專利名稱：膠帶粘貼裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶面板或PDP(Plasma Display Panel)或有機(jī) EL(Electro-Luminescence)面板等的基板上粘貼各向異性導(dǎo)電膠帶的膠帶粘貼裝置。
背景技術(shù)：
例如在液晶面板的模塊制造工序中，接合基板的電極與驅(qū)動(dòng)器IC或TCP(Tape Carrier Package)或 COF(Chip on Film)或 FPC(Flexible PrintedCircuit)等部件， 在該接合過(guò)程中采用作為包含導(dǎo)電粒子的粘接劑的各向異性導(dǎo)電膠帶(Anisotropic Conductive Film :ACF)。用于將各向異性導(dǎo)電膠帶(以下稱為導(dǎo)電膠帶)粘貼到基板的電極上的膠帶粘貼裝置具備保持基板并使基板在水平面方向上移動(dòng)的基板保持移動(dòng)臺(tái)； 提供在導(dǎo)電膠帶上層疊被稱為隔離物的保護(hù)膠帶而成的膠帶部件的供給卷筒；具備將由供給卷筒提供的膠帶部件按壓在基板上并將導(dǎo)電膠帶粘貼在基板上的壓接頭的粘貼單元；以及對(duì)由粘貼單元粘貼了導(dǎo)電膠帶之后的膠帶部件(隔離物單體)進(jìn)行卷繞的卷繞卷筒。再有，還具備在由壓接頭將膠帶部件按壓到基板上時(shí)支撐壓接頭的按壓體正下方的基板的下表面的下支撐部(支撐臺(tái)，backup stage) 0在這種膠帶粘貼裝置中，公知以下結(jié)構(gòu)的粘貼裝置配置有多個(gè)轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)是將供給卷筒、把膠帶部件按壓到基板上并將導(dǎo)電膠帶粘貼在基板上的相當(dāng)于上述壓接頭的轉(zhuǎn)印頭以及卷繞卷筒作為一個(gè)單元來(lái)構(gòu)成，通過(guò)同時(shí)對(duì)基板進(jìn)行導(dǎo)電膠帶的粘貼動(dòng)作而使得生產(chǎn)率提高(例如專利文獻(xiàn)1)。再有，通過(guò)盡量減少供給卷筒以及卷繞卷筒兩個(gè)卷筒的更換次數(shù)，從而也可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。為此，使膠帶部件的膠帶長(zhǎng)度增大(例如增大為3倍左右)是比較有效的方法。還有，也公知以下技術(shù)通過(guò)在下支撐部安裝對(duì)設(shè)于基板下表面的基板定位用的基板標(biāo)記進(jìn)行拍攝的照相機(jī)，從而簡(jiǎn)化了構(gòu)成?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特許第3821623號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，若使膠帶部件的膠帶長(zhǎng)度增大，則供給卷筒以及卷繞卷筒二者的直徑也會(huì)變大，因此不僅會(huì)導(dǎo)致裝置整體大型化，引起成本上升，還存在以下問(wèn)題點(diǎn)卷筒的更換作業(yè)本身難以進(jìn)行，作業(yè)的中斷時(shí)間變長(zhǎng)，相應(yīng)地還可能會(huì)引起生產(chǎn)率降低。這種問(wèn)題點(diǎn)即使在僅具備1個(gè)壓接頭的裝置中也會(huì)產(chǎn)生，如上所述在具備多個(gè)壓接頭的裝置中會(huì)比較明顯，有時(shí)不能很好地發(fā)揮可同時(shí)粘貼多個(gè)導(dǎo)電膠帶的長(zhǎng)處。為此，本發(fā)明的目的在于提供一種在不會(huì)使得裝置整體大型化的前提下既可以增大膠帶長(zhǎng)度、又可以實(shí)現(xiàn)作業(yè)效率的提高的膠帶粘貼裝置。另外，也對(duì)本發(fā)明的其他目的進(jìn)行說(shuō)明。以往，因?yàn)橄轮尾繕?gòu)成為與粘貼單元一體地移動(dòng)，所以若使照相機(jī)對(duì)設(shè)于基板
4下表面的基板標(biāo)記進(jìn)行拍攝，則不僅下支撐部，就連具有重量的粘貼單元也會(huì)移動(dòng)。因此， 不能迅速地使照相機(jī)移動(dòng)，存在可能會(huì)導(dǎo)致基板定位所需的時(shí)間變長(zhǎng)、作業(yè)效率下降的問(wèn)題點(diǎn)。為此，本發(fā)明的另一目的在于提供一種可以縮短基板定位所需的時(shí)間，實(shí)現(xiàn)作業(yè)效率的提高的膠帶粘貼裝置以及膠帶粘貼方法。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明構(gòu)成如下。根據(jù)本發(fā)明的第一方式，提供一種膠帶粘貼裝置，其包括基板保持臺(tái)，其保持基板；粘貼單元，其將層疊在膠帶部件上的各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置上；和粘貼單元移動(dòng)裝置，其使粘貼單元相對(duì)于由基板保持臺(tái)保持著的基板相對(duì)地移動(dòng)，粘貼單元具備供給卷筒，其供給在各向異性導(dǎo)電膠帶上層疊隔離物而成的膠帶部件；壓接頭，其將由供給卷筒供給的膠帶部件按壓在由基板保持臺(tái)所保持的基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置，將各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到所述膠帶粘貼位置；和卷繞卷筒，其對(duì)由壓接頭在基板上粘貼了各向異性導(dǎo)電膠帶之后的膠帶部件進(jìn)行卷繞，在粘貼單元中，供給卷筒與卷繞卷筒被安裝在同一軸上。根據(jù)本發(fā)明的第二方式提供一種第一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置具備多個(gè)粘貼單元，每個(gè)粘貼單元具備臺(tái)架，其安裝有壓接頭，并且以能夠相對(duì)于由基板保持臺(tái)保持著的基板相對(duì)地移動(dòng)的方式被安裝在粘貼單元移動(dòng)裝置上；和底座，其以同軸的方式安裝供給卷筒與卷繞卷筒，并且以能夠裝卸的方式被安裝在臺(tái)架上。根據(jù)本發(fā)明的第三方式，提供一種第一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，粘貼單元還包括卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第一旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；和供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有在第一旋轉(zhuǎn)軸的外周側(cè)與第一旋轉(zhuǎn)軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。根據(jù)本發(fā)明的第四方式，提供一種第二方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，每個(gè)粘貼單元還包括卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第一旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；和供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有在第一旋轉(zhuǎn)軸的外周側(cè)與第一旋轉(zhuǎn)軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。根據(jù)本發(fā)明的第五方式，提供一種第四方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)及卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)被安裝在臺(tái)架上，在底座上安裝于同一軸上的供給卷筒及卷繞卷筒中，將供給卷筒安裝得比卷繞卷筒更靠近臺(tái)架側(cè)。根據(jù)本發(fā)明的第六方式，提供一種第一方式 第五方式中任一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括輥部件，其與通過(guò)壓接頭將各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到基板上而僅剩隔離物的膠帶部件接觸，以除去隔離物上殘存的粘接劑的渣滓。根據(jù)本發(fā)明的第七方式，提供一種第二方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，
該膠帶粘貼裝置還包括多個(gè)下支撐部，其設(shè)置為能夠相對(duì)于基板保持臺(tái)而在水平面內(nèi)移動(dòng)，支撐由基板保持臺(tái)所保持著的基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置的下表面；多個(gè)照相機(jī)，其被設(shè)于每個(gè)下支撐部上，從基板保持臺(tái)所保持著的基板的下方對(duì)基板所具有的基板定位用的基板標(biāo)記進(jìn)行拍攝；位置識(shí)別裝置，其基于通過(guò)每個(gè)照相機(jī)的拍攝而得到的基板標(biāo)記的圖像，進(jìn)行基板的位置識(shí)別；和定位裝置，其基于位置識(shí)別裝置對(duì)基板的位置識(shí)別結(jié)果，使基板保持臺(tái)動(dòng)作，進(jìn)行基板向作業(yè)位置的定位，粘貼單元移動(dòng)裝置使每個(gè)粘貼單元能夠與每個(gè)下支撐部獨(dú)立地在水平面內(nèi)方向上移動(dòng)，被定位在各作業(yè)位置上的狀態(tài)下的每個(gè)粘貼單元從膠帶粘貼位置的上方，對(duì)被定位在各作業(yè)位置且由每個(gè)下支撐部支撐著膠帶粘貼位置的下表面的狀態(tài)下的基板，按壓并粘貼各向異性導(dǎo)電膠帶。根據(jù)本發(fā)明的第八方式，提供一種第七方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括粘貼狀態(tài)檢查裝置，其被設(shè)置于每個(gè)粘貼單元，進(jìn)行各向異性導(dǎo)電膠帶向基板的粘貼狀態(tài)的檢查。(發(fā)明的效果)在本發(fā)明中，因?yàn)閷⒐┙o卷筒與卷繞卷筒安裝在同一軸上并配置為緊湊型，所以即使兩卷筒的直徑變大，裝置整體也不會(huì)大型化。由此，可以增大膠帶部件的膠帶長(zhǎng)度，減少卷筒的更換次數(shù)，并實(shí)現(xiàn)作業(yè)效率的提高。另外，在將供給卷筒與卷繞卷筒設(shè)置在底座上且被單元化的構(gòu)成中，該底座能夠自由地安裝到臺(tái)架上或自臺(tái)架上拆卸，可以容易地進(jìn)行兩卷筒的更換，可以縮短卷筒的更換所需的時(shí)間，可以實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的作業(yè)效率的提高。


本發(fā)明的上述這些方式和特征，根據(jù)隨附的附圖以及與其相關(guān)的下面記載的優(yōu)選實(shí)施方式會(huì)變得更加明確。圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的立體圖。圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。
圖3是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的側(cè)視圖。圖4是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的俯視圖。圖5是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置所具備的粘貼單元的主視圖。圖6是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的立體圖。圖7是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的部分分解立體圖。圖8是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的部分剖面俯視圖。圖9是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的部分側(cè)視圖。圖10(a) (b) (C)是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的部分放大主視圖。圖11是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的粘貼單元的部分放大主視圖。圖12是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的動(dòng)作順序的一例的流程圖。圖13是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的部分剖面俯視圖。圖14是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。圖15是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。
具體實(shí)施例方式在繼續(xù)本發(fā)明的描述之前，在附圖中針對(duì)相同的部件賦予相同的參照標(biāo)記。以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在圖1 圖4中，膠帶粘貼裝置1 在基座2上具有門型的框架3，框架3具有從操作人員OP方向看沿著基座2的橫向延伸的水平部3a和支撐該水平部3a的兩端的一對(duì)垂直部北。在以下的說(shuō)明中為了方便，將框架 3的水平部3a延伸的水平面內(nèi)的方向(基座2的橫向)作為X軸方向，將與X軸方向正交的水平面內(nèi)的方向(基座2的前后方向)作為Y軸方向。另外，將該水平面的垂直方向作為Z軸方向，將繞Z軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向作為θ方向。進(jìn)而，在該膠帶粘貼裝置中，將Y軸方向的操作人員的主要站立位置側(cè)、即操作人員OP側(cè)作為前面?zhèn)?以下稱為前面?zhèn)?，將Y軸方向的與操作人員OP側(cè)相反的一側(cè)作為后方側(cè)(背面?zhèn)?(以下稱為后方側(cè)或背面?zhèn)?。在圖1 圖4中，在基座2的上表面的框架3的Y軸方向的后方側(cè)區(qū)域，設(shè)有用于進(jìn)行基板PB的保持以及移動(dòng)(向作業(yè)位置的定位)的基板保持移動(dòng)臺(tái)4。在圖3及圖4 中，基板保持移動(dòng)臺(tái)4具備使保持基板PB的基板保持部4d在沿著X軸方向移動(dòng)的在基座 2上沿著X軸方向延伸的X臺(tái)軸如；配置于X臺(tái)軸如上并使基板保持部4d在Y軸方向上移動(dòng)的Y臺(tái)軸4b ；以及配置于Y臺(tái)軸4b上且使基板保持部4d在Z軸方向上上下移動(dòng)以及使基板保持部4d沿θ方向旋轉(zhuǎn)的θ臺(tái)軸如?；灞３忠苿?dòng)臺(tái)4使由載置在基板保持部 4d的上表面且未圖示的基板吸附機(jī)構(gòu)吸附保持著的基板PB在水平面內(nèi)方向(X軸方向、Y 軸方向、Z軸方向以及θ方向)移動(dòng)，進(jìn)行基板PB向作業(yè)位置的定位。由基板保持移動(dòng)臺(tái) 4進(jìn)行的基板PB向作業(yè)位置定位的控制是由該膠帶粘貼裝置1所具備的控制器8(圖2)來(lái)進(jìn)行的。 在圖4中，基板PB例如為形成為長(zhǎng)方形形狀的液晶面板的基板，在該基板PB的側(cè)緣部的長(zhǎng)邊與短邊上分別設(shè)有隔著導(dǎo)電膠帶ACF而接合未圖示的部件的多個(gè)電極DT。其中，各個(gè)電極DT都位于應(yīng)該粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的位置、即膠帶粘貼位置處。
在圖1及圖2中，在框架3的前面?zhèn)?操作人員OP —側(cè))，分別具備壓接頭21的2個(gè)粘貼單元5被設(shè)置為能夠沿著框架3的水平部3a而在X軸方向上自由移動(dòng)，其中壓接頭21將從供給卷筒32提供的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB的側(cè)緣部。這2個(gè)粘貼單元5構(gòu)成為能夠相對(duì)于基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持著的基板PB分別獨(dú)立地在沿著基板PB的側(cè)緣部的方向、即X軸方向上移動(dòng)。另外，在框架3的水平部3a上，具備使2個(gè)粘貼單元5分別獨(dú)立地在X軸方向上移動(dòng)的移動(dòng)裝置(未圖示)。在本實(shí)施方式中，該移動(dòng)裝置為粘貼單元移動(dòng)裝置的一例，例如可以利用球形螺桿機(jī)構(gòu)或者線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)構(gòu)成。再有，粘貼單元移動(dòng)裝置只要具有相對(duì)于由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB而言使2個(gè)粘貼單元5 “相對(duì)”獨(dú)立地沿著X軸方向分別移動(dòng)的功能即可，并非僅限于粘貼單元5自身移動(dòng)的情況。在圖5、圖6及圖7中，各粘貼單元5具備驅(qū)動(dòng)單元部6、和以能夠裝卸的方式被裝備于驅(qū)動(dòng)單元部6中的膠帶供給單元部7。驅(qū)動(dòng)單元部6具備安裝有將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB的側(cè)緣部的壓接頭21，且在框架3的水平部3a上能沿著X軸方向移動(dòng)的臺(tái)架 (holder) 11。膠帶供給單元部7構(gòu)成為將供給卷筒32和卷繞卷筒33分別安裝在底座31 的同一軸上，該供給卷筒32供給在導(dǎo)電膠帶ACF上層疊被成為隔離物SP的保護(hù)膠帶而構(gòu)成的膠帶部件T (圖5中的部分放大圖)，該卷繞卷筒33對(duì)由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF按壓到基板PB上且進(jìn)行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP 單體)進(jìn)行卷繞。膠帶供給單元部7收納膠帶部件，進(jìn)而膠帶供給單元部7的底座31以能夠裝卸的方式而被安裝在驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11上。在圖6、圖7及圖8中，驅(qū)動(dòng)單元部6是在臺(tái)架11上安裝供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12、 卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13、驅(qū)動(dòng)齒輪14、從動(dòng)齒輪15、中空旋轉(zhuǎn)軸(shaft) 16、第一原點(diǎn)傳感器17、第二原點(diǎn)傳感器18、膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19、膠帶切割器20、壓接頭21、剝離輥單元22以及膠帶攝像照相機(jī)23而構(gòu)成的，該臺(tái)架11是由被設(shè)置為在框架3的水平部3a上能沿著X軸方向、即橫向自由移動(dòng)(因此，相對(duì)于由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB能夠自由移動(dòng))的板狀部件構(gòu)成的。在圖1中，通過(guò)由控制器8對(duì)設(shè)于框架3的水平部3a內(nèi)且未圖示的球形螺桿機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作控制，從而可以使各臺(tái)架11 (這里為兩個(gè))在框架3的水平部3a上各自獨(dú)立地在沿著基板PB的側(cè)緣部的方向、即X軸方向上移動(dòng)(圖1中示出的箭頭Al)。在圖6及圖7中，膠帶供給單元7構(gòu)成為在以能裝卸的方式安裝于驅(qū)動(dòng)單元部 6的臺(tái)架11上且由板狀部件構(gòu)成的底座31的前面，除了供給卷筒32與卷繞卷筒33以外， 還安裝有用于將膠帶部件向卷繞卷筒33引導(dǎo)的膠帶輸送輥34、第一階差輥35、第二階差輥 36、清洗輥37以及多個(gè)引導(dǎo)輥(第一 第七引導(dǎo)輥41、42、…、47)等膠帶輸送路徑裝置， 該卷繞卷筒33對(duì)由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF按壓到基板PB上并進(jìn)行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP單體)進(jìn)行卷繞。再有，在構(gòu)成膠帶供給單元部7的底座31的中央處設(shè)有從Z軸方向的下方向上方延伸的切口部31a，在切口部31a的上方的區(qū)域內(nèi)，供給卷筒32與卷繞卷筒33均在Y軸方向上繞著Yl軸安裝在同一軸上。卷繞卷筒33的直徑要比供給卷筒32的直徑小，并且設(shè)置為對(duì)于操作人員OP而言比供給卷筒32更靠近眼前側(cè)(前面?zhèn)?。S卩，如圖6所示，按照供給卷筒32配置得比卷繞卷筒33更靠近臺(tái)架11的方式，以同軸的方式將供給卷筒32與卷繞卷筒33安裝在底座31上。
在圖6及圖8(a)、(b)中，從操作人員OP側(cè)(Y軸方向的前面?zhèn)?觀察，供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12與卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13并列地設(shè)置在臺(tái)架11的背面。供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12的驅(qū)動(dòng)軸1 在Y軸方向上貫通臺(tái)架11并延伸到臺(tái)架11的前面?zhèn)?，且與作為外齒齒輪的驅(qū)動(dòng)齒輪14連接。中空旋轉(zhuǎn)軸16 (中空狀的第二旋轉(zhuǎn)軸的一例)以繞著Yl軸可自由旋轉(zhuǎn)地方式設(shè)置在臺(tái)架的前面?zhèn)龋酝恺X齒輪與驅(qū)動(dòng)齒輪嚙合的從動(dòng)齒輪15被固定在中空旋轉(zhuǎn)軸16的外周面。卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13的驅(qū)動(dòng)軸13a(第一旋轉(zhuǎn)軸的一例)在 Y軸方向上貫通臺(tái)架11并向臺(tái)架11的前面?zhèn)韧怀?，進(jìn)而在Y軸方向上貫通中空旋轉(zhuǎn)軸16 的內(nèi)部并延伸。即，中空旋轉(zhuǎn)軸16與驅(qū)動(dòng)軸13a被配置在同一軸上。在圖8(a)、(b)中，在將膠帶供給單元部7的底座31安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架 11的前面?zhèn)葧r(shí)，中空旋轉(zhuǎn)軸16在Y軸方向上貫通設(shè)于底座31上的貫通孔31b，并與設(shè)于供給卷筒32背面的旋轉(zhuǎn)軸安裝孔3 嵌合，從而中空旋轉(zhuǎn)軸16與供給卷筒32被連接在一起。再有，卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13的驅(qū)動(dòng)軸13a與設(shè)于卷繞卷筒33背面的驅(qū)動(dòng)軸安裝孔 33a嵌合，從而卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13的驅(qū)動(dòng)軸13a和卷繞卷筒33被連接在一起。另外， 由供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12、驅(qū)動(dòng)軸12a、驅(qū)動(dòng)齒輪14、從動(dòng)齒輪15以及中空旋轉(zhuǎn)軸16構(gòu)成供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，由卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13以及驅(qū)動(dòng)軸13a構(gòu)成卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置。根據(jù)該構(gòu)成，若在將膠帶供給單元部7安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12的驅(qū)動(dòng)軸12a，則其驅(qū)動(dòng)力從驅(qū)動(dòng)齒輪14、從動(dòng)齒輪15、中空旋轉(zhuǎn)軸16而被傳遞到供給卷筒32，供給卷筒32繞著Yl軸旋轉(zhuǎn)。再有，若卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13的驅(qū)動(dòng)軸13a被驅(qū)動(dòng)，則其驅(qū)動(dòng)力被傳遞到卷繞卷筒33，使得與供給卷筒32配置在同一軸上的卷繞卷筒33繞著Yl軸旋轉(zhuǎn)。此外，由控制器8進(jìn)行供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12的驅(qū)動(dòng)軸12a 的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作控制以及卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13的驅(qū)動(dòng)軸13a的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作控制。另外，在本實(shí)施方式中，雖然以利用齒輪傳遞機(jī)構(gòu)來(lái)構(gòu)成供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以取代這種情況，作為供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置或卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，例如采用計(jì)時(shí)皮帶傳遞機(jī)構(gòu)來(lái)構(gòu)成。在圖5及圖7中，第一引導(dǎo)輥41被設(shè)置在從前面?zhèn)人吹降牡鬃?1的切口部31a 的圖示左方的區(qū)域內(nèi)，第二引導(dǎo)輥42被設(shè)置在第一引導(dǎo)輥41的下方。第三引導(dǎo)輥43被設(shè)置在第二引導(dǎo)輥42的圖示右下方，第一階差輥35被設(shè)置為在第三引導(dǎo)輥43的上方沿著由沿上下方向延伸的LM導(dǎo)向器構(gòu)成的第一階差輥導(dǎo)向器3 而在上下方向上自由移動(dòng)。第一階差輥35由未圖示彈簧部件始終向上方被施加彈性力，在向下方的拉拽荷重不起作用時(shí)， 位于第一價(jià)差輥導(dǎo)向器35a的最上側(cè)的位置處、即原點(diǎn)位置。再有，在第一階差輥導(dǎo)向器35a的圖示右方設(shè)有在Y軸方向上貫通底座31的貫通孔31c，設(shè)于驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11前面的第一原點(diǎn)傳感器17的前端(傳感器部)自該貫通孔31c突出。第一原點(diǎn)傳感器17沿著水平方向向位于原點(diǎn)位置的第一階差輥35投射檢查光，在第一階差輥35位于原點(diǎn)位置時(shí)，因?yàn)榻邮沼傻谝浑A差輥35反射的檢查光，所以輸出受光信號(hào)，而在第一價(jià)差輥35并未位于原點(diǎn)位置時(shí)(位于原點(diǎn)位置的下方時(shí))因?yàn)槲唇邮沼傻谝浑A差輥35反射的檢查光，所以不輸出受光信號(hào)。控制器8基于來(lái)自這種第一原點(diǎn)傳感器35的受光信號(hào)的輸出狀態(tài)，以檢測(cè)第一階差輥35是否位于原點(diǎn)位置。在圖5及圖7中，剝離輥單元22構(gòu)成為包括以沿著橫向(X軸方向)自由移動(dòng)的方式設(shè)置在臺(tái)架11的圖示右下方的區(qū)域內(nèi)的移動(dòng)底座22a ；設(shè)置于移動(dòng)底座22a的前面的一對(duì)輥(第一剝離輥22b及第二剝離輥22c)。第一剝離輥22b在X軸方向上夾持著臺(tái)架 11的切口部31a而位于第三引導(dǎo)輥43的圖示右側(cè)，第二剝離輥22c位于第一剝離輥22b的圖示右上方。從前面?zhèn)瓤?，第四引?dǎo)輥44被設(shè)置在膠帶供給單元部7的底座31的切口部31a 的圖示右方的區(qū)域的中央部下方，第五引導(dǎo)輥45被設(shè)置于第四引導(dǎo)輥44的上方。第六引導(dǎo)輥46被設(shè)置在第五引導(dǎo)輥45的圖示左上方，第七引導(dǎo)輥47被設(shè)置在第六引導(dǎo)輥46的圖示左方。第二階差輥36被設(shè)置為能在第六引導(dǎo)輥46與第七引導(dǎo)輥47之間的區(qū)域的下方，在第二階差輥導(dǎo)向器36a上沿著上下方向自由移動(dòng)，該第二階差輥導(dǎo)向器36a由沿著上下方向延伸的LM導(dǎo)向器構(gòu)成。第二階差輥36由未圖示的彈簧部件始終向下方被賦予彈性力，在向上方的拉拽荷重不起作用時(shí)位于比規(guī)定的原點(diǎn)位置(第二階差輥導(dǎo)向器36a的基本中間位置)更靠下方的位置處。再有，在第二階差輥導(dǎo)向器36a的圖示左方，設(shè)置在Y軸方向上貫通底座31的貫通孔31d，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11的前面的第二原點(diǎn)傳感器18的前端(傳感器部) 自該貫通孔31d突出。第二原點(diǎn)傳感器18沿著水平方向向位于原點(diǎn)位置的第二階差輥36 投射檢查光，在第二階差輥36位于原點(diǎn)位置時(shí)因?yàn)榻邮沼傻诙A差輥36反射的檢查光，所以輸出受光信號(hào)，而在第二價(jià)差輥36并未位于原點(diǎn)位置時(shí)(位于原點(diǎn)位置的下方時(shí))因?yàn)槲唇邮沼傻诙A差輥36反射的檢查光，所以不輸出受光信號(hào)。控制器8基于來(lái)自這種第二原點(diǎn)傳感器36的受光信號(hào)的輸出的有無(wú)，以檢測(cè)第二階差輥36是否位于原點(diǎn)位置。膠帶輸送輥34由被設(shè)置為相對(duì)地壓合外周面的驅(qū)動(dòng)輥3 及夾送輥(pinch roller) 34b構(gòu)成，且被安裝在第五引導(dǎo)輥45的圖示右方。膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19設(shè)置在臺(tái)架11的背面，其驅(qū)動(dòng)軸19a在Y軸方向上貫通臺(tái)架11。在將膠帶供給單元部7的底座 31安裝在驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11的前面時(shí)，膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a的向臺(tái)架11的前面?zhèn)妊由斓牟糠峙c設(shè)于驅(qū)動(dòng)輥3 的背面的未圖示的驅(qū)動(dòng)軸安裝孔嵌合，從而安裝在臺(tái)架11上的膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a和安裝在膠帶供給單元部7的底座31上的驅(qū)動(dòng)輥3 連接在一起。因此，若在膠帶供給單元部7被安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a，則其驅(qū)動(dòng)力被傳遞到驅(qū)動(dòng)輥34a，驅(qū)動(dòng)輥3 繞Y軸旋轉(zhuǎn)，夾送輥34b向與驅(qū)動(dòng)輥；Ma相反的方向旋轉(zhuǎn)，由驅(qū)動(dòng)輥3 與夾送輥34b夾持膠帶部件(隔離物SP單體)T，同時(shí)向被卷繞卷筒33回收的方向輸送膠帶部件(隔離物SP單體)T。其中， 膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作控制由控制器8進(jìn)行。在圖5及圖7中，清洗輥37具備被設(shè)置為相對(duì)地壓合外周面的第一清洗輥37a及第二清洗輥37b。相對(duì)于膠帶部件(隔離物SP單體)T的輸送方向而言，與膠帶輸送輥34 相比在跟前側(cè)配置清洗輥37，該清洗輥37被安裝在第四引導(dǎo)輥44與第五引導(dǎo)輥45之間的上下中間部，其中膠帶輸送輥34利用驅(qū)動(dòng)輥3 與夾送輥34b夾持膠帶部件(隔離物SP 單體)，同時(shí)輸送膠帶部件(隔離物SP單體)T。第一清洗輥37a由外周面具有粘接性的彈性材料(例如氨基甲酸乙酯(urethan))形成，第二清洗輥37b由外周面具有比第一清洗輥 37a的側(cè)面更弱的粘接性的材料(例如特氟隆(注冊(cè)商標(biāo)))形成。膠帶切割器20被設(shè)置在臺(tái)架11前面的第三引導(dǎo)輥43的右側(cè)區(qū)域內(nèi)。該膠帶切割器20由在上下方向并列設(shè)置的上刃20a與下刃20b構(gòu)成，通過(guò)這上下兩刃20a、20b進(jìn)行
10相互接近及相互分開(kāi)的開(kāi)閉動(dòng)作(切斷動(dòng)作)，從而切斷在水平方向上通過(guò)上下兩刃20a、 20b之間的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF(對(duì)導(dǎo)電膠帶ACF開(kāi)設(shè)切痕)。另外，在由該膠帶切割器20進(jìn)行的膠帶部件T的切斷動(dòng)作中，僅切斷膠帶部件T中的層疊于隔離物SP上的導(dǎo)電膠帶ACF，而不切斷隔離物SP。壓接頭21位于設(shè)置在底座31上的切口部31a內(nèi)，并被設(shè)置于臺(tái)架11上。壓接頭 21包括沿著上下方向(Z軸方向)延伸且使桿(rod) 21a向下方突沒(méi)的汽缸21b ；以及設(shè)于桿21a的下端的按壓體21c。按壓體21c具備熱源21d。再有，為了檢查基板PB上的導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)，而從基板PB的上方對(duì)粘貼在基板PB上的導(dǎo)電膠帶ACF進(jìn)行拍攝的膠帶攝像照相機(jī)23，在沿著基板PB的側(cè)緣部的方向、即X軸方向上，能夠相對(duì)于基板保持移動(dòng)臺(tái)4移動(dòng)(即相對(duì)于基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板PB移動(dòng))，且被安裝在支撐設(shè)有電極DT的基板PB的側(cè)緣部的下表面的支撐臺(tái)51 (下支撐部)獨(dú)立地移動(dòng)的粘貼單元5的臺(tái)架11上，設(shè)于膠帶供給單元部7的底座31前面的第四引導(dǎo)輥44的圖示右方(參照?qǐng)D3及圖幻。膠帶攝像照相機(jī)23使攝像視野朝向下方， 從上方側(cè)對(duì)被粘貼在基板PB上的膠帶粘貼位置處(應(yīng)該粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的位置，即設(shè)有電極DT的位置處)的導(dǎo)電膠帶ACF進(jìn)行拍攝。膠帶攝像照相機(jī)23的拍攝動(dòng)作由控制器8來(lái)控制，由膠帶攝像照相機(jī)23所拍攝的圖像信息被輸入到控制器8中。而且，控制器8基于通過(guò)膠帶攝像照相機(jī)23的拍攝而得到的導(dǎo)電膠帶ACF的圖像，進(jìn)行向基板PB粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的狀態(tài)(基板PB上有無(wú)導(dǎo)電膠帶ACF以及粘貼狀態(tài)是否良好)的判斷。其中，在該檢查中，只要可以檢查基板PB上的導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)即可，還可以取代攝像照相機(jī)而采用光學(xué)式的傳感器等。在圖1 圖4中，在配置于基座2的上表面的框架3的Y軸方向的前方區(qū)域、即2 個(gè)粘貼單元5的下方區(qū)域，沿著基座2的橫向(X軸方向)延伸設(shè)置支撐臺(tái)導(dǎo)向器50，在該支撐臺(tái)導(dǎo)向器50的上表面，2個(gè)支撐臺(tái)51被設(shè)置為互相地且與2個(gè)粘貼單元5 (因此與2 個(gè)壓接頭21)獨(dú)立地在沿著基板PB的側(cè)緣部的方向、即X軸方向上自由移動(dòng)。各支撐臺(tái)51 通過(guò)由控制器8對(duì)設(shè)于支撐臺(tái)導(dǎo)向器50內(nèi)的未圖示的球形螺桿機(jī)構(gòu)或者線性電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)等進(jìn)行動(dòng)作控制，從而能沿著支撐臺(tái)導(dǎo)向器50而在X軸方向、即橫向上移動(dòng)(圖1中示出的箭頭A2)。各支撐臺(tái)51是上表面為平坦面52 (參照?qǐng)D3及圖4)的柱狀部件，各支撐臺(tái)51的平坦面52向X軸方向移動(dòng)的移動(dòng)軌道和兩粘貼單元5所具備的壓接頭21的按壓體21c在 X軸方向上的移動(dòng)軌道L(參照?qǐng)D4)在上下方向上對(duì)置。因此，各支撐臺(tái)51可以在與位于沿著框架3的水平部3a的任意位置上的壓接頭21在上下方向上對(duì)置的位置處相對(duì)地進(jìn)行 X軸方向的移動(dòng)。在Y軸方向上的與操作人員OP側(cè)相反一側(cè)的各支撐臺(tái)51的背面，設(shè)有向后方側(cè)突出的照相機(jī)支撐部53，在該照相機(jī)支撐部53上設(shè)有使攝像視野朝向上方的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M。即，該膠帶粘貼裝置1所具備的2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M可以相對(duì)于2個(gè)粘貼單元5沿著X軸方向相互獨(dú)立移動(dòng)。這兩個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M是自玻璃等透明材質(zhì)的基板PB的側(cè)緣部的下表面?zhèn)确謩e對(duì)設(shè)于側(cè)緣部?jī)啥藗?cè)的基板PB的定位用的2個(gè)基板標(biāo)記M(參照?qǐng)D4)進(jìn)行拍攝的部件，該攝像動(dòng)作是由控制器8進(jìn)行控制的，由這兩個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M所拍攝的基板標(biāo)記M的圖像信息被輸入到控制器8中。而且，控制器8基于通過(guò)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的拍攝而得到的基板標(biāo)記M的圖像進(jìn)行基板PB的位置識(shí)另IJ，利用基板保持移動(dòng)臺(tái)4使基板PB移動(dòng)，進(jìn)行基板PB向作業(yè)位置的定位。即，在本實(shí)施方式中，作為控制器的功能，控制器8具有作為基于通過(guò)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的拍攝而得到的基板標(biāo)記M的圖像進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別的位置識(shí)別單元的功能；作為基于位置識(shí)別單元對(duì)基板PB的位置識(shí)別結(jié)果而使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，以進(jìn)行基板PB向作業(yè)位置的定位的基板定位單元的功能。在圖5中，從供給卷筒32拉出的膠帶部件T按照以下順序被搭在作為膠帶輸送路徑單元的第一引導(dǎo)輥41、第二引導(dǎo)輥42、第一階差輥35、第三引導(dǎo)輥43、構(gòu)成剝離輥單元22 的第一剝離輥22b及第二剝離輥22c、第四引導(dǎo)輥44、清洗輥37、第五引導(dǎo)輥45、膠帶輸送輥34、第六引導(dǎo)輥46、第二階差輥36以及第七引導(dǎo)輥47上，并與卷繞卷筒33連接。另外， 雖然設(shè)為膠帶輸送路徑單元中包含清洗輥37，但在根據(jù)膠帶部件T自身情況，位于膠帶輸送方向(箭頭B(參照?qǐng)D幻)下游的膠帶輸送輥34用的膠帶部件T不需要清洗時(shí)，膠帶輸送路徑單元中也可以不包含清洗輥37。在此，如圖9所示，第一引導(dǎo)輥41及第二引導(dǎo)輥42在包含供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面Sl內(nèi)輸送膠帶部件T，如圖5及圖7所示，第一階差輥35、第三引導(dǎo)輥43、剝離輥單元22 (第一剝離輥22b及第二剝離輥22c)、第四引導(dǎo)輥44、清洗輥37、 第五引導(dǎo)輥45、膠帶輸送輥34、第六引導(dǎo)輥46、第二階差輥36以及第七引導(dǎo)輥47在包含卷繞卷筒33的膠帶部件的卷曲面在內(nèi)的垂直面S2內(nèi)輸送膠帶部件T。因此，膠帶部件T在從第二引導(dǎo)輥42到第一階差輥35之間向Y軸方向的前面?zhèn)绕屏税┙o卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)Δ量，但是由此在被配置在Y軸方向的同一軸上且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間，能進(jìn)行膠帶部件T的供給及卷繞。另外，膠帶部件T在從第二引導(dǎo)輥42到第一階差輥35之間向Y軸方向的前面?zhèn)绕屏税┙o卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)△量，但也可以是在從第六引導(dǎo)輥46到第二階差輥36之間向Y軸方向的前面?zhèn)绕乒┙o卷筒32的膠帶部件T的卷曲面與卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在Y軸方向的差(階差)Δ量，被配置在Y軸方向的同一軸上，且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間進(jìn)行膠帶部件T的供給及卷繞。然而，為了構(gòu)成為在利用壓接頭21將從后述的供給卷筒32拉出的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF的面粘貼到基板PB之前，導(dǎo)電膠帶ACF的面不與膠帶輸送路徑單元的輥01、 42,35,43)的面接觸，希望膠帶部件T采取以下構(gòu)成在從第二引導(dǎo)輥42到第一階差輥35 之間向Y軸方向的前面?zhèn)绕瓢┙o卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內(nèi)的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)Δ量， 被配置在Y軸方向的同一軸上，且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間進(jìn)行膠帶部件T的供給及卷繞。在圖2及圖5中，在第三引導(dǎo)輥43與第一剝離輥22b之間，沿著水平方向傳送膠帶部件T。這是為了 在此之間(第三引導(dǎo)輥43與第一剝離輥22b之間)的膠帶部件T被設(shè)置于由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持的基板PB的側(cè)緣部，膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF與粘貼的電極DT的表面平行。另外，如圖6所示，在該膠帶粘貼裝置1的粘貼單元5中，膠帶部件T 按照設(shè)置有導(dǎo)電膠帶ACF —側(cè)成為供給卷筒32的軸心方向的內(nèi)側(cè)的方式被供給卷筒32卷繞，在從供給卷筒32拉出之后的隔離物SP上層疊了導(dǎo)電膠帶ACF的膠帶部件T成為與設(shè)有導(dǎo)電膠帶ACF的一側(cè)相反側(cè)的隔離物SP和第一引導(dǎo)輥41、第二引導(dǎo)輥42、第一階差輥 35以及第三引導(dǎo)輥43的外周面接觸。在第三引導(dǎo)輥43與第四引導(dǎo)輥44之間的膠帶部件 T被沿著水平方向輸送的區(qū)域內(nèi)，導(dǎo)電膠帶ACF成為膠帶部件T的下表面。由此，因?yàn)閺墓┙o卷筒32拉出的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF的面在由壓接頭21 粘貼到基板PB的側(cè)緣部的電極DT之前不會(huì)與膠帶輸送路徑單元的輥(41、42、35、4；3)的面接觸，所以可以防止膠帶輸送路徑單元的輥01、42、35、43)的面的污染等引起的導(dǎo)電膠帶 ACF的品質(zhì)降低或粘接性的導(dǎo)電膠帶ACF附著到膠帶輸送路徑單元的輥01、42、35、43)的面上而產(chǎn)生的膠帶部件T的輸送故障。在圖5中，膠帶部件T以被第一清洗輥37a與第二清洗輥37b夾持的狀態(tài)通過(guò)清洗輥37。再有，膠帶部件T以被驅(qū)動(dòng)輥3 與夾送輥34b夾持的狀態(tài)通過(guò)膠帶輸送輥34。在將膠帶供給單元部7安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6之前的初始狀態(tài)下，如上所述，在相對(duì)于驅(qū)動(dòng)單元部6能拆裝的膠帶供給單元部7中，在同一軸上安裝膠帶部件T的供給卷筒32 與卷繞卷筒33，并且將膠帶部件T搭在多個(gè)引導(dǎo)輥(第一 第七引導(dǎo)輥41、42、…、47)、膠帶輸送輥34、第一階差輥35、第二階差輥36、剝離輥單元22以及清洗輥37等用于向卷繞卷筒33引導(dǎo)膠帶部件T的膠帶輸送路徑單元上，按照第一階差輥35及第二階差輥36分別成為能夠進(jìn)行位置調(diào)整為位于各自的原點(diǎn)位置的狀態(tài)的方式，調(diào)節(jié)從供給卷筒32到卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度，其中該卷繞卷筒33對(duì)由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF按壓到基板PB上并進(jìn)行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP 單體)進(jìn)行卷繞。而且，將該初始狀態(tài)下的膠帶供給單元部7安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6，控制器 8驅(qū)動(dòng)膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a，若使膠帶輸送輥34的驅(qū)動(dòng)輥3 沿著圖5 中示出的箭頭Rl的方向旋轉(zhuǎn)，則伴隨與此，夾送輥34b會(huì)沿著箭頭R2的方向旋轉(zhuǎn)，被驅(qū)動(dòng)輥3 與夾送輥34b夾持著的膠帶部件T在圖5所示的箭頭B的方向上前進(jìn)。此外，因?yàn)槟z帶部件T被驅(qū)動(dòng)輥3 與夾送輥34b夾持著，所以即使在初始狀態(tài) (即未安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6的狀態(tài))下的膠帶供給單元部7的驅(qū)動(dòng)輥3 與膠帶輸送輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)19的驅(qū)動(dòng)軸19a分離的狀態(tài)下，膠帶部件T的輸送位置也不會(huì)大幅度偏移。若膠帶部件T在箭頭B的方向上前進(jìn)，首先，供給卷筒32 (以及卷繞卷筒3 處于停止?fàn)顟B(tài)，所以供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度縮短，第一階差輥35 抵抗安裝在第一階差輥導(dǎo)向器35a的彈簧(未圖示)的彈性力，被從原點(diǎn)位置向下方拉拽。 控制器8基于來(lái)自位于原點(diǎn)位置的第一原點(diǎn)傳感器17的輸出而檢測(cè)出第一階差輥35從原點(diǎn)位置向下方的移動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12的驅(qū)動(dòng)軸12a，使供給卷筒32沿著圖 5所示的箭頭R3的方向旋轉(zhuǎn)。由此，從供給卷筒32供給(調(diào)出)膠帶部件T。若從供給卷筒32供給膠帶部件T，則供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度變長(zhǎng)，因此第一階差輥35因?yàn)榘惭b在第一階差輥導(dǎo)向器35a的彈簧(未圖示) 的彈性力而上升?？刂破?在基于來(lái)自第一原點(diǎn)傳感器17的輸出而檢測(cè)出第一階差輥35 返回到原點(diǎn)位置時(shí)，停止供給卷筒32的驅(qū)動(dòng)。然后，通過(guò)停止該供給卷筒32的驅(qū)動(dòng)，從而在再次檢測(cè)到第一階差輥35從原點(diǎn)位置向下方移動(dòng)時(shí)，控制器8重新開(kāi)始供給卷筒32的驅(qū)動(dòng)。由此，可以將供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度基本保持恒定。另一方面，若由膠帶輸送輥34向卷繞卷筒33側(cè)輸送膠帶部件T，則膠帶輸送輥34 與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T會(huì)變長(zhǎng)，因此第二階差輥36借助安裝在第二階差輥導(dǎo)向器36a的彈簧(未圖示)的彈性力而從原點(diǎn)位置向下方移動(dòng)?？刂破?若基于來(lái)自位于原點(diǎn)位置的第二原點(diǎn)傳感器36的輸出而檢測(cè)出第二階差輥36從原點(diǎn)位置向下方移動(dòng)，則驅(qū)動(dòng)卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13，使卷繞卷筒33沿著圖5所示的箭頭R4的方向旋轉(zhuǎn)。由此，膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T被卷繞卷筒33卷繞。若由卷繞卷筒33卷繞膠帶部件T，則膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度變短，因此第二階差輥36抵抗安裝在第二階差輥導(dǎo)向器36a的彈簧(未圖示) 的彈性力被上拉而上升。控制器8在基于來(lái)自第二原點(diǎn)傳感器18的輸出而檢測(cè)出第二階差輥36返回到原點(diǎn)位置后，停止卷繞卷筒33的驅(qū)動(dòng)。然后，通過(guò)停止該卷繞卷筒33的驅(qū)動(dòng)，從而在再次檢測(cè)到第二階差輥36從原點(diǎn)位置向下方移動(dòng)時(shí)，控制器8重新開(kāi)始卷繞卷筒33的驅(qū)動(dòng)。由此，可以將膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長(zhǎng)度基本保持恒定。第三引導(dǎo)輥43與構(gòu)成剝離輥單元22的第一剝離輥22b之間的膠帶部件T在水平方向上被輸送的區(qū)域的中間部分成為粘貼作業(yè)區(qū)域PR，在該粘貼作業(yè)區(qū)域PR內(nèi)，進(jìn)行通過(guò)設(shè)在驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11上的壓接頭21而在由基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的作業(yè)(圖5)。在此，膠帶部件T在到達(dá)粘貼作業(yè)區(qū)域ra之前通過(guò)膠帶切割器20的上刃20a與下刃20b之間，借助膠帶切割器20的切斷動(dòng)作而將導(dǎo)電膠帶ACF切斷，留出切痕，被裁斷為所需要的長(zhǎng)度。若將導(dǎo)電膠帶ACF作為下面?zhèn)炔⒃诟綦x物SP上層疊了導(dǎo)電膠帶ACF的膠帶部件T 輸送到粘貼單元5的壓接頭21的粘貼作業(yè)區(qū)域PR，則通過(guò)位于該粘貼單元5的壓接頭21 正下方(即粘貼作業(yè)區(qū)域I3R的正下方)的支撐臺(tái)51的平坦面52，支撐設(shè)置了電極DT的基板PB側(cè)緣部的下表面(圖10(a))，在此基礎(chǔ)上使在粘貼單元5的驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11 上設(shè)置的壓接頭21的汽缸21b工作，使桿21a向下方突出，由此通過(guò)設(shè)于桿21a下端且被加熱器21d加熱的按壓體21c，將粘貼作業(yè)區(qū)域PR內(nèi)的膠帶部件T按壓到支撐臺(tái)51支撐的基板PB側(cè)緣部上設(shè)置的電極DT上，從而將層疊在膠帶部件T上的導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB的電極DT上(圖10(b))。通過(guò)壓接頭21將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB上后，使汽缸21b工作，向上方拉拽桿21a，從而使按壓體21c自膠帶部件T離開(kāi)(圖10(c))。接著，使剝離輥單元22的移動(dòng)底座22a向粘貼作業(yè)區(qū)域I3R側(cè)移動(dòng)(圖10(c)。如圖中所示的箭頭A3 (X軸方向圖示左側(cè)))。由此，膠帶部件T被拽向上方，將隔離物SP強(qiáng)制性地與被粘貼在基板PB上的導(dǎo)電膠帶ACF分離。另外，導(dǎo)電膠帶ACF與隔離物SP之間的接合力和被粘貼到基板PB上的導(dǎo)電膠帶 ACF與基板PB之間的接合力相比較弱，因此通過(guò)將按壓體21c拽向上方后的膠帶部件T的張力，隔離物SP很自然地自導(dǎo)電膠帶ACF部分分離，但是通過(guò)采用上述的剝離輥單元22，從而可以迅速且可靠地進(jìn)行隔離物SP自被粘貼在基板PB上的導(dǎo)電膠帶ACF的分離。在由壓接頭21進(jìn)行了導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼之后，如圖5及圖11所示，成為隔離物
14SP單體的膠帶部件T之后經(jīng)由第四引導(dǎo)輥44、第五引導(dǎo)輥45而通過(guò)膠帶輸送輥34，但是成為在該隔離物SP單體的設(shè)有導(dǎo)電膠帶ACF—側(cè)的面上附著有(殘留有)粘接劑的渣滓的狀態(tài)。膠帶輸送輥34的驅(qū)動(dòng)輥3 是在其外周面具有多個(gè)微小的突起34t(參照?qǐng)D11)且可以準(zhǔn)確地控制膠帶部件T的輸送量的部件，若在這種驅(qū)動(dòng)輥34a的表面上附著(從隔離物SP轉(zhuǎn)移)粘接劑的渣滓K，則有可能無(wú)法準(zhǔn)確地進(jìn)行膠帶部件T的輸送量控制。再有，在若想除去附著并牢牢地粘在驅(qū)動(dòng)輥3 表面上的粘接劑的渣滓K，則要直接用金屬刷等對(duì)驅(qū)動(dòng)輥34a的表面進(jìn)行清洗的情況下，驅(qū)動(dòng)輥34a的外周面所具備的多個(gè)微小的突起34t會(huì)因?yàn)榍逑炊鴮?dǎo)致磨損，膠帶部件T的輸送量控制會(huì)變得不準(zhǔn)確。還有，在粘接劑的渣滓K牢牢地粘在驅(qū)動(dòng)輥3 的表面之前，即使直接清洗驅(qū)動(dòng)輥3 的表面，驅(qū)動(dòng)輥3 的表面上也會(huì)殘留渣滓K的粘接成分，驅(qū)動(dòng)輥3 的表面會(huì)變得不穩(wěn)定且發(fā)粘，膠帶部件T的輸送量控制會(huì)變得不準(zhǔn)確。然而，在該膠帶粘貼裝置1的粘貼單元5中，成為隔離物SP單體的膠帶部件T在到達(dá)驅(qū)動(dòng)輥3 之前，使第一清洗輥37a向一個(gè)方向(圖11中所示的箭頭肪)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使第二清洗輥37b向相反的方向(圖11中示出的箭頭R6)旋轉(zhuǎn)，以通過(guò)清洗輥37，從而膠帶部件T的殘留有粘接劑的渣滓K一側(cè)的面與由具有粘接性的氨基甲酸乙酯等彈性材料構(gòu)成的第一清洗輥37a接觸，從而粘接劑的渣滓K被除去，因此不再存在因?yàn)檎辰觿┑脑襅 引起的驅(qū)動(dòng)輥34a的輸送量控制變得不準(zhǔn)確的擔(dān)憂。另外，第一清洗輥37a及第二清洗輥 37b優(yōu)選相對(duì)于膠帶供給單元部7的底座31而言能夠自由裝卸，并且進(jìn)行更換或清掃，可以始終將驅(qū)動(dòng)輥3 的表面保持清潔(沒(méi)有粘接劑的渣滓的狀態(tài))。接著，利用圖12的流程圖、圖13 圖15以及圖3，對(duì)利用這種構(gòu)成的膠帶粘貼裝置1而在基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的順序進(jìn)行說(shuō)明。在基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的過(guò)程中，首先控制器8使未圖示的基板搬運(yùn)裝置工作， 將基板PB搬入到膠帶粘貼裝置1內(nèi)，將該基板PB載置在基板保持移動(dòng)臺(tái)4的基板保持部 4d上并進(jìn)行吸附保持(圖12的步驟STl)。然后，使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，使設(shè)于玻璃等透明材質(zhì)的基板PB側(cè)緣部的兩端側(cè)的2個(gè)基板標(biāo)記M,位于基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的移動(dòng)軌道Ll的大致正上方的位置處(參照?qǐng)D13及圖3中以虛線表示的基板PB)，進(jìn)行基板PB 的暫時(shí)定位(步驟SD)，其中基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的移動(dòng)軌道Ll是通過(guò)使支撐臺(tái)51在支撐臺(tái)導(dǎo)向器51上沿著X軸方向移動(dòng)而形成的?？刂破?進(jìn)行了基板PB的暫時(shí)定位后，使2個(gè)支撐臺(tái)51分別沿X軸方向移動(dòng)，這兩個(gè)支撐臺(tái)51各自具備的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M位于X軸方向的基板標(biāo)記M的拍攝位置、即各自的基板PB側(cè)緣部的兩端側(cè)的基板標(biāo)記M的正下方(圖13及圖14)，之后通過(guò)這兩個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M分別對(duì)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝(步驟ST3)。其中，在此在通過(guò)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M分別對(duì)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝時(shí)，在進(jìn)行了基板PB的暫時(shí)定位之后使2個(gè)支撐臺(tái)51移動(dòng)到X軸方向的基板標(biāo)記M的拍攝位置，但是也可以相對(duì)于基板標(biāo)記M的拍攝位置，幾乎同時(shí)進(jìn)行基板PB的暫時(shí)定位和支撐臺(tái)51向 X軸方向的移動(dòng)。再有，也可以在基板PB的暫時(shí)定位之前，使2個(gè)支撐臺(tái)51沿X軸方向移動(dòng)，再移動(dòng)到基板標(biāo)記M的拍攝位置?？刂破?在使2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M對(duì)基板PB兩端側(cè)的2個(gè)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝后，基于這兩個(gè)基板標(biāo)記M的拍攝結(jié)果(圖像)進(jìn)行圖像識(shí)別，進(jìn)行用于計(jì)算基板PB的位置偏移(基板PB的θ方向的位置偏移)的基板PB的位置識(shí)別(步驟ST4)?？刂破?在進(jìn)行了基板PB的位置識(shí)別之后，基于該位置識(shí)別結(jié)果而使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，進(jìn)行向在由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持的基板PB側(cè)緣部的多個(gè)膠帶粘貼位置上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的作業(yè)的位置、即作業(yè)位置的定位(定位以及位置修正)(步驟ST5)。該基板PB向作業(yè)位置的定位具體是通過(guò)以下方式來(lái)進(jìn)行的使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，基于在步驟ST4中求得的位置識(shí)別結(jié)果，例如按照在θ方向消除位置偏移的方式使基板PB整體在θ方向上旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而按照由基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板PB的膠帶粘貼位置位于 2個(gè)粘貼單元5各自具備的壓接頭21的(按壓體21c)的X軸方向的移動(dòng)軌道L的正下方的方式，使基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板PB整體向Y軸方向的前方移動(dòng)。在此，如圖14所示，控制器8在進(jìn)行上述基板PB的位置識(shí)別的期間內(nèi)(或者進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別之前)，使2個(gè)粘貼單元5分別移動(dòng)到基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板 PB的膠帶粘貼位置的上方(步驟ST6)。然后，若步驟ST5的基板PB向作業(yè)位置的定位結(jié)束，則按照在上下方向之間夾持被定位在該作業(yè)位置上的基板PB的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置的方式，使2個(gè)支撐臺(tái)51移動(dòng)到與2個(gè)粘貼單元5的每一個(gè)在上下方向?qū)χ玫奈恢茫鄬?duì)于2個(gè)支撐臺(tái)51，使由基板保持移動(dòng)臺(tái)4的基板保持部4d所保持的基板PB在Z軸方向上相對(duì)移動(dòng)，由2個(gè)支撐臺(tái)51來(lái)支撐基板PB的膠帶粘貼位置的下表面(步驟ST7)。由此，2個(gè)粘貼單元5與2個(gè)支撐臺(tái)51， 各自上下對(duì)置的部分彼此成為一組，成為被配置為在上下方向夾持基板PB的膠帶粘貼位置的狀態(tài)。此時(shí)，之后要粘貼的膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF成為位于各粘貼單元5的粘貼作業(yè)區(qū)域ra內(nèi)的狀態(tài)(參照?qǐng)D5)。另外，上述一組的1個(gè)粘貼單元5與1個(gè)支撐臺(tái)51構(gòu)成為能夠相互獨(dú)立地沿著X軸方向移動(dòng)。其中，2個(gè)支撐臺(tái)51對(duì)基板保持移動(dòng)臺(tái)4的基板保持部4d所保持的基板PB的膠帶粘貼位置的下表面進(jìn)行支撐的支撐動(dòng)作，可以使保持著基板PB的基板保持部4d沿著Z 軸方向下降來(lái)進(jìn)行?；蛘撸部梢园凑罩位錚B的膠帶粘貼位置的下表面的方式，在支撐臺(tái)51上設(shè)置球形螺桿機(jī)構(gòu)、線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或汽缸機(jī)構(gòu)等上下移動(dòng)單元(未圖示)， 使2個(gè)支撐臺(tái)51上升來(lái)進(jìn)行。再有，在該膠帶粘貼裝置1中，2個(gè)支撐臺(tái)51與2個(gè)粘貼單元5可以互相分別獨(dú)立地在沿著基板PB的側(cè)緣部的方向、即X軸方向上自由移動(dòng)，因此在利用2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M進(jìn)行基板定位標(biāo)記M的拍攝(即基板PB的位置識(shí)別)的期間(參照?qǐng)D14)，可以使具有膠帶部件T的供給卷筒32或卷繞卷筒33或膠帶輸送路徑單元的2個(gè)粘貼單元5，各自以獨(dú)立的動(dòng)作，與2個(gè)支撐臺(tái)51的X軸方向的移動(dòng)獨(dú)立地先移動(dòng)到壓接頭21的X軸方向的移動(dòng)軌道L上的膠帶粘貼位置處，通過(guò)該粘貼單元5的壓接頭21可以將導(dǎo)電膠帶ACF 粘貼到基板PB的側(cè)緣部的電極DT上。由此，可以抑制伴隨與支撐臺(tái)51相比大尺寸的2個(gè)粘貼單元5的定位移動(dòng)帶來(lái)的殘留振動(dòng)的影響，在完成基板PB向X軸方向的移動(dòng)軌道L的位置的定位以及完成2個(gè)支撐臺(tái)51夾持基板PB上的膠帶粘貼位置而向與壓接頭21在上下方向?qū)χ玫奈恢玫亩ㄎ恢?，馬上進(jìn)行由壓接頭21粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼動(dòng)作(參照?qǐng)D4)。還有，在此如圖14所示，因?yàn)楦呔鹊剡M(jìn)行基板PB的定位修正，所以希望所拍攝的基板標(biāo)記M盡可能地位于基板PB的兩側(cè)。利用在X軸方向上能移動(dòng)的支撐臺(tái)51所具備的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M對(duì)位于基板PB兩端側(cè)的基板標(biāo)記M進(jìn)行了拍攝并進(jìn)行了位置識(shí)別之后，按照2個(gè)支撐臺(tái)51夾持基板PB上的膠帶粘貼位置且成為與2個(gè)粘貼單元5各自的壓接頭21在上下方向?qū)χ玫奈恢玫姆绞?，?個(gè)支撐臺(tái)51與2個(gè)粘貼單元5分別獨(dú)立地移動(dòng)。在該移動(dòng)之際，因?yàn)檎迟N單元5在Y軸方向的同軸上并設(shè)配置供給卷筒32與卷繞卷筒33，所以在X軸方向上排列了 2個(gè)粘貼單元5的狀態(tài)下，難以在基板PB的相鄰的2個(gè)膠帶粘貼位置上同時(shí)粘貼導(dǎo)電膠帶ACF，其中該粘貼單元具有供給卷筒32或卷繞卷筒33中直徑較大的一方的卷筒的直徑以上的寬度尺寸。因此，從基板PB的兩端側(cè)向基板PB的側(cè)緣部的X軸方向中央，并不是使2個(gè)粘貼單元5向互相接近的方向移動(dòng)且在側(cè)緣部的膠帶粘貼位置粘貼導(dǎo)電膠帶ACF，而是針對(duì)導(dǎo)電膠帶ACF順次地進(jìn)行以下動(dòng)作例如使圖示X軸方向左側(cè)的粘貼單元5按照在位于基板 PB的X軸方向左側(cè)的端部的膠帶粘貼位置上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的方式移動(dòng)，使圖示X軸方向右側(cè)的粘貼單元5按照在比基板PB的側(cè)緣部的X軸方向中央側(cè)更靠右側(cè)的膠帶粘貼位置上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的方式移動(dòng)。而且，優(yōu)選按照2個(gè)粘貼單元不互相干涉的方式使2 個(gè)粘貼單元5向X軸方向右側(cè)移動(dòng)，在多個(gè)膠帶粘貼位置上同時(shí)粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼方法。另外，在上述粘貼方法中，雖然使2個(gè)粘貼單元5中、圖示X軸方向左側(cè)的粘貼單元5位于基板PB的X軸方向左側(cè)的端部，使圖示X軸方向右側(cè)的粘貼單元5比基板PB的側(cè)緣部的X軸方向的中央側(cè)更靠近右側(cè)，順次向X軸方向右側(cè)移動(dòng)，以便在多個(gè)膠帶粘貼位置同時(shí)粘貼導(dǎo)電ACF，但是也可以是相反的位置及方向。在將導(dǎo)電膠帶ACF同時(shí)粘貼到多個(gè)膠帶粘貼位置上時(shí)，只要2個(gè)粘貼單元5不互相干涉即可?？刂破?在使2個(gè)支撐臺(tái)51分別移動(dòng)到與基板PB上的膠帶粘貼位置對(duì)應(yīng)的X軸方向的移動(dòng)軌道L的位置上時(shí)，如圖15所示，使基板保持移動(dòng)臺(tái)4的保持著基板PB的基板保持部4d下降，按照由支撐臺(tái)51的平坦面支撐設(shè)有電極DT的基板PB的側(cè)緣部的下表面的方式進(jìn)行工作。與此同時(shí)，控制器8使各粘貼單元5的壓接頭21工作，由被加熱器21d 加熱的壓接頭21的按壓體21c將膠帶部件T按壓到由支撐臺(tái)51支撐著基板PB的側(cè)緣部下表面的基板PB側(cè)緣部的電極DT之上的膠帶粘貼位置，并將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB 的電極DT上(步驟ST8)?？刂破?在由粘貼單元5的壓接頭21將膠帶部件T的導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板 PB上的膠帶粘貼位置之后，使壓接頭21的按壓體21c上升，從已經(jīng)被粘貼到膠帶粘貼位置上的導(dǎo)電膠帶ACF剝離膠帶部件(隔離物SP單體)T，使粘貼單元5自基板PB離開(kāi)。然后， 控制器8通過(guò)使2個(gè)粘貼單元5與支撐著設(shè)有電極DT的基板PB的側(cè)緣部下表面的支撐臺(tái) 51在X軸方向上的移動(dòng)獨(dú)立地分別移動(dòng)，從而可以使各粘貼單元5所具備的膠帶攝像照相機(jī)23移動(dòng)到通過(guò)該粘貼單元5的壓接頭21已經(jīng)粘貼到基板PB的側(cè)緣部上的導(dǎo)電膠帶ACF 的正上方。然后，由各膠帶攝像照相機(jī)23進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF的拍攝，進(jìn)行該導(dǎo)電膠帶ACF 的粘貼狀態(tài)的檢查(步驟ST9)。再有，控制器8與該步驟ST8并行地進(jìn)行接下來(lái)的導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼準(zhǔn)備，因此在各粘貼單元5中按照使膠帶部件T位于下一膠帶粘貼位置的方式向壓接頭21的粘貼作業(yè)區(qū)域I5R進(jìn)行規(guī)定量輸送的動(dòng)作(步驟ST10)。在步驟ST9中，控制器8在進(jìn)行了由各粘貼單元5粘貼后的導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)的檢查后，接著進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)是否良好的判斷(步驟ST11)，結(jié)果在確
1認(rèn)了導(dǎo)電膠帶ACF的掀開(kāi)或破損等而判斷為導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)不良的情況下，向操作人員OP通知錯(cuò)誤(步驟ST12)，并且使粘貼單元5的動(dòng)作停止(步驟ST13)。另一方面， 在步驟STll中判斷為導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼狀態(tài)良好時(shí)，判斷當(dāng)前正在進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼作業(yè)的基板PB中的全部膠帶粘貼位置上是否粘貼完導(dǎo)電膠帶ACF (步驟ST14)。在步驟ST14中，當(dāng)并未在所有膠帶粘貼位置上粘貼完導(dǎo)電膠帶ACF的情況下返回步驟ST7，針對(duì)還未進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼的膠帶粘貼位置，進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼作業(yè)，因此進(jìn)行使2個(gè)粘貼單元5以及2個(gè)支撐臺(tái)51分別向與新的膠帶粘貼位置對(duì)應(yīng)的位置處移動(dòng)的動(dòng)作。例如，如圖4所示，作為膠帶粘貼位置的電極DT在基板PB的長(zhǎng)邊上有6 處，在短邊上有4處，由2個(gè)粘貼單元5同時(shí)一個(gè)一個(gè)地粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的動(dòng)作重復(fù)進(jìn)行 5次(針對(duì)長(zhǎng)邊進(jìn)行3次，針對(duì)短邊進(jìn)行2次)，由此從步驟ST14返回到步驟ST7的循環(huán)重復(fù)進(jìn)行5次。另外，通過(guò)使基板保持移動(dòng)臺(tái)4的基板保持部4d旋轉(zhuǎn)90度來(lái)進(jìn)行針對(duì)基板 PB長(zhǎng)邊的導(dǎo)電膠帶的粘貼作業(yè)以及針對(duì)基板PB短邊的導(dǎo)電膠帶ACF的粘貼作業(yè)的切換時(shí)的基板PB的定位。另一方面，在步驟ST14中，控制器8在該基板PB中的所有膠帶粘貼位置上都粘貼完導(dǎo)電膠帶ACF的情況下，使上述的基板搬運(yùn)裝置(未圖示)工作，將基板保持移動(dòng)臺(tái)4上的基板PB搬出到膠帶粘貼裝置1的外部(步驟ST15)。在本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1中，通過(guò)重復(fù)上述工序，從而在多個(gè)基板PB的多個(gè)膠帶粘貼位置上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF，但是在從供給卷筒32供給膠帶部件T之后需要更換供給卷筒32及卷繞卷筒33時(shí)，操作人員OP從驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11取下以可裝卸的方式與該臺(tái)架11并列安裝且被單元化的膠帶供給單元部7，將以脫機(jī)的方式對(duì)膠帶供給單元部7更換了供給卷筒32與卷繞卷筒33的新的膠帶供給單元部7安裝到驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11上。如以上所說(shuō)明的，本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1包括基板保持移動(dòng)臺(tái)4，其保持基板PB ；臺(tái)架11，其能相對(duì)于由基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持的基板PB相對(duì)地移動(dòng)；底座31，其以能裝卸的方式安裝在臺(tái)架11上；供給卷筒32，其被安裝在底座31，供給在導(dǎo)電膠帶ACF 上層疊了隔離物SP而成的膠帶部件T ；壓接頭21，其被安裝在臺(tái)架11，將由供給卷筒32供給的膠帶部件T按壓在由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB上，粘貼導(dǎo)電膠帶ACF ；以及卷繞卷筒33，其與供給卷筒32同軸地安裝在底座31上，對(duì)由壓接頭21將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB之后的膠帶部件T進(jìn)行卷繞。再有，該膠帶粘貼裝置1還包括粘貼單元5，其向在基板PB的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置粘貼被層疊在膠帶部件T上的導(dǎo)電膠帶ACF，粘貼單元5具備供給卷筒32，其供給在導(dǎo)電膠帶ACF上層疊有隔離物SP而成的膠帶部件T ；壓接頭21，其將由供給卷筒32供給的膠帶部件T按壓在由作為支撐基板PB的側(cè)緣部的下表面的下支撐部的支撐臺(tái)51支撐的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置上，以在基板PB上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF ；以及卷繞卷筒33，其對(duì)由壓接頭 21將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB之后的膠帶部件T進(jìn)行卷繞，膠帶部件T的供給卷筒32 與卷繞卷筒33以同軸的方式安裝在粘貼單元5上。在本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1中，因?yàn)樵谀z帶粘貼裝置1的粘貼單元5，以在同軸上并列的方式安裝供給卷筒32與卷繞卷筒33并緊湊地進(jìn)行配置，所以通過(guò)增長(zhǎng)膠帶部件T的所卷繞的膠帶長(zhǎng)度，從而即使兩卷筒32、33的直徑變大，與在實(shí)質(zhì)的平面上并列配置供給卷筒32與卷繞卷筒33的情況相比，裝置整體也不會(huì)大型化。由此，通過(guò)使膠帶部件T 的膠帶長(zhǎng)度增大，增長(zhǎng)卷筒32、33的更換間隔，減少更換次數(shù)，從而可以實(shí)現(xiàn)作業(yè)效率的提高。再有，如本實(shí)施方式那樣，即使在采用了在橫向(X軸方向)上排列多個(gè)由供給卷筒32 與卷繞卷筒33組成的套組(相當(dāng)于粘貼單元幻的布局的情況下，也可以抑制膠帶粘貼裝置1整體的X軸方向的尺寸增大(尤其是抑制設(shè)備線長(zhǎng))。進(jìn)而，因?yàn)楣┙o卷筒32與卷繞卷筒33被設(shè)置在相對(duì)于驅(qū)動(dòng)單元部6臺(tái)架11能夠裝卸的底座31上，且被單元化并作為膠帶供給單元部7，所以可以以預(yù)先脫機(jī)或者更換時(shí)脫機(jī)的方式，容易地進(jìn)行自膠帶粘貼裝置1內(nèi)(聯(lián)機(jī))的驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11取下的膠帶供給單元部7的兩卷筒32、33的更換。再有，因?yàn)閮H通過(guò)使在底座31上安裝了更換后的膠帶部件T的供給卷筒32與卷繞卷筒33的膠帶供給單元部7相對(duì)于驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架 11進(jìn)行安裝拆卸，可以使更換作業(yè)簡(jiǎn)化，且可以大幅度縮短用于進(jìn)行更換的生產(chǎn)中斷時(shí)間， 可以進(jìn)一步提高作業(yè)效率。還有，在驅(qū)動(dòng)單元部6的臺(tái)架11上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)供給卷筒32的供給卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12 (供給卷筒驅(qū)動(dòng)單元)；和驅(qū)動(dòng)卷繞卷筒33的卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)13 (卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)單元)。因此，在用于更換兩卷筒32、33的、具備兩卷筒32、33的膠帶供給單元部7的更換過(guò)程中，因?yàn)橹灰鼡Q除了該驅(qū)動(dòng)單元(供給卷筒驅(qū)動(dòng)單元12以及卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)單元13) 以外的部分即可，所以可以使得針對(duì)驅(qū)動(dòng)單元部6進(jìn)行更換的卡匣(cassette)結(jié)構(gòu)的膠帶供給單元更加輕便。再有，在本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1中，因?yàn)榫邆渥鳛檩伈考牡谝磺逑摧?37a，所以可以始終準(zhǔn)確地控制膠帶部件T的輸送量，其中該第一清洗輥37a與由壓接頭21 將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到基板PB之后僅剩下隔離物SP的膠帶部件T接觸，以除去殘存于隔離物SP上的粘接劑的渣滓K。還有，本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1包括基板保持移動(dòng)臺(tái)4，其保持基板PB并使基板PB在水平面內(nèi)移動(dòng)；作為下支撐部的支撐臺(tái)51，其被設(shè)置為相對(duì)于基板保持移動(dòng)臺(tái)4 能夠在水平面內(nèi)移動(dòng)，支撐由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持的基板PB的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置的下表面；基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M，其設(shè)于支撐臺(tái)51上，且從由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB的下方對(duì)基板PB所具備的基板定位用的基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝；位置識(shí)別單元(控制器8)，其基于通過(guò)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的拍攝而得到的基板標(biāo)記M的圖像，進(jìn)行基板 PB的位置識(shí)別；基板定位單元(控制器8)，其基于位置識(shí)別單元對(duì)基板PB的位置識(shí)別結(jié)果，使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，進(jìn)行基板PB向作業(yè)位置的定位；和粘貼單元5，其被設(shè)為能與支撐臺(tái)51獨(dú)立地在水平面內(nèi)方向上移動(dòng)并被定位在作業(yè)位置上，且從由支撐臺(tái)51支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的膠帶粘貼位置的上方將各向異性導(dǎo)電膠帶ACF按壓在基板PB上，并進(jìn)行粘貼。其中，在本實(shí)施方式中設(shè)置有多個(gè)0個(gè))具備基板標(biāo)記攝像照相機(jī)討的支撐臺(tái)51。另外，本實(shí)施方式的膠帶粘貼方法，是具備以下部件的膠帶粘貼裝置1的膠帶粘貼方法基板保持移動(dòng)臺(tái)4，其保持基板PB并使基板PB在水平面內(nèi)移動(dòng)；2個(gè)作為下支撐部的支撐臺(tái)51，被設(shè)置為相對(duì)于基板保持移動(dòng)臺(tái)4能夠在水平面內(nèi)移動(dòng)，分別支撐由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB的側(cè)緣部的多個(gè)膠帶粘貼位置的下表面；2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M，分別設(shè)于2個(gè)支撐臺(tái)51上，且在位于由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB所具備
19的基板定位用的2個(gè)基板標(biāo)記M的下方的狀態(tài)下，從基板PB的下方進(jìn)行2個(gè)基板標(biāo)記M的拍攝；2個(gè)粘貼單元5，被設(shè)為能與2個(gè)支撐臺(tái)51獨(dú)立地在水平面內(nèi)方向上移動(dòng)，根據(jù)基于通過(guò)2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的拍攝而得到的2個(gè)基板標(biāo)記M的圖像進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別的結(jié)果，被定位到在由基板保持移動(dòng)臺(tái)4所保持著的即便PB的側(cè)緣部的多個(gè)膠帶粘貼位置上粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的作業(yè)的位置、即作業(yè)位置，且將導(dǎo)電膠帶ACF按壓在由2個(gè)支撐臺(tái)51分別支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的膠帶粘貼位置上，并進(jìn)行粘貼。而且，在該膠帶粘貼方法中，包括使2個(gè)支撐臺(tái)51分別相對(duì)于由基板保持移動(dòng)臺(tái) 4保持著的基板PB移動(dòng)，由2個(gè)基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M從基板PB的下方對(duì)設(shè)于基板PB上的2個(gè)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝，基于所獲得的圖像進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別的工序(步驟ST3 及步驟ST4)；基于基板PB的位置識(shí)別結(jié)果使基板保持移動(dòng)臺(tái)4工作，進(jìn)行基板PB向作業(yè)位置的定位的工序(步驟SI^)；在進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別的期間(或者進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別之前)內(nèi)，使2個(gè)粘貼單元5分別向在作業(yè)位置粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的、由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB的膠帶粘貼位置的上方移動(dòng)的工序(步驟ST6)；按照成為與2個(gè)粘貼單元5在上下方向夾持被定位到作業(yè)位置的基板PB的側(cè)緣部的2個(gè)膠帶粘貼位置的位置的方式使2個(gè)支撐臺(tái)51移動(dòng)，由2個(gè)支撐臺(tái)51支撐基板PB的膠帶粘貼位置的下表面的工序(步驟ST7)；由2個(gè)膠帶粘貼單元5將導(dǎo)電膠帶ACF粘貼到由2個(gè)支撐臺(tái)51支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的2個(gè)粘貼位置上的工序(ST8)。而且，在本實(shí)施方式中，在步驟ST8之后，還執(zhí)行由2個(gè)粘貼單元5各自所具備的膠帶攝像照相機(jī)23 (粘貼狀態(tài)檢查單元)進(jìn)行導(dǎo)電膠帶ACF向基板PB的粘貼狀態(tài)的檢查的工序(步驟ST9)。在本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1中，因?yàn)閷?duì)設(shè)于基板PB上的基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M被安裝在設(shè)為能與粘貼單元5相互獨(dú)立地移動(dòng)的支撐臺(tái)51上， 所以對(duì)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝之際的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的移動(dòng)僅為并未伴隨與作為下支撐部的支撐臺(tái)51相比尺寸較大的粘貼單元5的移動(dòng)的、支撐臺(tái)51的移動(dòng)。粘貼單元5不僅具有比支撐臺(tái)51大的尺寸，還因?yàn)楸３帜z帶部件T，所以不優(yōu)選比較高速地移動(dòng)。根據(jù)這個(gè)觀點(diǎn)，也可以使支撐臺(tái)51及基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M比粘貼單元5更高速地移動(dòng)。因此， 在進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別之前或者進(jìn)行基板PB的位置識(shí)別的期間內(nèi)，可以使2個(gè)粘貼單元5分別向在作業(yè)位置粘貼導(dǎo)電膠帶ACF的由基板保持移動(dòng)臺(tái)4保持著的基板PB的膠帶粘貼位置的上方移動(dòng)，在進(jìn)行了基板PB的位置識(shí)別之后，可以迅速地進(jìn)行對(duì)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝的基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的移動(dòng)，可以縮短基板PB的定位所需的時(shí)間，可以提高作業(yè)效率。尤其是在本實(shí)施方式的膠帶粘貼裝置1中，因?yàn)樵O(shè)有多個(gè)0個(gè))具備基板標(biāo)記攝像照相機(jī)M的支撐臺(tái)51，所以可以同時(shí)對(duì)設(shè)于基板PB兩端的2個(gè)基板標(biāo)記M進(jìn)行拍攝，可以在極短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行基板PB的定位。到此為止雖然對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并未限于上述實(shí)施方式所示出的內(nèi)容。例如，在上述實(shí)施方式中，粘貼單元5為2個(gè)，但是粘貼單元5并未限于2 個(gè)，既可以是1個(gè)，也可以是3個(gè)以上。再有，粘貼單元5中的膠帶部件T的架設(shè)方法只是一例而已，并未限于上述內(nèi)容。膠帶粘貼裝置1例如在采取僅具備1個(gè)粘貼單元5的裝置構(gòu)成的情況下，考慮使多臺(tái)這種構(gòu)成的膠帶粘貼裝置1相鄰配置且同時(shí)對(duì)多張基板進(jìn)行導(dǎo)電膠帶的粘貼作業(yè)的情形。即使在這種裝置構(gòu)成中，也不會(huì)使得每個(gè)裝置大型化，使膠帶長(zhǎng)度增大且謀求作業(yè)效率的提高的事實(shí)是不會(huì)改變的。另外，通過(guò)適當(dāng)?shù)亟M合上述各種實(shí)施方式中的任意實(shí)施方式，從而可以達(dá)到各自所具有的效果。本發(fā)明雖然參照附圖對(duì)優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行了充分的記載，但對(duì)于熟悉該技術(shù)的技術(shù)人員而言，各種變形或修正是清楚的。應(yīng)該理解為這種變形或修正只要未超出基于所付的權(quán)利要求書(shū)記載的本發(fā)明的范圍，便包含于其中。將2009年7月3日提出申請(qǐng)的日本特許申請(qǐng)No. 2009-158706號(hào)的說(shuō)明書(shū)、附圖及權(quán)利要求書(shū)的公開(kāi)內(nèi)容以及2009年7月3日提出申請(qǐng)的日本特許申請(qǐng)No. 2009-158707 號(hào)的說(shuō)明書(shū)、附圖及權(quán)利要求書(shū)的公開(kāi)內(nèi)容作為整體來(lái)參考并納入到本說(shuō)明書(shū)中。工業(yè)上的可利用性提供一種不會(huì)使裝置整體大型化且可以使膠帶長(zhǎng)度增大并實(shí)現(xiàn)作業(yè)的效率化的膠帶粘貼裝置。另外，提供一種可以縮短基板的定位所需的時(shí)間且實(shí)現(xiàn)作業(yè)效率的提高的膠帶粘貼裝置及膠帶粘貼方法。
權(quán)利要求
1.一種膠帶粘貼裝置，其包括 基板保持臺(tái)，其保持基板；粘貼單元，其將層疊在膠帶部件上的各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置上；和粘貼單元移動(dòng)裝置，其使粘貼單元相對(duì)于由基板保持臺(tái)保持著的基板相對(duì)地移動(dòng)， 粘貼單元具備供給卷筒，其供給在各向異性導(dǎo)電膠帶上層疊隔離物而成的膠帶部件； 壓接頭，其將由供給卷筒供給的膠帶部件按壓在由基板保持臺(tái)所保持的基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置，將各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到所述膠帶粘貼位置；和卷繞卷筒，其對(duì)由壓接頭在基板上粘貼了各向異性導(dǎo)電膠帶之后的膠帶部件進(jìn)行卷繞，在粘貼單元中，供給卷筒與卷繞卷筒被安裝在同一軸上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膠帶粘貼裝置，其中， 該膠帶粘貼裝置具備多個(gè)粘貼單元，每個(gè)粘貼單元具備臺(tái)架，其安裝有壓接頭，并且以能夠相對(duì)于由基板保持臺(tái)保持著的基板相對(duì)地移動(dòng)的方式被安裝在粘貼單元移動(dòng)裝置上；和底座，其以同軸的方式安裝供給卷筒與卷繞卷筒，并且以能夠裝卸的方式被安裝在臺(tái)1 ο
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膠帶粘貼裝置，其中， 粘貼單元還包括卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第一旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；和供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有在第一旋轉(zhuǎn)軸的外周側(cè)與第一旋轉(zhuǎn)軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的膠帶粘貼裝置，其中， 每個(gè)粘貼單元還包括卷繞卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第一旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；和供給卷筒驅(qū)動(dòng)裝置，其具有在第一旋轉(zhuǎn)軸的外周側(cè)與第一旋轉(zhuǎn)軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉(zhuǎn)軸、和對(duì)第二旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的膠帶粘貼裝置，其中，供給卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)及卷繞卷筒用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)被安裝在臺(tái)架上， 在底座上安裝于同一軸上的供給卷筒及卷繞卷筒中，將供給卷筒安裝得比卷繞卷筒更靠近臺(tái)架側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括輥部件，其與通過(guò)壓接頭將各向異性導(dǎo)電膠帶粘貼到基板上而僅剩隔離物的膠帶部件接觸，以除去隔離物上殘存的粘接劑的渣滓。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的膠帶粘貼裝置，其中， 該膠帶粘貼裝置還包括多個(gè)下支撐部，其設(shè)置為能夠相對(duì)于基板保持臺(tái)而在水平面內(nèi)移動(dòng)，支撐由基板保持臺(tái)所保持著的基板的側(cè)緣部的膠帶粘貼位置的下表面；多個(gè)照相機(jī)，其被設(shè)于每個(gè)下支撐部上，從基板保持臺(tái)所保持著的基板的下方對(duì)基板所具有的基板定位用的基板標(biāo)記進(jìn)行拍攝；位置識(shí)別裝置，其基于通過(guò)每個(gè)照相機(jī)的拍攝而得到的基板標(biāo)記的圖像，進(jìn)行基板的位置識(shí)別；和定位裝置，其基于位置識(shí)別裝置對(duì)基板的位置識(shí)別結(jié)果，使基板保持臺(tái)動(dòng)作，進(jìn)行基板向作業(yè)位置的定位，粘貼單元移動(dòng)裝置使每個(gè)粘貼單元能夠與每個(gè)下支撐部獨(dú)立地在水平面內(nèi)方向上移動(dòng)，被定位在各作業(yè)位置上的狀態(tài)下的每個(gè)粘貼單元從膠帶粘貼位置的上方，對(duì)被定位在各作業(yè)位置且由每個(gè)下支撐部支撐著膠帶粘貼位置的下表面的狀態(tài)下的基板，按壓并粘貼各向異性導(dǎo)電膠帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括粘貼狀態(tài)檢查裝置，其被設(shè)置于每個(gè)粘貼單元，進(jìn)行各向異性導(dǎo)電膠帶向基板的粘貼狀態(tài)的檢查。
全文摘要
本發(fā)明提供一種膠帶粘貼裝置，其中在被安裝于框架中的臺(tái)架上，以能夠拆卸的方式安裝底座，在底座上設(shè)有供給卷筒，其供給各向異性導(dǎo)電膠帶與隔離物層疊而成的膠帶部件；和卷繞卷筒，其與供給卷筒安裝在同一軸上，對(duì)由被安裝在臺(tái)架上的壓接頭將各向異性導(dǎo)電膠帶壓接到基板上之后的膠帶部件進(jìn)行卷繞。
文檔編號(hào)H05K3/32GK102473654SQ201080028230
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月3日
發(fā)明者小田原廣造, 藤原啟二 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社