專利名稱：密封性好的單晶爐爐體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種密封性好的單晶爐爐體，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。現(xiàn)有的單晶硅制造設(shè)備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。以往的上爐體和下爐體之間連接時，是將下爐體頂部設(shè)置成凸臺狀，再將上爐體直接蓋在下爐體頂部，這樣便完成了固定。然而這樣固定的上爐體和下爐體之間的密封性較差，爐體內(nèi)的熱氣容易溢出，影響了單晶硅的生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種使熱氣不易溢出，保證了單晶硅正常生產(chǎn)的密封性好的單晶爐爐體。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:
本發(fā)明密封性好的單晶爐爐體，包括上爐體和下爐體，所述上爐體的底部設(shè)有上法蘭，所述下爐體的頂部設(shè)有下法蘭，所述上法蘭和下法蘭之間通過螺絲連接。這種密封性好的單晶爐爐體具有以下優(yōu)點:
這種密封性好的單晶爐爐體的上爐體底部設(shè)有上法蘭，下爐體的頂部設(shè)有下法蘭，所述上法蘭和下法蘭之間通過螺絲連接，上爐體和下爐體之間便得到了牢靠的固定，保證了爐體的密封性，使得爐體內(nèi)的熱氣不容易溢出，保證了單晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量。


圖1為本發(fā)明密封性好的單晶爐爐體的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:上爐體1、上法蘭1.1、下爐體2、下法蘭2.1。
具體實施例方式參見圖1，本發(fā)明涉及的一種密封性好的單晶爐爐體，包括上爐體I和下爐體2，所述上爐體I的底部設(shè)有上法蘭1.1，所述下爐體2的頂部設(shè)有下法蘭2.1，所述上法蘭1.1和下法蘭2.1之間通過螺絲連接。這樣上爐體I和下爐體2之間便得到了牢靠的固定，保證了爐體的密封性，使得爐體內(nèi)的熱氣不容易溢出，保證了單晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.一種密封性好的單晶爐爐體，其特征在于:它包括上爐體(I)和下爐體(2)，所述上爐體(I)的底部設(shè)有上法蘭(1.1)，所述下爐體(2)的頂部設(shè)有下法蘭(2.1)，所述上法蘭(1.1)和下法蘭(2.1)之間通過螺絲`連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種密封性好的單晶爐爐體，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。一種密封性好的單晶爐爐體，其特征在于它包括上爐體(1)和下爐體(2)，所述上爐體(1)的底部設(shè)有上法蘭(1.1)，所述下爐體(2)的頂部設(shè)有下法蘭(2.1)，所述上法蘭(1.1)和下法蘭(2.1)之間通過螺絲連接。這種密封性好的單晶爐爐體的上爐體底部設(shè)有上法蘭，下爐體的頂部設(shè)有下法蘭，所述上法蘭和下法蘭之間通過螺絲連接，上爐體和下爐體之間便得到了牢靠的固定，保證了爐體的密封性，使得爐體內(nèi)的熱氣不容易溢出，保證了單晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量。
文檔編號C30B15/00GK103184505SQ20111045527
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者湯仁興 申請人:湯仁興