專利名稱：?jiǎn)尉t坩堝防塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
單晶爐坩堝防塵裝置屬于機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅拉制過(guò)程中單晶爐坩堝防塵。
技術(shù)背景單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅エ藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料；單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料。在硅單晶拉制前，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；眾所周知，目前單晶爐坩堝裝置，采用防塵裝置密固性能差，容易造成設(shè)備損壞，晶棒精度低等現(xiàn)象。 發(fā)明的內(nèi)容本實(shí)用新型單晶爐坩堝防塵裝置發(fā)明目的在于解決單晶爐晶體拉制過(guò)程中產(chǎn)生雜質(zhì)易掉入磁流體、造成設(shè)備易損壞問(wèn)題，設(shè)計(jì)制造一種與現(xiàn)有技術(shù)不同坩堝防塵裝置。本實(shí)用新型單晶爐坩堝防塵裝置是這樣實(shí)現(xiàn)的含雜質(zhì)和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側(cè)并通過(guò)螺釘固定在坩堝軸上。在硅單晶拉制過(guò)程中，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時(shí)雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，導(dǎo)致磁流體卡死、不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量。本實(shí)用新型單晶爐坩堝防塵裝置的有益效果是在硅單晶拉制過(guò)程中，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時(shí)雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；降低成本，提高作業(yè)效率。

附圖為本實(shí)用新型單晶爐坩堝防塵裝置示意圖。圖中坩堝軸I、壓緊套2、雜質(zhì)3、磁流體4、防塵法蘭5。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型單晶爐坩堝防塵裝置，含雜質(zhì)3和磁流體4，由坩堝軸I、壓緊套2和防塵法蘭5組成；坩堝軸I為水冷焊接件和磁流體4同軸心套裝，在磁流體4上平面和坩堝軸I外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭5 ;壓緊套2套裝在防塵法蘭5外側(cè)并通過(guò)螺釘固定在坩堝軸I上。
權(quán)利要求1.單晶爐坩堝防塵裝置，其特征在于含雜質(zhì)(3)和磁流體(4)，由坩堝軸(I)、壓緊套(2)和防塵法蘭(5)組成甘堝軸⑴為水冷焊接件和磁流體⑷同軸心套裝，在磁流體(4)的上平面和坩堝軸(I)外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭(5);壓緊套(2)套裝在防塵法蘭(5)外側(cè)并通過(guò)螺釘固定在坩堝軸(I)上。
專利摘要單晶爐坩堝防塵裝置屬于冶煉機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅拉制過(guò)程中單晶爐坩堝防塵；含雜質(zhì)和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體的上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側(cè)并通過(guò)螺釘固定在坩堝軸上；在硅單晶拉制前，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時(shí)雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；降低成本，提高作業(yè)效率。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202390562SQ20112045817
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者吳學(xué)軍, 周凱平 申請(qǐng)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司