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移動式出料多晶硅鑄錠爐的制作方法

文檔序號:8053962閱讀:277來源:國知局
專利名稱:移動式出料多晶硅鑄錠爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于多晶硅鑄錠爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種便于對多晶硅鑄錠完成之后取出晶錠的多晶硅鑄錠爐。
背景技術(shù)
在本實(shí)用新型技術(shù)提出之前,本領(lǐng)域現(xiàn)有的多晶硅鑄錠爐在鑄錠完成之后取出晶錠的方式主要有兩種,其一種方式是先通過開啟爐體升降機(jī)構(gòu)使下部爐腔體降下,繼而使用專用叉車將把晶錠、石英坩堝連同石墨坩堝等一起取出,然后卸下石墨坩堝,敲碎石英坩堝,最后再用專用吊具吊取出晶錠并將之送往暫存處,這種方式存在著勞動強(qiáng)度大、效率低、自動化程度不高等缺點(diǎn);另一種方式是先移開爐體的爐蓋,再通過吊具取出晶錠,這種方式也存在著效率低、安全性和可靠性不高等缺點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,進(jìn)而提供一種結(jié)構(gòu)合理、效率高、安全性和可靠性好、易于實(shí)現(xiàn)全自動化操作從而大幅度提高生產(chǎn)效率的移動式出科多晶硅鑄錠爐。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的而采用的技術(shù)解決方案是這樣的所提供的移動式出料多晶硅鑄錠爐包括爐體立架、電源箱、真空壓力控制裝置、懸置安裝在爐體立架操作臺上的上部爐腔體,在上部爐腔體的下方設(shè)有一個(gè)可在升降機(jī)構(gòu)帶動下升起或降下的下部爐腔體,當(dāng)升降機(jī)構(gòu)起升到位后,上、下部爐腔體間緊密對合并由緊固裝置緊固在一起,在爐體的正下方位置處安裝有一條沿伸出爐體立架外的導(dǎo)軌,在導(dǎo)軌上設(shè)有一個(gè)用于承托下部爐腔體的并可在傳動機(jī)構(gòu)牽引下沿導(dǎo)軌往返移動的滑塊。實(shí)際工作中,當(dāng)熔煉完成需要取出晶錠時(shí), 先開啟爐體升降機(jī)構(gòu)將下部爐腔體降下,使下部爐腔體降落至導(dǎo)軌上的滑塊后,再通過滑塊帶動下部爐腔體沿導(dǎo)軌從爐體下方滑出,最后再用專用的吊具吊起晶錠并送往暫存處。與現(xiàn)有的技術(shù)相比,本實(shí)用新型改變了傳統(tǒng)多晶硅鑄錠爐用叉車取晶錠的方式, 減少了以往用叉車將晶錠和坩堝取出的中間環(huán)節(jié),不僅減小了操作人員的勞動強(qiáng)度,提高了安全性和可靠性,也提高了生產(chǎn)效率,提高了多晶硅鑄錠爐設(shè)備的自動化水平。

附圖為本實(shí)用新型一個(gè)具體實(shí)施例的左視向結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中各標(biāo)號的名稱分別是1-紅外測溫儀,2-氬氣控制器,3-操作臺,4-真空壓力控制裝置,5-緊固裝置,6-電源箱,7-下部爐腔體,8-滑塊,9-導(dǎo)軌,10-升降機(jī)構(gòu),11-爐體立架,12-上部爐腔體。
具體實(shí)施方式
參見附圖,本實(shí)用新型所述的移動式出料多晶硅鑄錠爐由爐體立架11、電源箱6、真空壓力控制裝置4、鑄錠爐爐體、升降機(jī)構(gòu)10、導(dǎo)軌9、滑塊8、上部操作臺3等部分組成, 其中鑄錠爐爐體由懸置安裝在爐體立架操作臺3上的上部爐腔體12和設(shè)在上部爐腔體12 下方并可在升降機(jī)構(gòu)10控制下升起或降下的下部爐腔體7組成,當(dāng)升降機(jī)構(gòu)10起升到位后,上、下部爐腔體間緊密對合并由三個(gè)緊固裝置5緊固在一起,形成密閉完整的爐腔。本實(shí)用新型的移動式出料方式主要由導(dǎo)軌9、滑塊8、傳動機(jī)構(gòu)、緊固裝置5和升降機(jī)構(gòu)10來實(shí)現(xiàn),導(dǎo)軌9和滑塊8置于鑄錠爐腔體的下方,出料時(shí)鑄錠爐的下部爐腔體7可以落在滑塊 8上,滑塊8又可以在傳動機(jī)構(gòu)的牽弓I下沿導(dǎo)軌運(yùn)動。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的工作原理如下所述。如圖所示,多晶硅鑄錠爐整個(gè)爐體的中部為圓柱形,上下端呈球形,從中部法蘭面分上下兩部分,上部爐腔體12固定在操作臺上面,下部爐腔體7則是由三個(gè)緊固裝置5固定,并可以通過升降裝置使下爐體上下移動。當(dāng)熔煉完成出料時(shí),先使升降機(jī)構(gòu)10拖住下部爐腔體7,再釋放緊固裝置5,之后再通過升降機(jī)構(gòu)10使下部爐腔體7往下移動,使下部爐腔體7落在滑塊8上,繼而再啟動滑塊8的傳動機(jī)構(gòu)牽引著滑塊8沿著導(dǎo)軌9從鑄錠爐下面往外移動下部爐腔體7,最終將晶錠移出鑄錠爐;下部爐腔體7移出后,卸下石墨坩堝,敲碎石英坩堝,再通過專用吊具吊起晶錠取出并送往暫存處。本實(shí)用新型的裝料過程與出料過程相反,首先啟動滑塊8的傳動機(jī)構(gòu)牽引著上托著下部爐腔體7的滑塊8沿著導(dǎo)軌9移動到爐體的正下方,然后通過升降機(jī)構(gòu)10使下部爐腔體7往上移動,當(dāng)上、下部爐腔體12、 7閉合時(shí),法蘭面上的密封圈被緊壓,同時(shí)啟動緊固裝置5,保證爐體的氣密性。
權(quán)利要求1. 一種移動式出料多晶硅鑄錠爐,包括爐體立架(11)、電源箱(6)、真空壓力控制裝置 G)、懸置安裝在爐體立架操作臺(3)上的上部爐腔體(12),在上部爐腔體(12)下方設(shè)有一個(gè)可在升降機(jī)構(gòu)(10)帶動下升起或降下的下部爐腔體(7),當(dāng)升降機(jī)構(gòu)(10)起升到位后,上、下部爐腔體間緊密對合并由緊固裝置(5)緊固在一起,其特征是在爐體的正下方位置處安裝有一條沿伸出爐體立架(11)外的導(dǎo)軌(9),在導(dǎo)軌(9)上設(shè)有一個(gè)用于承托下部爐腔體(7)的并可在傳動機(jī)構(gòu)牽引下沿導(dǎo)軌(9)往返移動的滑塊(8)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種移動式出料多晶硅鑄錠爐,包括爐體立架、和懸置安裝在爐體立架操作臺上的上部爐腔體,在上部爐腔體的下方設(shè)有一個(gè)可在升降機(jī)構(gòu)控制下升降移動的下部爐腔體,當(dāng)升降機(jī)構(gòu)起升到位后,兩爐腔體間緊密對合并由緊固裝置緊固在一起,在鑄錠爐體的下方安裝有一條伸出爐體立架外的導(dǎo)軌,在導(dǎo)軌上設(shè)有一個(gè)用于承托下部爐腔體的并可在傳動機(jī)構(gòu)牽引下沿導(dǎo)軌往返移動的滑塊。當(dāng)鑄錠完成出料時(shí),先通過升降機(jī)構(gòu)使下部爐腔體降落至導(dǎo)軌上的滑塊,再通過滑塊帶動下部爐腔體沿導(dǎo)軌從爐體下方滑出,最后用專吊具將晶錠等移出鑄錠爐。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型大大降低了勞動強(qiáng)度,提高了效率以及設(shè)備的自動化水平和安全性、可靠性。
文檔編號C30B11/00GK201962403SQ201120007348
公開日2011年9月7日 申請日期2011年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月11日
發(fā)明者周繼躍 申請人:西安華恒新能科技有限公司
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