專利名稱：擴散爐用排氣柜及擴散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及加熱爐設(shè)備，尤其涉及一種擴散爐用排氣柜及擴散爐。
背景技術(shù)：
擴散爐是半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、 鍍膜、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。擴散爐通常包括依次連接的氣源系統(tǒng)、 爐體、推拉舟和工作臺等?，F(xiàn)有技術(shù)中擴散爐中的爐體在加熱過程中會產(chǎn)生大量的有害氣體，一方面污染環(huán)境，另一方面對工人的人身健康造成影響。因此，現(xiàn)有技術(shù)中的擴散爐污染嚴重、安全性較低。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種擴散爐用排氣柜及擴散爐，解決現(xiàn)有技術(shù)中擴散爐污染嚴重、安全性較低的缺陷，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低擴散爐污染程度并提高擴散爐的安全性。本實用新型提供的技術(shù)方案是，一種擴散爐用排氣柜，包括柜體和排氣裝置，所述柜體上設(shè)置有進氣口和排氣口，所述排氣裝置設(shè)置在所述排氣口處。本實用新型提供的擴散爐用排氣柜，通過柜體上的進氣口與擴散爐中的爐體連通，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將進入到柜體中，在排氣裝置的作用下，有害氣體將通過排氣口排放到外部設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中，從而減少有害氣體直接從爐體中排出，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低了擴散爐污染程度并提高了擴散爐的安全性。如上所述的擴散爐用排氣柜，所述柜體上開設(shè)有多個所述進氣口，所述柜體中設(shè)置有多個箱體，所述每個箱體上設(shè)置有進口和出口，所述進口對應(yīng)與所述柜體上的所述進氣口連通，每個所述出口分別與所述排氣口連通。如上所述的擴散爐用排氣柜，所述柜體中設(shè)置有排風(fēng)通道，所述出口與所述排風(fēng)通道連通，所述排風(fēng)通道的一端口與所述排氣口連通。如上所述的擴散爐用排氣柜，所述箱體的出口處還設(shè)置有閥門。如上所述的擴散爐用排氣柜，所述排氣裝置為抽氣機或真空泵。本實用新型提供的技術(shù)方案是，一種擴散爐，包括爐體，還包括如上所述擴散爐用排氣柜，擴散爐用排氣柜的進氣口與爐體連通。本實用新型提供的擴散爐，通過柜體上的進氣口與擴散爐中的爐體連通，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將進入到柜體中，在排氣裝置的作用下，有害氣體將通過排氣口排放到外部設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中，從而減少有害氣體直接從爐體中排出，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低了擴散爐污染程度并提高了擴散爐的安全性。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型擴散爐用排氣柜實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。圖1為本實用新型擴散爐用排氣柜實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實施例擴散爐用排氣柜，包括柜體1和排氣裝置2，柜體1上設(shè)置有進氣口 11和排氣口 12，排氣裝置2設(shè)置在排氣口 2處。具體而言，本實施例擴散爐用排氣柜的柜體1為密封結(jié)構(gòu)，柜體1通過進氣口 11 與擴散爐中的爐體連通，從而爐體在工作過程中產(chǎn)生的有害氣體將通過進氣口 11進入到柜體1中。進入到柜體1中的有害氣體將通過排氣裝置2經(jīng)過排氣口 12排出，其中，排出的有害氣體可以進入到外部事先設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中。另外，本實施例中的排氣裝置2可以設(shè)置在柜體1的外部，固設(shè)在排氣口 12伸出柜體1的部分上；或者，本實施例中的排氣裝置2可以設(shè)置在柜體1的內(nèi)部并固設(shè)在排氣口 12處，排氣裝置2位于進氣口 11 與排氣口 12之間。本實施例中的排氣裝置2可以為抽氣機或真空泵。本實施例擴散爐用排氣柜，通過柜體上的進氣口與擴散爐中的爐體連通，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將進入到柜體中，在排氣裝置的作用下，有害氣體將通過排氣口排放到外部設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中，從而減少有害氣體直接從爐體中排出，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低了擴散爐污染程度并提高了擴散爐的安全性?；谏鲜黾夹g(shù)方案，可選的，本實施例中的柜體1上開設(shè)有多個進氣口 11，柜體1 中設(shè)置有多個箱體3，每個箱體3上設(shè)置有進口 31和出口 32，進口 31對應(yīng)與柜體1上的進氣口 11連通，每個出口 32分別與排氣口 12連通。具體而言，本實施例擴散爐用排氣柜中的柜體1中設(shè)置有多個獨立的箱體3，每個箱體3的進口 31與柜體1上設(shè)置的進氣口 11對應(yīng)連通，從而可以通過本實施例擴散爐用排氣柜對多個擴散爐的爐體進行排氣處理。有害氣體進入到箱體3中后，可以通過出口 32 和排氣口 12排出。進一步的，為了更加快捷的將有害氣體從柜體1中排出，柜體1中設(shè)置有排風(fēng)通道 4，出口 32與排風(fēng)通道4連通，排風(fēng)通道4的一端口與排氣口 12連通。具體的，柜體1中的各個箱體3的出口 32與排風(fēng)通道4連通，從箱體3中輸出的有害氣體可以通過排風(fēng)通道4 統(tǒng)一快速的排出。更進一步的，為了方便的控制各個箱體3的開關(guān)，本實施例中的箱體3的出口 32 處還設(shè)置有閥門321。具體的，通過閥門321可以控制箱體3與排氣口 12的通斷，從而當(dāng)柜體1中的某一箱體3不工作時，可以通過閥門321斷開箱體3與排氣口 12之間的氣體流路。本實用新型還提供一種擴散爐，包括爐體，還包括擴散爐用排氣柜，擴散爐用排氣柜的進氣口與爐體連通。具體而言，本實施例中的擴散爐用排氣柜可以采用本實用新型擴散爐用排氣柜實施例中的擴散爐用排氣柜，其具體結(jié)構(gòu)可以參見本實用新型擴散爐用排氣柜實施例以及附圖1的記載。其中，擴散爐用排氣柜的進氣口與爐體連通，當(dāng)爐體進行加熱時，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將通過進氣口進入到擴散爐用排氣柜中，從而通過擴散爐用排氣柜有效的將爐體中的有害氣體排出。本實施例擴散爐，通過柜體上的進氣口與擴散爐中的爐體連通，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將進入到柜體中，在排氣裝置的作用下，有害氣體將通過排氣口排放到外部設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中，從而減少有害氣體直接從爐體中排出，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低了擴散爐污染程度并提高了擴散爐的安全性。最后應(yīng)說明的是以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種擴散爐用排氣柜，其特征在于，包括柜體和排氣裝置，所述柜體上設(shè)置有進氣口和排氣口，所述排氣裝置設(shè)置在所述排氣口處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散爐用排氣柜，其特征在于，所述柜體上開設(shè)有多個所述進氣口，所述柜體中設(shè)置有多個箱體，所述每個箱體上設(shè)置有進口和出口，所述進口對應(yīng)與所述柜體上的所述進氣口連通，每個所述出口分別與所述排氣口連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴散爐用排氣柜，其特征在于，所述柜體中設(shè)置有排風(fēng)通道， 所述出口與所述排風(fēng)通道連通，所述排風(fēng)通道的一端口與所述排氣口連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴散爐用排氣柜，其特征在于，所述箱體的出口處還設(shè)置有閥門。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散爐用排氣柜，其特征在于，所述排氣裝置為抽氣機或真空泵。
6.一種擴散爐，包括爐體，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1-5任一所述的擴散爐用排氣柜，所述擴散爐用排氣柜的進氣口與所述爐體連通。
專利摘要本實用新型提供一種擴散爐用排氣柜及擴散爐。擴散爐用排氣柜，包括柜體和排氣裝置，所述柜體上設(shè)置有進氣口和排氣口，所述排氣裝置設(shè)置在所述排氣口處。通過柜體上的進氣口與擴散爐中的爐體連通，爐體中產(chǎn)生的有害氣體將進入到柜體中，在排氣裝置的作用下，有害氣體將通過排氣口排放到外部設(shè)置好的有害氣體吸收裝置中，從而減少有害氣體直接從爐體中排出，實現(xiàn)通過擴散爐用排氣柜降低了擴散爐污染程度并提高了擴散爐的安全性。
文檔編號C30B31/16GK201990768SQ201120039438
公開日2011年9月28日 申請日期2011年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月16日
發(fā)明者徐桂香, 王志盾 申請人:青島金立盾電子設(shè)備有限公司