以采用使用電動馬達，根據(jù)臂部61的回旋量，以保持保持單元70的姿勢的方式使保持單元70 轉(zhuǎn)動的構(gòu)成。但是，通過使用無需電氣裝置的平行聯(lián)桿機構(gòu)，能夠使裝置構(gòu)成簡單。此外，在部件安裝線100的各裝置具備的面板臺(例如面板臺34)中，具備相對于載置·保持面板基板1的基板載置部33進行XY移動及θ旋轉(zhuǎn)的XY θ移動裝置35和進行升降的升降裝置36。因此，在基板移載裝置60中，具備保持面板基板1并使其回旋移動的功能，不需要設(shè)置面板基板1的升降等其它的移動機構(gòu)。因此，能夠使基板移載裝置60
15的構(gòu)成更加簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)置空間的小型化。另外，本發(fā)明不限定于上述實施方式，可通過其它的各種方式實施。例如，本實施方式的變形例的基板移載裝置160的示意圖如圖11所示。在圖11的變形例的基板移載裝置160中，在XY平面上可使保持單元170的朝向改變90度，在這一點上，具有與基板移載裝置60不同的構(gòu)成。另外，在基板移載裝置160 中，對與基板移載裝置60相同的構(gòu)成構(gòu)件·裝置標(biāo)注相同的參照符號，并省略其說明。如圖11所示，在保持單元I70的板構(gòu)件71的與聯(lián)軸節(jié)65固定的固定部分設(shè)有能夠改變兩者的位置關(guān)系的位置調(diào)整機構(gòu)(調(diào)整機構(gòu)的一個例子)180。位置調(diào)整機構(gòu)180具備固定于板構(gòu)件71的圓盤構(gòu)件181、與在圓盤構(gòu)件181的緣部沿周向設(shè)置的槽部182卡合的卡合銷183?？ê箱N183能夠沿槽部182相對滑動，通過使位于槽部182的一端的卡合銷183沿槽部182相對滑動，并使其位于槽部182的另一端，由此能夠使板構(gòu)件71的朝向切換90度。另外，卡合銷183能夠在槽部182的各位置能夠解除地固定其位置。這樣，在基板移載裝置160中，通過設(shè)置位置調(diào)整機構(gòu)180，例如可選擇性地實現(xiàn)如圖12A所示的以長邊側(cè)端子部2A沿X軸方向的姿勢通過保持單元70吸附保持面板基板 1那樣的保持形態(tài)和如圖12B所示的以短邊側(cè)端子部2B沿X軸方向的姿勢通過保持單元 70吸附保持面板基板1那樣的保持形態(tài)。在此，對積極地利用了變形例的基板移載裝置160的特征的相對于面板基板1的部件安裝方法，利用圖13所示的示意說明圖進行說明。首先，在具備多個基板移載裝置160的部件安裝線中，例如，配置在ACF貼附裝置 20和部件預(yù)壓接裝置30之間的基板移載裝置160的保持單元70按照以圖12B所示那樣的短邊側(cè)端子部2B為沿X軸方向的面板基板1的姿勢進行搬運的方式設(shè)定位置調(diào)整機構(gòu) 180。在圖13所示的ACF貼附裝置20中，搬入沿X軸方向配置了長邊側(cè)端子部2A的狀態(tài)的面板基板1，且對長邊側(cè)端子部2A進行ACF貼附工序。之后，利用面板臺22進行θ旋轉(zhuǎn)，沿X軸方向沿配置短邊側(cè)端子部2Β，對短邊側(cè)端子部2Β進行ACF貼附工序。之后，在沿 X軸方向配置了短邊側(cè)端子部2Β的姿勢的狀態(tài)下(S卩，不使面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn)))，通過基板移載裝置160進行面板基板1的搬運，將面板基板1搬運至部件預(yù)壓接裝置30。在部件預(yù)壓接裝置30中，不對搬入的面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn))，而對沿X軸方向配置的短邊側(cè)端子部2Β實施部件預(yù)壓接工序。之后，通過面板臺34進行面板基板1的θ旋轉(zhuǎn)，對沿X軸方向配置的長邊側(cè)端子部2Α實施部件預(yù)壓接工序。之后，在沿 X軸方向配置了長邊側(cè)端子部2Α的姿勢的狀態(tài)下，通過基板移載裝置160進行面板基板1 的搬運，將面板基板1搬運至長邊側(cè)實壓接裝置40。在長邊側(cè)實壓接裝置40中，不對搬入的面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)(90度旋轉(zhuǎn))，而對沿X軸方向配置的長邊側(cè)端子部2Α實施實壓接工序。之后，通過基板移載裝置160進行面板基板1的搬運，將面板基板1搬運至短邊側(cè)實壓接裝置50，在短邊側(cè)實壓接裝置50中實施短邊側(cè)實壓接工序。在采用這種面板基板1的搬運方法的部件安裝方法中，在各裝置20、30、40及50 中，能夠減少使面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)的次數(shù)。即，在ACF貼附裝置20中，對短邊側(cè)端子部2B實施ACF貼附工序后，不使面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)，而通過基板移載裝置160向部件預(yù)壓接裝置30搬運面板基板1。進而，在部件預(yù)壓接裝置30中，不對沿X軸方向配置了短邊側(cè)端子部2Β的狀態(tài)的面板基板1進行θ旋轉(zhuǎn)，而對短邊側(cè)端子部2Β實施了部件預(yù)壓接工序。因此，至少在ACF貼附裝置20及部件預(yù)壓接裝置30中能夠減少使面板基板1進行 θ旋轉(zhuǎn)的次數(shù)。因此，相對于面板基板1，能夠減少由通過實施θ旋轉(zhuǎn)而施加的慣性產(chǎn)生的壓力的次數(shù)。特別是在大型化及/或薄型化的面板基板1中，與小型的面板基板1相比， 由其自轉(zhuǎn)產(chǎn)生的壓力量大幅增加。因此，通過采用這種搬運方法及安裝方法，能夠有效地減少對面板基板施加的壓力。此外，在這種搬運方法中，從能夠縮短用于部件安裝的節(jié)奏，從提高生產(chǎn)性的觀點出發(fā)也是有效的。另外，通過適當(dāng)組合上述各種實施方式中的任意的實施方式，能夠起到各自具有的效果。本發(fā)明參照附圖并同時結(jié)合優(yōu)選的實施方式充分地進行了記述，但作為熟悉該技術(shù)的人員而言，當(dāng)然能夠進行各種變形及修正。只要不脫離權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的范圍，這些變形及修正當(dāng)然也包含于本發(fā)明中。于2009年3月11日申請的日本國專利申請No. 2009-058025號的說明書、附圖及權(quán)利要求書的公開內(nèi)容作為整體編入于本說明書中。
權(quán)利要求
1.一種基板搬運處理系統(tǒng)，具備第一及第二作業(yè)裝置，其彼此鄰接配置，且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺和對保持于基板臺的基板進行處理的作業(yè)處理單元；基板移載裝置，其具有臂部；支承軸，其固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元，其支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，其以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，從而使保持單元回旋移動；姿勢保持機構(gòu)，其使回旋移動的保持單元在水平方向上保持為一定姿勢，基板移載裝置的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置在第一作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第一移載位置和第二作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第二移載位置之間進行保持單元的回旋移動，并從第一作業(yè)裝置的基板臺向第二作業(yè)裝置的基板臺在水平方向上保持為一定姿勢且同時搬運基板。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，在第一及第二作業(yè)裝置中，各作業(yè)處理單元按照彼此鄰接的方式配置于沿基板的搬運方向的一端部區(qū)域，在各作業(yè)處理單元之間配置有基板移載裝置的支承軸。
3.如權(quán)利要求1所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中， 各基板臺具備基板載置部，其能夠解除地吸附保持基板的下表面； 升降裝置，其使基板載置部升降； 水平方向移動裝置，其使基板載置部在水平方向上移動， 水平方向移動裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置， 升降裝置能夠?qū)⒒遢d置部定位于移載位置中的移載高度。
4.如權(quán)利要求1所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，基板移載裝置的姿勢保持機構(gòu)是具備第一聯(lián)桿和第二聯(lián)桿的平行聯(lián)桿機構(gòu)，所述第一聯(lián)桿是臂部，所述第二聯(lián)桿與該第一聯(lián)桿平行配置且通過臂部的回旋動作在保持與第一聯(lián)桿的平行關(guān)系的狀態(tài)下回旋。
5.如權(quán)利要求1所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中， 基板移載裝置的保持單元具備多個吸附保持構(gòu)件，其吸附保持基板的上表面；多個落下防止用卡合構(gòu)件，其能夠在保持基板的端部的卡合位置和解除保持的卡合解除位置之間動作；卡合構(gòu)件動作裝置，其至少在基板移載裝置的基板的移載動作異常時使落下防止用卡合構(gòu)件從卡合解除位置動作至卡合位置。
6.如權(quán)利要求1所述的基板搬運處理系統(tǒng)，其中，在基板移載裝置中，還具備能夠與位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的狀態(tài)的基板的水平方向的姿勢對應(yīng)而對保持單元的水平方向的姿勢進行調(diào)整的調(diào)整機構(gòu)，被調(diào)整機構(gòu)對應(yīng)于位于第一作業(yè)裝置的第一移載位置的基板的水平方向的姿勢而調(diào)整了其水平方向的姿勢的保持單元進行回旋移動，由此，在從第一移載位置向第二移載位置保持了水平方向的姿勢的狀態(tài)下，進行基板的移載。
7.一種部件安裝裝置，在權(quán)利要求1 6中任一項所述的基板搬運處理系統(tǒng)中，各作業(yè)裝置通過作業(yè)處理單元對配置于基板的端部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，通過利用基板移載裝置從第一作業(yè)裝置向第二作業(yè)裝置移載基板，而對基板的部件安裝區(qū)域依次進行用于部件安裝的作業(yè)處理。
8.一種基板搬運處理方法，在彼此鄰接配置且具備能夠解除地吸附保持基板的下表面的基板臺和對保持于基板臺的基板進行處理的作業(yè)處理單元的第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間進行基板的搬運，使用具有臂部、支承軸和保持單元的基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第一移載位置，通過保持單元吸附保持被吸附保持于基板臺上的基板的上表面，并且解除基于基板臺的吸附保持并將基板從基板臺向保持單元交接，所述支承軸固定于臂部的一端，且在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，所述保持單元支承于臂部的另一端，能夠解除地吸附保持基板的上表面，通過以支承軸為旋轉(zhuǎn)中心使臂部回旋，而在第二作業(yè)裝置的基板臺上的位置即第二移載位置，在保持了水平方向的基板的姿勢的狀態(tài)下，使保持單元回旋移動，在第二移載位置，由基板臺吸附保持基板，并且解除基于保持單元的吸附保持并將基板從保持單元向基板臺交接，進行基板的搬運。
9.如權(quán)利要求8所述的基板搬運處理方法，其中，通過臂部的回旋使保持單元位于移載位置后，在移載位置使基板臺上升而位于移載高度位置，在該狀態(tài)下，進行在第一移載位置及第二移載位置的基板臺和保持單元之間的基板的交接。
10.一種使用了如權(quán)利要求8或9所述的基板搬運處理方法的部件安裝方法，作為基板，使用在短邊側(cè)端子部及長邊側(cè)端子部具有部件安裝區(qū)域的長方形形狀的顯示面板，在第一作業(yè)裝置中，在進行了作業(yè)處理單元和基板的長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對位后，由作業(yè)處理單元對長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，使基板臺旋轉(zhuǎn)移動，進行作業(yè)處理單元和基板的短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域的對位，之后，通過作業(yè)處理單元對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理，在保持對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行作業(yè)處理的水平方向的姿勢的狀態(tài)下，進行基板從第一移載位置向第二移載位置的搬運，之后，在第二作業(yè)裝置中，在對長邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理之前，通過作業(yè)處理單元對短邊側(cè)端子部的部件安裝區(qū)域進行用于部件安裝的作業(yè)處理。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬運處理系統(tǒng)，其使用基板移載裝置，在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間，進行保持單元(70)的回旋移動，并在沿水平方向保持一定姿勢且同時搬運基板，該基板移載裝置具有臂部(61)；支承軸(62)，其固定于臂部(61)的一端，在水平面內(nèi)將臂部支承為能夠回旋，并且配置在第一作業(yè)裝置和第二作業(yè)裝置之間；保持單元(70)，其支承于臂部(61)的另一端，并吸附保持基板的上表面；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(64)，其以支承軸(62)為旋轉(zhuǎn)中心使臂部(61)回旋，從而使保持單元(70)回旋移動；姿勢保持機構(gòu)(66-69)，其使回旋移動的保持單元在水平方向保持一定姿勢。
文檔編號H05K13/02GK102348621SQ20108001124
公開日2012年2月8日 申請日期2010年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月11日
發(fā)明者壁下朗, 小林榮, 渡邊雅也 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社