專利名稱：有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置的制作方法
有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來，利用有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的顯示裝置的研究、開發(fā)得到進(jìn)展。在該顯示裝置中，各像素部構(gòu)成為具有陽(yáng)電極、陰電極以及介于陽(yáng)電極和陰電極之間的有機(jī)發(fā)光層。并且，在顯示裝置的驅(qū)動(dòng)中，從陽(yáng)電極注入空穴，從陰電極注入電子，在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)通過空穴和電子復(fù)合來進(jìn)行發(fā)光。相鄰的像素部的有機(jī)發(fā)光層彼此之間，通過由絕緣材料構(gòu)成的隔壁(堤)來進(jìn)行區(qū) 劃。對(duì)于有機(jī)發(fā)光層的形成，例如，向由隔壁區(qū)劃出的各區(qū)域滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，由此來形成有機(jī)發(fā)光層。但是，如上所述形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚存在難以做得均勻的問題。在此，為了使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻，例如，在專利文獻(xiàn)I中記載了如下技術(shù)在隔壁的面部設(shè)置凸?fàn)畈?，由此控制相?duì)于隔壁的面部的墨的鎖住(pinning)位置。S卩，通過采用專利文獻(xiàn)I中提出的技術(shù)，能夠?qū)⒁粋€(gè)像素部的滴下了墨時(shí)的鎖住位置鎖定于形成在面部的凸?fàn)畈?，由此能夠確保一定程度的膜厚均勻性。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2007-311235號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，對(duì)于顯示裝置的有機(jī)發(fā)光面板，認(rèn)為難以采用上述專利文獻(xiàn)I提出的技術(shù)預(yù)先把握有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻而基于該不勻來在各區(qū)域或隔壁的各對(duì)應(yīng)面部高精度地形成細(xì)微的凸?fàn)畈?。因此，在有機(jī)發(fā)光面板的整個(gè)區(qū)域中，不容易使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻。本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的發(fā)明，目的在于提供一種實(shí)現(xiàn)面板整個(gè)面的有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻化、面內(nèi)輝度(brightness)不均少的顯示裝置及其制造方法。用于解決問題的手段因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的特征在于采用如下結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板是排列多個(gè)像素部而成的有機(jī)發(fā)光面板，所述多個(gè)像素部的各像素部具有發(fā)光色互不相同的按順序排列的多個(gè)發(fā)光部。各發(fā)光部包括基底層、有機(jī)發(fā)光層以及第2電極，所述基底層包括第I電極，所述有機(jī)發(fā)光層與基底層對(duì)向設(shè)置、涂覆含有與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成，所述第2電極相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層形成在與基底層相反一側(cè)。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，同一像素部?jī)?nèi)的多個(gè)發(fā)光部至少具有從一側(cè)向另一側(cè)依次被涂覆與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層的、位于一側(cè)的被第I輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第I發(fā)光部、位于中央側(cè)的被第2輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第2發(fā)光部、以及位于另一側(cè)的被第3輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，另外，在基底層的上方設(shè)有區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。并且，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在多個(gè)像素部?jī)?nèi)包括滿足如下關(guān)系的像素部規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，且位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。發(fā)明的效果在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，第I發(fā)光部被第I輪涂敷對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層，因此在形成第I發(fā)光部時(shí)，在與第I發(fā)光部相鄰的區(qū)域未涂覆墨，在第I發(fā)光部的一端側(cè)與另一端側(cè)，墨的蒸汽濃度為“0”，兩端側(cè)的蒸汽濃度相等，有機(jī)發(fā)光層的膜厚不會(huì)產(chǎn)生不勻。因此，關(guān)于第I發(fā)光部，通過使相鄰隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等，能夠防止膜厚不勻，能得到良好的發(fā)光特性。另一方面，第2發(fā)光部被第2輪涂敷對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層，因此在形成第2 發(fā)光部時(shí)，在與第2發(fā)光部相鄰的區(qū)域，墨的蒸汽濃度不同。即，在第2發(fā)光部中，作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的墨的蒸汽濃度高于作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的墨的蒸汽濃度。因此，第2發(fā)光部中，有機(jī)發(fā)光層的作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的發(fā)光層的膜厚會(huì)大于作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的發(fā)光層的膜厚，膜厚要產(chǎn)生不勻。但是，根據(jù)本發(fā)明的一種方式涉及的上述結(jié)構(gòu)，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的墨的鎖住位置比位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的墨的鎖住位置高。由此，能抑制第3發(fā)光部側(cè)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚，能夠防止第2發(fā)光部的一端部和另一端部的膜厚不勻。如上所述，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于同一像素部的發(fā)光部，能夠防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻，能得到同一像素部的良好的發(fā)光特性。


圖I是表示實(shí)施方式I的有機(jī)顯示裝置I的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示顯示面板10的一部分子像素100的示意剖視圖。圖3是表不顯不面板10的堤105的不意俯視圖。圖4是表示顯示面板10的子像素IOOa IOOc以及對(duì)各子像素IOOa IOOc之間進(jìn)行區(qū)劃的堤105a 105d的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。圖5的(a)是表示堤側(cè)面部的錐角小的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，圖5的(b)是表示堤側(cè)面部的錐角大的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，圖5的(c)是表示堤側(cè)面部的錐角小的情況下的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖，圖5的(d)是表示堤側(cè)面部的錐角大的情況下的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖。圖6是總結(jié)表示堤面部的傾斜角度(錐角)Θ、鎖住位置的高度H以及有機(jī)發(fā)光層的膜厚T的關(guān)系的圖。圖7是表示樣品I 3的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。圖8是表示樣品4、5的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。
圖9的(a) (c)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖10的(a) (C)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖11的(a)、(b)是表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖12的(a)是表示墨1060a 1060c的涂覆以及干燥涉及的工序順序的示意流程圖，圖12的(b)是表示墨1060a 1060c的涂覆以及干燥涉及的其他工序順序的示意流程圖。圖13是表示變形例I的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。
圖14的(a)、(b)是按順序表示變形例2的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖15的(a)、(b)是按順序表示變形例2的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖16的(a)是表示曝光、顯影處理和堤的錐角的關(guān)系的圖，圖16的(b)是表示所形成的堤的形狀的AFM (原子力顯微鏡)。圖17是表示實(shí)施方式2的有機(jī)顯示裝置具備的顯示面板中的子像素300a 300c以及非像素部300d、300e和堤305a 305e的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。圖18的(a) (c)是表不按順序涂覆墨3060a 3060c的工序的不意首I]視圖。圖19的(a)、(b)是用于說明錐角的定義的示意剖視圖。圖20是用于說明顯示面板10的區(qū)域IOal、10a2、IOb的示意俯視圖。圖21是表示包括有機(jī)顯示裝置I的設(shè)備的外觀的一例的外觀立體圖。圖22表不變形例3的顯不面板80所具備的堤805的結(jié)構(gòu)的不意俯視圖。圖23的(a)、(b)是表示顯示面板的各相鄰子像素的有機(jī)發(fā)光層膜厚分布的不勻狀態(tài)的示意剖視圖。圖24的(a) (C)是表示形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)的蒸汽濃度分布和墨干燥工序中的膜形狀不勻的狀態(tài)的示意剖視圖。標(biāo)號(hào)說明I顯示裝置10、30、80 顯示面板IOal發(fā)光中央?yún)^(qū)域10a2發(fā)光周邊區(qū)域IOb虛設(shè)區(qū)域20驅(qū)動(dòng)控制單元21 24驅(qū)動(dòng)電路25控制電路100、100a 100c、300a 300c 子像素101 基板102陽(yáng)電極103電極覆蓋層
104空穴注入層105、105a 105d、105x、105y、305a 305e、605、705、805 堤106、106a、106c、106x、106y 有機(jī)發(fā)光層107電子注入層108陰電極109封止層300d、300e 非像素部·501 505 掩模IOOOa 1000c、3000a 3000c子像素預(yù)定區(qū)域1050、1051a、1051b、1051e、1051f 堤材料層1060a 1060c、1060x、1060y、3060a 3060c 墨3000d、3000e非像素預(yù)定區(qū)域
具體實(shí)施例方式[本發(fā)明的一種方式的概要]本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板是排列多個(gè)像素部而成的有機(jī)發(fā)光面板，多個(gè)像素部的各像素部具有發(fā)光色互不相同的按順序排列的多個(gè)發(fā)光部。各發(fā)光部包括基底層、有機(jī)發(fā)光層以及第2電極，所述基底層包括第I電極，所述有機(jī)發(fā)光層與基底層對(duì)向設(shè)置、涂覆含有與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成，所述第2電極相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層形成在與基底層相反一側(cè)。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，同一像素部?jī)?nèi)的多個(gè)發(fā)光部至少具有從一側(cè)向另一側(cè)依次被涂覆與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層的、位于一側(cè)的被第I輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第I發(fā)光部、位于中央側(cè)的被第2輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第2發(fā)光部、以及位于另一側(cè)的被第3輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，另外，在基底層的上方設(shè)有區(qū)劃多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。并且，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在多個(gè)像素部?jī)?nèi)包括滿足如下條件的像素部規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，且位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，第I發(fā)光部被第I輪涂敷對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層，因此在形成第I發(fā)光部時(shí)，在與第I發(fā)光部相鄰的區(qū)域未涂覆墨，在第I發(fā)光部的一端側(cè)與另一端側(cè)，墨的蒸汽濃度為“0”，兩端側(cè)的蒸汽濃度相等，有機(jī)發(fā)光層的膜厚不會(huì)產(chǎn)生不勻。因此，關(guān)于第I發(fā)光部，通過使相鄰隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等，能夠防止膜厚不勻，能得到良好的發(fā)光特性。另一方面，第2發(fā)光部被第2輪涂敷對(duì)應(yīng)的墨而形成有機(jī)發(fā)光層，因此在形成第2發(fā)光部時(shí)，在與第2發(fā)光部相鄰的區(qū)域，墨的蒸汽濃度不同。即，在第2發(fā)光部中，作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的墨的蒸汽濃度高于作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的墨的蒸汽濃度。因此，第2發(fā)光部中，有機(jī)發(fā)光層的作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的發(fā)光層的膜厚會(huì)大于作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的發(fā)光層的膜厚，膜厚要產(chǎn)生不勻。
但是，根據(jù)本發(fā)明的一種方式涉及的上述結(jié)構(gòu)，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的墨的鎖住位置比位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的墨的鎖住位置較高。由此，能抑制第3發(fā)光部側(cè)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚，能夠防止第2發(fā)光部的一端部和另一端部的膜厚不勻。如上所述，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于同一像素部的發(fā)光部，能夠防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻，能得到同一像素部的良好的發(fā)光特性。此外，上述中“傾斜角度”是指堤的各側(cè)面部與設(shè)置堤的基底層(第I電極或空穴注入層、空穴輸送層、還有空穴注入輸送層屬于該層)的上面所成的角度。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)多個(gè)像素部形成為連續(xù)地相鄰，規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相
坐寸ο在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，除了上述效果以外，通過使規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等，關(guān)于在制造時(shí)不發(fā)生膜厚不勻的第3發(fā)光部，還能夠防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻，能夠得到良好的發(fā)光特性。由此，在多個(gè)像素部中能得到良好的發(fā)光特性。此外，上述的“相等”并不一定意味著數(shù)值上完全相等，而是要考慮有機(jī)發(fā)光面板制造中的尺寸誤差等。具體而言，意味著在面板的中央部和外周部，在各自所屬的像素部的發(fā)光效率的差異(輝度不勻)在實(shí)用上能夠容許的范圍內(nèi)，使傾斜角度相等。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，在第2輪涂敷墨的第2發(fā)光部中，由于已經(jīng)在第I輪對(duì)第I發(fā)光部進(jìn)行了墨涂敷，所以作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的墨的蒸汽濃度高于作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的墨的蒸汽濃度，但通過使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度等于規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，能夠抑制所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，在第2輪涂敷墨的第2發(fā)光部中，由于已經(jīng)在第I輪對(duì)第I發(fā)光部進(jìn)行了墨涂敷，所以作為第I發(fā)光部側(cè)的一端側(cè)的墨的蒸汽濃度高于作為第3發(fā)光部側(cè)的另一端側(cè)的墨的蒸汽濃度，但通過使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度等于規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，能夠抑制所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。此外，在上述結(jié)構(gòu)中，相鄰的像素部和像素部連續(xù)地形成，在其之間不設(shè)置用于配設(shè)母線的非像素部，因此在對(duì)第3發(fā)光部涂覆墨的情況下，兩側(cè)的蒸汽濃度沒有差異，因此，規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度被設(shè)定為彼此相等。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述像素部彼此連續(xù)地相鄰的結(jié)構(gòu)中，可以將各隔壁的面部的傾斜角度具體設(shè)定在以下的范圍內(nèi)。(al)可以使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下。(a2)可以使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(a3)可以使規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(a4)可以使規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu) 在多個(gè)像素部的相鄰的各像素部之間形成有非像素部，在像素部與非像素部之間，形成有區(qū)劃像素部和非像素部的隔壁，在各像素部中，規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，位于非像素部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。這樣在相鄰的各像素部之間形成有非像素部的結(jié)構(gòu)的情況下，在第3輪涂覆墨的第3發(fā)光部中，在第2發(fā)光部側(cè)和非像素部側(cè)，蒸汽濃度不同，但通過如上所述采用規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同、且位于非像素部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度的結(jié)構(gòu)，能夠通過對(duì)墨的鎖住位置進(jìn)行相對(duì)的調(diào)整來抑制有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)非像素部不包括有機(jī)發(fā)光層，包括第2電極和以與上述第I電極相同的材料構(gòu)成的第3電極，第2電極與第3電極電連接。例如，在頂部發(fā)射型的有機(jī)發(fā)光面板中，作為相比于有機(jī)發(fā)光層配置在上方(光取出側(cè))的第2電極，通常使用具有光透射性的材料(例如ΙΤ0、ΙΖ0等)，但這些材料的電阻大。因此，在非像素部中，連接第2電極和第3電極來實(shí)現(xiàn)電阻的降低，在面板尺寸大的情況下也不容易產(chǎn)生電壓降，能夠確保高的發(fā)光特性。第3電極例如為母線。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，另外，規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，大于位于第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，通過使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部?jī)?nèi)位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度，能夠使對(duì)于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的該面部的、對(duì)第2發(fā)光部涂敷的墨的鎖住位置比對(duì)于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的該面部的、對(duì)第2發(fā)光部涂敷的墨的鎖住位置高，能夠抑制所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，由于與第3發(fā)光部相鄰地配置有非像素部，在向第3發(fā)光部涂覆墨時(shí)，非像素部側(cè)的蒸汽濃度比第2發(fā)光部側(cè)的蒸汽濃度低，但通過如上所述使規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度等于規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，能夠與第2發(fā)光部同樣地抑制第3發(fā)光部中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。在向第2發(fā)光部涂覆墨時(shí)，因?yàn)樘幱谝呀?jīng)完成向與第2發(fā)光部相鄰的第I發(fā)光部的墨涂敷的狀態(tài)，因此處于第I發(fā)光部側(cè)的蒸汽濃度高于第3發(fā)光部側(cè)的蒸汽濃度的狀態(tài)， 具有第3發(fā)光部側(cè)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚要變厚的傾向，但關(guān)于第I發(fā)光部側(cè)，這樣的傾向小。由此，在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，通過按上述關(guān)系來規(guī)定隔壁的面部的傾斜角度，能夠抑制第2發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的相對(duì)的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中可以采用如下結(jié)構(gòu)規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。在向第3發(fā)光部涂覆墨時(shí)，也由于蒸汽濃度的不勻，關(guān)于有機(jī)發(fā)光層的膜厚，具有在非像素部側(cè)要變厚的傾向，但關(guān)于第2發(fā)光部側(cè)，這樣的傾向小。由此，在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，通過按上述關(guān)系來規(guī)定隔壁的面部的傾斜角度，能夠抑制第3發(fā)光部的有機(jī)發(fā)光層的相對(duì)的膜厚不勻。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述相鄰的像素部之間配置非像素部的結(jié)構(gòu)中，可以將各隔壁的面部的傾斜角度具體設(shè)定在以下的范圍內(nèi)。(bl)可以使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下。(b2)可以使規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下。(b3)可以使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(b4)可以使規(guī)定第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(b5)可以使規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中，可以將傾斜角度定義為隔壁的上述對(duì)向的各面部與形成隔壁的基底層的上面所成的角度。此外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在基底層中包含相比于第I電極形成于下方的TFT (薄膜晶體管)層，在各像素部中，第I電極與TFT層電連接。本發(fā)明涉及的有機(jī)顯示裝置的特征在于，具備上述任一項(xiàng)所記載的有機(jī)發(fā)光面板。因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置同樣具有上述本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示面板所具有的效果。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法是制造排列多個(gè)像素部而成的有機(jī)發(fā)光面板的方法，所述制造方法包括以下工序。(第I工序)在基板上形成包括第I電極的基底層。(第2工序)在基底層上層疊感光性抗蝕劑材料。(第3工序)通過對(duì)層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光而對(duì)其進(jìn)行圖案形成，按各像素部形成與多個(gè)發(fā)光部對(duì)應(yīng)的多個(gè)開口，并且，形成區(qū)劃相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁。(第4工序)對(duì)多個(gè)開口分別滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā) 光層。(第5工序)在有機(jī)發(fā)光層的上方形成第2電極。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在所述第3工序中，按各像素部而形成與位于一側(cè)的第I發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第I開口、與位于中央側(cè)的第2發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第2開口以及與位于另一側(cè)的第3發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第3開口，進(jìn)一步，將規(guī)定第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度形成為相等。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在所述第3工序中，使規(guī)定第2發(fā)光部和第3發(fā)光部中的至少第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，并且，將位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。進(jìn)一步，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在所述第4工序中，按各像素部而對(duì)第I開口、第2開口以及第3開口依次滴下與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的所述墨，形成有機(jī)發(fā)光層。通過采用本發(fā)明的一種方式涉及的制造方法，能夠?qū)崿F(xiàn)如下的結(jié)構(gòu)使至少規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，并且，將位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度，能夠抑制由于從墨滴下(涂敷)到干燥的蒸汽濃度的不勻?qū)е碌挠袡C(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。由此，當(dāng)采用本發(fā)明的一種方式涉及的制造方法時(shí)，能夠制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述構(gòu)成中可以采用如下構(gòu)成在第3工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，使對(duì)與規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯?duì)與位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬?，由此使?guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，通過調(diào)整曝光量，能夠使隔壁的面部的傾斜角度與部位相應(yīng)地改變，由此能夠調(diào)整墨滴下時(shí)的鎖住位置。由此，能夠制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述構(gòu)成中可以采用如下構(gòu)成在第3工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，使用對(duì)于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀?，以使得?duì)與規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎蚀笥趯?duì)與位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎剩纱耸挂?guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，通過調(diào)整掩模的光透射率，能夠使隔壁的面部的傾斜角度與部位相應(yīng)地改變，由此能夠調(diào)整墨滴下時(shí)的鎖住位置。由此，能夠制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述構(gòu)成中可以采用如下構(gòu)成在第3工序中，在使感光性抗蝕劑材料曝光、顯影后， 通過對(duì)與規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，從而使規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，通過設(shè)置追加執(zhí)行曝光處理的部位和不追加曝光處理的部位,能夠使隔壁的面部的傾斜角度與部位相應(yīng)地改變，由此能夠調(diào)整墨滴下時(shí)的鎖住位置。由此，能夠制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置的特征在于，具備通過上述的任一項(xiàng)所記載的制造方法得到的有機(jī)發(fā)光面板。這樣得到的有機(jī)顯示裝置同樣具有通過上述制造方法得到的有機(jī)發(fā)光面板所具有的效果。[實(shí)施方式]以下參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式的一例進(jìn)行說明。此外，在以下說明中使用的實(shí)施方式是為了易于理解地說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以及作用、效果所使用的例子，本發(fā)明在其本質(zhì)的特征部分以外并不受以下的實(shí)施方式的限定。(獲得本發(fā)明的實(shí)施方式的經(jīng)過)本發(fā)明的發(fā)明人就“背景技術(shù)”中記載的有機(jī)發(fā)光面板及具備該有機(jī)發(fā)光面板的有機(jī)顯示裝置進(jìn)行了專心的研究，結(jié)果得到如下的見解。通常，如圖23的(a)所示，在基板901上，按子像素900a、900b、900c而設(shè)有陽(yáng)電極902和覆蓋該陽(yáng)電極902的電極覆蓋層903。并且，形成空穴注入層904以覆蓋電極覆蓋層902和基板901的表面，在空穴注入層904上按子像素900a、900b、900c而層疊形成有發(fā)光色不同的有機(jī)發(fā)光層906a、906b、906c。有機(jī)發(fā)光層906a、906b、906c由立設(shè)于空穴注入層904上的堤905a 905d來區(qū)劃。如圖23的(a)所示，在現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，按排列順序配置于中央部的子像素900b的有機(jī)發(fā)光層906b有時(shí)膜厚會(huì)產(chǎn)生不勻。具體而言，會(huì)產(chǎn)生如下現(xiàn)象有機(jī)發(fā)光層906b的堤905c側(cè)的部位C3的高度比堤905b的部位C2的高度以及子像素900a中的有機(jī)發(fā)光層906a的堤905b側(cè)的部位C1的高度高。另外，作為另一個(gè)例子，如圖23的(b)所示，會(huì)產(chǎn)生如下現(xiàn)象子像素950b、950c中的各有機(jī)發(fā)光層956b、956c的堤955c、955d側(cè)的各自的部位C12、C14的高度比各有機(jī)發(fā)光層956b、956c的堤955b、955c側(cè)的各自的部位C11X13的高度高。此外，如圖23的(b)所示，子像素950a中的有機(jī)發(fā)光層956a的堤955a側(cè)的部位的高度與堤955b側(cè)的部位的高度大致相等，膜厚沒有產(chǎn)生大的不勻。關(guān)于上述現(xiàn)象，本發(fā)明的發(fā)明人經(jīng)反復(fù)研究后推定為如以下說明的那樣，有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻性的降低是因墨干燥時(shí)的蒸汽濃度分布的不均勻造成的。具體而言，如圖24的(a)所示，假定為在堤905b與堤905c之間所規(guī)定的區(qū)域涂覆了用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨9060b的狀態(tài)，此時(shí)的蒸汽濃度分布如雙點(diǎn)劃線所示，圖24的(a)的右側(cè)的濃度分布低于左側(cè)的濃度分布時(shí)，認(rèn)為會(huì)以如下關(guān)系在有機(jī)發(fā)光層的膜厚產(chǎn)生不勻。如圖24的(a)所示，墨9060b剛滴下之后，墨9060b的表面輪廓L9tl為子像素的中央部分隆起的形狀。在使其干燥的情況下，形式上(表面上)會(huì)認(rèn)為由于如上所述的蒸汽濃度分布，蒸汽濃度低的一側(cè)的蒸發(fā)速度快，蒸汽濃度高的一側(cè)的蒸發(fā)速度慢，因此會(huì)變化為表面輪廓L91。但是，如圖24的(b)所示，在干燥途中的墨9061b的內(nèi)部，會(huì)發(fā)生如虛線箭頭L92所示的溶劑移動(dòng)。這是溶劑為彌補(bǔ)蒸發(fā)掉的部分而移動(dòng)(移動(dòng)以使表面自由能最小)，隨著溶劑的移動(dòng)，溶質(zhì)(有機(jī)發(fā)光材料)也會(huì)移動(dòng)。因此，如圖24的(c)所示，在蒸汽濃度分布不勻的情況下，形成表面輪廓L93越靠右側(cè)越隆起的有機(jī)發(fā)光層906b?！?br> 如上所述，本發(fā)明的發(fā)明人關(guān)于有機(jī)發(fā)光面板得到了如下推斷由于墨干燥時(shí)蒸汽濃度分布不勻，所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻性會(huì)降低。并且，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了如下技術(shù)特征在面板面內(nèi)，通過使堤的面部的傾斜角度不同，使墨在堤側(cè)面部的鎖住位置不同，其結(jié)果能實(shí)現(xiàn)有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻化。[實(shí)施方式I]I.顯示裝置I的概略結(jié)構(gòu)使用圖I說明本實(shí)施方式的顯示裝置I的整體結(jié)構(gòu)。如圖I所示，顯示裝置(有機(jī)顯示裝置)I包括顯示面板(有機(jī)發(fā)光面板)單元10和與其連接的驅(qū)動(dòng)控制單元20。顯示面板單元10是利用了有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光面板，在X-Y面方向上二維排列有多個(gè)像素部。另外，驅(qū)動(dòng)控制單元20包括四個(gè)驅(qū)動(dòng)電路21 24和控制電路25。在實(shí)際的顯示裝置I中，相對(duì)于顯示面板10的驅(qū)動(dòng)控制單元20的配置不限于此。2.顯示面板10的結(jié)構(gòu)使用圖2說明顯示面板10的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式的有機(jī)顯示面板10采用頂部發(fā)射型的有機(jī)發(fā)光面板來作為一個(gè)例子，構(gòu)成為呈矩陣狀配置有多個(gè)像素部，所述多個(gè)像素部具備具有紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的任一發(fā)光色的有機(jī)發(fā)光層，圖2抽出一個(gè)像素部中的一個(gè)子像素100來進(jìn)行了表示。如圖2所示，顯示面板10中，在TFT基板(以下簡(jiǎn)稱“基板”)101上形成有陽(yáng)電極102，在陽(yáng)電極102上依次層疊形成有電極覆蓋層103和空穴注入輸送層104。陽(yáng)電極102和電極覆蓋層103形成為按各子像素100而分離的狀態(tài)。在空穴注入輸送層104上立設(shè)有由絕緣材料形成的對(duì)子像素100彼此之間進(jìn)行區(qū)劃的堤(隔壁)105。在各子像素100的由堤105區(qū)劃的區(qū)域形成有機(jī)發(fā)光層106，在其上依次層疊形成有電子注入層107、陰電極108以及封止層109。a)基板 101基板101例如以無堿玻璃、鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸類玻璃、硼酸類玻璃、石英、丙烯類樹脂、苯乙烯類樹脂、聚碳酸酯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、聚乙烯、聚酯、硅類樹脂或者氧化鋁等絕緣材料為基材來形成。并且，雖然省略了圖示，但在基板101層疊形成有TFT層和鈍化膜、以及層間絕緣膜等。b)陽(yáng)電極 102陽(yáng)電極102由導(dǎo)電性材料制成的單層或多層層疊而成的層疊體構(gòu)成。例如使用Al(鋁)、含鋁的合金、Ag (銀)、APC (銀、鈀、銅的合金)、ARA (銀、銣、金的合金)、MoCr (鑰和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)等來形成。在如本實(shí)施方式為頂部發(fā)射型的情況下，優(yōu)選由高反射性的材料形成。c)電極覆蓋層103電極覆蓋層103例如使用ITO (氧化銦錫)來形成，將陽(yáng)電極102的Z軸方向上部 的表面的至少一部分覆蓋。d)空穴注入輸送層104空穴注入輸送層104是例如由銀(Ag)、鑰(Mo)、鉻(Cr)、釩(V)、鎢(W)、鎳(Ni)、銥(Ir)等氧化物、或PEDOT (聚噻吩和聚苯乙烯磺酸的混合物)等導(dǎo)電性聚合物材料形成的層。在上述中，由氧化金屬形成的空穴注入輸送層104具有使空穴穩(wěn)定、或輔助生成空穴來對(duì)有機(jī)發(fā)光層106注入及輸送空穴的功能，具有大的功函數(shù)。在此，在由過渡金屬的氧化物構(gòu)成空穴注入輸送層104的情況下，能夠通過取多個(gè)氧化數(shù)來獲得多個(gè)能級(jí)，其結(jié)果，空穴注入變?nèi)菀祝軌蚪档万?qū)動(dòng)電壓。e)堤 105堤(隔壁)105由樹脂等有機(jī)材料形成，具有絕緣性。作為用于形成堤105的有機(jī)材料的例子，能列舉丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等。并且，堤105優(yōu)選具有有機(jī)溶劑耐性。進(jìn)一步，在形成堤105時(shí)，會(huì)被實(shí)施蝕刻處理、烘焙處理等，因此優(yōu)選由對(duì)于這些處理不會(huì)過度變形、變質(zhì)等的耐性高的材料形成。另外，為使其具備撥水性，也可以對(duì)側(cè)面部進(jìn)行氟處理。關(guān)于用于形成堤105的絕緣材料，以上述各材料為代表，尤其可以使用電阻率為IO5Ω · Cm以上、具有撥水性的材料。這是因?yàn)?，在使用電阻率?05Ω · cm以下的材料的情況下，會(huì)成為導(dǎo)致陽(yáng)電極102和陰電極108之間產(chǎn)生泄漏電流、或相鄰子像素100之間產(chǎn)生泄漏電流的原因，會(huì)產(chǎn)生功耗增加等各種問題。另外，在使用親水性材料形成堤105的情況下，堤105的側(cè)面部和空穴注入輸送層104的表面之間的親液性/撥液性的差異變小，會(huì)導(dǎo)致難以為形成有機(jī)發(fā)光層106而使含有有機(jī)物質(zhì)的墨選擇性地保持在堤105的開口部。進(jìn)一步，關(guān)于堤105的構(gòu)造，不只是如圖2所示的單層構(gòu)造，也可以采用兩層以上的多層構(gòu)造。在該情況下，可以在各層組合上述材料，也可以在各層使用無機(jī)材料和有機(jī)材料。f)有機(jī)發(fā)光層106有機(jī)發(fā)光層106具有如下功能通過從陽(yáng)電極102注入的空穴和從陰電極108注入的電子復(fù)合，產(chǎn)生激發(fā)狀態(tài)而進(jìn)行發(fā)光。用于形成有機(jī)發(fā)光層106的材料需要使用能夠使用濕式印刷法來制膜的發(fā)光性有機(jī)材料。具體而言，優(yōu)選例如由特許公開公報(bào)(日本特開平5-163488號(hào)公報(bào))所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物(7 >卜9 ★>化合物)、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、批唑啉衍生物及批唑啉酮衍生物、若丹明化合物、舊(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鎗化合物、噻喃鎗化合物、硒吡喃鎗化合物、碲吡喃鎗化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物(ry ” Y >化合物)、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)形成。g)電子注入層107電子注入層107具有將從陰電極108注入的電子向有機(jī)發(fā)光層106輸送的功能，優(yōu)選例如由鋇、酞菁、氟化鋰或它們的組合來形成。
h)陰電極 108陰電極108例如由ΙΤ0、IZO (氧化銦鋅)等來形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10的情況下，優(yōu)選由光透射性材料形成。關(guān)于光透射性，優(yōu)選透射率為80%以上。作為用于形成陰電極108的材料，除上述以外，也可以使用例如將含堿金屬、堿土類金屬或它們的鹵化物的層和含銀的層按該順序?qū)盈B而成的構(gòu)造。在上述中，含銀的層可以由銀單獨(dú)形成，也可以由銀合金形成。另外，為了謀求提高光取出效率，還可以從該含銀的層的上方設(shè)置透明度高的折射率調(diào)整層。i)封止層 109封止層109具有抑制有機(jī)發(fā)光層106等暴露于水分、空氣中的功能，例如使用SiN(氮化硅)、SiON (氮氧化硅)等材料來形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10的情況下，優(yōu)選由光透射性材料形成。3.堤105的結(jié)構(gòu)如圖3所示，在本實(shí)施方式的顯示面板10中，作為一個(gè)例子采用了線狀的堤105。具體而言，堤105各自沿Y軸方向延伸形成，在X軸方向上對(duì)相鄰的像素部100之間進(jìn)行區(qū)劃。并且，子像素100在由堤105所區(qū)劃出的各區(qū)域形成為發(fā)光色不同。例如，以發(fā)光色分別為紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的三個(gè)子像素的組合構(gòu)成一個(gè)像素部。4.各區(qū)域的堤105的結(jié)構(gòu)使用圖4來說明各區(qū)域的堤105的結(jié)構(gòu)。圖4是以A-A’剖面剖開圖I中的顯示面板10而示意表示其一部分的剖視圖。如圖4所示，在像素部中，從X軸方向左側(cè)依次連續(xù)地配置有子像素100a、子像素100b、子像素100c。此外，在本實(shí)施方式的顯示面板10中，像素部和像素部配置成連續(xù)且相鄰。子像素IOOa由堤105a和堤105b規(guī)定，子像素IOOb由堤105b和堤105c規(guī)定，子像素IOOc由堤105b和堤105d規(guī)定。在堤105a、105b、105c、105d各自中，其面部105aa、105ba、105bb、105cb、105cc、105dc與作為基底層的空穴注入輸送層104的表面分別成角度Θ aa、Θ ba、Θ bb、Θ cb、Θ cc、Θ dc。在此，在本實(shí)施方式中，角度eaa、0ba、ebb、0cb. 0cc. Θ dc滿足下列各式所不的關(guān)系。[式I] Θ cb> Θ aa= Θ ba= Θ bb= Θ cc= Θ dc此外，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選使各個(gè)角度9aa、0ba、0bb、Θ cb, θ cc, θ dc滿足上述式I的關(guān)系且設(shè)定在以下的范圍內(nèi)。[式2]25。< Θ aa= Θ ba= Θ bb= Θ cc= Θ dc<35°[式3] 35。< Θ cb<45°5.堤105的側(cè)面部的傾斜角度Θ與有機(jī)發(fā)光層106的膜厚之間的關(guān)系使用圖5和圖6來說明堤105的面部的傾斜角度Θ和有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的關(guān)系。圖5示意示出了一個(gè)子像素的構(gòu)造。 如圖5的(a)所示，堤105x的面部的傾斜角度(堤105x的面部和空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度θ χ，如圖5的(b)所示，堤105y的面部的傾斜角度(堤105y的面部和空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度Θ y。角度θ X和角度Θ y滿足以下關(guān)系。[式4] Θ y > Θ X當(dāng)向由各堤105x、105y所區(qū)劃出的開口部滴下(涂敷)含有有機(jī)發(fā)光材料的墨1060x、1060y時(shí)，則各鎖住位置Px、Py的高度Hx、Hy為以下關(guān)系。[式5]Hy > Hx如圖5的(C)所示，使墨1060x干燥后，由于鎖住位置Px的高度Hx相對(duì)較低，在所形成的有機(jī)發(fā)光層106x中，子像素的中央部分隆起，其膜厚為厚度Tx。另一方面，如圖5的(d)所示，使墨1060y干燥后，由于鎖住位置Py的高度Hy相對(duì)較高，在所形成的有機(jī)發(fā)光層106y中，子像素的中央部分凹陷，其膜厚為厚度Ty。厚度Tx和厚度Ty滿足以下關(guān)系。[式6] Tx > Ty在圖6總結(jié)表示上述關(guān)系。如圖6所示，當(dāng)減小堤105的面部的傾斜角度(錐角)Θ時(shí)，鎖住位置的高度H變低，結(jié)果得到的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚T變厚。反之，當(dāng)增大堤105的面部的傾斜角度(錐角)Θ時(shí)，鎖住位置的高度H變高，結(jié)果得到的有機(jī)發(fā)光層106的
膜厚T變薄。針對(duì)上述事項(xiàng)，制作5個(gè)樣品進(jìn)行了評(píng)價(jià)。在圖7和圖8示出結(jié)果。如圖7和圖8所示，相對(duì)于樣品2的膜厚分布，在增大了錐角的樣品3和樣品4中，鎖住位置變高。在圖7和圖8中，橫軸表示橫向，縱軸表示高度方向。但是，在將堤的錐角(傾斜角度)增大至50°的樣品5中，膜厚的均勻性比樣品2的膜厚的均勻性低。6.顯示面板10的制造方法關(guān)于本實(shí)施方式的顯示面板10的制造方法，使用圖9、圖10以及圖11說明作為特征的部分。關(guān)于以下省略說明的制造工序，可以采用作為現(xiàn)有技術(shù)所提出的各種工序。首先，如圖9的(a)所示，在基板101的Z軸方向上面，對(duì)應(yīng)于各子像素預(yù)定區(qū)域1000a、1000b、IOOOc而按順序?qū)盈B形成陽(yáng)電極102和電極覆蓋層103。并且，從其上方層疊形成空穴注入輸送層104以覆蓋整個(gè)表面。對(duì)于陽(yáng)電極102的形成，例如使用濺射法或真空蒸鍍法制作由鋁或其合金形成的薄膜或Ag薄膜之后，使用光刻法對(duì)該薄膜進(jìn)行圖案形成，由此可形成陽(yáng)電極102。另外，對(duì)于電極覆蓋層103的形成，例如對(duì)陽(yáng)電極102的表面使用濺射法等制作ITO薄膜，使用光刻法等對(duì)該ITO薄膜進(jìn)行圖案形成，由此可形成電極覆蓋層103。并且，在空穴注入輸送層104的形成中，首先對(duì)包括電極覆蓋層103的表面的基板101的表面，使用濺射法等制作金屬膜。此后，使形成的金屬膜氧化，形成空穴注入輸送層104。然后，如圖9的(b)所示，例如使用旋涂法等形成堤材料層1050以將空穴注入輸送層104之上覆蓋。在堤材料層1050的形成中可以使用感光性抗蝕劑材料，具體而言可以如上所述使用丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等具有絕緣性的有機(jī)材料。然后，如圖9的(C)所示，在堤材料層1050的上方配置掩模501，該掩模501在要形成堤的部位設(shè)置有開口 501a、501b、501c、501d。在該狀態(tài)下通過掩模501的開口 501a、501b、501c、501d 實(shí)施曝光?！?br> 如圖9的(C)所示，相對(duì)于子像素預(yù)定區(qū)域IOOOa而位于左側(cè)的掩模501的開口501a的寬度Wa由要形成的堤105a的面部105aa (參照?qǐng)D4)的下端點(diǎn)Pal、Pa2規(guī)定。另一方面，位于子像素IOOOb和子像素IOOOc之間的掩模501的開口 501c的寬度Wcl由要形成的堤105c的面部105cb (參照?qǐng)D4)的上端點(diǎn)Pcl和面部105cc (參照?qǐng)D4)的下端部分的點(diǎn)Pc2規(guī)定。然后，如圖10的(a)所示，在堤材料層1050的上方配置掩模502，該掩模502在與堤105c的面部105cb (參照?qǐng)D4)對(duì)應(yīng)的部位設(shè)置有開口 502c。并且，在該狀態(tài)下通過掩模502的開口 502c實(shí)施第2次曝光。如圖10的(a)所示，掩模502的開口 502c的寬度Wc2由要形成的堤105c的面部105cb的下端點(diǎn)Pc3和上端點(diǎn)Pcl規(guī)定。然后，如圖10的(b)所示，通過實(shí)施顯影及烘焙來形成堤105a、105b、105c、105d。如上所述，堤105a的子像素預(yù)定區(qū)域IOOOb側(cè)的面部105cb的傾斜角度比堤105a、105b、105d的各面部105aa、105ba、105bb、105dc以及堤105c的子像素預(yù)定區(qū)域IOOOc側(cè)的面部105cc的傾斜角大。然后，如圖10的(c)所不,使用嗔墨法等，對(duì)由堤105a和堤105b區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000a)涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨1060a。接著，如圖11的(a)所示，同樣使用噴墨法等對(duì)由堤105b和堤105c區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000b)涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨1060b。在此，如上所述，由于使堤105c的面部105cb的傾斜角度大于其他面部的傾斜角度，所以對(duì)于堤105c的面部105cb的墨1060b的鎖住位置Qcb成為高于其他的鎖住位置Qaa、Qba> Qbb的位置。然后，如圖11的(b)所示，同樣使用噴墨法等對(duì)由堤105c和堤105d區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000c)涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨1060c。在此，在與堤105d的右側(cè)相鄰的子像素預(yù)定區(qū)域，由于已經(jīng)完成了向相鄰的像素部的子像素預(yù)定區(qū)域的墨涂敷，所以關(guān)于墨1060c，在X軸方向上，兩側(cè)的蒸汽濃度沒有差異，即使不進(jìn)行堤的面部的傾斜角度的調(diào)整，有機(jī)發(fā)光層的膜厚也不會(huì)產(chǎn)生不勻。這從上述可以明了。雖然省略了圖示，但在其后實(shí)施墨的干燥，然后按順序?qū)盈B電子注入層107、陰電極108以及封止層109等,從而形成顯示面板10。7.墨的涂敷工序和干燥工序
使用圖12對(duì)墨的涂敷工序和干燥工序的關(guān)系進(jìn)行說明。如圖12的(a)所示，在本實(shí)施方式中，涂覆紅色墨(墨1060a)(步驟SI)，接著涂覆綠色墨(墨1060b)(步驟S2)，涂覆監(jiān)色墨(墨1060c)(步驟S3)，然后統(tǒng)一執(zhí)彳了墨干媒工序 (步驟S4)。與此相對(duì)，如圖12的(b)所示，也可以為先執(zhí)行紅色墨(墨1060a)的涂敷(步驟Sll)及其干燥(步驟S12)，接著依次執(zhí)行綠色墨(墨1060b)的涂敷(步驟S21)及其干燥(步驟S22)、以及藍(lán)色墨(墨1060c)的涂敷(步驟S31)及其干燥(步驟S32)。在該情況下，堤105a、105b、105c、105d 的各面部 105aa、105ba、105bb、105cb、105cc、105dc 的各傾斜角度的關(guān)系可以為與上述是同樣的。在該情況下，也能夠抑制所形成的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚不勻。8.效果如圖4所示，在本實(shí)施方式的顯示裝置I的顯示面板10中，堤105c的子像素IOOc側(cè)的面部105cb的傾斜角度θ cb,被設(shè)定為大于其他面部105aa、105ba、105bb、105cc、105dc的各傾斜角度Θ aa、θ ba、θ bb、θ cc、θ dc。由此,如圖11的(a)所示,在對(duì)子像素預(yù)定區(qū)域IOOOb涂敷了墨1060b時(shí),其鎖住位置Qcb高于其他的鎖住位置Qaa、Qba> Qbb。反之，面部105aa、105ba、105bb、105cc、105dc 的各傾斜角度 Θ aa、θ ba、θ bb、θ cc、θ dc相互相等。因此，在顯示面板10中，干燥后的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚在子像素100a、100b、IOOc中成為均勻的膜厚，具有輝度不勻(斑點(diǎn))小的效果。此外，當(dāng)使用通過圖9、圖10以及圖11說明的本實(shí)施方式的顯示裝置I的制造方法時(shí)，能夠制造具有上述效果的顯示裝置I。另外，如上所述，“相等”不是指數(shù)值上完全相等，而是考慮了顯示裝置I的制造中的尺寸誤差等。具體而言，是指在顯示面板10中，在各自所屬的子像素100a、100b、IOOc的發(fā)光效率的差異(輝度不勻)處于實(shí)用上能夠容許的范圍內(nèi)的情況下，使傾斜角度相等。[變形例I]下面，使用圖13對(duì)顯示裝置I的制造方法的變形例I進(jìn)行說明。圖13表示與圖9的(C) 圖10的(a)所示的工序?qū)?yīng)的工序。如圖13所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成堤材料層1050之后，在其上方配置掩模503。在掩模503設(shè)有光透射部503a、503b、503cl、503c2、503d。各光透射部503a、503b、503cl、503c2、503d 對(duì)應(yīng)于要形成堤 105a、105b、105c、105d 的部位而設(shè)置。在本變形例I的顯示裝置I的制造方法中，與子像素預(yù)定區(qū)域IOOOa的左側(cè)對(duì)應(yīng)的區(qū)域的光透射部503a的寬度Wa由要形成的堤105a的面部105aa (參照?qǐng)D4)的下端點(diǎn)Pal、Pa2 規(guī)定。另一方面，與子像素IOOOb和子像素IOOOc之間對(duì)應(yīng)的區(qū)域的光透射部503cl的寬度Wc2由要形成的堤105c (參照?qǐng)D4)的下端點(diǎn)Pc2和上端點(diǎn)Pcl規(guī)定，另外，光透射部503c2由要形成的堤105c的面部105cb (參照?qǐng)D4)的上端點(diǎn)和下端點(diǎn)Pc3、Pcl規(guī)定。在此，掩模503使用半色調(diào)等的掩模構(gòu)成，光透射部503a、503b、503cI、503d與光透射部503c2的光透射率不同。具體而言，光透射部503c2的光透射率比光透射部503a、503b、503cl、503d的光透射率大。
在配置了具有如上所述的結(jié)構(gòu)的掩模503的狀態(tài)下，實(shí)施曝光、顯影之后進(jìn)行烘焙，由此能夠形成如圖10的(b)所示的堤105a、105b、105c、105d。即，如上述式I所示關(guān)系，通過光透射率被設(shè)定為較大的光透射部503c而被曝光的部位的側(cè)壁面的傾斜角度比通過
其他光透射部503a、503b、503cl、503d而被曝光的部位的側(cè)壁面的傾斜角度大。此后的工序與上述實(shí)施方式等是同樣的。根據(jù)如上所述的制造方法，也能制造顯示裝置I。[變形例2]下面，使用圖14和圖15來說明顯示裝置I的制造方法的變形例2。圖14和圖15表不與圖9的(C) 圖10的(b)所不工序的對(duì)應(yīng)的工序。如圖14的(a)所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成堤材料層1050之后，在其上方配置掩模504。在掩模504，與要形成堤105的各部位對(duì)應(yīng)地設(shè)有開口 504a、504c、504d。開口 504a、504b、504d以與上述實(shí)施方式的制造方法中使用的掩模501的開口501a相同的寬度來形成。另一方面，如圖14的(a)的雙點(diǎn)劃線包圍的部分所示，在要形成堤105c (參照?qǐng)D4)的部位設(shè)置的開口 504c的寬度Wc3被設(shè)定為大于由堤105c的面部105cb (參照?qǐng)D4)的上端點(diǎn)和下端點(diǎn)Pc2、Pc3所規(guī)定的寬度，所述堤105c要形成在子像素預(yù)定區(qū)域IOOOb和子像素預(yù)定區(qū)域IOOOc之間。具體而言，在要增大傾斜角度的部位增大寬度。在配置了如圖14的(a)所示的方式的掩模504的狀態(tài)下，實(shí)施第I次曝光、顯影。由此，如圖14的(b)所示，在分別與開口 504a、504b、504c、504d對(duì)應(yīng)的部位，殘留堤材料層1051a、1051b、1051c、1051d。如圖14的(b)所示，在實(shí)施了第I次曝光、顯影的狀態(tài)下，堤材料層1051a、1051b、1051c、1051d的各面部的傾斜角度均勻。另外，在本變形例2中，此時(shí)不進(jìn)行烘焙。如圖15的(a)所示，在形成了堤材料層1051a、1051b、1051c、1051d的狀態(tài)下，在其上方配置掩模505。在掩模505，在與要形成的堤105a、105b、105c、105d的面部對(duì)應(yīng)的部位中，僅在要增大傾斜角度的部位(堤105c的面部105cb)設(shè)有開口 505c。在配置了掩模505的狀態(tài)下，進(jìn)行第2次曝光、顯影之后進(jìn)行烘焙，由此能夠形成如圖 15 的(b)所示的堤 105a、105b、105c、105d。此后，可以通過實(shí)施與上述實(shí)施方式等同樣的工序來制造顯示裝置I。[制造方法的驗(yàn)證]關(guān)于上述實(shí)施方式及變形例1、2涉及的各制造方法，以具體例子對(duì)形成后的堤的形狀進(jìn)行了驗(yàn)證。使用圖16來說明其結(jié)果。如圖16的(a)所示，越增大曝光量，所形成的堤側(cè)面部的傾斜角度越大。具體而言，在使曝光量為200mJ來進(jìn)行了曝光、顯影的情況下所形成的堤側(cè)面部的傾斜角度為23°，與此相對(duì)，在使曝光量為300mJ來進(jìn)行了曝光、顯影的情況下所形成的堤側(cè)面部的傾斜角度為38°。關(guān)于該結(jié)果,在圖16的(b)所示的AFM (Atomic Force Microscope :原子力顯微鏡)中也能看出。進(jìn)一步，如圖16的(a)和圖16的(b)所示，在使曝光量為200mJ來進(jìn)行了第I次曝光、顯影之后，使曝光量為IOOmJ來進(jìn)行了第2次曝光、顯影的情況下，所形成的堤側(cè)面部的傾斜角度為50°。這對(duì)應(yīng)于上述變形例2涉及的制造方法，認(rèn)為對(duì)于增大堤側(cè)面部的傾斜角度是有效的。此外，在圖16的(b)中，橫軸表示橫向，縱軸表示高度方向。[實(shí)施方式2]使用圖17以及圖18對(duì)實(shí)施方式2的顯示裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。I.顯示面板30的結(jié)構(gòu)如圖17所示，與上述實(shí)施方式I的顯示面板10同樣地，顯示面板30在TFT基板(以下簡(jiǎn)單記為“基板”)101上與子像素300a、300b、300c分別對(duì)應(yīng)地形成有陽(yáng)電極102，在陽(yáng)電極102上按順序?qū)盈B形成有電極覆蓋層103以及空穴注入輸送層104。在空穴注入輸送層104上，立設(shè)有由絕緣材料構(gòu)成的分別規(guī)定子像素300a、300b、300c 的堤 305a、305b、305c、305d。此外，在由各子像素 300a,300b,300c 的堤 305a,305b,305c、305d區(qū)劃出的區(qū)域，按順序?qū)盈B形成有機(jī)發(fā)光層、電子注入層、陰電極以及封止層(圖17中省略圖示)。在本實(shí)施方式的顯示面板30中，以子像素300a、300b、300c的組合來構(gòu)成一個(gè)像素部，這一點(diǎn)與上述實(shí)施方式I的顯示面板10是相同的，但在本實(shí)施方式的顯示面板30中，在相鄰的像素部和像素部之間設(shè)置有非像素部300d、300e。具體而言，如圖17所示，在非像素部300d、300e，設(shè)置有由與陽(yáng)電極102相同的材料構(gòu)成的電極(母線)302和覆蓋該電極302的電極覆蓋層303。并且，在電極覆蓋層303上延伸設(shè)置有空穴注入輸送層104，雖然省略了圖示，但在其上形成有陰電極108，電極302與陰電極108電連接。此外，在非像素部300d、300e不形成有機(jī)發(fā)光層106。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)由ITO等構(gòu)成的陰電極108的電阻的降低，能夠抑制電壓降。如圖17所示，在本實(shí)施方式的顯示面板30中，堤305a、305b、305c、305d各自的面部305aa、305ba、305bb、305cb、305cc、305dc與作為基底層的空穴注入輸送層104的表面分別成角度 Θ 3aa、Θ 3ba、Θ 3bb、Θ 3cb、Θ 3cc、Θ 3dc。在此，在本實(shí)施方式中，角度Θ 3aa、Θ 3ba、Θ 3bb、Θ 3cb、Θ 3cc、0 3dc滿足由下列各式表不的關(guān)系。[式7] Θ 3cb> Θ 3aa= Θ 3ba= Θ 3bb= Θ 3cc[式8] Θ 3dc> θ 3aa= θ 3ba= θ 3bb= θ 3cc此外，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選將各個(gè)角度Θ 3aa、Θ 3ba、Θ 3bb、Θ 3cb、Θ 3cc、Θ 3dc設(shè)定在如下的范圍內(nèi)。[式9] 25。〈 Θ 3aa= Θ 3ba= Θ 3bb= Θ 3cc〈35。[式10] 35。<03cb〈45。[式11]35。< Θ 3dc<45°由上述式7、式8、式9、式10、式11的關(guān)系規(guī)定堤305a、305b、305c、305d各自的面部 305aa、305ba、305bb、305cb、305cc、305dc 的傾斜角度 Θ 3aa、Θ 3ba、Θ 3bb、Θ 3cb、Θ 3cc、Θ 3dc，這是通過在相鄰的像素部與像素部之間配置非像素部300d、300e來實(shí)現(xiàn)的。對(duì)此，接著加入與墨3060a、3060b、3060c的涂敷之間的關(guān)系來進(jìn)行說明。2.顯示面板30的制造方法關(guān)于顯示面板30的制造方法，取出作為特征的工序，使用圖18進(jìn)行說明。此外，關(guān)于圖18所示的工序以外的工序，與上述實(shí)施方式I是同樣的。
如圖18的(a)所示，使用噴墨法等對(duì)由堤305a和堤305b區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域3000a)涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨3060a。在涂敷墨3060a時(shí)，在堤305a的左側(cè)以及堤305b的右側(cè)未涂覆墨，因此蒸汽濃度的分布大致一樣。接著，如圖18的(b)所示，同樣使用噴墨法等對(duì)由堤305b和堤305區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域3000b)涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨3060b。在此，如上所述，將堤305c的面部305cb的傾斜角度Θ 3cb (參照?qǐng)D17)設(shè)定成滿足上述式7的關(guān)系(相對(duì)較大)，因此對(duì)于堤305c的面部305cb的墨3060b的鎖住位置Q3cb成為比其他的鎖住位置Q3aa、Q3ba、Q3bb高的位置。然后，如圖18的(C)所示，同樣使用噴墨法等對(duì)由堤305c和堤305d區(qū)劃出的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域3000c)涂覆含有有機(jī)發(fā)光材料的墨3060c。在此，在本實(shí)施方式中，在子像素預(yù)定區(qū)域3000c的右側(cè)存在不涂覆墨的非像素部3000d，因此子像素3000c的右側(cè)的蒸汽濃度比左側(cè)的蒸汽濃度低。因此，關(guān)于堤305d，與堤305c的面部305cb的傾斜角度Θ 3cd同樣地，也使堤305d的子像素預(yù)定區(qū)域3000c側(cè)的面部305dc的傾斜角度Θ 3dc(參照?qǐng)D17)滿足上述式7、式8的關(guān)系(相對(duì)較大)。由此，與墨3060b的鎖住位置Q3cb同樣地，對(duì)于堤305d的面部305dc的墨3060c的鎖住位置Q3dc也變高。此外，雖然省略了圖示，但之后執(zhí)行墨的干燥，然后依次層疊形成電子注入層、陰極以及封止層等，從而形成顯示面板30。通過采用如上所述的結(jié)構(gòu)，在相鄰的像素部與像素部之間設(shè)置非像素部300d、300e的情況下，也能夠抑制全體子像素300a、300b、300c中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻，能夠形成高發(fā)光特性的顯示面板30。此外，關(guān)于本實(shí)施方式中省略說明的事項(xiàng)，可以采用與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)。[其他事項(xiàng)]首先，在上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中，示意地表示為堤105、105a 105d、105x、105y、305a 305e的各面部為平面，但對(duì)于堤的面部，可以不一定為平面。例如，如圖19的(a)所示，在堤605的情況下，點(diǎn)P61到點(diǎn)P62之間的面和點(diǎn)P62到點(diǎn)P63之間的面相交叉。在該情況下，涂覆墨時(shí)的鎖住位置Qyl存在于點(diǎn)P62到點(diǎn)P63之間的面。并且，引出通過點(diǎn)P62的假象直線LI時(shí)所形成的面部的傾斜角度Θ y2在與鎖住位置的關(guān)系上是重要的。但是，在堤605的形成中，通過控制作為基底層的空穴注入輸送層104和堤605的點(diǎn)P61到點(diǎn)P62之間的面所成的角度9yi，角度0y2也受到控制，所以實(shí)質(zhì)上能夠通過控制傾斜角度Qyl來得到如上所述的效果。即，，在形成了從點(diǎn)P71到P72之間的面的角度Qyll比圖19的(a)所示的角度0yl大的堤705的情況下(圖19的(b))，如圖19的(b)所示，從點(diǎn)P72到點(diǎn)P73之間的面和假象直線L2所成的角度θ y12也比圖19的(a)的角度θ y2大。此外，在上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中，沒有限定顯示面板10、30中的上述結(jié)構(gòu)的適用區(qū)域，但既可以對(duì)顯示面板的整個(gè)區(qū)域應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)，也可以限定于一部分區(qū)域而應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)。如圖20所示，對(duì)于顯示面板10，可以在沿其面的方向上形式上區(qū)分為配置于中央部的區(qū)域IOa和配置于其周邊的區(qū)域10b。在此，區(qū)域IOa是陽(yáng)電極與形成于其下部的TFT層的源電極或漏電極連接的對(duì)發(fā)光有用的區(qū)域，相對(duì)地，區(qū)域IOb是陽(yáng)電極與形成于其下部的TFT層的源電極和漏極都不連接的無助于發(fā)光的區(qū)域。并且，認(rèn)為在將區(qū)域IOa進(jìn)一步在形式上分為中央?yún)^(qū)域IOal和周邊區(qū)域10a2的情況下，根據(jù)涂覆墨時(shí)的蒸汽濃度的分布狀態(tài)，會(huì)在周邊區(qū)域10a2更顯著地產(chǎn)生子像素內(nèi)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不勻。認(rèn)為合并了周邊區(qū)域10a2和區(qū)域IOb的區(qū)域?yàn)槊姘宓耐庵懿康腛. 5% 幾％左右(例如1%)的像素部。這是考慮不調(diào)整堤的面部的傾斜角度的情況下的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不均而確定的。在上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中，為了易于理解地說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和作用效果而采用作為一個(gè)例子的各結(jié)構(gòu)，本發(fā)明除了本質(zhì)部分以外并不限定于上述方式。例如，在上述實(shí)施方式中，如圖2所示，采用了相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層106在其Z軸方向下側(cè)配置有陽(yáng)電極102的結(jié)構(gòu)來作為一個(gè)例子，但本發(fā)明不限于此，也可以采用如相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層106在其Z軸方向下側(cè)配置有陰電極108的結(jié)構(gòu)。在為相對(duì)于有機(jī)發(fā)光層106在其Z軸方向下側(cè)配置陰電極108的結(jié)構(gòu)的情況下，由于為頂部發(fā)射構(gòu)造，所以采用使陰電極108為反射電極層、在其上形成電極覆蓋層103的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施方式1、2等中，雖未示出顯示裝置I的具體外觀形狀，但例如可以為如圖21所示的系統(tǒng)的一部分。此外。由于有機(jī)EL顯示裝置不需要如液晶顯示裝置那樣的背光源，所以適于薄型化，從系統(tǒng)設(shè)計(jì)的觀點(diǎn)來看，能發(fā)揮優(yōu)異的特性。另外，在上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中，作為堤105、105a 105d、105x、105y、305a 305e、605、705的形態(tài)，采用了如圖3所示的所謂的線堤構(gòu)造，但也可以采用如圖22所示的由在Y軸方向上延伸的堤部件805a和在X軸方向上延伸的堤部件805b構(gòu)成的像素堤805來構(gòu)成顯示面板80。如圖22所示，在采用像素堤805的情況下，對(duì)于規(guī)定各子像素800a、800b、800c的堤805，通過增大其X軸方向和Y軸方向的各外側(cè)的側(cè)壁部的傾斜角度，能夠得到上述同樣的效果。具體而言，能夠通過適當(dāng)調(diào)整箭頭Bi、B2、B3、B4所指示的面部的傾斜角度來得到上述效果。另外，對(duì)于上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中所采用的堤的面部的傾斜角度的調(diào)整，可以根據(jù)制造時(shí)形成有機(jī)發(fā)光層所涉及的墨涂覆工序和干燥工序中的蒸汽濃度分布而個(gè)別地適當(dāng)進(jìn)行變更。例如，在如因干燥裝置的構(gòu)造等而墨干燥時(shí)的蒸汽流為由面板外周部朝向面板中央部的方向的情況下，與有機(jī)發(fā)光層的膜厚厚的部位對(duì)應(yīng)地增大堤側(cè)面部的傾斜角度即可。由此，能夠使有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻化，能夠降低面板整體的輝度不勻。另外，在上述實(shí)施方式1、2及變形例1、2中，在各發(fā)光色(紅色、綠色、藍(lán)色)，對(duì)堤面部的傾斜角度(錐角)的設(shè)定沒有加以區(qū)別，但認(rèn)為含有有機(jī)發(fā)光材料的墨的特性會(huì)根據(jù)發(fā)光色而變化，所以在該情況下，可以根據(jù)各發(fā)光色的墨特性來規(guī)定對(duì)應(yīng)的堤的面部的傾斜角度。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明對(duì)于實(shí)現(xiàn)輝度不勻少、具有高畫質(zhì)性能的有機(jī)發(fā)光面板及有機(jī)顯示裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光面板，是排列多個(gè)像素部而成的有機(jī)發(fā)光面板， 所述多個(gè)像素部的各像素部具有發(fā)光色互不相同的按順序排列的多個(gè)發(fā)光部， 各發(fā)光部包括基底層、有機(jī)發(fā)光層以及第2電極，所述基底層包括第I電極，所述有機(jī)發(fā)光層與所述基底層對(duì)向設(shè)置、涂覆含有與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成，所述第2電極相對(duì)于所述有機(jī)發(fā)光層形成在與所述基底層相反一側(cè)， 同一像素部?jī)?nèi)的所述多個(gè)發(fā)光部至少具有從一側(cè)向另一側(cè)依次被涂覆與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的所述墨而形成所述有機(jī)發(fā)光層的、位于一側(cè)的被第I輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第I發(fā)光部、位于中央側(cè)的被第2輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第2發(fā)光部、以及位于另一側(cè)的被第3輪涂覆對(duì)應(yīng)的墨的第3發(fā)光部， 在所述基底層的上方設(shè)有區(qū)劃所述多個(gè)發(fā)光部中相鄰的發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁， 所述多個(gè)像素部包括如下像素部 規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，且位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光面板， 所述多個(gè)像素部形成為連續(xù)地相鄰， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下， 規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光面板， 在所述多個(gè)像素部的相鄰的各像素部之間形成有非像素部， 在所述像素部與所述非像素部之間，形成有區(qū)劃像素部和非像素部的隔壁， 在各像素部中，規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，位于所述非像素部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)發(fā)光面板， 所述非像素部不包括所述有機(jī)發(fā)光層，包括所述第2電極和以與所述第I電極相同的材料構(gòu)成的第3電極，所述第2電極與所述第3電極電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，大于位于所述第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度，與規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度相等。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光面板， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下， 規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下， 規(guī)定所述第3發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第2發(fā)光部側(cè)的隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下， 規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光面板， 所述傾斜角度為所述隔壁的所述對(duì)向的各面部與形成有所述隔壁的所述基底層的上面所成的角度。
14.一種有機(jī)顯不裝置,具備權(quán)利要求I 13中任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光面板。
15.一種有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，所述有機(jī)發(fā)光面板是排列多個(gè)像素部而成的面板，所述制造方法包括 第I工序，在基板上形成包括第I電極的基底層； 第2工序，在所述基底層上層疊感光性抗蝕劑材料； 第3工序，通過對(duì)所述層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光而對(duì)其進(jìn)行圖案形成，按各像素部形成與多個(gè)發(fā)光部對(duì)應(yīng)的多個(gè)開口，并且，形成區(qū)劃相鄰的所述發(fā)光部而規(guī)定各發(fā)光部的多個(gè)隔壁； 第4工序，對(duì)所述多個(gè)開口分別滴下含有有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā)光層；和 第5工序，在所述有機(jī)發(fā)光層的上方形成第2電極， 在所述弟3工序中， 按各像素部而形成與位于一側(cè)的第I發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第I開口、與位于中央側(cè)的第2發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第2開口以及與位于另一側(cè)的第3發(fā)光部對(duì)應(yīng)的第3開口， 進(jìn)一步， 將規(guī)定所述第I發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度形成為相等， 使規(guī)定所述第2發(fā)光部和所述第3發(fā)光部中的至少所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的對(duì)向的面部的傾斜角度不同，并且，將位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度， 在所述第4工序中， 按各像素部而對(duì)所述第I開口、所述第2開口以及所述第3開口依次滴下與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的所述墨，形成所述有機(jī)發(fā)光層。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法， 在所述弟3工序中， 關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，使對(duì)與規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看笥趯?duì)與位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬浚? 由此使規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法， 在所述弟3工序中， 關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，使用對(duì)于與各個(gè)面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎驶ゲ幌嗤难谀＃允沟脤?duì)與規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎蚀笥趯?duì)與位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎剩? 由此使規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法， 在所述弟3工序中， 在使所述感光性抗蝕劑材料曝光、顯影后，通過對(duì)與規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理， 從而使規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰兩隔壁的位于所述第3發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第I發(fā)光部側(cè)的隔壁的面部的傾斜角度。
19.一種有機(jī)顯示裝置，具備通過權(quán)利要求15 18中任一項(xiàng)所述的制造方法得到的有機(jī)發(fā)光面板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置。像素部構(gòu)成為包括3個(gè)子像素100a~100c。子像素100a由堤105a、105b規(guī)定，子像素10b由堤105b、105c規(guī)定，子像素100c由堤105c、105d規(guī)定。對(duì)于子像素100a、100b、100c的各有機(jī)發(fā)光層，通過按該子像素100a、100b、100c的順序涂敷并干燥來形成。在此，堤105a的面部105aa、堤105b的面部105ba、105bb以及堤105c的面部105cb被設(shè)定成傾斜角度θaa等于傾斜角度θba，傾斜角度θcd大于傾斜角度θbb。
文檔編號(hào)H05B33/12GK102960067SQ20108006761
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者松島英晃 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社