專利名稱：元件安裝裝置、元件安裝方法和基板制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及控制具有多個(gè)嘴的傳送頭的操作以將元件安裝在電子電路基板(下文中稱作“基板”)上的元件安裝裝置、元件安裝方法和基板制造方法。
背景技術(shù)：
在設(shè)有旋轉(zhuǎn)型傳送頭(下文中稱作“傳送頭”)的元件安裝裝置中，多個(gè)傳送頭進(jìn)行協(xié)調(diào)操作，該協(xié)調(diào)操作彼此排他地進(jìn)行吸附操作和安裝操作，從而將元件安裝在到來的基板上。如圖1所示，傳送頭1設(shè)有用于吸附元件的多個(gè)嘴3(下文中稱作“嘴索引(nozzle index) ”)。在多個(gè)嘴3中，如圖2所示，由于例如轉(zhuǎn)臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)中心位置Ct的偏心或嘴安裝部的軸的裝配誤差等因素，因此，每個(gè)嘴的旋轉(zhuǎn)中心位置Cnl、Cn2具有對(duì)應(yīng)于用于每個(gè)嘴索引的元件4的元件吸附位置5的變動(dòng)。因此，在校準(zhǔn)元件安裝裝置時(shí)，預(yù)先計(jì)算用于這些嘴索引的旋轉(zhuǎn)中心位置Cnl、Cn2的變動(dòng)的校正值(校正量6_1、6_2)。元件安裝裝置將這些校正值保持為機(jī)器數(shù)據(jù)。在設(shè)有旋轉(zhuǎn)型傳送頭的元件安裝裝置中，在一個(gè)路徑中存在多個(gè)同種元件的情況下，由于盡可能減小X-Y軸的移動(dòng)距離以縮短吸附節(jié)拍(tact)，因此，模型數(shù)據(jù)的吸附順序通常設(shè)定為在同一供給單元(供應(yīng)裝置)中連續(xù)進(jìn)行元件吸附。這里，一個(gè)路徑是表示由一個(gè)傳送頭進(jìn)行的吸附和安裝操作的單位。在一個(gè)路徑中呈現(xiàn)對(duì)應(yīng)于最大數(shù)量的嘴索引的步驟。在連續(xù)吸附操作中，為校正在傳送頭1上安裝的多個(gè)嘴的各自的旋轉(zhuǎn)中心位置Cn 的變動(dòng)，通過使用上述用于每個(gè)嘴索引的校正值(機(jī)器數(shù)據(jù))來進(jìn)行X-Y軸方向的吸附位置校正。因此，即使在連續(xù)吸附操作中，仍在X-Y軸中進(jìn)行微小的移動(dòng)操作，從而對(duì)各嘴索引的旋轉(zhuǎn)中心位置Cn的變動(dòng)進(jìn)行校正。此外，在一個(gè)路徑中混合有不同種元件的情況下，由于要盡可能地減小X-Y軸的移動(dòng)距離以縮短吸附節(jié)拍，因此通常設(shè)定模型數(shù)據(jù)以將元件布置在鄰接的供給單元上。在此情況中，盡管相比于連續(xù)吸附，擴(kuò)大了傳送頭1的移動(dòng)距離，然而，仍在相對(duì)短的移動(dòng)距離內(nèi)進(jìn)行X-Y軸的移動(dòng)操作，所述相對(duì)短的移動(dòng)距離通過上述每個(gè)嘴索引的校正值(機(jī)器數(shù)據(jù))和供給單元之間的距離而計(jì)算出。在相關(guān)技術(shù)中，在各軸的操作中，不管元件安裝裝置的操作序列如何，控制每個(gè)軸的伺服電機(jī)的最大速度和最大加速度是一樣的。圖3表示當(dāng)移動(dòng)傳送頭時(shí)的速度變化的一個(gè)例子。在該操作方法中，通過使用與操作序列相同的最大速度和最大加速度來進(jìn)行軸向移動(dòng)操作。以此方式，使在X-Y軸的移動(dòng)距離短的上述連續(xù)吸附操作或者從鄰接的供給單元的吸附操作中，在傳送頭達(dá)到最大速度前進(jìn)行減速。因此，通過急劇的加速/減速，加速度的變化增大，于是定位時(shí)可能發(fā)生殘余振動(dòng)。在這種情況下，如果吸附小尺寸元件，則存在這樣的問題，即，由于殘余振動(dòng)的影響，在元件的吸附中可能發(fā)生差錯(cuò)(未吸附或直立吸附)。例如，在提高元件安裝裝置的強(qiáng)度以減小殘余振動(dòng)的情況下，元件安裝裝置的重量增加。因此，存在應(yīng)當(dāng)堅(jiān)固地制造底面、不便于元件安裝裝置的運(yùn)送等問題。為應(yīng)對(duì)該問題，人們提出了一種技術(shù)，其獲得另一頭單元的安裝操作所必需的操作時(shí)間、比較所述頭單元的吸附操作所必需的操作時(shí)間、并根據(jù)比較結(jié)果來決定下一吸附操作(參照日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開2009-141120號(hào)(圖8等))。即，當(dāng)另一頭單元的安裝操作所必需的操作時(shí)間比所述操作時(shí)間長(zhǎng)時(shí)，通過利用所述操作時(shí)間和自身的頭單元的吸附操作所必需的操作時(shí)間之間的差值(待機(jī)時(shí)間)，將頭單元的吸附操作從同時(shí)吸附切換至分立吸附(依次吸附)。以此方式，提高了在分立吸附時(shí)的吸附操作的精度和可靠性。然而，在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開2009-141120號(hào)中公開的技術(shù)中，在另一頭單元的安裝操作所必需的操作時(shí)間不比所述操作時(shí)間長(zhǎng)的情況下，不進(jìn)行分立吸附(依次吸附)，而進(jìn)行同時(shí)吸附。由于在同時(shí)吸附期間進(jìn)行相同的吸附操作，在該吸附操作中頭單元的操作時(shí)間短，因此，移動(dòng)速度快，并且定位時(shí)的殘余振動(dòng)的影響增大。

發(fā)明內(nèi)容
因此，期望通過抑制吸附元件時(shí)的殘余振動(dòng)的發(fā)生，從而在更可靠的吸附位置進(jìn)行元件的吸附。為解決上述問題，本發(fā)明可單獨(dú)設(shè)定頭的軸向移動(dòng)(X-Y軸向操作等)的最大速度和最大加速度，而在相關(guān)技術(shù)的整個(gè)操作序列中，所述最大速度和最大加速度是一樣的。這里，吸附期間的關(guān)于軸向移動(dòng)的加速度或速度的至少一個(gè)設(shè)定為低于安裝期間的加速度或速度。對(duì)頭的振動(dòng)施加的影響被視為移動(dòng)時(shí)的加速度的變化。即，急劇的加速/減速視為對(duì)振動(dòng)有大的影響。頭移動(dòng)時(shí)的速度快的事實(shí)必然導(dǎo)致在停止等情況時(shí)的加速度的變化大，這樣增大了振動(dòng)。因此，在吸附操作期間，在移動(dòng)頭時(shí)的速度和加速度之任一個(gè)設(shè)定為低于相關(guān)技術(shù)中的速度和加速度之任一個(gè)。具體來說，本發(fā)明采用了下述配置。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，在元件安裝裝置中，判斷兩個(gè)頭之任一個(gè)的吸附操作之后進(jìn)行的操作是否為吸附操作，所述兩個(gè)頭設(shè)置于元件安裝裝置中并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以交替地將元件安裝在基板上。接下來，如果判斷出吸附操作之后進(jìn)行的操作為吸附操作，則通過使用在元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的所述吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，計(jì)算一個(gè)頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)。此外， 根據(jù)計(jì)算出的速度和計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生控制信號(hào)。當(dāng)接著在一個(gè)頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的吸附操作進(jìn)行隨后嘴的吸附操作時(shí)，則根據(jù)控制信號(hào)而將該隨后的嘴移動(dòng)至元件吸附位置。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，在元件安裝方法中，判斷頭進(jìn)行的下一操作是否為吸附操作，所述頭設(shè)置于元件安裝裝置中并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以將元件安裝在基板上。接下來，如果判斷出頭進(jìn)行的下一操作不是吸附操作，則通過使用在元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的安裝用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，計(jì)算所述頭的軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)。如果判斷出頭進(jìn)行的下一操作為吸附操作，則通過使用在存儲(chǔ)器中保持并且比所述安裝用最大速度和最大加速度低的吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，計(jì)算所述頭的軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)。此外，根據(jù)計(jì)算出的速度和計(jì)算出的加速度而產(chǎn)生控制信號(hào)。當(dāng)接著在所述頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的所述操作之后由隨后的嘴進(jìn)行下一操作時(shí)，根據(jù)用于所述安裝和吸附的控制信號(hào)，將隨后的嘴移動(dòng)至目標(biāo)位置。根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施方式，提供了一種元件安裝裝置，該元件安裝裝置包括設(shè)有多個(gè)嘴的頭，所述元件安裝裝置通過每個(gè)嘴而進(jìn)行吸附元件的元件吸附操作，并且通過頭進(jìn)行將各元件安裝在基板上的元件安裝操作，其中，所述頭在元件吸附操作期間進(jìn)行第一移動(dòng)操作，其中根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值而將所述頭移動(dòng)至目標(biāo)位置，所述頭在元件安裝操作期間進(jìn)行第二移動(dòng)操作，其中所述頭在基板上移動(dòng)以將各元件安裝于基板上設(shè)定的位置上。這里，在第一移動(dòng)操作中的頭的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)低于在第二移動(dòng)操作中的頭的最大速度和最大加速度。通過本發(fā)明，由于吸附期間頭的嘴的軸向移動(dòng)(第一移動(dòng)操作)的最大加速度 (和/或最大速度)設(shè)定為低于除吸附期間以外的其它軸向移動(dòng)(第二移動(dòng)操作)的最大加速度(和/或最大速度)，因此，在吸附元件時(shí)，可抑制殘余振動(dòng)的發(fā)生。因此，可在更穩(wěn)定的吸附位置進(jìn)行元件的吸附。根據(jù)本發(fā)明，通過抑制殘余振動(dòng)的發(fā)生，可在更可靠的吸附位置進(jìn)行元件的吸附。 因此，可提高元件在基板上的安裝精度，從而提高基板的質(zhì)量。


圖1表示旋轉(zhuǎn)型傳送頭的一個(gè)例子的示意圖；圖2表示對(duì)嘴的旋轉(zhuǎn)中心位置的變動(dòng)的校正的示意圖；圖3表示相關(guān)技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)型傳送頭的速度變化的圖；圖4表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的元件安裝裝置的配置例的框圖；圖5A 5C分別表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的第一頭和第二頭的速度(加速度)變化的第一示例 第三示例的圖；圖6表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的元件安裝裝置在軸向移動(dòng)(第一頭和第二頭)時(shí)的處理的流程圖；圖7A 7D分別表示第一頭和第二頭的安裝操作的示意圖；并且圖8A 8D分別表示第一頭和第二頭的安裝操作的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照

實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。以下列順序進(jìn)行說明。在此情況中，在每個(gè)圖中，以相同的附圖標(biāo)記表示類似的元件。1.第一實(shí)施方式(當(dāng)兩個(gè)傳送頭進(jìn)行吸附操作時(shí)的最大速度和最大加速度比安裝操作時(shí)的最大速度和最大加速度低的例子)2.第二實(shí)施方式(一個(gè)傳送頭的例子)
1.第一實(shí)施方式圖4表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的元件安裝裝置的配置例的框圖。元件安裝裝置包括元件安裝單元10和安裝控制單元20。在安裝控制單元20的控制下，將元件安裝在元件安裝單元10中。首先，說明元件安裝單元10的配置。元件安裝單元10包括基臺(tái)10a、用作第一傳送頭的第一頭11、用作第二傳送頭的第二頭12、第一元件供給單元13、第二元件供給單元14、傳送器15、第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16、 第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17以及Y軸驅(qū)動(dòng)單元18。在第一頭11和第二頭12中，如圖1所示，在轉(zhuǎn)臺(tái)2上安裝有多個(gè)用于吸附元件的嘴3 (在本實(shí)施方式中為嘴索引#1 #12)。分別地設(shè)置對(duì)應(yīng)于第一頭11和第二頭12的元件供給單元13、14。元件供給單元 13具有多個(gè)供應(yīng)裝置13a，并且在一個(gè)供應(yīng)裝置13a中，通過帶子并列布置并從盒中依次供應(yīng)多個(gè)元件。類似地，第二元件供給單元14也設(shè)有多個(gè)供應(yīng)裝置14a。第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16是可移動(dòng)地支撐第一頭11的X軸定位機(jī)構(gòu)，并且用于根據(jù)從安裝控制單元20發(fā)來的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而以X軸方向移動(dòng)第一頭11 (與基板的流動(dòng)平行的方向)。此外，第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16可根據(jù)從安裝控制單元20發(fā)來的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而以Z軸方向 (未圖示)作為旋轉(zhuǎn)中心使第一頭11旋轉(zhuǎn)。例如，可利用伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)通過第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16對(duì)第一頭11的移動(dòng)。類似地，第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17是可移動(dòng)地支撐第二頭12的X軸定位機(jī)構(gòu)，并且用于根據(jù)從安裝控制單元20發(fā)來的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而以X軸方向移動(dòng)第二頭12。例如，可利用伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)通過第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17對(duì)第二頭12的移動(dòng)。用于第一頭11的第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16的支撐部和用于第二頭12的第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17的支撐部分別包括用于各個(gè)頭的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于以Z軸方向作為旋轉(zhuǎn)中心而旋轉(zhuǎn)各個(gè)頭。此外，這些X軸驅(qū)動(dòng)單元包括未圖示的Z軸驅(qū)動(dòng)單元(Z 軸定位機(jī)構(gòu))，而下面僅說明X軸方向和Y軸方向中的軸向移動(dòng)。 Y軸驅(qū)動(dòng)單元18是可移動(dòng)地支撐第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16和第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17的 Y軸定位機(jī)構(gòu)，并且用于根據(jù)從安裝控制單元20發(fā)來的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而沿Y軸方向(與基板的流動(dòng)垂直的方向)移動(dòng)第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16和第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17。下面，將通過第一 X 軸驅(qū)動(dòng)單元16、第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17和Y軸驅(qū)動(dòng)單元18而使第一頭11或第二頭12在X 軸方向或Y軸方向中進(jìn)行的移動(dòng)稱作“軸向操作(或者軸向移動(dòng))”。軸向操作包括對(duì)第一頭11或第二頭12的定位。通過上述配置，可以以與基臺(tái)IOa的面平行或垂直的方向移動(dòng)第一頭11和第二頭 12。在安裝控制單元20的控制下，當(dāng)?shù)谝活^11和第二頭12進(jìn)行協(xié)調(diào)操作以彼此排他地進(jìn)行吸附操作和安裝操作時(shí)，第一頭11和第二頭12將元件安裝在沿基臺(tái)IOa的傳送器15移動(dòng)的基板上。接下來，說明安裝控制單元20的配置。安裝控制單元20包括控制單元21、驅(qū)動(dòng)電路22 對(duì)、存儲(chǔ)器25和操縱單元沈。使用諸如個(gè)人計(jì)算機(jī)等計(jì)算機(jī)作為安裝控制單元20，并且在控制單元21中使用諸如MPU (微處理器單元)等運(yùn)算處理裝置。在存儲(chǔ)器25中使用例如閃存等非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)器，并且在所述非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有在元件安裝處理中使用的計(jì)算機(jī)程序或者各種設(shè)定值。操縱單元26包括觸摸屏或操縱鍵，并且根據(jù)用戶的操縱而產(chǎn)生輸入信號(hào)，從而將所述信號(hào)發(fā)送給控制單元21?？刂茊卧?1具有用作操作判斷單元21A、速度/加速度計(jì)算單元21B和控制信號(hào)生成單元21C的功能。存儲(chǔ)器25記錄有用于進(jìn)行元件安裝的操作序列、關(guān)于軸向移動(dòng)的速度/加速度的設(shè)定值等?？刂茊卧?1從存儲(chǔ)器25讀出并執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序，該計(jì)算機(jī)程序中輸入有進(jìn)行元件安裝的操作序列，從而進(jìn)行軸向移動(dòng)控制。操作判斷單元21A是操作判斷單元的一個(gè)例子，并且用于判斷第一頭11和第二頭 12中待隨后控制的頭的操作是吸附操作還是除吸附操作以外的其他操作。下面，重點(diǎn)說明吸附操作、尤其是其中吸附之后接著吸附的連續(xù)吸附操作。速度/加速度計(jì)算單元21B是速度/加速度計(jì)算單元的一個(gè)例子，并且用于根據(jù)操作判斷單元21A的判斷結(jié)果來決定第一頭11或第二頭12移動(dòng)時(shí)的速度或加速度。在本發(fā)明中，可在吸附和安裝時(shí)單獨(dú)地設(shè)定X-Y軸操作的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)， 而在相關(guān)技術(shù)的整個(gè)操作序列中，所述最大速度和最大加速度的至少一個(gè)在吸附和安裝時(shí)是一樣的。預(yù)先將最大速度和最大加速度的每個(gè)設(shè)定值作為機(jī)器數(shù)據(jù)而保持在存儲(chǔ)器25 中。在此情況中，吸附元件時(shí)用于X-Y軸操作的最大速度(或最大加速度)設(shè)定為低于安裝元件時(shí)的最大速度(或最大加速度)。圖5A 5C分別表示第一頭11和第二頭12的速度(加速度)的變化的例子。速度(加速度)變化的第一示例圖5A表示將吸附元件時(shí)的第一頭11和第二頭12的最大加速度設(shè)定為低于安裝元件時(shí)的最大加速度的情況的例子的圖。如圖5A所示，相比于安裝期間的速度變化線31 (虛線)，吸附期間的速度變化線 32(實(shí)線)的上坡和下坡分別具有平緩的斜率，并且最大速度也低。在此情況中，相比于安裝期間的情況，最大速度附近的速度變化略低，然而，在軸向移動(dòng)開始瞬間后、在軸向移動(dòng)停止瞬間前以及在速度的變化點(diǎn)的加速度遠(yuǎn)低于安裝期間的加速度(最大加速度低)。因此，具體來說，在軸向移動(dòng)開始瞬間后、在軸向移動(dòng)停止瞬間前以及在速度的變化點(diǎn)，抑制了急劇的加速/減速，于是可實(shí)現(xiàn)可靠的軸向移動(dòng)。速度(加速度)變化的第二示例圖5B表示將吸附元件時(shí)的第一頭11和第二頭12的最大速度設(shè)定為低于安裝元件時(shí)的最大速度的情況的例子的圖。如圖5B所示，吸附期間的速度變化線33 (實(shí)線)的上坡和下坡具有與安裝期間的速度變化線31 (虛線)相同的斜率，并且最大速度在低值處恒定。在此情況中，在軸向移動(dòng)開始瞬間后和軸向移動(dòng)停止瞬間前的加速度與安裝期間的加速度相同，然而，由于最大速度在低值處恒定，故抑制了最大速度附近的急劇的加速/減速，于是可實(shí)現(xiàn)可靠的軸向移動(dòng)。速度(加速度)變化的第三示例圖5C表示將吸附元件時(shí)的第一頭11和第二頭12的最大速度和最大加速度設(shè)定為低于安裝元件時(shí)的最大速度和最大加速度的情況的例子的圖。如圖5C所示，相比于安裝期間的速度變化線31 (虛線)，吸附期間的速度變化線34(實(shí)線)的上坡和下坡具有平緩的斜率，并且最大速度在低值處恒定。在此情況中，在軸向移動(dòng)開始瞬間后和軸向移動(dòng)停止瞬間前的加速度低于安裝期間的加速度(最大加速度低)。此外，由于最大速度在低值處恒定，故抑制了急劇的加速/減速，于是可實(shí)現(xiàn)非常可靠的軸向移動(dòng)。通過設(shè)定吸附元件時(shí)的第一頭11和第二頭12的軸向移動(dòng)的速度/加速度，避免了在吸附期間由第一頭11和第二頭12的X-Y軸向移動(dòng)引起的急劇的加速/減速，于是可抑制殘余振動(dòng)的發(fā)生。在此情況中，如上所述，如果吸附元件時(shí)的最大加速度設(shè)定為低于安裝元件時(shí)的最大加速度，則安裝元件時(shí)的最大加速度可不恒定(所述恒定時(shí)速度變化線為直線)，并且可變化，例如上升(速度變化線為曲線)。即使在此情況中，仍然期望在軸向移動(dòng)開始瞬間后、在軸向移動(dòng)停止瞬間前以及從加速至減速的變化點(diǎn)的加速度低于其它區(qū)域的加速度。加速度的變化對(duì)振動(dòng)有影響，并且急劇的加速/減速對(duì)振動(dòng)有影響。結(jié)果，最大速度大的事實(shí)在停止時(shí)產(chǎn)生使振動(dòng)增大的大的加速度。因此，在本發(fā)明中，吸附期間的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)低于安裝期間的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)。在軸向操作前，使用最大速度和最大加速度(機(jī)器數(shù)據(jù))以及為每個(gè)元件設(shè)定的重寫值(override value)，通過下列等式(1)、(2)來計(jì)算實(shí)際使用的第一頭11和第二頭 12沿X-Y軸向移動(dòng)的速度和加速度。在根據(jù)本實(shí)施方式的元件安裝裝置中，基于對(duì)操縱單元26的操作或安裝元件時(shí)的條件，在存儲(chǔ)器25等中存儲(chǔ)有預(yù)先設(shè)定的最大速度或最大加速度，所述最大速度或最大加速度可與放大率相乘，從而修正實(shí)際移動(dòng)時(shí)的速度值或加速度值。此時(shí)，所述放大率稱作重寫值。速度=最大速度X重寫值…(1)加速度=最大加速度X (重寫值)2 . . . (2)在以下說明中，安裝用速度/加速度是通過將安裝用最大速度/最大加速度應(yīng)用于上述等式(1)、(2)中的最大速度和最大加速度而計(jì)算出的速度/加速度。此外，吸附用速度/加速度是通過將吸附用最大速度/最大加速度應(yīng)用于上述等式(1)、(幻中的最大速度和最大加速度而計(jì)算出的速度/加速度。在此情況中，例如，可將元件的尺寸作為決定重寫值的條件。當(dāng)元件小時(shí)，期望將重寫值設(shè)得小以便抑制殘余振動(dòng)，并且將速度/加速度設(shè)得小。在本實(shí)施方式中，在第一頭11和第二頭12的路徑中的元件數(shù)相等并且連續(xù)吸附一個(gè)路徑中的所有多個(gè)元件的情況下，由于每個(gè)頭的移動(dòng)距離短，故吸附所必需的時(shí)間通常短于安裝所必需的時(shí)間。因此，在相對(duì)的頭完成安裝之前，在吸附側(cè)的頭中出現(xiàn)待機(jī)時(shí)間。因此，如果在待機(jī)時(shí)間的范圍內(nèi)降低吸附期間的最大速度/最大加速度，則可使吸附精度穩(wěn)定而不導(dǎo)致節(jié)拍延遲。返回對(duì)圖4中的控制單元21的說明，控制信號(hào)生成單元21C為控制信號(hào)生成單元的一個(gè)例子，并且基于由速度/加速度計(jì)算單元21B設(shè)定的速度和加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生控制信號(hào)，從而將該控制信號(hào)提供給與所控制的頭對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路。驅(qū)動(dòng)電路22、23例如是伺服機(jī)構(gòu)的伺服放大器，或者這樣的組件，所述組件根據(jù)從控制信號(hào)生成單元21C發(fā)送的控制信號(hào)而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)負(fù)載的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以將該驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16或第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17。此外，驅(qū)動(dòng)電路M同樣例如為伺服機(jī)構(gòu)的伺服放大器，或者這樣的組件，該組件根據(jù)從控制信號(hào)生成單元21C發(fā)送的控制信號(hào)而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以將該驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給Y軸驅(qū)動(dòng)單元18。第一 X軸驅(qū)動(dòng)單元16、第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17和Y軸驅(qū)動(dòng)單元18各為每個(gè)驅(qū)動(dòng)單元的一個(gè)例子，并且用于根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力以移動(dòng)第一頭11和第二頭12。在此情況中，控制信號(hào)生成單元21C產(chǎn)生用于以Z軸方向作為旋轉(zhuǎn)中心而使第一頭11和第二頭 12旋轉(zhuǎn)的控制信號(hào)以及用于沿Z軸方向移動(dòng)第一頭和第二頭的控制信號(hào)。在此情況中，在圖4所示的元件安裝裝置中，省略了對(duì)用于檢測(cè)第一頭11和第二頭12的狀態(tài)以將該狀態(tài)反饋給控制單元21的電路部分的說明。此外，為降低對(duì)吸附節(jié)拍的影響度，期望在下列條件下操作根據(jù)本發(fā)明的元件安
衣衣且。(1)在第一頭11和第二頭12中，一個(gè)路徑中的元件數(shù)被兩個(gè)頭等分。(2)對(duì)于一個(gè)路徑中的各種元件，將同種元件收集并布置在一處，以進(jìn)行連續(xù)吸附。(3)在一個(gè)路徑中處理不同種元件的情況下，將所述元件布置為與用于被連續(xù)吸附的元件的供給單元(供應(yīng)裝置)相鄰。安裝操作的例子下面，參照?qǐng)D6所示的流程圖說明使元件安裝裝置的第一頭11和第二頭12進(jìn)行軸向移動(dòng)的處理。首先，安裝控制單元20 (參照?qǐng)D4)的控制單元21從存儲(chǔ)器25讀出計(jì)算機(jī)程序， 以便執(zhí)行安裝元件的操作序列。在此情況中，控制單元21的操作判斷單元21A判斷第一頭 11和第二頭12中待隨后控制的頭的操作是吸附操作還是其他操作(步驟Si)。在步驟Sl的判斷處理中，如果判斷出所述操作是除吸附操作以外的操作，則速度 /加速度計(jì)算單元21B通過將安裝用的最大速度/最大加速度應(yīng)用于上述等式(1)、(2)，從而計(jì)算對(duì)應(yīng)的頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度/加速度(步驟S2)。將計(jì)算出的速度/加速度發(fā)送給控制信號(hào)生成單元21C。接下來，通過使用計(jì)算出的速度/加速度，控制信號(hào)生成單元21C根據(jù)預(yù)先設(shè)定的速度變化(例如參照?qǐng)D5A 5C)而產(chǎn)生控制信號(hào)，以將該控制信號(hào)恰當(dāng)?shù)匕l(fā)送給驅(qū)動(dòng)電路 22 M。將與所述控制信號(hào)一致的來自驅(qū)動(dòng)電路22 M的驅(qū)動(dòng)信號(hào)恰當(dāng)?shù)靥峁┙o第一 X 軸驅(qū)動(dòng)單元16、第二 X軸驅(qū)動(dòng)單元17和Y軸驅(qū)動(dòng)單元18 (以及Z軸驅(qū)動(dòng)單元)，從而使對(duì)應(yīng)的頭軸向移動(dòng)至目標(biāo)位置(步驟S4)。同時(shí)，在步驟Sl的判斷處理中，如果判斷出所述操作是吸附操作(具體為來自吸附的吸附操作)，則速度/加速度計(jì)算單元2IB通過將吸附用最大速度/最大加速度應(yīng)用于上述等式(1)、O)，從而計(jì)算對(duì)應(yīng)的頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度/加速度(步驟S3)。將計(jì)算出的速度/加速度發(fā)送給控制信號(hào)生成單元21C，并且進(jìn)入步驟S4,從而使安裝在對(duì)應(yīng)的頭上的對(duì)應(yīng)的嘴軸向移動(dòng)至元件吸附位置。在完成步驟S4中的軸向移動(dòng)后，處理結(jié)束。進(jìn)行步驟Sl S4的處理，直至一個(gè)路徑結(jié)束，并且，在第二路徑之后存在諸如吸附/安裝的操作的情況下，繼續(xù)進(jìn)行步驟Sl S4的處理。在此情況中，在軸向移動(dòng)完成后，如果進(jìn)行元件吸附或元件安裝，則根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值來進(jìn)行用于元件吸附位置或元件安裝位置的位置校正。接下來，參照?qǐng)D7A 8D說明圖6所示的適用于軸向移動(dòng)處理的安裝操作的例子。
圖7A 7D為分別表示第一頭11和第二頭12的安裝操作的示意圖。圖8A 8D 為分別表示接著圖7A 7D的第一頭11和第二頭12的安裝操作的示意圖。(1)首先，在開始制造基板時(shí)，在從上游裝置運(yùn)送基板30的同時(shí)，在安裝控制單元 20的控制下，以安裝用速度/加速度將第一頭11和第二頭12移動(dòng)至第一元件供給單元13 和第二元件供給單元14的元件吸附位置，以進(jìn)行元件吸附操作。在此情況中，安裝控制單元20的控制單元21進(jìn)行控制，從而通過使用吸附用速度/加速度而操作在最初的元件吸附以后的從由一個(gè)嘴索引的元件吸附(元件吸附位置)至由隨后的嘴索引的元件吸附(元件吸附位置)的X-Y軸向移動(dòng)。在用于一個(gè)路徑的元件吸附完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11和第二頭12以安裝用速度/加速度而移動(dòng)至待機(jī)位置(參照?qǐng)D7A)。(2)如果將基板30定位在安裝位置，那么，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11以安裝用速度/加速度移動(dòng)至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別位置(未圖示)，以便進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別 (參照?qǐng)D7B)。通過圖像處理來識(shí)別在基板30上布置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，以進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，可將元件安裝在基板30的設(shè)計(jì)位置。在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11以安裝用速度 /加速度移動(dòng)至待機(jī)位置。如果將第一頭11移動(dòng)至待機(jī)位置，那么，在安裝控制單元20的控制下，將第二頭12以安裝用速度/加速度移動(dòng)至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別位置，從而進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別(參照?qǐng)D7C)。在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別完成后，將第二頭12以安裝用速度/加速度移動(dòng)至待機(jī)位置。(3)如果將第二頭12移動(dòng)至待機(jī)位置，那么，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11以安裝用速度/加速度移動(dòng)至元件安裝位置，從而進(jìn)行元件安裝操作(參照?qǐng)D7D)。 通過使用安裝用速度/加速度來操作元件安裝期間的X-Y軸向移動(dòng)。(4)在用于一個(gè)路徑的元件安裝完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭 11以安裝用速度/加速度移動(dòng)至第一元件供給單元13的元件吸附位置，從而進(jìn)行用于下一路徑的元件吸附。如果將第一頭11移動(dòng)至元件吸附位置，那么，在安裝控制單元20的控制下，將第二頭12以安裝用速度/加速度移動(dòng)至元件安裝位置，從而進(jìn)行元件安裝操作(參照?qǐng)D8A)。通過使用安裝用速度/加速度來操作元件安裝期間的X-Y軸向移動(dòng)。(5)在第二頭12安裝元件的同時(shí)，在安裝控制單元20的控制下，第一頭11在元件安裝位置進(jìn)行元件吸附操作。在此情況中，安裝控制單元20的控制單元21進(jìn)行控制，從而通過使用吸附用速度/加速度而操作在最初的元件吸附以后的從由一個(gè)嘴索引的元件吸附(元件吸附位置)至由隨后的嘴索引的元件吸附(元件吸附位置)的X-Y軸向移動(dòng)。在用于一個(gè)路徑的元件吸附完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11以安裝用速度 /加速度移動(dòng)至待機(jī)位置(參照?qǐng)D8B)。(6)在用于一個(gè)路徑的元件安裝完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第二頭 12以安裝用速度/加速度移動(dòng)至第二元件供給單元14的元件吸附位置，從而進(jìn)行用于下一路徑的元件吸附。如果將第二頭12移動(dòng)至元件吸附位置，那么，在安裝控制單元20的控制下，將第一頭11以安裝用速度/加速度移動(dòng)至元件安裝位置，從而進(jìn)行元件安裝操作(參照?qǐng)D8C)。通過使用安裝用速度/加速度來操作元件安裝期間的X-Y軸向移動(dòng)。(7)在第一頭11安裝元件的同時(shí)，在安裝控制單元20的控制下，第二頭12在元件吸附位置進(jìn)行元件吸附操作。在此情況中，安裝控制單元20的控制單元21進(jìn)行控制，從而通過使用吸附用速度/加速度而操作在最初的元件吸附以后的從由一個(gè)嘴索引的元件吸附至由隨后的嘴索引的元件吸附的X-Y軸向移動(dòng)。在用于一個(gè)路徑的元件吸附完成后，在安裝控制單元20的控制下，將第二頭12以安裝用速度/加速度移動(dòng)至待機(jī)位置(參照?qǐng)D 8D)。此后，重復(fù)上述(4) (7)的操作，直到對(duì)基板30的全部元件安裝完成。第一實(shí)施方式的效果在上述實(shí)施方式中，由于吸附期間的用于X-Y軸向移動(dòng)的最大加速度(或者最大速度)設(shè)定為低于安裝期間的最大加速度(或者最大速度)，故可抑制吸附元件時(shí)的殘余振動(dòng)的發(fā)生。因此，可在更可靠的吸附位置進(jìn)行元件的吸附，從而提高小尺寸元件的吸附速率。因此，提高了元件在基板上的安裝精度，從而提高了基板的質(zhì)量。 此外，如果在與安裝時(shí)間和吸附時(shí)間之間的差值相對(duì)應(yīng)的待機(jī)時(shí)間的范圍內(nèi)，將吸附期間的最大速度/最大加速度設(shè)定為低的值，則可在不導(dǎo)致節(jié)拍延遲的情況下使吸附精度穩(wěn)定。而且，如圖4所示，在第一頭11和第二頭12由共有的Y軸驅(qū)動(dòng)單元18支撐的情況下，可在與吸附側(cè)的頭相對(duì)的頭正在安裝元件時(shí)抑制吸附側(cè)的頭的振動(dòng)，從而抑制振動(dòng)傳播至安裝側(cè)的頭。因此，可在更穩(wěn)定的安裝位置進(jìn)行元件安裝，從而提高安裝精度。在此情況中，在上述的實(shí)施方式中，雖然說明了包括諸如第一頭11和第二頭12的兩個(gè)傳送頭的元件安裝裝置，然而本發(fā)明可適用于包括三個(gè)以上傳送頭的元件安裝裝置。 在存在三個(gè)以上傳送頭的情況下，必需控制多個(gè)傳送頭，避免發(fā)生傳送頭的操作出現(xiàn)競(jìng)爭(zhēng)的狀態(tài)(在基板上同時(shí)安裝元件等)。此外，本發(fā)明可適用于元件安裝裝置包括一個(gè)傳送頭的情況。下面，概述包括一個(gè)傳送頭的元件安裝裝置的操作。2.第二實(shí)施方式在元件安裝裝置的傳送頭為一個(gè)的情況下，通過使用一個(gè)傳送頭來切換吸附操作和安裝操作，而在基板上安裝元件。通過運(yùn)用如圖6的流程圖所示的使兩個(gè)傳送頭軸向移動(dòng)時(shí)的處理，進(jìn)行在一個(gè)傳送頭的情況下的軸向移動(dòng)處理。即，在一個(gè)傳送頭的情況下，控制單元21的操作判斷單元21A(參照?qǐng)D2)判斷一個(gè)傳送頭的待隨后控制的操作是吸附操作還是除吸附操作以外的其他操作(步驟Si)。接下來，速度/加速度計(jì)算單元21B基于判斷結(jié)果而計(jì)算傳送頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度/加速度(步驟S2、S;3)?？刂菩盘?hào)生成單元21C 根據(jù)計(jì)算出的速度/加速度產(chǎn)生控制信號(hào)，以將該控制信號(hào)恰當(dāng)?shù)匕l(fā)送給驅(qū)動(dòng)電路22 M?；谂c從驅(qū)動(dòng)電路22 M輸出的控制信號(hào)一致的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，對(duì)每個(gè)軸的驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行操作，從而將傳送頭軸向移動(dòng)至目標(biāo)位置(步驟S4)。進(jìn)行步驟Sl S4的處理，直到一個(gè)路徑結(jié)束，并且在第二路徑以后存在諸如吸附或安裝的操作的情況下，繼續(xù)進(jìn)行步驟Sl S4的處理。在此情況中，在當(dāng)軸向移動(dòng)完成后進(jìn)行元件吸附或元件安裝的情況下，根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值而進(jìn)行用于元件吸附位置或元件安裝位置的位置校正。在一個(gè)傳送頭的情況下，由于吸附期間的傳送頭沿軸向移動(dòng)的速度和加速度的至少一個(gè)設(shè)定為低于安裝期間的速度和加速度的至少一個(gè)，故可提高安裝精度。在此情況中，盡管在上述每個(gè)實(shí)施方式中說明了設(shè)有旋轉(zhuǎn)型傳送頭的元件安裝裝置，然而元件安裝裝置不限于此。本發(fā)明可適用于設(shè)有內(nèi)聯(lián)型的頭的元件安裝裝置，在該元件安裝裝置中，多個(gè)供應(yīng)裝置可同時(shí)吸附所布置的元件。此外，在上述每個(gè)實(shí)施方式中，可通過硬件來進(jìn)行一系列處理，然而也可通過軟件進(jìn)行所述處理。在通過軟件進(jìn)行一系列處理的情況下，可由包括嵌有構(gòu)成軟件的程序的專用硬件的計(jì)算機(jī)進(jìn)行所述處理，或者由安裝有用于執(zhí)行各種功能的程序的計(jì)算機(jī)進(jìn)行所述處理。例如，可由安裝有構(gòu)成期望的軟件的程序的通用個(gè)人計(jì)算機(jī)等進(jìn)行所述處理。此外，系統(tǒng)或裝置可設(shè)有記錄介質(zhì)，在該記錄介質(zhì)上記錄有用于實(shí)施任一上述實(shí)施方式的功能的軟件程序代碼。而且，顯然，系統(tǒng)或裝置的計(jì)算機(jī)(或者諸如CPU的控制裝置)可讀出并執(zhí)行在記錄介質(zhì)中存儲(chǔ)的程序代碼，以實(shí)現(xiàn)所述功能。在此情況中，用于提供程序代碼的記錄介質(zhì)可使用例如軟盤、硬盤、光盤、磁光盤、 CD-ROM、CD-R、磁帶、非易失性存儲(chǔ)卡或ROM。這里，應(yīng)當(dāng)注意，用于說明依次處理的步驟不僅包括以所述順序依次進(jìn)行的處理操作，還包括并行地或分離地執(zhí)行的處理操作(并行處理或面向?qū)ο筇幚?。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，在不脫離所附權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)，取決于設(shè)計(jì)需要和其它因素可出現(xiàn)各種變化、組合、子組合和替代。
權(quán)利要求
1.一種元件安裝裝置，其包括兩個(gè)頭，它們?cè)O(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以便交替地將所述元件安裝在基板上；存儲(chǔ)器，其用于保持關(guān)于安裝用最大速度和最大加速度的信息的至少一個(gè)以及關(guān)于吸附用最大速度和最大加速度的信息的至少一個(gè)；操作判斷單元，其用于判斷在所述兩個(gè)頭之任一個(gè)的吸附操作之后進(jìn)行的操作是否為吸附操作；速度/加速度計(jì)算單元，如果判斷出在所述兩個(gè)頭之任一個(gè)的所述吸附操作之后進(jìn)行的操作為吸附操作，則該速度/加速度計(jì)算單元通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持的所述吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，計(jì)算一個(gè)頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；控制信號(hào)生成單元，其用于根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生控制信號(hào)；以及驅(qū)動(dòng)單元，在所述一個(gè)頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的吸附操作之后由隨后的嘴進(jìn)行吸附操作時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的元件吸附位置的移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的元件安裝裝置，其中，對(duì)所述兩個(gè)頭中的另一個(gè)頭的安裝操作所必需的安裝時(shí)間與所述一個(gè)頭的所述吸附操作所必需的吸附時(shí)間進(jìn)行比較，并且在所述一個(gè)頭的所述吸附操作所必需的所述吸附時(shí)間短于所述安裝時(shí)間的情況下，在所述安裝時(shí)間和所述吸附時(shí)間之間的差值的范圍內(nèi)，使所述一個(gè)頭的所述吸附操作減慢。
3.如權(quán)利要求2所述的元件安裝裝置，其中，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)所述安裝用最大加速度和所述吸附用最大加速度，并且所述吸附用最大加速度設(shè)定為與所述安裝用最大加速度相比而言的小值。
4.如權(quán)利要求2所述的元件安裝裝置，其中，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)所述安裝用最大速度和所述吸附用最大速度，并且所述吸附用最大速度設(shè)定為與所述安裝用最大速度相比而言的小值。
5.如權(quán)利要求2所述的元件安裝裝置，其中，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)所述安裝用最大速度和最大加速度以及所述吸附用最大速度和最大加速度，并且所述吸附用最大速度和最大加速度設(shè)定為與所述安裝用最大速度和最大加速度相比而言的小值。
6.一種元件安裝方法，其包括以下步驟由設(shè)置在元件安裝裝置中的操作判斷單元判斷在兩個(gè)頭之任一個(gè)的吸附操作之后進(jìn)行的操作是否為吸附操作，所述兩個(gè)頭設(shè)置于所述元件安裝裝置中，并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以交替地將所述元件安裝在基板上；在判斷出所述兩個(gè)頭之任一個(gè)的所述吸附操作之后進(jìn)行的操作為吸附操作的情況下， 通過使用在所述元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算一個(gè)頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的控制信號(hào)生成單元根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生控制信號(hào)；并且在所述一個(gè)頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的所述吸附操作之后由隨后的嘴進(jìn)行所述吸附操作時(shí)，設(shè)置在所述元件安裝裝置中的驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的元件吸附位置的移動(dòng)。
7.一種基板制造方法，其包括以下步驟由設(shè)置在元件安裝裝置中的操作判斷單元判斷在兩個(gè)頭之任一個(gè)的吸附操作之后進(jìn)行的操作是否為吸附操作，所述兩個(gè)頭設(shè)置于所述元件安裝裝置中，并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以交替地將所述元件安裝在基板上；在判斷出所述兩個(gè)頭之任一個(gè)的所述吸附操作之后進(jìn)行的操作為吸附操作的情況下， 通過使用在所述元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算一個(gè)頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的控制信號(hào)生成單元根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生吸附用控制信號(hào)；在所述一個(gè)頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的所述吸附操作之后由隨后的嘴進(jìn)行吸附操作時(shí)，設(shè)置在所述元件安裝裝置中的驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述吸附用控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的元件吸附位置的移動(dòng)；在所述兩個(gè)頭的另一個(gè)的安裝操作完成之后，通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持的所述安裝用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由所述速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算所述一個(gè)頭在軸向移動(dòng)時(shí)的所述速度和所述加速度的至少一個(gè)；所述控制信號(hào)生成單元根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生安裝用控制信號(hào)；并且所述驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述安裝用控制信號(hào)而將所述一個(gè)頭移動(dòng)至元件安裝位置，并且將由設(shè)置于所述一個(gè)頭上的所述嘴所吸附的所述元件安裝在所述基板上。
8.—種元件安裝裝置，其包括頭，其設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以將所述元件安裝在基板上； 存儲(chǔ)器，其用于保持關(guān)于安裝用最大速度和最大加速度的信息的至少一個(gè)以及關(guān)于吸附用最大速度和最大加速度的信息的至少一個(gè)，所述吸附用最大速度和最大加速度比所述安裝用最大速度和最大加速度低；操作判斷單元，其用于判斷所述頭進(jìn)行的下一操作是否為吸附操作； 速度/加速度計(jì)算單元，如果判斷出所述頭進(jìn)行的所述下一操作不是吸附操作，則該速度/加速度計(jì)算單元通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持的所述安裝用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)而計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)，而如果判斷出所述頭進(jìn)行的所述下一操作是吸附操作，則所述速度/加速度計(jì)算單元通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持的所述吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)而計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；控制信號(hào)生成單元，其用于根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生控制信號(hào)；以及驅(qū)動(dòng)單元，在設(shè)置于所述一個(gè)頭上的一個(gè)嘴的所述操作之后由隨后的嘴進(jìn)行所述下一操作時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的目標(biāo)位置的移動(dòng)。
9.一種元件安裝方法，其包括以下步驟由設(shè)置在元件安裝裝置中的操作判斷單元判斷通過頭進(jìn)行的下一操作是否為吸附操作，所述頭設(shè)置于所述元件安裝裝置中，并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以將所述元件安裝在基板上；如果判斷出所述頭進(jìn)行的所述下一操作不是所述吸附操作，則通過使用在所述元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的安裝用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)，而如果判斷出所述頭進(jìn)行的所述下一操作是所述吸附操作，則通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持并且比所述安裝用最大速度和最大加速度低的吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由所述速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的控制信號(hào)生成單元根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度而產(chǎn)生控制信號(hào)；并且在所述頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的所述操作之后由隨后的嘴進(jìn)行所述下一操作時(shí)，在所述元件安裝裝置中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)安裝或吸附用的所述控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的目標(biāo)位置的移動(dòng)。
10.一種基板制造方法，其包括以下步驟由設(shè)置在元件安裝裝置中的操作判斷單元判斷通過頭進(jìn)行的下一操作是否為吸附操作，所述頭設(shè)置于所述元件安裝裝置中，并且設(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴，以將所述元件安裝在基板上；如果判斷出通過所述頭進(jìn)行的所述下一操作不是所述吸附操作，則通過使用在所述元件安裝裝置中設(shè)置的存儲(chǔ)器中保持的安裝用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)，而如果判斷出通過所述頭進(jìn)行的所述下一操作是所述吸附操作，則通過使用在所述存儲(chǔ)器中保持并且比所述安裝用最大速度和最大加速度低的吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，由所述速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算所述頭在軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；由設(shè)置在所述元件安裝裝置中的控制信號(hào)生成單元根據(jù)所計(jì)算出的速度和所計(jì)算出的加速度的至少一個(gè)而產(chǎn)生安裝或吸附用控制信號(hào)；并且在所述頭上設(shè)置的一個(gè)嘴的所述操作之后由隨后的嘴進(jìn)行所述下一操作時(shí)，在所述元件安裝裝置中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)所述安裝或吸附用控制信號(hào)而進(jìn)行向所述隨后的嘴的目標(biāo)位置的移動(dòng)。
11.一種元件安裝裝置，其包括設(shè)有多個(gè)嘴的頭，所述元件安裝裝置通過每個(gè)嘴而進(jìn)行吸附元件的元件吸附操作，并且通過所述頭而進(jìn)行將各元件安裝在基板上的元件安裝操作，其中，所述頭在所述元件吸附操作時(shí)進(jìn)行第一移動(dòng)操作，在該第一移動(dòng)操作中，根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值而將所述頭移動(dòng)至目標(biāo)位置；所述頭在所述元件安裝操作時(shí)進(jìn)行第二移動(dòng)操作，在該第二移動(dòng)操作中，在所述基板上移動(dòng)所述頭以將各所述元件安裝在所述基板上設(shè)定的位置；并且在所述第一移動(dòng)操作中的所述頭的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)低于在所述第二移動(dòng)操作中的所述頭的所述最大速度和最大加速度。
12.一種用于元件安裝裝置的元件安裝方法，該元件安裝裝置包括設(shè)有多個(gè)嘴的頭，所述元件安裝裝置通過每個(gè)嘴進(jìn)行吸附元件的元件吸附操作，并且通過所述頭進(jìn)行將各元件安裝在基板上的元件安裝操作，其中，所述頭在所述元件吸附操作時(shí)進(jìn)行第一移動(dòng)操作，在該第一移動(dòng)操作中，根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值而將所述頭移動(dòng)至目標(biāo)位置；所述頭在所述元件安裝操作時(shí)進(jìn)行第二移動(dòng)操作，在該第二移動(dòng)操作中，在所述基板上移動(dòng)所述頭以將各所述元件安裝在所述基板上設(shè)定的位置；并且在所述第一移動(dòng)操作中的所述頭的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)低于在所述第二移動(dòng)操作中的所述頭的所述最大速度和最大加速度。
13.一種使用元件安裝裝置的基板制造方法，該元件安裝裝置包括設(shè)有多個(gè)嘴的頭，所述元件安裝裝置通過每個(gè)嘴而進(jìn)行吸附元件的元件吸附操作，并且通過所述頭進(jìn)行將各元件安裝在基板上的元件安裝操作，其中，所述頭在所述元件吸附操作時(shí)進(jìn)行第一移動(dòng)操作，在該第一移動(dòng)操作中，根據(jù)為每個(gè)嘴設(shè)定的校正值將所述頭移動(dòng)至目標(biāo)位置；所述頭在所述元件安裝操作時(shí)進(jìn)行第二移動(dòng)操作，在該第二移動(dòng)操作中，在所述基板上移動(dòng)所述頭以將所述各元件安裝在所述基板上設(shè)定的位置；并且在所述第一移動(dòng)操作中的所述頭的最大速度和最大加速度的至少一個(gè)低于在所述第二移動(dòng)操作中的所述頭的所述最大速度和最大加速度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種元件安裝裝置，其包括兩個(gè)頭，它們?cè)O(shè)有用于吸附和安裝元件的多個(gè)嘴；存儲(chǔ)器，其保持關(guān)于最大速度和最大加速度的信息的至少一個(gè)；操作判斷單元，其判斷在所述頭之任一個(gè)的吸附操作之后進(jìn)行的操作是否為吸附操作；速度/加速度計(jì)算單元，如果判斷出在所述吸附操作之后的操作為吸附操作，則通過使用吸附用最大速度和最大加速度的至少一個(gè)，該速度/加速度計(jì)算單元計(jì)算軸向移動(dòng)時(shí)的速度和加速度的至少一個(gè)；控制信號(hào)生成單元，其產(chǎn)生控制信號(hào)；以及驅(qū)動(dòng)單元，在一個(gè)嘴的吸附操作之后由隨后的嘴進(jìn)行吸附操作時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元根據(jù)控制信號(hào)而進(jìn)行向隨后的嘴的元件吸附位置的移動(dòng)。本發(fā)明可提高元件在基板上的安裝精度，從而提高基板的質(zhì)量。
文檔編號(hào)H05K13/04GK102316714SQ20111019429
公開日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2011年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月8日
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