專利名稱：一種單晶爐用籽晶夾頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體材料制備設(shè)備，尤其涉及一種單晶爐用籽晶夾頭。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有籽晶夾頭，其夾頭本體以及重錘均采用耐高溫的金屬材料制成，由于籽晶夾頭常年在高溫環(huán)境下使用，夾頭本體表面以及重錘表面會(huì)產(chǎn)生一定量氧化物以及其他雜質(zhì)，在生產(chǎn)過程中，難以避免細(xì)小的雜物脫落，在重力作用下掉落硅熔體，對拉晶產(chǎn)生很大影響，使晶棒產(chǎn)生位錯(cuò)或斷棱。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以有效防止雜質(zhì)掉落硅熔體的單晶爐用籽晶夾頭。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種單晶爐用籽晶夾頭，包括重錘和固定于所述重錘下端的夾頭本體，所述夾頭本體下端設(shè)有懸掛籽晶的銷軸，所述重錘為石墨棒， 所述夾頭本體中空石墨棒。通過如上技術(shù)方案的提出，本實(shí)用新型具有如下有益效果本實(shí)用新型采用石墨棒結(jié)構(gòu)代替鉬質(zhì)金屬結(jié)構(gòu)，使得即使長期處在高溫狀態(tài)下， 也不會(huì)有雜質(zhì)掉落硅熔體，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1提出的一種單晶爐用籽晶夾頭示意圖；圖中1、重錘；2、夾頭本體；3、銷軸。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1本實(shí)施例提出一種單晶爐用籽晶夾頭，包括重錘1和固定于重錘1下端的夾頭本體2，重錘1的中軸線與夾頭本體2的中軸線重合，夾頭本體2下端設(shè)有懸掛籽晶的銷軸3， 重錘1為石墨棒，夾頭本體2中空石墨棒。本實(shí)用新型通過將重錘1和夾頭本體2使用石墨棒結(jié)構(gòu)代替鉬質(zhì)金屬結(jié)構(gòu)，使得即使長期處在高溫狀態(tài)下，也不會(huì)有雜質(zhì)掉落硅熔體，保證產(chǎn)品質(zhì)量。本實(shí)用新型并不局限于此實(shí)施方式，以本實(shí)用新型思想為基礎(chǔ)的相關(guān)實(shí)現(xiàn)總成均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種單晶爐用籽晶夾頭，包括重錘(1)和固定于所述重錘(1)下端的夾頭本體0)， 所述夾頭本體(2)下端設(shè)有懸掛籽晶的銷軸(3)，其特征在于，所述重錘(1)為石墨棒，所述夾頭本體O)中空石墨棒。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種單晶爐用籽晶夾頭，包括重錘和固定于所述重錘下端的夾頭本體，所述夾頭本體下端設(shè)有懸掛籽晶的銷軸，所述重錘為石墨棒體，所述夾頭本體為中空石墨棒體。本實(shí)用新型采用石墨棒結(jié)構(gòu)代替鉬質(zhì)金屬結(jié)構(gòu)，使得即使長期處在高溫狀態(tài)下，也不會(huì)有雜質(zhì)掉落硅熔體，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B15/32GK202247002SQ20112026024
公開日2012年5月30日 申請日期2011年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月21日
發(fā)明者劉宏, 張建中, 林平 申請人:天長市百盛半導(dǎo)體科技有限公司