專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置。
背景技術(shù)：
我國(guó)自2003年開(kāi)始提出“國(guó)家半導(dǎo)體照明工程”計(jì)劃以來(lái)，目前已初步形成LED產(chǎn)品的規(guī)模化生產(chǎn)能力，生產(chǎn)其重要的襯底材料——藍(lán)寶石晶圓的單晶爐也得到迅猛發(fā)展，成為近年國(guó)內(nèi)外研究開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的熱點(diǎn)。生產(chǎn)藍(lán)寶石用的單晶爐在成產(chǎn)過(guò)程中工藝 要求非常嚴(yán)格，但藍(lán)寶石晶體在生產(chǎn)過(guò)程中不可避免的出現(xiàn)粘鍋現(xiàn)象，發(fā)現(xiàn)粘鍋現(xiàn)象早并及時(shí)處理，藍(lán)寶石晶體會(huì)正常生長(zhǎng)，若粘鍋嚴(yán)重藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)會(huì)長(zhǎng)偏，降溫時(shí)容易出現(xiàn)裂痕，影響藍(lán)寶石晶體的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本使用新型提供一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置，及時(shí)并準(zhǔn)確的反映出粘鍋現(xiàn)象，讓藍(lán)寶石晶體正常生長(zhǎng)。本實(shí)用新型具體采用如下技術(shù)方案一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置，包括單晶爐主軸，其特征是，在單晶爐主軸上設(shè)置稱(chēng)重傳感器，還設(shè)有中央處理器與稱(chēng)重傳感器和聲光報(bào)警裝置連接。優(yōu)選的，稱(chēng)重傳感器與中央處理器采用無(wú)線連接。主軸上帶有引晶棒，在引晶過(guò)程中，晶體會(huì)不斷粘結(jié)到引晶棒上，因此主軸的重量在晶體成長(zhǎng)過(guò)程中有變化。本實(shí)用新型中，稱(chēng)重傳感器采集單晶爐主軸重量的即時(shí)值，傳送給中央處理器，中央處理器將主軸即時(shí)重量與半小時(shí)前主軸重量進(jìn)行比較得出差值，得出的差值如果大于設(shè)定值，則聲光報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)，此時(shí)操作人員可以及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)。因此，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是能夠及時(shí)并準(zhǔn)確的反映出粘鍋現(xiàn)象，讓藍(lán)寶石晶體正常生長(zhǎng)。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，I-單晶爐主軸，2-稱(chēng)重傳感器，3-中央處理器，4-聲光報(bào)警裝置。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置，包括單晶爐主軸1，在單晶爐主軸I上設(shè)置稱(chēng)重傳感器2，還設(shè)有中央處理器3與稱(chēng)重傳感器2和聲光報(bào)警裝置4連接。
權(quán)利要求1.一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置，包括單晶爐主軸，其特征是，在單晶爐主軸上設(shè)置稱(chēng)重傳感器，還設(shè)有中央處理器與稱(chēng)重傳感器和聲光報(bào)警裝置連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于藍(lán)寶石生產(chǎn)的單晶爐粘鍋報(bào)警裝置，包括單晶爐主軸，其特征是，在單晶爐主軸上設(shè)置稱(chēng)重傳感器，還設(shè)有中央處理器與稱(chēng)重傳感器和聲光報(bào)警裝置連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是能夠及時(shí)并準(zhǔn)確的反映出粘鍋現(xiàn)象，讓藍(lán)寶石晶體正常生長(zhǎng)。
文檔編號(hào)C30B29/20GK202430343SQ20112053415
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者于愛(ài)東, 張建平, 李瑞蓮, 王東 申請(qǐng)人:山東紫晶光電新材料有限公司