專利名稱：一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶硅棒生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈。
背景技術(shù)：
單晶硅具有準(zhǔn)金屬的物理性質(zhì)，主要用于制作半導(dǎo)體元件和太陽能電池，單晶硅有較弱的導(dǎo)電性，其電導(dǎo)率隨溫度的升高而增加，有顯著的半導(dǎo)電性。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅，然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒在成型時需要進(jìn)行加熱，如果溫度不夠會影響單晶硅生長。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是提供一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈，在加熱時能夠保證單晶硅溫度。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈，其特征在于包括有筒形的金屬內(nèi)襯，所述金屬內(nèi)襯外套有多圈石墨軟氈構(gòu)成的外套層。本實(shí)用新型置于單晶硅棒生產(chǎn)加熱裝置外，對單晶硅生產(chǎn)加熱裝置進(jìn)行保溫，由于石墨軟氈具有較好的保溫特性，能夠使熱量集中，進(jìn)而確保單晶硅棒的溫度。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示。一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈，包括有筒形的金屬內(nèi)襯1，金屬內(nèi)襯1外套有多圈石墨軟氈構(gòu)成的外套層2。
權(quán)利要求1. 一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈，其特征在于包括有筒形的金屬內(nèi)襯，所述金屬內(nèi)襯外套有多圈石墨軟氈構(gòu)成的外套層。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅棒生產(chǎn)用石墨軟氈，內(nèi)襯外套有石墨軟氈構(gòu)成的外套層。本實(shí)用新型能夠使熱量集中，進(jìn)而確保單晶硅棒的溫度。
文檔編號C30B13/00GK201962410SQ20112000577
公開日2011年9月7日 申請日期2011年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月11日
發(fā)明者劉天貴, 林游輝 申請人:合肥景坤新能源有限公司