專利名稱：一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶爐的零部件，尤其涉及一種提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
單晶爐是單晶體的生長設(shè)備，按照晶體生長方法可分為提拉法單晶爐、坩堝下降法單晶爐和區(qū)熔法單晶爐，其中提拉法單晶爐是目前晶體生長方法中最為常用的一種方法。提拉頭是提拉法單晶爐最為重要的組成部分，安裝在單晶爐上爐筒的頂端，主要實(shí)現(xiàn)高低速籽晶升降與旋轉(zhuǎn)功能。現(xiàn)有提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，如圖1所示，包括籽晶腔1'、籽晶升降動(dòng)力源2'、晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'、同步皮帶輪4'、同步皮帶輪5'、同步皮帶6'、晶轉(zhuǎn)磁流體7' 和晶轉(zhuǎn)主軸8'，晶轉(zhuǎn)磁流體7'安裝在單晶爐的付室平板9'上，籽晶腔1'設(shè)于晶轉(zhuǎn)磁流體7'的上方，晶轉(zhuǎn)主軸8'的一端固定在籽晶腔的底部、另一端穿過晶轉(zhuǎn)磁流體7'至付室平板9'內(nèi)，且晶轉(zhuǎn)主軸8'的另一端通過軸承10'安裝在晶轉(zhuǎn)磁流體7'內(nèi)，籽晶腔1' 內(nèi)設(shè)有供籽晶繩卷繞的籽晶升降卷揚(yáng)器，籽晶升降動(dòng)力源2'與籽晶升降卷揚(yáng)器電連接，且籽晶腔1'與晶轉(zhuǎn)主軸8'相連接的一側(cè)面上向外凸設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸8相垂直設(shè)置的安裝塊11'，晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'安裝在提拉頭上，同步皮帶輪4'固裝在晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'的輸出軸上，同步皮帶輪5'固定在晶轉(zhuǎn)主軸8'上，并處于籽晶腔1與晶轉(zhuǎn)磁流體7'之間，同步皮帶6' 繞設(shè)在同步皮帶輪4'和同步皮帶輪5'上。使用時(shí)，若開啟晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'，晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'可帶動(dòng)同步皮帶輪4'轉(zhuǎn)動(dòng)，同步皮帶輪4'的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)同步皮帶輪5'轉(zhuǎn)動(dòng)，同步皮帶輪 5'的轉(zhuǎn)動(dòng)可使晶轉(zhuǎn)主軸8'作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，晶轉(zhuǎn)主軸8'的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可使籽晶腔Γ作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)籽晶腔1'內(nèi)的籽晶繩作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；若開啟籽晶升降動(dòng)力源2'，籽晶升降動(dòng)力源2'給籽晶腔1'內(nèi)的籽晶升降卷揚(yáng)器提供電源，籽晶升降卷揚(yáng)器開始工作，籽晶升降卷揚(yáng)器的轉(zhuǎn)動(dòng)可使卷繞在籽晶升降卷揚(yáng)器上的籽晶繩作上下升降運(yùn)動(dòng)?，F(xiàn)有這種提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，由于籽晶升降動(dòng)力源2'是模塊式組合結(jié)構(gòu)，其存在體積大，重量重的缺點(diǎn)，使籽晶升降動(dòng)力源2'的重心嚴(yán)重偏離晶轉(zhuǎn)主軸8'，這樣籽晶腔 1'在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)易產(chǎn)生晶轉(zhuǎn)離心力；然而，現(xiàn)有的提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其籽晶腔1'的底部具有晶轉(zhuǎn)磁流體7'進(jìn)行支撐，籽晶腔1'的頂部無支撐結(jié)構(gòu)，則籽晶腔1'在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的晶轉(zhuǎn)離心力較大，使籽晶腔1在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)會(huì)發(fā)生振動(dòng)，從而影響單晶體的生長質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，避免了籽晶腔在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)會(huì)發(fā)生振動(dòng)的現(xiàn)象。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括籽晶腔、籽晶升降動(dòng)力源、晶轉(zhuǎn)主軸、晶轉(zhuǎn)電機(jī)及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該晶轉(zhuǎn)主軸安裝在籽晶腔的底部，該籽晶腔內(nèi)設(shè)有籽晶升降卷揚(yáng)器，籽晶升降動(dòng)力源與該籽晶升降卷揚(yáng)器電連接，籽晶腔的底部設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸相垂直設(shè)置的安裝塊，該籽晶升降動(dòng)力源安裝在此安裝塊上；還包括有上支撐板和連接柱，上述上支撐板設(shè)于單晶爐的付室平板的上方，且上述連接柱的一端固定在上 述上支撐板上，上述連接柱的另一端固定在單晶爐的付室平板上，上述上支撐板、上述連接 柱與單晶爐的付室平板形成有供上述籽晶腔和上述籽晶升降動(dòng)カ源放置的腔室，上述晶轉(zhuǎn) 主軸的自由端活動(dòng)嵌裝在單晶爐的付室平板內(nèi)，上述籽晶腔上設(shè)有與上述晶轉(zhuǎn)主軸相對立 設(shè)置的上支撐軸，上述上支撐軸活動(dòng)嵌裝在上述上支撐板內(nèi)，且上述上支撐軸的自由端伸 出上述上支撐板外與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端連接，上述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸入端與上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)的輸 出軸連接，上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在提拉頭上并處于上述腔室外。上述上支撐板上開設(shè)有供上述上支撐軸嵌入安裝的上安裝孔，上述上支撐軸通過 上軸承安裝在此上安裝孔內(nèi)，單晶爐的付室平板上開設(shè)有供上述晶轉(zhuǎn)主軸嵌入安裝的下安 裝孔，上述晶轉(zhuǎn)主軸通過下軸承安裝在此下安裝孔內(nèi)。上述連接柱為圓柱體。上述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括輸出齒輪和傳動(dòng)齒輪，上述輸出齒輪安裝在上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)的輸 出軸上，上述傳動(dòng)齒輪安裝在上述上支撐軸的自由端上，且上述傳動(dòng)齒輪與上述輸出齒輪 相嚙合。采用上述方案后，本實(shí)用新型的ー種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，由于籽晶腔上設(shè)有 與晶轉(zhuǎn)主軸相對立的上支撐軸，且上支撐軸嵌裝在上支撐板上，這樣，籽晶腔的頂部可由上 支撐軸支撐，而且籽晶腔的底部由晶轉(zhuǎn)主軸支撐，使籽晶腔在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的晶轉(zhuǎn) 離心カ較小，避免了籽晶腔在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)會(huì)發(fā)生振動(dòng)的現(xiàn)象，確保了單晶體的生長
ik里。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的局部剖示圖；圖2為本實(shí)用新型的局部剖示圖。圖中籽晶腔 1'安裝塊11'籽晶升降動(dòng)カ源2'晶轉(zhuǎn)電機(jī)3'同步皮帶輪 4'同步皮帶輪 5'同步皮帶 6'晶轉(zhuǎn)磁流體 7'晶轉(zhuǎn)主軸 8'付室平板9'軸承10'籽晶腔 1上支撐軸11軸承 111安裝塊12籽晶升降動(dòng)カ源2晶轉(zhuǎn)主軸3軸承 31晶轉(zhuǎn)電機(jī)4輸出軸 41上支撐板5通孔 51連接柱6傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 7輸出齒輪71傳動(dòng)齒輪 72付室平板8通孔8具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)安裝結(jié)構(gòu)，如圖2所示，包括籽晶腔1、籽晶升降動(dòng)力源2、晶轉(zhuǎn)主軸3、晶轉(zhuǎn)電機(jī)4、上支撐板5、連接柱6和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)7，其中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)1 包括輸出齒輪71和傳動(dòng)齒輪72，連接柱6為圓柱體，上支撐板5設(shè)于單晶爐的付室平板8 的上方，且連接柱6的上端固定在上支撐板1的下底面上，連接柱6的下端固定在單晶爐的付室平板8上，上支撐板5、連接柱6與單晶爐的付室平板8形成有腔室，籽晶腔1和籽晶升降動(dòng)力源2均設(shè)于此腔室內(nèi)，且籽晶腔1的底部固定有晶轉(zhuǎn)主軸3，付室平板8上開設(shè)有供晶轉(zhuǎn)主軸3的自由端伸入的通孔81，且該晶轉(zhuǎn)主軸3的自由端通過套設(shè)在晶轉(zhuǎn)主軸3上的軸承31來安裝在此通孔81內(nèi)，籽晶腔1的頂部設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸3相對立設(shè)置的上支撐軸 11，上支撐板5上開設(shè)有供此上支撐軸11的自由端伸入的通孔51，該上支撐軸11的自由端通過套設(shè)在上支撐軸11上的軸承111來安裝在此通孔51內(nèi)，且該上支撐軸11的自由端端部伸出此通孔51外，該傳動(dòng)齒輪72固裝在該上支撐軸11的自由端端部上，該傳動(dòng)齒輪 72與該輸出齒輪71相嚙合，且該輸出齒輪71固裝在晶轉(zhuǎn)電機(jī)4的輸出軸41上，該籽晶腔 1內(nèi)設(shè)有供籽晶繩卷繞的籽晶升降卷揚(yáng)器(圖中未示出)，籽晶升降動(dòng)力源2與該籽晶升降卷揚(yáng)器電連接，且籽晶腔1的下部左側(cè)向外凸設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸3相垂直設(shè)置的，并與籽晶腔 1 一體成型的安裝塊12，該籽晶升降動(dòng)力源2安裝在此安裝塊12上。使用時(shí)，開啟晶轉(zhuǎn)電機(jī)4，晶轉(zhuǎn)電機(jī)4帶動(dòng)輸出齒輪71轉(zhuǎn)動(dòng)，輸出齒輪71的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳動(dòng)齒輪72的轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)齒輪72的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)籽晶腔1轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，由于籽晶腔1的上、下兩部分別由上支撐軸11和晶轉(zhuǎn)主軸3進(jìn)行支撐， 這樣籽晶腔1在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的晶轉(zhuǎn)離心力較小，從而使籽晶腔在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)不會(huì)發(fā)生振動(dòng)，保證了單晶體的生長質(zhì)量。上述實(shí)施例和圖式并非限定本實(shí)用新型的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員對其所做的適當(dāng)變化或修飾，皆應(yīng)視為不脫離本實(shí)用新型的專利范疇。
權(quán)利要求1.一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括籽晶腔、籽晶升降動(dòng)力源、晶轉(zhuǎn)主軸、晶轉(zhuǎn)電機(jī)及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該晶轉(zhuǎn)主軸安裝在籽晶腔的底部，該籽晶腔內(nèi)設(shè)有籽晶升降卷揚(yáng)器，籽晶升降動(dòng)力源與該籽晶升降卷揚(yáng)器電連接，籽晶腔的底部設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸相垂直設(shè)置的安裝塊，該籽晶升降動(dòng)力源安裝在此安裝塊上；其特征在于還包括有上支撐板和連接柱，上述上支撐板設(shè)于單晶爐的付室平板的上方，且上述連接柱的一端固定在上述上支撐板上，上述連接柱的另一端固定在單晶爐的付室平板上，上述上支撐板、上述連接柱與單晶爐的付室平板形成有供上述籽晶腔和上述籽晶升降動(dòng)力源放置的腔室，上述晶轉(zhuǎn)主軸的自由端活動(dòng)嵌裝在單晶爐的付室平板內(nèi)，上述籽晶腔上設(shè)有與上述晶轉(zhuǎn)主軸相對立設(shè)置的上支撐軸，上述上支撐軸活動(dòng)嵌裝在上述上支撐板內(nèi)，且上述上支撐軸的自由端伸出上述上支撐板外與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端連接，上述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸入端與上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸連接，上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在提拉頭上并處于上述腔室外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于上述上支撐板上開設(shè)有供上述上支撐軸嵌入安裝的上安裝孔，上述上支撐軸通過上軸承安裝在此上安裝孔內(nèi)，單晶爐的付室平板上開設(shè)有供上述晶轉(zhuǎn)主軸嵌入安裝的下安裝孔，上述晶轉(zhuǎn)主軸通過下軸承安裝在此下安裝孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于上述連接柱為圓柱體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于上述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括輸出齒輪和傳動(dòng)齒輪，上述輸出齒輪安裝在上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸上，上述傳動(dòng)齒輪安裝在上述上支撐軸的自由端上，且上述傳動(dòng)齒輪與上述輸出齒輪相嚙合。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種新型提拉頭的晶轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括籽晶腔、籽晶升降動(dòng)力源、晶轉(zhuǎn)主軸、晶轉(zhuǎn)電機(jī)及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，還包括有上支撐板和連接柱，上支撐板設(shè)于付室平板的上方，且連接柱設(shè)于上支撐板與付室平板之間，且上支撐板、上述連接柱與付室平板形成有供籽晶腔和籽晶升降動(dòng)力源放置的腔室，晶轉(zhuǎn)主軸的自由端活動(dòng)嵌裝在單晶爐的付室平板內(nèi)，籽晶腔上設(shè)有與晶轉(zhuǎn)主軸相對立設(shè)置的上支撐軸，上支撐軸活動(dòng)嵌裝在上支撐板內(nèi)，且上支撐軸的自由端伸出上支撐板外與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端連接，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸入端與上述晶轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸連接。本實(shí)用新型的有益效果是避免了籽晶腔在作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)會(huì)發(fā)生振動(dòng)的現(xiàn)象，確保了單晶體的生長質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B15/30GK202099409SQ201120165508
公開日2012年1月4日 申請日期2011年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月20日
發(fā)明者高林杰 申請人:高林杰