專利名稱：一種水平氣浮臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣浮臺(tái)結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種能夠提供X向及Y向滑動(dòng)的水平氣浮臺(tái)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
機(jī)械加工及檢測(cè)領(lǐng)域經(jīng)常需要能夠同時(shí)提供X向和Y向移動(dòng)功能的設(shè)備?，F(xiàn)有技術(shù)中，此類設(shè)備一般是在一底座上設(shè)置X向滑臺(tái)，而在該X向滑臺(tái)上進(jìn)一步設(shè)置Y向滑臺(tái)，并通過控制所述X向滑臺(tái)和Y向滑臺(tái)的移動(dòng)軌跡來實(shí)現(xiàn)X向和Y向的移動(dòng)功能。然而，上述結(jié)構(gòu)中，Y向滑臺(tái)是設(shè)置于X向滑臺(tái)之上，卻不能直接設(shè)置于底座之上， 這就使得Y向滑臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度受到了 X向滑臺(tái)的影響，使得X向滑臺(tái)的誤差也累計(jì)到Y(jié)向滑臺(tái)，從而影響到Y(jié)向滑臺(tái)所驅(qū)動(dòng)的設(shè)備的運(yùn)行軌跡。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的弊端，提供一種水平氣浮臺(tái)。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)，包括底座，所述底座上罩扣有槽型X向滑臺(tái)，所述X向滑臺(tái)上罩扣有槽型Y向滑臺(tái)；其中，所述槽型X向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第一進(jìn)氣孔和第一出氣孔，當(dāng)所述第一進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第一出氣孔導(dǎo)出并于底座與槽型X向滑臺(tái)的罩扣面處形成氣膜；所述槽型Y向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第二進(jìn)氣孔和第二出氣孔，當(dāng)所述第二進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第二出氣孔導(dǎo)出并于底座的頂面與槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的底面之間、以及槽型X向滑臺(tái)與槽型Y向滑臺(tái)的罩扣立面處形成氣膜。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)中，所述第一進(jìn)氣孔開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)側(cè)壁；所述第二進(jìn)氣孔開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)側(cè)壁。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)中，所述第一出氣孔開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)的兩立槽內(nèi)表面、以及槽型X向滑臺(tái)的水平槽內(nèi)表面。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)中，所述第一出氣孔包括多個(gè)出氣小孔，所述多個(gè)出氣小孔按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)中，所述第二出氣孔開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的底面、以及槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的內(nèi)表面。本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)中，所述第二出氣孔包括多個(gè)出氣小孔，所述多個(gè)出氣小孔按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。本發(fā)明所述的水平氣浮臺(tái)中，令所述X向滑臺(tái)和Y向滑臺(tái)以同一底座的頂面為支撐，并以此頂面為基準(zhǔn)而實(shí)現(xiàn)X向運(yùn)動(dòng)和Y向運(yùn)動(dòng)，所述Y向滑臺(tái)不會(huì)再有X向滑臺(tái)導(dǎo)致的累計(jì)誤差，從而能夠更加精確的控制設(shè)備的X向運(yùn)動(dòng)和Y向運(yùn)動(dòng)。


圖1為本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所述水平氣浮臺(tái)的另一視圖角度的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。如圖1、圖2所示，本發(fā)明所述的水平氣浮臺(tái)，包括底座1，所述底座1上罩扣有槽型X向滑臺(tái)2，所述X向滑臺(tái)2上罩扣有槽型Y向滑臺(tái)3 ；所述X向滑臺(tái)2可在底座1上滑動(dòng)，且由于其為槽型結(jié)構(gòu)，也使得其只能沿底座1的設(shè)定方向滑動(dòng)；所述Y向滑臺(tái)3是罩扣于X向滑臺(tái)上，由于其為槽型結(jié)構(gòu)，因此，使得其只能相對(duì)于底座1做設(shè)定方向滑動(dòng)。其中，所述槽型X向滑臺(tái)2開設(shè)有導(dǎo)通的第一進(jìn)氣孔4和第一出氣孔5，當(dāng)所述第一進(jìn)氣孔4導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第一出氣孔5導(dǎo)出并于底座1與槽型X向滑臺(tái)2的罩扣面處形成氣膜6。從圖1中可以看出，所述底座1與槽型X向滑臺(tái)2的罩扣面包括了底座1頂面與X向滑臺(tái)2的水平槽內(nèi)表面之間的部分、以及底座1兩側(cè)面與X向滑臺(tái)2的兩立槽的內(nèi)表面之間的部分。所述氣膜6既提供了對(duì)X向滑臺(tái)2向上方向的支撐，也限制了 X向滑臺(tái)2在水平方向的晃動(dòng)，使得該X向滑臺(tái)2僅能沿底座1的設(shè)定方向無摩擦的滑動(dòng)。所述槽型Y向滑臺(tái)3開設(shè)有導(dǎo)通的第二進(jìn)氣孔7和第二出氣孔8、9，當(dāng)所述第二進(jìn)氣孔7導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第二出氣孔8、9分別導(dǎo)出并于底座1的頂面與槽型Y向滑臺(tái)3的兩立槽的底面之間形成氣膜10、以及槽型X向滑臺(tái)2與槽型Y向滑臺(tái)3的罩扣立面處形成氣膜11。所述氣膜10提供了對(duì)Y向滑臺(tái)3水平方向的支撐，而氣膜11則限制了 Y向滑臺(tái)3在水平方向的晃動(dòng)，使得該Y向滑臺(tái)3僅能沿底座1的設(shè)定方向無摩擦的滑動(dòng)。 本發(fā)明中，X向滑臺(tái)2與Y向滑臺(tái)3的厚度應(yīng)該是互相配合的，這樣方能令Y向滑臺(tái)3在垂直方向上僅能受到底座1的支撐，而X向滑臺(tái)2對(duì)Y向滑臺(tái)3并無垂直方向的作用力，從而令Y向滑臺(tái)3于X向滑臺(tái)2上運(yùn)動(dòng)時(shí)不會(huì)受X向滑臺(tái)加工誤差的影響，也就保證了 X向滑臺(tái)和Y向滑臺(tái)所驅(qū)動(dòng)的外部設(shè)備是以底座1為唯一的基準(zhǔn)面而做X向或Y向運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明中，所述第一進(jìn)氣孔4開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)2的側(cè)壁；所述第二進(jìn)氣孔7開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)3的側(cè)壁。而所述第一出氣孔5則可開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)2的兩立槽的內(nèi)表面、以及槽型X向滑臺(tái)2的水平槽內(nèi)表面。該第一出氣孔4可包括多個(gè)出氣小孔，所述多個(gè)出氣小孔可按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。本發(fā)明中，所述第二出氣孔可開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)3的兩立槽的底面(例如圖2 中的出氣孔9)、以及槽型Y向滑臺(tái)3的兩立槽的內(nèi)表面(例如圖2中的出氣孔8)。所述第二出氣孔可包括多個(gè)出氣小孔，所述多個(gè)出氣小孔按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。盡管本發(fā)明的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本發(fā)明的領(lǐng)域，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本發(fā)明并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
權(quán)利要求
1.一種水平氣浮臺(tái)，包括底座，其特征在于，所述底座上罩扣有槽型X向滑臺(tái)，所述X向滑臺(tái)上罩扣有槽型Y向滑臺(tái)；其中，所述槽型X向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第一進(jìn)氣孔和第一出氣孔，當(dāng)所述第一進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第一出氣孔導(dǎo)出并于底座與槽型X向滑臺(tái)的罩扣面處形成氣膜；所述槽型Y向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第二進(jìn)氣孔和第二出氣孔，當(dāng)所述第二進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第二出氣孔導(dǎo)出并于底座的頂面與槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的底面之間、 以及槽型X向滑臺(tái)與槽型Y向滑臺(tái)的罩扣立面處形成氣膜。
2.如權(quán)利要求1所述的水平氣浮臺(tái)，其特征在于，所述第一進(jìn)氣孔開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)側(cè)壁；所述第二進(jìn)氣孔開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)側(cè)壁。
3.如權(quán)利要求2所述的水平氣浮臺(tái)，其特征在于，所述第一出氣孔開設(shè)于槽型X向滑臺(tái)的兩立槽內(nèi)表面、以及槽型X向滑臺(tái)的水平槽內(nèi)表面。
4.如權(quán)利要求3所述的水平氣浮臺(tái)，其特征在于，所述第一出氣孔包括多個(gè)出氣小孔， 所述多個(gè)出氣小孔按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。
5.如權(quán)利要求2所述的水平氣浮臺(tái)，其特征在于，所述第二出氣孔開設(shè)于槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的底面、以及槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的內(nèi)表面。
6.如權(quán)利要求5所述的水平氣浮臺(tái)，其特征在于，所述第二出氣孔包括多個(gè)出氣小孔， 所述多個(gè)出氣小孔按矩形、三角形、直線形、或圓形排列。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種水平氣浮臺(tái)，包括底座，所述底座上罩扣有槽型X向滑臺(tái)，所述X向滑臺(tái)上罩扣有槽型Y向滑臺(tái)；所述槽型X向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第一進(jìn)氣孔和第一出氣孔，當(dāng)所述第一進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第一出氣孔導(dǎo)出并于底座與槽型X向滑臺(tái)的罩扣面處形成氣膜；所述槽型Y向滑臺(tái)開設(shè)有導(dǎo)通的第二進(jìn)氣孔和第二出氣孔，當(dāng)所述第二進(jìn)氣孔導(dǎo)入氣體時(shí)，所述氣體自第二出氣孔導(dǎo)出并于底座的頂面與槽型Y向滑臺(tái)的兩立槽的底面之間、以及槽型X向滑臺(tái)與槽型Y向滑臺(tái)的罩扣立面處形成氣膜。本發(fā)明所述的水平氣浮臺(tái)中，以底座的頂面為唯一基準(zhǔn)面，使得Y向滑臺(tái)不會(huì)再有X向滑臺(tái)導(dǎo)致的累計(jì)誤差，從而能夠更加精確的控制設(shè)備的X向運(yùn)動(dòng)和Y向運(yùn)動(dòng)。
文檔編號(hào)G12B5/00GK102436854SQ201110256009
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月1日
發(fā)明者張瑞杰 申請(qǐng)人:張瑞杰