專利名稱:拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領域:
本實用新型涉及拉晶爐,具體地說,是一種拉晶爐的副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
背景技術(shù):
現(xiàn)有的拉晶爐的副室旋轉(zhuǎn)是用手拉形式來完成,其缺點是在旋轉(zhuǎn)的過程中不穩(wěn), 會使晶棒在副爐筒中左右晃動、撞筒,嚴重的情況下會使晶棒上端的籽晶斷裂,晶棒很難從副室中取出。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可使得拉晶爐的副室轉(zhuǎn)動平穩(wěn)的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),副室轉(zhuǎn)動設置機座上,在機座上設置電機,電機輸出軸通過齒輪傳動機構(gòu)與副室相連。上述的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),它還包括控制電機的變頻器。本實用新型的有益效果使用時,電機通過齒輪傳動機構(gòu)帶動副室相對于機座轉(zhuǎn)動。相對于以手動拉到副室轉(zhuǎn)動,傳動平穩(wěn),使副室很平穩(wěn)的轉(zhuǎn)到所需要的位置,不會再出現(xiàn)上述問題。
圖1是本實用新型的示意圖。
具體實施方式
如圖1所示的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),副室1通過軸承2轉(zhuǎn)動設置機座3上,在機座 3上設置變頻電機4,變頻電機輸出軸5通過齒輪6與固定在副室1上的齒輪7嚙合。變頻電機4轉(zhuǎn)動,通過齒輪6、7帶動副室1相對于機座3轉(zhuǎn)動。變頻器與變頻電機4相連,以控制其動作。
權(quán)利要求1.拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征是副室轉(zhuǎn)動設置機座上,在機座上設置電機,電機輸出軸通過齒輪傳動機構(gòu)與副室相連。
2.如權(quán)利要求1所述的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征是它還包括控制電機的變頻器。
專利摘要本實用新型提供一種可使得拉晶爐的副室轉(zhuǎn)動平穩(wěn)的拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。該拉晶爐副室旋轉(zhuǎn)機構(gòu),副室轉(zhuǎn)動設置機座上,在機座上設置電機,電機輸出軸通過齒輪傳動機構(gòu)與副室相連。
文檔編號C30B15/30GK202297863SQ20112035471
公開日2012年7月4日 申請日期2011年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月21日
發(fā)明者丁俊, 李新, 馬一超, 馬金忠 申請人:江蘇新華機電設備制造有限公司