專利名稱:寶石爐主軸擺動稱重裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于物質(zhì)生長爐技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種寶石爐主軸擺動稱重裝置。
背景技術(shù):
LED用藍(lán)寶石晶體材料化學(xué)式為a-Al2O3,屬六方晶體,在室溫下密度為3. 98g/cm3,屬于熔點(diǎn)很高的難熔氧化物晶體。Al2O3晶體具有寬的透光范圍,從真空紫外、可見光、遠(yuǎn)紅外,一直到中紅外均具有較高的光透過性,具有高機(jī)械強(qiáng)度,高溫耐熔性,膨脹系數(shù)小,導(dǎo)熱率大,良好的化學(xué)穩(wěn)定性,耐輻射性及低摩擦系數(shù)等綜合性能,是優(yōu)良的激光基質(zhì)材料及各種光學(xué)元件和紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料,在微電子學(xué)、光學(xué)、量子電子學(xué)、計(jì)算機(jī)、照明設(shè)施、發(fā)光二極管以及其他科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。制備LED用藍(lán)寶石晶體有多種方法,微拉旋轉(zhuǎn)泡生法因其能綜合泡生法和微拉法 的優(yōu)點(diǎn),因此優(yōu)先在工業(yè)上應(yīng)用。該方法是晶體在寶石爐(單晶爐)內(nèi)完成晶體長晶制備過程。本實(shí)用新型安裝在寶石爐爐體上方,實(shí)現(xiàn)主軸擺動以及稱出主軸重量變化,達(dá)到工藝要求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種寶石爐主軸擺動稱重裝置,其結(jié)構(gòu)簡單,稱重靈敏,操作方便。本實(shí)用新型具體采用的技術(shù)方案是一種寶石爐主軸擺動稱重裝置,包括主軸,其特征是,主軸上設(shè)有縱向托板和橫向托板,縱向托板上設(shè)置縱向滾珠導(dǎo)軌和縱向定位塊,橫向托板上設(shè)置橫向滾珠導(dǎo)軌和橫向定位塊,在主軸上還設(shè)置有稱重傳感器。其中,稱重傳感器能夠檢測出主軸重量的細(xì)微變化;縱向托板、縱向滾珠導(dǎo)軌和縱向定位塊實(shí)現(xiàn)主軸的縱向移動,橫向托板、橫向滾珠導(dǎo)軌和橫向定位塊實(shí)現(xiàn)主軸的橫向移動。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單,稱重靈敏,操作方便。
圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖中,I-主軸,2-稱重傳感器,3-縱向定位塊,4-縱向托板,5-縱向滾珠導(dǎo)軌,6-橫向定位塊,7-橫向托板,8-橫向滾珠導(dǎo)軌。
具體實(shí)施方式
如圖I所示,一種寶石爐主軸擺動稱重裝置,包括主軸1,主軸I上設(shè)有縱向托板4和橫向托板7,縱向托板4上設(shè)置縱向滾珠導(dǎo)軌5和縱向定位塊3,橫向托板7上設(shè)置橫向滾珠導(dǎo)軌8和橫向定位塊6,在主軸I上還設(shè)置有稱重傳感器2。
權(quán)利要求1.一種寶石爐主軸擺動稱重裝置,包括主軸,其特征是,主軸上設(shè)有縱向托板和橫向托板,縱向托板上設(shè)置縱向滾珠導(dǎo)軌和縱向定位塊,橫向托板上設(shè)置橫向滾珠導(dǎo)軌和橫向定位塊,在主軸上還設(shè)置有稱重傳感器。
專利摘要一種寶石爐主軸擺動稱重裝置,屬于物質(zhì)生長爐技術(shù)領(lǐng)域,包括主軸,其特征是,主軸上設(shè)有縱向托板和橫向托板,縱向托板上設(shè)置縱向滾珠導(dǎo)軌和縱向定位塊,橫向托板上設(shè)置橫向滾珠導(dǎo)軌和橫向定位塊,在主軸上還設(shè)置有稱重傳感器。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,稱重靈敏,操作方便。
文檔編號C30B15/20GK202430340SQ20112053423
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者于愛東, 周磊, 李瑞蓮, 沈春艷, 陳衛(wèi)國 申請人:山東紫晶光電新材料有限公司