專利名稱：可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，且特別涉及一種具有半導(dǎo)體裝置的可伸張的 網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體裝置的制造技術(shù)已發(fā)展數(shù)十年，且成功地制造電子產(chǎn)品的集成電路。這些 集成電路通過揀取-放置(pick-and-place)制程以及打線接合(wire-bonding)制程而固 設(shè)在一基材上，以發(fā)揮電子裝置應(yīng)有的功能。
另一種制造電子裝置的方法是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，此種技術(shù)是結(jié)合傳統(tǒng)的半導(dǎo)體 制程以及機(jī)械制造技術(shù)來達(dá)成裝置的特定功能。在此技術(shù)中，微機(jī)電裝置仍然是個(gè)別地裝 設(shè)在一對(duì)象或基板上。
關(guān)于上述缺乏彈性或其它相當(dāng)技術(shù)，有許多應(yīng)用領(lǐng)域受限于他們的不可延伸性。 這造成某些電路相對(duì)困難地去實(shí)現(xiàn)各式各樣的應(yīng)用，例如經(jīng)由大尺寸、復(fù)雜網(wǎng)絡(luò)及高密度 網(wǎng)絡(luò)等優(yōu)勢(shì)所衍生的那些應(yīng)用。因此，目前亟需一種嶄新的、且具經(jīng)濟(jì)效益的結(jié)構(gòu)體，以提 供彈性且大面積的功能。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu) 包含一第一裝置部、一第二裝置部以及至少三連接器。每一第一及第二裝置部包含一半導(dǎo) 體組件。該些三連接器連接至該第一裝置部。再者，該第二裝置部經(jīng)由該些三連接器的其 中一者電性連接該第一裝置部。第一裝置部以及第二裝置部分別具有一第一中心以及一第 二中心。每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)下的該第一 與該第二中心間的一第一距離至少為在該初始狀態(tài)下的該第一與該第二中心間的一第二 距離的1.1倍。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，該第一及第二中心為幾何中心、質(zhì)量中心或?qū)ΨQ中心。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些裝置部以及每一該些連接器是形成在一基材上的 一共同材料層的一部分。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，該些三連接器實(shí)質(zhì)上配置在同一平面上。在此實(shí)施例中，在 擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，任兩相鄰的連接器之間形成一夾角約120度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，該第一及第二裝置部具有相同的形狀。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一中心部、至少三環(huán)繞部以及 至少三連接器。該中心部以及每一該些環(huán)繞部分別包含一半導(dǎo)體裝置。該些三環(huán)繞部配置 在中心部的周圍。每一該些環(huán)繞部經(jīng)由該些連接器之其中一者連接至該中心部。該中心部 具有一第一中心，每一該些環(huán)繞部具有一第二中心。每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張 至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)下的該第一中心與其中一該些第二中心之間的一第一距離 至少為在該初始狀態(tài)下的該第一中心與該第二中心之間的一第二距離的1.1倍。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，上述可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)還包含一第四環(huán)繞部以及一第四連 接器。第四連接器連接該第四環(huán)繞部及該中心部。在此實(shí)施例中，全部連接器實(shí)質(zhì)上配置 在同一平面上，且在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，任兩相鄰的連接器之間形成一夾角為約90度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，當(dāng)每一該些連接器處于該初始狀態(tài)時(shí)，每一該些連接器纏 繞該中心部。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，上述可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)還包含多個(gè)橋接部，且每一該些橋 接部橋接兩連接器。在某些實(shí)施例中，該些橋接部橋接該中心部以及該些連接器的其中一者。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，至少一該些三連接器的長(zhǎng)度不同于另外兩個(gè)連接器的長(zhǎng)度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，全部該些三連接器具有一相同的長(zhǎng)度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些連接器的一高度不同于該中心部的一高度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些連接器包含多個(gè)支臂以及多個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接 合器。任兩相鄰的支臂由該些90度限制旋轉(zhuǎn)接合器之的其中一者連接，而使每一該些連接 器可由一折疊狀態(tài)伸張為一直條狀態(tài)。在此實(shí)施例中，每一該些連接器包含多條金屬線，且 每一該些金屬線連接該些支臂的其中一者以及與該支臂接合的一 90度限制旋轉(zhuǎn)接合器。 再者，每一該些90度限制旋轉(zhuǎn)接合器包含一本體以及一第一卡鉤。本體具有一第一凹穴用 以接合至該些支臂的其中一者。第一卡鉤自該本體延伸出，且用以連接另一支臂。此外，每 一該些支臂包含具有一第二凹穴的一端，用以容置該第一卡鉤；以及具有一第二卡鉤的另 一端，其延伸入該些第一凹穴的其中一者。
根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一中心部、至少六連接器以及 至少六環(huán)繞部。該些六連接器連接于該中心部，且每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張至 一擴(kuò)張狀態(tài)。該些六環(huán)繞部與該中心部分離配置，且該些環(huán)繞部經(jīng)由各自的連接器連接至 該中心部。當(dāng)該些連接器在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，該中心部與該些環(huán)繞部之間存在的一最小距離 至少為在該初始狀態(tài)時(shí)該中心部與該些環(huán)繞部間的一最小距離的1.1倍。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，該些六個(gè)環(huán)繞部實(shí)質(zhì)上配置在同一平面，且在該擴(kuò)張狀態(tài) 時(shí)，兩相鄰的連接器之間形成一夾角為約60度。
根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施方式，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)、一支撐柱圍 繞該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)、以及多個(gè)第三連接器。該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)包含多個(gè)裝置部以及多個(gè)第一 連接器。每一該些裝置部具有一半導(dǎo)體組件，且任兩相鄰的裝置部之間以其中一該些第一 連接器連接，以形成該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)。該支撐柱包含復(fù)數(shù)第二連接器以及復(fù)數(shù)節(jié)點(diǎn)。任兩 相鄰的節(jié)點(diǎn)通過其中一該些第二連接器連接，而形成一封閉環(huán)圍繞該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)。每一 該些第三連接器連接該支撐柱中的其中一節(jié)點(diǎn)以及位于該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的一周邊的該些 裝置部的其中一者。再者，每一該些第一、第二及第三連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張 狀態(tài)，使得在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)存在于任兩相鄰裝置部間的一間距至少為在該初始狀態(tài)時(shí)該兩 相鄰裝置部間的一間距的1.1倍。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，當(dāng)每一該些第一、第二及第三連接器處于該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，每 一該些第三連接器對(duì)該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的該周邊施予一張力。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，至少一該些第二連接器具有一長(zhǎng)度，其不同于另一第二連接器的一長(zhǎng)度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些第二連接器之一寬度不同于每一該些第一連接器 的一寬度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，至少一該些第三連接器具有一長(zhǎng)度，其不同于另一第三連 接器的一長(zhǎng)度。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些第三連接器的一寬度不同于每一該些第一連接 器的一寬度。
根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)、多個(gè)拉伸墊 以及多條拉伸線。網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)包含可伸張的多個(gè)連接器以及多個(gè)裝置部。每一該些連接 器可被展開。每一該些裝置部具有一半導(dǎo)體組件。任兩相鄰的裝置部之間以其中一該些連 接器連接，以形成該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)，其中通過伸張每一該些連接器，該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)可由一 初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)兩相鄰裝置部之間的最小距離至少為在該 初始狀態(tài)時(shí)該兩相鄰的裝置部之間的最小距離的1.1倍。該些拉伸墊用以展開該網(wǎng)狀裝置 結(jié)構(gòu)，且配置在該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的外圍。每一該些拉伸線連接該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)與該些拉伸 墊的其中一者。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些拉伸墊只連接單一裝置部。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，每一該些拉伸墊具有一最大尺寸，其不同于每一該些裝置 部的一最大尺寸。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，現(xiàn)附圖式說明 如下
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圖1A為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意圖。 IB為圖1A的中心部的放大圖。IC為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。 2A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意2B為圖2A的中心部的放大圖。3A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意3B為圖3A的中心部的放大圖。3C為可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。4A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意4B為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器在初始狀態(tài)的放大圖。4C-4D為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器的剖面示意圖。4E為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器的上視示意圖。4F為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器的另一種配置的上視示意圖。4G為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器的另一種配置的上視示意圖。
圖5A為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器在初始狀態(tài)的上視示意圖。
圖5B為圖5A的連接器在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。
圖6為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的形成在基材上的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的配置上視 示意圖。
圖7為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的拉伸力作用于可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)周邊上視示意 圖。
圖8A-8C分別為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。
圖9為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的裝置部之間的電性連接方式。
圖1OA為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意圖。
圖1OB為圖1OA的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。
圖1OC為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的支撐柱在初始狀態(tài)的上視示意圖。
圖1OD為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的支撐柱在初始狀態(tài)的上視示意圖。
圖11為根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在初始狀態(tài)的上視示意 圖。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明公開內(nèi)容的敘述更加詳盡與完備，下文針對(duì)了本發(fā)明的實(shí)施態(tài)樣與 具體實(shí)施例提出了說明性的描述；但這并非實(shí)施或運(yùn)用本發(fā)明具體實(shí)施例的唯一形式。以 下所提供的各實(shí)施例，在有益的情形下可相互組合或取代，也可在一實(shí)施例中附加其它的 實(shí)施例，而無須進(jìn)一步的記載或說明。
在以下描述中，將詳細(xì)敘述許多特定細(xì)節(jié)以使讀者能夠充分理解以下的實(shí)施例。 然而，可在無此等特定細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐本發(fā)明的實(shí)施例。在其它情況下，為簡(jiǎn)化附圖，熟 知的結(jié)構(gòu)與裝置僅示意性地繪示于圖中。
在此提供一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其可由一初始狀態(tài)伸張為一擴(kuò)張狀態(tài)。此種可 伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含多個(gè)裝置部以及多個(gè)連接器。任兩相鄰的裝置部經(jīng)由其中一個(gè)連接器 而被連接在一起，并因此形成“可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)”。當(dāng)一外力或張力施加在這些連接器時(shí)， 這些連接器可被伸張而展開。因此，當(dāng)這些連接器被伸張展開時(shí)，兩個(gè)相鄰的裝置部之間的 距離將會(huì)增加。因此，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)由初始狀態(tài)被伸張延展成為擴(kuò)張狀態(tài)。
以下，將配合附圖詳述諸多示范性的實(shí)施方式。
圖1為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100處于初始狀態(tài)時(shí)的上視 示意圖?？缮鞆埖木W(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100包含中心部110、六個(gè)環(huán)繞部120a-120f以及六個(gè)連接器 130a-130f。圖1B為中心部110的放大圖。
六個(gè)環(huán)繞部120a_120f以圍繞中心部110的方式配置，且與中心部110間隔一距 離。中心部110以及每一個(gè)環(huán)繞部120a-120f分別包括諸如晶體管、發(fā)光二極管、邏輯電路 或感測(cè)裝置等的半導(dǎo)體組件。環(huán)繞部的形狀可與中心部110相同或不同。在此實(shí)施方式中， 此些環(huán)繞部120a-120f的形狀與中心部110相同。在一實(shí)施例中，環(huán)繞部120a_120f以及 中心部110位于同一平面上。
環(huán)繞部120a_120f分別經(jīng)由六連接器130a_130f中的其中一個(gè)而連接或耦接中心部110。具體而言，連接器130a-130f各自分別連接至環(huán)繞部120a-120f。每一連接器 130a-130f包含一導(dǎo)電材料而讓每一環(huán)繞部120a-120f電性連接中心部110。更明確地說， 每一連接器130a-130f中可形成一層或多層金屬層，因此電信號(hào)或電功率可在中心部110 以及環(huán)繞部之間傳遞。在應(yīng)用多層金屬層的例子中，在這些金屬層中可配置一或多個(gè)絕緣 層。在許多實(shí)施例中，連接器130a-130f的高度或?qū)挾葹槟蚊椎燃?jí)或微米等級(jí)。
如圖1A所示，在初始狀態(tài)時(shí)，連接器130a_130f在中心部110與環(huán)繞部120a-120f 之間的空間中纏繞和/或蜿蜒。當(dāng)一外力施加在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100時(shí)，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100可被伸張或 展開，因此可將中心部與環(huán)繞部120a-120f之間的間距擴(kuò)大。因此，將網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100轉(zhuǎn)變成 為一擴(kuò)張狀態(tài)，如圖1C所示。每一連接器130a-130f被伸展成為大致上直線的狀態(tài)，所以 兩裝置部(即中心部與環(huán)繞部)之間的距離增加。處于擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，中心部的中心Cl與環(huán) 繞部的中心C2之間的距離d2增加，且至少為初始狀態(tài)時(shí)中心Cl與中心C2之間距離dl的1.1倍。在諸多實(shí)施例中，距離d2至少為距離dl的2倍、5倍或10倍。上述之“中心”可例 如為幾何中心、質(zhì)量中心或?qū)ΨQ中心。根據(jù)本發(fā)明的另一樣態(tài)，擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)中心部110與環(huán) 繞部120a-120f之間存在的最小距離d4至少為初始狀態(tài)下中心部110與環(huán)繞部120a-120f 之間存在的最小距離d3的1.1倍。在諸多實(shí)施例中，距離d4為距離d3的2倍、5倍或10 倍。
在本實(shí)施方式中，中心部110以及每一環(huán)繞部120a_120f分別包括一本體112以 及由本體112延伸出的六個(gè)瓣形部114，如圖1B所示。至少一個(gè)瓣形部114具有一直線邊 緣114a以及一曲線邊緣114b。具體而言，每一瓣形部114具有相似的外觀輪廓，且由直線 邊緣114a以及曲線邊緣114b構(gòu)成。連接器130a-130f連接至本體112的接合點(diǎn)P1-P6。 在本實(shí)施方式中，中心Cl與接合點(diǎn)P1-P6之間的距離為等距，且所有六連接器為相等長(zhǎng)度。
在一實(shí)施例中，每一裝置部以及每一連接器是形成在一基材(例如晶圓)上的一 共同材料層的一部分。具體而言，裝置部以及連接器可包含至少一導(dǎo)電層、氧化硅層及氮化 娃層。
圖2A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100在初始狀態(tài)的上視示 意圖?？缮鞆埖木W(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100包括一中心部110、六個(gè)環(huán)繞部120a-120f以及六個(gè)連接器 130a-130f。圖2B為中心部110的放大圖。圖2A示出的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100是以類似于圖1A的 方式配置構(gòu)成。
在本實(shí)施方式中，每一環(huán)繞部120a_120f的形狀與中心部110相同。再者，每一裝 置部包括一本體112以及六個(gè)瓣形部114。本體112大致為圓形，且每一瓣形部114具有一 直線邊緣114a以及一弧線邊緣114c。每一瓣形部114的面積大于本體112的面積。然而， 在其它實(shí)施例中，瓣形部114的面積可小于本體112的面積。一或多個(gè)半導(dǎo)體組件可配置在 瓣形部114和/或本體112上。連接器130a-130f分別由本體112延伸出，然后沿著弧線 邊緣114c并穿過中心部114與環(huán)繞部120a-120f之間的空間而連接至環(huán)繞部120a_120f。 每一連接器130a-130f的結(jié)構(gòu)可與上述的實(shí)施方式相類似。
圖3A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100在初始狀態(tài)的上視示 意圖。可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100包括一中心部110、六個(gè)環(huán)繞部120a-120f以及六個(gè)連接器 130a-130f。圖3B為中心部110的放大圖。圖3C示出擴(kuò)張狀態(tài)下的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100。
在本實(shí)施方式中，每一個(gè)環(huán)繞部120a_120f的形狀與中心部110相同。每一個(gè)裝置部包括一本體和三對(duì)的瓣形部1141、1142、1143，如圖3B所示。每一對(duì)瓣形部是相對(duì)于幾何中心C而對(duì)稱。在一實(shí)施例中，至少一對(duì)的瓣形部，例如瓣形部1141，具有一直線邊緣 1141a以及一曲線邊緣1141b。然而，在其它實(shí)施例中，所有的瓣形部對(duì)1141、1142、1143都是由曲線邊緣所組成。請(qǐng)注意，雖然圖3B示出的裝置部(亦即、中心部或環(huán)繞部)的形狀是對(duì)稱的，但是裝置部也可以是非對(duì)稱的形狀。
中心部110具有六個(gè)接合點(diǎn)P1-P6，用以分別連接至連接器130a_130f，如圖3B所示。中心C與第一接合點(diǎn)Pl之間的距離dl大于中心C與第二接合點(diǎn)P2之間的距離d2。 再者，距離d2大于中心C與第三接合點(diǎn)P3之間的距離d3。第一、第二及第三接合點(diǎn)P1、 P2、P3分別連接連接器130e、130f、130a。為了使擴(kuò)張狀態(tài)下任兩相鄰裝置部的中心之間的的距離相等，連接器130a的長(zhǎng)度大于連接器130f的長(zhǎng)度，且連接器130f的長(zhǎng)度大于連接器130e的長(zhǎng)度。因此，即使其中一連接器130a-130f的長(zhǎng)度不同于另一連接器的長(zhǎng)度，擴(kuò)張狀態(tài)下的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100仍然具有規(guī)則性的排列構(gòu)形。在一實(shí)施例中，任意兩相鄰裝置部中心之間的距離可保持為定值，即使其中一個(gè)連接器130a-130f的長(zhǎng)度不同于另一個(gè)連接器的長(zhǎng)度。
圖4A為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100在初始狀態(tài)的上視示意圖。圖4B為連接器130a-130f的放大圖。圖4A示出的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100是以類似于上述實(shí)施方式的型態(tài)構(gòu)成。中心部110大致為圓形，且其中配置有半導(dǎo)體組件。由中心部110延伸出的六個(gè)連接器130a-130f纏繞中心部110，然后再分別連接至環(huán)繞部120a_120f。連接器纏繞中心部110的圈數(shù)或長(zhǎng)度可被調(diào)整，以符合擴(kuò)張狀態(tài)下所欲達(dá)成的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。在一實(shí)施例中，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100更包含多個(gè)橋接部140，用以在初始狀態(tài)時(shí)將連接器 130a-130f連結(jié)在一起。每一橋接部橋接兩個(gè)連接器。當(dāng)連接器因網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)100伸張而受到拉伸時(shí)，橋接部140將會(huì)斷裂。橋接部140的機(jī)械強(qiáng)度低于連接器的機(jī)械強(qiáng)度，因此橋接部 140是比較容易斷開的。在一實(shí)施例中，每一橋接部140的寬度小于每一連接器130a-130f 的寬度。在另一實(shí)施例中，是將每一橋接部140構(gòu)形為曲線輪廓，其具有較小的曲率半徑或者具有尖銳的轉(zhuǎn)折角作為應(yīng)力集中點(diǎn)。橋接部140也可配置來橋接中心部110與其中一個(gè)連接器130a-130f。本發(fā)明上述的任何實(shí)施方式都可包含所述的橋接部140。
圖4C為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器130a_130f的剖面示意圖。連接器包含一基材131、多個(gè)介電層133以及多個(gè)金屬層132?；?31可例如為娃晶圓的一部分。介電層133可包含例如氧化硅、氮化硅或其類似物等材料。金屬層132可包含銅、鋁、銀或金等材料。在一實(shí)施例中，兩相鄰的金屬層132之間配置有介電層133。在另一實(shí)施例中，一金屬層可經(jīng)由圖4D示出的連通孔134而電性連接另一金屬層。在某些實(shí)施例中，如圖4E 連接器的上視示意圖所示，連接器中可形成有多個(gè)導(dǎo)電線路135、136、137。每一導(dǎo)電線路 135、136、137可具有不同的形狀、尺寸或材料。在其它實(shí)施例中，如圖4D所示的每一連接器 130的高度H可不同于中心部的高度。在諸多實(shí)施例中，如圖4E所示連接器的寬度W約為 IOnm至約50 μ m,且連接器的高度H為約I μ m至約500 μ m。
連接器可具有與上述實(shí)施方式不同的型態(tài)。在一實(shí)施方式中，連接器可在任何兩個(gè)裝置部之間的位置上卷曲纏繞，如圖4F所示。具體而言，連接器130a可具有一卷曲部 138，其自身相互纏繞數(shù)次而沒有纏繞任何的裝置部。請(qǐng)注意，每一連接器可由一或多個(gè)次連接器 所構(gòu)成。在一實(shí)施例中，連接器130a是由兩個(gè)次連接器130al、130a2所構(gòu)成。這兩個(gè)次連接器130al、130a2大致彼此平行。連接器并非一定要以完整的圓形型態(tài)卷曲纏繞。 舉例而言，連接器可在兩裝置部之間蜿蜒。
在另一實(shí)施方式中，連接器可纏繞某些裝置部，但其它的裝置部則未被任何連接器纏繞，如圖4G所示。具體而言，連接器130a、130d實(shí)質(zhì)上纏繞中心部110，但并未纏繞環(huán)繞部120a、120d。在本實(shí)施方式中，每一連接器130a、130d可由一或多個(gè)次連接器所構(gòu)成。在諸多實(shí)施例中，連接器130a，130d可分別包含次連接器130al、130a2以及次連接器130dl、 130d2。在其它實(shí)施例中，一連接器中約三分之一的長(zhǎng)度纏繞一個(gè)裝置部，而此連接器另外三分之二的長(zhǎng)度纏繞另一個(gè)相鄰的裝置部(未在圖4G中示出)。另外，連接器還可具有與上述實(shí)施方式完全不同的型態(tài)。圖5A系繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的連接器130在初始狀態(tài)的上視示意圖。圖5B為連接器130在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。連接器130包含多個(gè)支臂140以及多個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器150。任意兩相鄰支臂140是以其中一個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器150來連結(jié)，并使連接器130具有可伸展性。每一個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器 150包含一本體152以及一第一^^鉤156。接合器150的本體152具有一第一凹穴154用以連接支臂140。再者，第一卡鉤156由本體152延伸出，且用以連接到另一支臂。每一支臂140包含端部147，且端部147具有延伸進(jìn)入第一凹穴154的第二卡鉤148。支臂140還包含一相對(duì)端部144，其具有一第二凹穴146用以容納另一個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器的第一卡鉤。
當(dāng)施加一拉力將連接器130伸張或解開時(shí)，連接器130由圖5A示出的折疊狀態(tài)展開成為圖5B示出的直條狀態(tài)。具體而言，第一及第二卡鉤156、148可分別在第二及第一凹穴146、154中旋轉(zhuǎn)。因此，每一支臂140以及接合器150可以相對(duì)旋轉(zhuǎn)，而讓連接器130 具有可伸張的功能。
在一實(shí)施例中，連接器130還包含多條金屬線160，且每一金屬線160連接一支臂 140以及與該支臂相鄰的一個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器150。連接器130可通過這些金屬線 160而提供兩裝置部之間的電性連接。具體而言，每一支臂140以及每一個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器150包含一導(dǎo)電材料或?qū)?。?qǐng)參見圖5A，A點(diǎn)可經(jīng)由金屬線160電性連接B點(diǎn)，然后 B點(diǎn)經(jīng)由形成在支臂140中的導(dǎo)電材料電性連接C點(diǎn)。再者，C點(diǎn)經(jīng)由另一金屬線電性連接D點(diǎn)。以上述方式，雖然連接器130包括數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，兩裝置部之間仍然可經(jīng)由連接器 130而彼此電性連接。
圖6為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的形成在基材200上的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210的上視示意圖?；?00可例如為硅晶圓，在初始狀態(tài)下的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210形成在硅晶圓上。網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210的區(qū)域可如圖6示出的六邊形或四邊形，或者為其它形狀。
可應(yīng)用制造微機(jī)電系統(tǒng)(MENS)的諸多制程方法在基材200上形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu) 210。舉例而言，可采用深式反應(yīng)離子蝕刻(DRIE)來定義(形成)裝置部以及連接器， 然后再將網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210從基材中擷取出。在另一實(shí)施例中，基材200可為絕緣層上覆硅 (silicon-on-1nsulator, SOI)的晶圓，因此可在SOI晶圓上形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210。
可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210區(qū)域以外的面積可被移除，如圖7所示。可對(duì)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210 的一部分或全部周邊施加一拉力，而將形成在網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)210中的連接器伸張或解開。因此， 可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)可由初始狀態(tài)伸張為擴(kuò)張狀態(tài)。
圖8A為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)在擴(kuò)張狀態(tài)的上視示意圖。在本實(shí)施例中，中心部110經(jīng)由六個(gè)連接器130而連接于六個(gè)環(huán)繞部120。在擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，兩相鄰連接器130之間形成的夾角為約60度。雖然上述實(shí)施方式中，環(huán)繞部的數(shù)量示范性地以六個(gè)表示，但是，環(huán)繞部的數(shù)量并不限于六個(gè)。圖8B為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的上視示意圖，其中是以三個(gè)環(huán)繞部圍繞一中心部的方式配置。在本實(shí)施方式中，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一中心部110、三個(gè)環(huán)繞部120以及三個(gè)連接器130。中心部110以及每一個(gè)環(huán)繞部120分別包含一半導(dǎo)體裝置。再者，每一個(gè)環(huán)繞部120經(jīng)由其中一個(gè)連接器130而連接至中心部110。中心部110具有一第一中心，而每一環(huán)繞部120具有一第二中心。連接器130可由初始狀態(tài)伸張為擴(kuò)張狀態(tài)，使得擴(kuò)張狀態(tài)下第一中心與其中一第二中心之間的距離至少為初始狀態(tài)下第一中心與第二中心之間距離的1.1倍。在一實(shí)施例中，至少一連接器130的長(zhǎng)度不同于另一連接器的長(zhǎng)度。在其它實(shí)施例中，當(dāng)處于擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，形成在兩相鄰連接器130之間的夾角為約120度。在某些實(shí)施例中，一或多個(gè)裝置部120可被“節(jié)點(diǎn)”取代，所謂“節(jié)點(diǎn)”是指其中并不包含任何的半導(dǎo)體組件。因此，一個(gè)中心部110僅連接一個(gè)或兩個(gè)環(huán)繞部130仍是有可能的。在另一實(shí)施方式中，一個(gè)中心部可連接四個(gè)環(huán)繞部，如圖8C所示。在本實(shí)施方式中，在擴(kuò)張狀態(tài)下，相鄰兩連接器之間形成的夾角為約90度。值得注意的是，圖8A至圖SC所示出的實(shí)施方式可同時(shí)實(shí)現(xiàn)在單一個(gè)可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)中。舉例而言，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)包含一第一區(qū)域以及一第二區(qū)域。在第一區(qū)域中，每一中心部可連接六連接器。在第二區(qū)域中，每一中心部可連接三或四個(gè)連接器。因此，在一區(qū)域中的每一個(gè)裝置部持有的連 接器數(shù)量不同于另一個(gè)區(qū)域。圖9為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的裝置部之間的電性連接方式。在本實(shí)施方式，每一裝置部連接六連接器，例如連接器130a-130f。具體而言，提供兩連接器130b、130c予裝置部110用以接收電信號(hào)，并另外提供兩連接器130e、130f予裝置部110來輸出電信號(hào)。裝置部120b可經(jīng)由連接器130b、130f，或者經(jīng)由連接器130g、130h而電性連接裝置部120f。因此，當(dāng)一個(gè)連接器斷裂時(shí)，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)是可能自動(dòng)地重整的(automaticallyreconfigured),而能保有預(yù)設(shè)的功能。再者,其它兩個(gè)連接器130a、130d可用以傳遞其它特定應(yīng)用的信號(hào)。或者，連接器130a、130d可用以形成并聯(lián)的電路連接。圖1OA示出根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300在初始狀態(tài)的上視示意圖。圖1OB為擴(kuò)張狀態(tài)下的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300示意圖。請(qǐng)同時(shí)參見圖1OA以及圖10B，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300中包括一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310。網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310包括多個(gè)裝置部312以及多個(gè)第一連接器314。任兩相鄰裝置部312之間通過其中一個(gè)第一連接器而電性連接，并因此形成網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310。可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300還包括一支撐柱320，其環(huán)繞網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310。支撐柱320包含多個(gè)第二連接器322以及多個(gè)節(jié)點(diǎn)324。以一第二連接器322實(shí)體連接任意兩相鄰節(jié)點(diǎn)324。支撐柱320形成一個(gè)圍繞網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310的封閉環(huán)。在一實(shí)施例中，至少一第二連接器322的長(zhǎng)度L不同于另一個(gè)第二連接器322的長(zhǎng)度。具體地，當(dāng)可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300處在擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，兩個(gè)相鄰的第二連接器322之間形成一個(gè)介于O度至90度之間的角度Θ。因此，兩個(gè)相鄰的第二連接器322可設(shè)計(jì)為彼此不同的長(zhǎng)度。在另一實(shí)施例中，為了增加支撐柱320的機(jī)械強(qiáng)度，每一個(gè)第二連接器322可由相互平行的二或多個(gè)次連接器所構(gòu)成。在又一實(shí)施例中，每一個(gè)第二連接器322的寬度W不同于每一個(gè)第一連接器314的寬度。再者，可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300包括多個(gè)第三連接器330，配置在支撐柱320與網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310之間。每一個(gè)第三連接器330連接支撐柱320的節(jié)點(diǎn)324以及位于網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310周邊的裝置部312。在本實(shí)施方式中，每一個(gè)周邊的裝置部312( “周邊的裝置部”是指位在網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310的最外側(cè)邊緣的裝置部)總共連接五個(gè)連接器(亦即一個(gè)連接器330以及四個(gè)連接器314)。其它位于網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310內(nèi)部的裝置部各自連接有六個(gè)連接器314。換言之，每一個(gè)周邊的裝置部所持有的連接器數(shù)量是不同于其它位在網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310內(nèi)部的裝置部所持有的連接器數(shù)量。在另一實(shí)施例中，周邊的裝置部312的外觀形狀與位在網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310內(nèi)部的其余裝置部的外觀形狀不同。第一、第二以及第三連接器314、322、330可為前文中所述的任何連接器。每一個(gè)第一、第二及第三連接器314、322、330可由初始狀態(tài)伸張為擴(kuò)張狀態(tài)，使得擴(kuò)張狀態(tài)下兩相鄰裝置部312之間存在的間距至少為初始狀態(tài)時(shí)此兩裝置部之間存在的間距的1.1倍。當(dāng)可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300在擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，第三連接器330對(duì)網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310的周邊施加一張力，因此讓網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310中的裝置部312位在所設(shè)定的位置上。為了此目的，至少一第三連接器330的長(zhǎng)度不同于另一個(gè)第三連接器330的長(zhǎng)度。舉例而言，兩相鄰的第三連接器330可設(shè)計(jì)為彼此不同的兩長(zhǎng)度，如圖1OB所示。在一實(shí)施例中，每一個(gè)第三連接器330的寬度不同于每一個(gè)第一連接器314的寬度。圖1OC為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的支撐柱在初始狀態(tài)的上視示意圖。類似地，支撐柱320包含復(fù)數(shù)第二連接器322以及復(fù)數(shù)節(jié)點(diǎn)324。每一個(gè)第二連接器322在兩相鄰的節(jié)點(diǎn)324之間蜿蜒，因此第二連接器322的長(zhǎng)度是比兩相鄰的節(jié)點(diǎn)324之間的直線距離更長(zhǎng)。每一個(gè)第二連接器322可包含二或多個(gè)次連接器，如圖1OD所示。具體地說，每一個(gè)第二連接器322是由兩個(gè)次連接器322a、322b所構(gòu)成。圖11為根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300在初始狀態(tài)的上視示意圖?？缮鞆埖木W(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300包含一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310、多個(gè)拉伸墊350以及多條拉伸線360。網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310的結(jié)構(gòu)可與上述圖10A-10D中所述的結(jié)構(gòu)相似。拉伸墊350配置在網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310的周邊外圍，且拉伸墊350是設(shè)計(jì)以展開網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310。每一拉伸線360連接其中一個(gè)拉伸墊350與網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)310。在一實(shí)施方式中，每一拉伸墊350僅經(jīng)由單一拉伸線360連接于單一個(gè)周邊的裝置部312。拉伸線360可具有與第一連接器314相同或不同的結(jié)構(gòu)。在一實(shí)施例中，拉伸線360的機(jī)械強(qiáng)度不同于第一連接器314的機(jī)械強(qiáng)度。在另一實(shí)施方式中，拉伸墊350的數(shù)量少于周邊的裝置部312的數(shù)量。在此情況下，一部分的周邊的裝置部312并不經(jīng)由拉伸線360連接至拉伸墊350。在又一實(shí)施方式中，每一拉伸墊350的最大尺寸不同于每一裝置部312的最大尺寸。具體而言，每一拉伸墊350包括一第一部351、一第二部352以及橋接第一部及第二部之一頸部353。頸部353可具有如圖11所示的直條狀形狀。然而，在某些實(shí)施例中，頸部353可類似于前文所述的連接器一般卷曲纏繞或蜿蜒。第一部及第二部351、352可用以粘貼至一對(duì)象或機(jī)具上，而將可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)300展開。請(qǐng)注意，雖然圖11所示的拉伸墊350的形狀與裝置部的形狀不同，但是每一拉伸墊350的形狀可與裝置部312的形狀大致上相同。雖然本發(fā)明已以實(shí)施方式揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視本申 請(qǐng)的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，包含一第一裝置部以及一第二裝置部，分別具有一第一中心以及一第二中心，且每一該第一及第二裝置部包含一半導(dǎo)體組件；以及至少三連接器，連接至該第一裝置部，其中該第二裝置部經(jīng)由該些三連接器的其中之一電性連接該第一裝置部；其中，每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)下的該第一與該第二中心間的一第一距離至少為在該初始狀態(tài)下的該第一與該第二中心間的一第二距離的1.1倍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中該第一及該第二中心為幾何中心、質(zhì)量中心或?qū)ΨQ中心。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些裝置部以及每一該些連接器是形成在一基材上的一共同材料層的一部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中該些三連接器實(shí)質(zhì)上配置在同一平面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中在擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，任兩相鄰的連接器之間形成一夾角約120度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中該第一及第二裝置部具有相同的形狀。
7.—種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),包含一中心部，具有一第一中心；至少三環(huán)繞部，配置在中心部的周圍，每一該些環(huán)繞部具有一第二中心，其中該中心部以及每一該些環(huán)繞部分別包含一半導(dǎo)體裝置；以及至少三連接器，其中每一該些環(huán)繞部經(jīng)由該些連接器的其中之一連接至該中心部；其中每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)下的該第一中心與其中一該些第二中心之間之一第一距離至少為在該初始狀態(tài)下的該第一中心與該第二中心之間的一第二距離的1.1倍。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，還包含一第四環(huán)繞部；以及一第四連接器，連接該第四環(huán)繞部及該中心部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中全部連接器實(shí)質(zhì)上配置在同一平面上，且在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，任兩相鄰的連接器之間形成一夾角為約90度。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)每一該些連接器處于該初始狀態(tài)時(shí)，每一該些連接器纏繞該中心部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，還包含多個(gè)橋接部，其中每一該些橋接部橋接該中心部以及該些連接器的其中之一。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，還包含多個(gè)橋接部，其中每一該些橋接部橋接該些連接器的其中之二。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些環(huán)繞部具有相同于該中心部的一形狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，該中心部以及每一該些環(huán)繞部各別具有一圓形形狀。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中該中心部以及每一該些環(huán)繞部分別包含一本體；以及多個(gè)瓣形部，由該本體延伸出。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的可伸張之的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些瓣形部包含一直線的邊緣以及一曲線的邊緣。
17.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些連接器的一高度不同于該中心部的一高度。
18.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些三連接器的一長(zhǎng)度不同于該些三連接器中的另一連接器。
19.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中全部該些三連接器具有一相同的長(zhǎng)度。
20.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些連接器包含多個(gè)支臂以及多個(gè)90度限制旋轉(zhuǎn)接合器，且其中任兩相鄰的支臂由該些90度限制旋轉(zhuǎn)接合器的其中之一連接，而使每一該些連接器為可伸張。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，還包含多條金屬線，其中每一該些金屬線連接該些支臂的其中之一以及與該支臂接合的一 90度限制旋轉(zhuǎn)接合器。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些90度限制旋轉(zhuǎn)接合器包含一本體，具有一第一凹穴用以接合至該些支臂的其中之一；以及一第一^^鉤，自該本體延伸出，且用以連接該些支臂中的另一支臂。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些支臂包含具有一第二凹穴的一端，該第二凹穴用以容置該第一卡鉤；以及具有一第二卡鉤的另一端，該第二卡鉤延伸入該些第一凹穴的其中之一。
24.—種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，包含一中心部；至少六連接器，連接于該中心部，其中每一該些連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)；以及至少六環(huán)繞部，與該中心部分離配置，其中該些環(huán)繞部經(jīng)由各自的連接器連接至該中心部，且其中該中心部以及每一該些環(huán)繞部分別包含一半導(dǎo)體裝置；其中，在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，存在于該中心部與該些環(huán)繞部間的一最小距離至少為在該初始狀態(tài)時(shí)該中心部與該些環(huán)繞部間的一最小距離的1.1倍。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中該些六個(gè)環(huán)繞部實(shí)質(zhì)上配置在同一平面，且在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，兩相鄰的連接器之間形成一夾角為約60度。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些連接器包含一金屬層。
27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些環(huán)繞部具有與該中心部相同的形狀。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些環(huán)繞部以及該中心部分別包含一本體；以及六瓣形部，由該本體延伸出。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些瓣形部包含一直線邊緣以及一曲線邊緣。
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些瓣形部包含一曲線的邊緣。
31.根據(jù)權(quán)利要求24所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些連接器的一高度不同于該些連接器中的另一連接器的一高度。
32.根據(jù)權(quán)利要求24所述之的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中全部該些六連接器具有一相同的長(zhǎng)度。
33.一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，包含一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)，包含多個(gè)裝置部以及多個(gè)第一連接器，每一該些裝置部具有一半導(dǎo)體組件，且任兩相鄰的裝置部之間以其中一該些第一連接器連接，以形成該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)；一支撐柱，包含多個(gè)第二連接器以及多個(gè)節(jié)點(diǎn)，其中任兩相鄰的節(jié)點(diǎn)通過其中一該些第二連接器連接，且形成一封閉環(huán)圍繞該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)；以及多個(gè)第三連接器，每一該些第三連接器連接該些節(jié)點(diǎn)的其中之一以及位于該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的一周邊的該些裝置部的其中之一；其中每一該些第一、第二及第三連接器可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使得在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)存在于任兩相鄰裝置部間的一間距至少為在該初始狀態(tài)時(shí)該兩相鄰裝置部間的一間距的1.1倍。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)每一該些第一、第二及第三連接器處于該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)，每一該些第三連接器對(duì)該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的該周邊施予一張力。
35.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些第二連接器具有一長(zhǎng)度，其不同于另一第二連接器的一長(zhǎng)度。
36.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些第二連接器的一寬度不同于每一該些第一連接器的一寬度。
37.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中至少一該些第三連接器具有一長(zhǎng)度，其不同于另一第三連接器的一長(zhǎng)度。
38.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些第三連接器的一寬度不同于每一該些第一連接器的一寬度。
39.根據(jù)權(quán)利要求33所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中位于該周邊上的每一該些裝置部連接第一數(shù)量的第一及第三連接器，且不位于該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的該周邊上的每一該些裝置部連接第二數(shù)量的第一連接器，其中該第一數(shù)量不同于該第二數(shù)量。
40.一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，包含一網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)，包含可伸張的多個(gè)連接器；以及多個(gè)裝置部，每一該些裝置部具有一半導(dǎo)體組件，且任兩相鄰的裝置部之間以其中一該些連接器連接，以形成該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)，其中通過伸張每一該些連接器，該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)可由一初始狀態(tài)伸張至一擴(kuò)張狀態(tài)，使在該擴(kuò)張狀態(tài)時(shí)存在于兩相鄰裝置部之間的最小距離至少為在該初始狀態(tài)時(shí)該兩相鄰的裝置部之間的最小距離的1.1倍；多個(gè)拉伸墊，用以伸張?jiān)摼W(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)，其中該些拉伸墊配置在該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的外圍；以及多個(gè)拉伸線，每一該些拉伸線連接該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)與該些拉伸墊的其中之一。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些拉伸墊只連接單一裝置部。
42.根據(jù)權(quán)利要求40所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些拉伸墊具有一最大尺寸，其不同于每一該些裝置部的一最大尺寸。
43.根據(jù)權(quán)利要求40所述的可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其中每一該些拉伸墊具有一形狀，其實(shí)質(zhì)上相同于該網(wǎng)狀裝置結(jié)構(gòu)的每一該些裝置部。
全文摘要
本發(fā)明公開一種可伸張的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，其包括第一裝置部、第二裝置部以及至少三個(gè)連接器。這三個(gè)連接器連接第一裝置部。第二裝置部經(jīng)由其中一個(gè)連接器電性連接第一裝置部。第一及第二裝置部分別具有第一及第二中心。每一連接器可由初始狀態(tài)伸張為擴(kuò)張狀態(tài)，使得在擴(kuò)張狀態(tài)下的第一與第二中心之間的距離至少為在初始狀態(tài)下第一與第二中心之間距離的1.1倍。
文檔編號(hào)H05K1/00GK103039128SQ201180023683
公開日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2011年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月12日
發(fā)明者黃凱文·T·Y 申請(qǐng)人:瑪納利斯半導(dǎo)體公司