專利名稱：一種晶棒保存箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶棒保存箱。
背景技術(shù)：
在單晶直拉成晶后，通常需要將晶棒在單晶爐內(nèi)放置一段時間，待達(dá)到一定時間和溫度后，再把晶棒取出，目的是防止晶棒內(nèi)部出現(xiàn)應(yīng)力、隱裂等問題。這樣，就相對延長了單晶拉制的生產(chǎn)周期，降低了生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供能防止晶棒內(nèi)部出現(xiàn)應(yīng)力、隱裂，且便于存放和運(yùn)輸?shù)囊环N晶棒保存箱。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種晶棒保存箱，其特征在于在箱體內(nèi)壁上襯有石墨碳?xì)郑潴w的上面設(shè)有上活頁門，箱體的側(cè)面設(shè)有側(cè)活頁門，箱體的底部和箱體的側(cè)活頁門的相對面上分別設(shè)有滑輪。采用本實(shí)用新型，在單晶直拉成晶后將晶棒直接從單晶爐內(nèi)取出放入該晶棒保存箱中，箱體內(nèi)壁上襯有的石墨碳?xì)挚梢苑乐菇禍剡^快，防止晶棒內(nèi)部出現(xiàn)應(yīng)力、隱裂等問題，同時二個面上設(shè)有活頁門和滑輪，便于不同情形下存放和運(yùn)輸單晶棒，直接或間接的提高了生產(chǎn)效率。

圖1是本實(shí)用新型的立體示意圖。圖2是本實(shí)用新型箱體的示意圖。圖中序號表示上活頁門1、滑輪2、箱體3、側(cè)活頁門4和石墨碳?xì)?。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體的實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參照圖1、圖2，該晶棒保存箱的箱體3內(nèi)壁上襯有石墨碳?xì)?，箱體3的上面設(shè)有上活頁門1，箱體3的側(cè)面設(shè)有側(cè)活頁門4，箱體3的底部和箱體3的側(cè)活頁門4的相對面上分別設(shè)有滑輪2。使用時，在單晶直拉成晶后將晶棒直接從單晶爐內(nèi)取出放入該晶棒保存箱中，關(guān)閉上活頁門1、側(cè)活頁門4即可，由于箱體3內(nèi)壁上襯有的石墨碳?xì)?可以防止降溫過快，防止晶棒內(nèi)部出現(xiàn)應(yīng)力、隱裂等問題，同時二個面上設(shè)有上活頁門1、側(cè)活頁門4以及滑輪2， 便于不同情形下存放和運(yùn)輸單晶棒，直接或間接的提高了生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1. 一種晶棒保存箱，其特征在于在箱體內(nèi)壁上襯有石墨碳?xì)?，箱體的上面設(shè)有上活頁門，箱體的側(cè)面設(shè)有側(cè)活頁門，箱體的底部和箱體的側(cè)活頁門的相對面上分別設(shè)有滑輪。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種晶棒保存箱，該箱體內(nèi)壁上襯有石墨碳?xì)?，箱體的上面設(shè)有上活頁門，箱體的側(cè)面設(shè)有側(cè)活頁門，箱體的底部和箱體的側(cè)活頁門的相對面上分別設(shè)有滑輪。采用本實(shí)用新型，在單晶直拉成晶后將晶棒直接從單晶爐內(nèi)取出放入該晶棒保存箱中，箱體內(nèi)壁上襯有的石墨碳?xì)挚梢苑乐菇禍剡^快，防止晶棒內(nèi)部出現(xiàn)應(yīng)力、隱裂等問題，同時二個面上設(shè)有活頁門和滑輪，便于不同情形下存放和運(yùn)輸單晶棒，直接或間接的提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號C30B35/00GK202170378SQ20112025555
公開日2012年3月21日 申請日期2011年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月15日
發(fā)明者鄭裕財, 郜勇軍, 金炯 申請人:浙江矽盛電子有限公司