專利名稱：一種離子棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種去除靜電裝置，特別是涉及一種離子棒。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體芯片和光掩模板的生產(chǎn)制造過程中不可避免地會在硅片和掩模板上產(chǎn)生靜電。當(dāng)靜電荷積累到一定的程度時，會在硅片和掩模板上發(fā)生靜電釋放(ESD)，導(dǎo)致器件或版形損傷，造成產(chǎn)品報廢。為了防止靜電損傷，通常在生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片和光掩模板的潔凈室中需要裝備大量的去離子棒。固定式去離子棒固定于潔凈室的天花板上。去離子棒的頭部可以產(chǎn)生帶正負電荷的氣流，對一個圓錐區(qū)域內(nèi)的物體所帶靜電荷進行中和，達到去除靜電的效果。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)品的精細化程度不斷提高，生產(chǎn)半導(dǎo)體的設(shè)備也不斷向大型化方向發(fā)展。為了達到好的去離子效果，去離子棒距離地面的高度有一定的限制?，F(xiàn)代大型設(shè)備的設(shè)備高度常常超過去離子棒的高度。在空間有限的潔凈室內(nèi)，這樣的高度差異會對設(shè)備的搬運和維護造成不便。固定式去離子棒的有效作用范圍是一個垂直向下的圓錐區(qū)域。在潔凈室中常會有一些凹面的工作臺面。這些臺面不能有效地被去離子棒的有效作用范圍覆蓋。在這樣的工作臺面上的硅片和光掩模板的靜電去除效果比較差。本發(fā)明提供一種離子棒，本發(fā)明提供的離子棒帶有可控萬向接口，從而解決了在生產(chǎn)中固定式離子棒影響設(shè)備搬運和維護的問題和凹面工作平面去除離子效果差的問題。 本發(fā)明所提供并僅僅作為示例但不對發(fā)明構(gòu)成限制的優(yōu)選實施例在具體實施方式
中有所體現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供帶有可控萬向接口的離子棒。本發(fā)明解決了在生產(chǎn)中固定式離子棒影響設(shè)備搬運和維護的問題和凹面工作平面去除離子效果差的問題。 可以有效地提高離子棒的使用方便性和去除靜電離子的效果，非常適于實用。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。本發(fā)明提出的一種離子棒，其至少包括離子棒前端和后端兩個部分，離子棒的前端和后端由可控萬向接口連接，后端末梢為螺紋結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn)。前述的離子棒，其可控萬向接口在垂直面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負180 度。前述的離子棒，其可控萬向接口在水平面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負360度。此外，本發(fā)明還提供使用該離子棒的方法，其可適用于需要設(shè)備搬運和維護，水平工作面和凹面的工作面情況下去除靜電離子。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。


參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限制。圖1繪示帶有可控萬向接口的離子棒結(jié)構(gòu)圖。圖2繪示在凹面工作面情況下使用帶有可控萬向接口的去離子棒的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式
為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的離子棒及其使用方法，詳細說明如下。本發(fā)明的不同實施例將詳述如下，以實施本發(fā)明的不同的技術(shù)特征，可理解的是， 以下所述的特定實施例的單元和配置用以簡化本發(fā)明，其僅為范例而不限制本發(fā)明的范圍。本實施例披露一種離子棒。圖1繪示帶有可控萬向接口的離子棒結(jié)構(gòu)圖。離子棒至少包括離子棒前端(2)和后端(3)兩個部分，離子棒的前端(2)和后端(3)由可控萬向接口(1)連接，后端(3)末梢為螺紋結(jié)構(gòu)。離子棒可由后端(3)末梢的螺紋固定在工作臺面上方，可控萬向接口在垂直面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負180度，在水平面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負360度。當(dāng)所適用的工作臺面是一個水平工作臺面時，調(diào)整可控萬向接口使離子棒前端和后端保持垂直，從而使離子棒的垂直向下的圓錐有效作用范圍正對著水平工作臺面，達到較好去除工作臺面上的硅片和光掩模板的靜電的效果。當(dāng)所適用的工作臺面是一個凹面工作臺面時，調(diào)整可控萬向接口使離子棒前端和后端形成一定角度，從而使離子棒前端垂直向下的圓錐有效作用范圍正對著凹面工作臺面，達到較好去除工作臺面上的硅片和光掩模板的靜電的效果。在需要設(shè)備搬運和維護時，可調(diào)整可控萬向接口使離子棒后端高于水平面，從而提供更多的設(shè)備搬運和維護空間。通過說明和附圖，給出了具體實施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實施例。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種去除靜電離子的離子棒，其特征在于，其至少包括離子棒前端和后端兩個部分， 離子棒的前端和后端由可控萬向接口連接，后端末梢為螺紋結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的離子棒，其特征在于可控萬向接口在垂直面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負180度。
3.如權(quán)利要求1所述的離子棒，其特征在于可控萬向接口在水平面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負360度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種離子棒。離子棒至少包括離子棒前端和后端兩個部分，離子棒的前端和后端由可控萬向接口連接，后端末梢為螺紋結(jié)構(gòu)。離子棒可由后端末梢的螺紋固定在工作臺面上方，可控萬向接口在垂直面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負180度，在水平面內(nèi)可調(diào)節(jié)角度范圍為0度至正/負360度。本發(fā)明可調(diào)節(jié)可控萬向接口，從而調(diào)整離子棒前端的方向和角度，解決了在生產(chǎn)中固定式離子棒影響設(shè)備搬運和維護的問題和凹面工作平面去除離子效果差的問題。可以有效地提高離子棒的使用方便性和去除靜電離子效果，非常適于實用。
文檔編號H05F3/06GK102448237SQ20111023525
公開日2012年5月9日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者戴韞青, 毛智彪, 王劍 申請人:上海華力微電子有限公司