專利名稱：將預(yù)定元件置于目標(biāo)平臺(tái)的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般而言涉及組裝技術(shù)，更具體地，本發(fā)明包括通過(guò)用各種探測(cè)技術(shù)把對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)合到元件上和把參考標(biāo)記結(jié)合到目標(biāo)平臺(tái)上而在目標(biāo)平臺(tái)上檢測(cè)和改進(jìn)元件放置準(zhǔn)確度的結(jié)構(gòu)和方法。
背景技術(shù)：
電子器件已經(jīng)發(fā)展多年了。隨著集成電路(IC)的復(fù)雜性和運(yùn)行速度增加，具有超過(guò)幾百或甚至一千的管腳數(shù)量的器件的數(shù)量不斷增加，這并不是不尋常的。例如，高速設(shè)計(jì) 需要更多的功率和接地管腳。這種差動(dòng)對(duì)正在代替器件的輸入和輸出管腳(I/o)處的單端信號(hào)，以滿足信號(hào)完整性要求。此外，隨著芯片上系統(tǒng)變成現(xiàn)實(shí)，越來(lái)越多的管腳被添加到器件I/o中以支持更多的功能?？傊?，這些管腳中的許多(如果不是所有的話)趨于增加封裝器件或元件中的管腳數(shù)量。隨著管腳數(shù)量的增加，器件的管腳間距趨于減少而限制封裝尺寸的增加。減少的管腳間距，特別是如果管腳間距小于O. 5mm,對(duì)將元件準(zhǔn)確地置于目標(biāo)平臺(tái)(諸如，印刷電路板(PCB))上的放置設(shè)備提出了挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)的表面安裝設(shè)備在目標(biāo)焊接區(qū)圖案的中心處使用直角坐標(biāo)作為參考點(diǎn)以將元件置于PCB上。沒(méi)有反饋來(lái)監(jiān)視元件放置的準(zhǔn)確度。沒(méi)有適當(dāng)?shù)姆答?，元件放置的?zhǔn)確度不確定。實(shí)際上，元件放置的準(zhǔn)確度受到封裝輪廓的缺陷、元件的觸點(diǎn)陣列離理想格柵位置的偏離、PCB封裝參考中的缺陷、放置設(shè)備的老化和內(nèi)在公差等的影響。隨著累積誤差接近觸點(diǎn)陣列的間距尺寸，將元件準(zhǔn)確地放置在PCB上是個(gè)很大的問(wèn)題。在表面安裝裝配線中不難碰到元件放置問(wèn)題，特別是放置細(xì)間距元件。例如，如果BGA元件不準(zhǔn)確地置于PCB上，則會(huì)引起B(yǎng)GA觸點(diǎn)陣列離理想的焊接區(qū)圖案位置偏移，導(dǎo)致焊接不足或焊料橋接到PCB上相鄰的墊。修正這些問(wèn)題的返工是乏味的和昂貴的。對(duì)于在高密度PCB上的高價(jià)高管腳數(shù)量元件的返工更加糟糕。而且，制造商經(jīng)常使用插座將高端高管腳數(shù)量的芯片容納在母板上。這使得用戶能夠在現(xiàn)場(chǎng)選擇正確的速度等級(jí)的元件或中執(zhí)行速度升級(jí)。然而，對(duì)用戶或制造商來(lái)說(shuō)，沒(méi)有簡(jiǎn)便的方法來(lái)監(jiān)視芯片是否正確地插在插座上或芯片是否與插座內(nèi)的插孔良好地接觸?？梢?jiàn)，需要用于檢測(cè)和改進(jìn)元件放置準(zhǔn)確度以及用于檢測(cè)接觸狀態(tài)的技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明一般而言涉及組裝技術(shù)，描述了在組裝中改進(jìn)元件放置的準(zhǔn)確度的對(duì)準(zhǔn)和探測(cè)技術(shù)。更具體地，本發(fā)明包括通過(guò)用各種探測(cè)技術(shù)把對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)合到元件上和把參考標(biāo)記結(jié)合到目標(biāo)平臺(tái)上而在目標(biāo)平臺(tái)上檢測(cè)和改進(jìn)元件放置準(zhǔn)確度的結(jié)構(gòu)和方法。組成陣列以形成多傳感器探頭的一組傳感器，能夠在組裝中檢測(cè)位移元件的偏離。僅僅通過(guò)示例的方式，將本發(fā)明應(yīng)用于將封裝器件置于用于電子系統(tǒng)制造的電子襯底上。但是應(yīng)認(rèn)識(shí)到本發(fā)明具有更寬的應(yīng)用范圍。在一個(gè)具體的實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種技術(shù)解決方案，用于IC或封裝器件，在IC或封裝器件上的預(yù)定的空間區(qū)域中具有一組一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。根據(jù)該實(shí)施例，封裝器件可以是封裝在諸如塑料(例如，環(huán)氧)、陶瓷(例如，二氧化鋁)或其它材料中的集成電路器件，封裝器件含有多個(gè)I/o觸點(diǎn)和多個(gè)連接到I/O觸點(diǎn)的焊墊。封裝器件可以是多IC堆疊器件、多封裝堆疊器件或多芯片載體。封裝器件還可以是層疊有各向異性傳導(dǎo)彈性體(ACE)膜作為用于外部連接的互連界面的集成電路器件，等等。該組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記監(jiān)視該封裝器件在目標(biāo)襯底或平臺(tái)上的放置，以判斷在器件上的多個(gè)外部連接是否精確地放置在諸如印刷電路板、母板、陶瓷板、裸管芯IC或其它封裝器件和元件的目標(biāo)襯底或平臺(tái)上的焊接區(qū)圖案處。如果封裝器件沒(méi)有精確地放置，則對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記還能夠用來(lái)獲得反饋以調(diào)節(jié)器件 位置的偏離。為了簡(jiǎn)便，IC和封裝器件稱為元件。在一個(gè)具體的實(shí)施例中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是在元件上的參考區(qū)域，外部探頭能夠使用該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記監(jiān)視在目標(biāo)平臺(tái)上的元件放置的精確度。結(jié)合在元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可以是在元件上作為直接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的從頂部到底部的連接表面區(qū)域的傳導(dǎo)路徑，或可以是作為間接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的在元件的底部處連接兩個(gè)表面區(qū)域的不同的傳導(dǎo)路徑。除了在元件內(nèi)作為傳導(dǎo)路徑，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記還可以是在元件上的簡(jiǎn)單表面標(biāo)記，這取決于所使用的探測(cè)方法。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的結(jié)構(gòu)可以是簡(jiǎn)單的幾何結(jié)構(gòu)或一組幾何結(jié)構(gòu)。對(duì)于元件上的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,參考標(biāo)記能夠添加到目標(biāo)平臺(tái)供元件放置參照。在一個(gè)具體實(shí)施例中，本發(fā)明提供用于諸如印刷電路板、母板、陶瓷板、裸管芯IC或其它封裝器件和元件目標(biāo)襯底或平臺(tái)的技術(shù)解決方案，通過(guò)在預(yù)定分區(qū)域處結(jié)合一組一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記，供元件放置參考。參考標(biāo)記能夠用傳導(dǎo)路徑連接到相同目標(biāo)平臺(tái)的其它參考標(biāo)記。其能夠連接到目標(biāo)平臺(tái)中的接地端，或其能夠簡(jiǎn)單地為在目標(biāo)平臺(tái)上的表面標(biāo)記，這取決于所使用的探測(cè)方法。在優(yōu)選的實(shí)施例中，本發(fā)明提供用于改進(jìn)元件放置精度的探頭技術(shù)解決方案。探頭可以是單傳感器探頭或可以是傳感器陣列。單傳感器探頭能夠檢測(cè)元件放置的精度和在目標(biāo)平臺(tái)上元件接觸條件的狀態(tài)。由傳感器陣列組成而變成多傳感器探頭的探頭，能夠通過(guò)將在元件上的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記的探頭位置而調(diào)節(jié)偏移元件的偏移。多傳感器探頭能夠檢測(cè)元件的偏移并且向放置設(shè)備反饋該信息以修正該位置偏離。盡管單對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記能夠修正元件偏移誤差，兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記能夠修正放置的方位誤差。探頭可以是電阻探頭、電容探頭、光學(xué)探頭或這些探頭的組合。電阻探頭用于開(kāi)/關(guān)測(cè)量，電容探頭用于測(cè)量傳感器表面和目標(biāo)參考之間重疊的相對(duì)區(qū)域，光學(xué)探頭用于測(cè)量來(lái)自目標(biāo)參考的反射。參考探頭是接觸探頭。電容探頭和光學(xué)探頭是非接觸探頭。多傳感器探頭上的有效傳感器的范圍能夠通過(guò)感測(cè)目標(biāo)參考標(biāo)記的尺寸而自動(dòng)確定。在一個(gè)具體的實(shí)施例中，本發(fā)明提供用于在各種探測(cè)技術(shù)下在目標(biāo)平臺(tái)上對(duì)準(zhǔn)元件的方法。本方法包括將包括一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的元件置于目標(biāo)平臺(tái)上的區(qū)域。目標(biāo)平臺(tái)上的區(qū)域含有目標(biāo)結(jié)構(gòu)和一組由探頭監(jiān)視的參考標(biāo)記，以判斷元件是否已經(jīng)精確地置于目標(biāo)結(jié)構(gòu)上。在PCB上，目標(biāo)結(jié)構(gòu)是元件焊接區(qū)圖案。對(duì)于在元件上的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記能夠包括在焊接區(qū)圖案上。在頂部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于在元件底部的觸點(diǎn)陣列的空間關(guān)系應(yīng)該匹配參考標(biāo)記相對(duì)于焊接區(qū)圖案上的觸點(diǎn)陣列的空間關(guān)系。該方法還包括在目標(biāo)圖案上對(duì)準(zhǔn)多傳感器探頭的方法，確定該組多傳感器的有效范圍，調(diào)節(jié)相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)探頭的元件位置。由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于有關(guān)觸點(diǎn)陣列的空間關(guān)系能夠在器件制造或元件封裝過(guò)程中精確地控制，所以能夠確保對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和器件或封裝上的觸點(diǎn)陣列之間固定的空間關(guān)系。這允許在物理輪廓上具有小傾斜度的封裝(傾斜封裝)或沿相鄰管芯之間的劃線沒(méi)有很好地中心切割的裸管芯還能夠用于組裝。這是因?yàn)樵诮M裝中，元件放置這時(shí)能夠依賴對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，而不是依靠封裝輪廓的幾何公差。在一個(gè)具體的實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種方法，能夠?qū)⑽锢砩喜缓弦?guī)格的器件或封裝安裝在PCB或目標(biāo)平臺(tái)上的相應(yīng)接觸區(qū)域。經(jīng)常在組裝中引起未對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題的物理上不合規(guī)格的器件將不再被拋棄。在器件的管芯切割中或在元件的封裝的模制中，更大的公差意味著更高的元件產(chǎn)率。通過(guò)本發(fā)明優(yōu)于傳統(tǒng)的技術(shù)的方式能夠獲得許多益處。本技術(shù)能夠容易地使用依 賴傳統(tǒng)技術(shù)的工藝。在一些實(shí)施例中，該方法提供了改進(jìn)產(chǎn)率、降低返工和提高放置精確度的手段。此外，該方法提供與傳統(tǒng)的工藝技術(shù)兼容的工藝，而沒(méi)有對(duì)傳統(tǒng)的設(shè)備和工藝進(jìn)行實(shí)質(zhì)上的修改。本發(fā)明對(duì)具有超細(xì)觸點(diǎn)間距和超過(guò)幾百或甚至一千的觸點(diǎn)的器件尤其有用。而且，本發(fā)明提供了一種方法，用于監(jiān)視用各向異性導(dǎo)電彈性體(ACE)作為互連界面封裝的器件的放置。對(duì)于各種應(yīng)用場(chǎng)合，其能夠有效地和精確地使非焊球基封裝器件組裝到目標(biāo)平臺(tái)或PCB。各向異性導(dǎo)電彈性體含有僅僅以某方向傳導(dǎo)電流的嵌入在彈性絕緣硅樹(shù)脂膜的大量細(xì)小導(dǎo)電金屬管。其已經(jīng)在高密度和高管腳數(shù)量的測(cè)試插座中用作互連以提供優(yōu)良的接觸、可重復(fù)性和在IC器件測(cè)試中的高頻特性。作為界面互連用于器件和封裝是可行的。層疊有ACE的器件或元件能夠直接地安裝到目標(biāo)襯底上。夾具罩能夠用來(lái)將器件夾持在一起而不需要將器件焊在目標(biāo)襯底上，如果可以獲得精確的放置技術(shù)。這種對(duì)準(zhǔn)技術(shù)能夠使在電子系統(tǒng)上的ACE層疊器件的組裝變得可行。根據(jù)該實(shí)施例，一個(gè)或多個(gè)這些優(yōu)點(diǎn)能夠獲得，并且在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中將更加詳細(xì)的描述。本發(fā)明的各種附加的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠通過(guò)參照下面的詳細(xì)的說(shuō)明和附圖更加完全理解。


圖IA是理想封裝的示例；圖IB是傾斜封裝的示例；圖IC是具有觸點(diǎn)陣列偏離格柵的不合規(guī)格封裝的示例；圖2示出在焊接區(qū)圖案上格柵偏離元件的放置，在放置之后元件上的所有觸點(diǎn)從焊接區(qū)圖案偏移相同的偏移量；圖3示出具有一組傳導(dǎo)路徑的元件在目標(biāo)平臺(tái)上放置，該目標(biāo)平臺(tái)具有匹配的焊接區(qū)圖案和參考標(biāo)記，用于檢查放置精度和接觸條件；圖4示出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的不同構(gòu)造，其中所有可進(jìn)行測(cè)試的點(diǎn)作為觸點(diǎn)陣列在相同的一側(cè)，這是間接對(duì)準(zhǔn)路徑和間接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的簡(jiǎn)化圖；圖5示出使用單檢測(cè)探頭以檢查放置精度和元件接觸條件的示例；圖6示出使用四點(diǎn)探頭用于檢測(cè)元件放置的位置偏移的示例；圖7示出由測(cè)試點(diǎn)陣列組成的一般性測(cè)試探頭，用于檢測(cè)元件放置的偏移，在探頭上的工作測(cè)試點(diǎn)能夠在過(guò)程中(on-the-fly)確定；圖8示出關(guān)于一組SR鎖存器的使用，以跟蹤工作測(cè)試點(diǎn)的位置并且將測(cè)試探頭的中心對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)參考標(biāo)記的中心的示例 ，該組SR鎖存器能夠由一組可寫(xiě)的鎖存器代替。圖9示出使用兩組鎖存器以確定偏移元件的方向和位移，狀態(tài)由二進(jìn)制對(duì)的第一位表示的一組鎖存器，表示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記之間的重疊狀態(tài)，狀態(tài)由二進(jìn)制對(duì)的第二位表示的另一組鎖存器，表示工作測(cè)試點(diǎn)的位置；圖10示出使用三組鎖存器以將小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)大參考標(biāo)記的中心，元組中的第三位表示用于對(duì)準(zhǔn)更小測(cè)試點(diǎn)的工作測(cè)試點(diǎn)的有效范圍；圖11示出關(guān)于使用一般性測(cè)試探頭修正偏移元件的圖表理解。其中，元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記尺寸小于參考標(biāo)記的尺寸；圖12是示出測(cè)試探頭的簡(jiǎn)化圖，該測(cè)試探頭層疊有各向異性導(dǎo)電彈性體(ACE)作為互連界面，以改進(jìn)測(cè)試點(diǎn)和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間或測(cè)試點(diǎn)和參考標(biāo)記之間的接觸條件；圖13示出在元件上結(jié)合兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以修正元件放置中的方位誤差的示例；圖14示出在目標(biāo)平臺(tái)上的串聯(lián)對(duì)準(zhǔn)鏈的簡(jiǎn)化圖；圖15是電容傳感器的簡(jiǎn)化圖，其用防護(hù)體來(lái)聚焦傳感器的電場(chǎng)；圖16是示出一組電容傳感器的簡(jiǎn)化圖，該傳感器組成陣列以形成用于非接觸電對(duì)準(zhǔn)的多傳感器電容探頭；圖17是關(guān)于使用電場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)以監(jiān)視元件堆疊的示例；圖18示出的是電對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的不同應(yīng)用，用于將具有四傳感器對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的物體對(duì)準(zhǔn)到具有四三角形參考標(biāo)記的第二物體；圖19示出在元件上的透明光路，能夠用作光學(xué)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，如果與目標(biāo)平臺(tái)上的匹配的反射墊結(jié)合，其能夠用來(lái)改進(jìn)元件放置的精度；圖20是示出光電檢測(cè)器陣列的簡(jiǎn)化圖，該光電檢測(cè)器陣列以陣列的形式組成，以形成用于元件對(duì)準(zhǔn)的多檢測(cè)器光學(xué)探頭；圖21是一種光學(xué)構(gòu)造的簡(jiǎn)化圖，該光學(xué)構(gòu)造具有四個(gè)光電檢測(cè)器和四個(gè)I/V放大器，用于調(diào)節(jié)偏移元件的偏移。
具體實(shí)施例方式根據(jù)本發(fā)明，描述了在組裝中改進(jìn)元件放置的準(zhǔn)確度的對(duì)準(zhǔn)和探測(cè)技術(shù)。更具體地，本發(fā)明包括通過(guò)用各種探測(cè)技術(shù)把對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)合到元件上和把參考標(biāo)記結(jié)合到目標(biāo)平臺(tái)上而在目標(biāo)平臺(tái)上檢測(cè)和改進(jìn)元件放置準(zhǔn)確度的結(jié)構(gòu)和方法。以陣列組成而形成多傳感器探頭的一組傳感器，能夠在組裝中檢測(cè)位移元件的偏離。僅僅通過(guò)示例的方式，將本發(fā)明應(yīng)用于將封裝器件置于用于電子系統(tǒng)制造的電子襯底上。但是應(yīng)認(rèn)識(shí)到本發(fā)明具有更寬的應(yīng)用范圍。本發(fā)明的進(jìn)一步細(xì)節(jié)能夠在整個(gè)本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)中發(fā)現(xiàn)，并且更詳細(xì)地在下面。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記
根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施例，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是元件上的參考區(qū)域，外部探頭能夠使用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記監(jiān)視在目標(biāo)平臺(tái)上的元件放置的準(zhǔn)確度。結(jié)合到元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可以是作為直接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的在元件上從頂部到底部的連接表面區(qū)域的傳導(dǎo)路徑，或者是作為間接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的在元件的底部連接兩個(gè)表面區(qū)域的不同的傳導(dǎo)路徑。盡管從上到下的傳導(dǎo)路徑不需要是直路徑，但從頂部到底部或在元件上匹配的頂部和底部位置的直路徑，更容易目視與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記關(guān)聯(lián)的底部接觸的位置。在底部的傳導(dǎo)路徑的表面區(qū)域可以是在觸點(diǎn)陣列上的觸點(diǎn)或不同的訪問(wèn)點(diǎn)。除了元件內(nèi)的傳導(dǎo)路徑，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記還可以是元件上的簡(jiǎn)單表面標(biāo)記，這取決于所使用的探測(cè)方法。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的結(jié)構(gòu)可以是簡(jiǎn)單的幾何結(jié)構(gòu)或一組幾何結(jié)構(gòu)。在元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可以是單個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或一組對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。正常地,一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是足夠的。如果元件的尺寸較大或可以要求方位調(diào)整以改進(jìn)放置準(zhǔn)確度，則向元件添加第二對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。如果有方位的誤差，對(duì)于大元件中的遠(yuǎn)端接觸，離理想焊接區(qū)圖案的切向偏離會(huì)是很顯著的。對(duì)于小元件，由于較小方位的誤差的后果是不顯著的。取決于探測(cè)技術(shù)，當(dāng)探頭用來(lái)監(jiān)視元件放置準(zhǔn)確度時(shí)，探頭能夠與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記直接接觸或不直接接觸。如果電阻探頭用來(lái)監(jiān)視對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，則其需要直接接觸。如果電容探頭用來(lái)監(jiān)視對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，則不需要的直接接觸。在這兩種情況下，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是電對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記，因?yàn)閭鲗?dǎo)電流流過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，除了一個(gè)是DC電流和另一個(gè)是AC電流以外。如果光學(xué)探頭用于監(jiān)視來(lái)自對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的表面的反射，那么則對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。因而，在元件的頂表面上反射的、導(dǎo)電的標(biāo)記能夠使用作為電對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或作為光學(xué)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，這取決于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記如何構(gòu)造和使用哪種探測(cè)技術(shù)。參考標(biāo)記對(duì)于元件上的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記能夠添加到目標(biāo)平臺(tái)供元件放置參考。在元件上對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與觸點(diǎn)陣列的空間關(guān)系應(yīng)該匹配在目標(biāo)平臺(tái)上參考標(biāo)記與關(guān)聯(lián)的焊接區(qū)圖案的空間關(guān)系。參考標(biāo)記可以是在目標(biāo)平臺(tái)上元件接觸焊接區(qū)圖案的一部分。取決于探測(cè)技術(shù)和應(yīng)用要求，參考標(biāo)記可以或可不需要與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的底部直接接觸。在一個(gè)具體的情況下，如果參考標(biāo)記簡(jiǎn)單地是在目標(biāo)平臺(tái)上的表面標(biāo)記，并且如果對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記也是簡(jiǎn)單表面標(biāo)記，這時(shí)則在元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的頂部位置能夠以這樣一種方式選擇，使得其匹配焊接區(qū)圖案上的觸點(diǎn)陣列的中點(diǎn)或角落點(diǎn)中的一個(gè)點(diǎn)，以消除對(duì)目標(biāo)平臺(tái)上附加參考標(biāo)記的需要。元件放置的不確定件目前對(duì)準(zhǔn)技術(shù)中一個(gè)有用的方面是放置準(zhǔn)確定不再依賴于元件的物理輪廓，也不依賴于觸點(diǎn)陣列離元件邊緣的格柵準(zhǔn)確度。例如，如果模制工藝在完成的封裝中導(dǎo)致小的傾斜，使得封裝上的觸點(diǎn)陣列與封裝的邊緣沒(méi)有很好地平行(傾斜封裝)，在傳統(tǒng)的技術(shù)下，尤其是當(dāng)封裝尺寸較大并且陣列間距尺寸較小時(shí)，很難將該封裝正確地置于焊接區(qū)圖案上；對(duì)于觸點(diǎn)陣列從理想格柵位置偏移的封裝(格柵偏離的封裝)，也是如此。傳統(tǒng)放置設(shè)備使用在焊接區(qū)圖案中心處的直角坐標(biāo)作為參考點(diǎn)以將元件置于其上，這是基于假定元件的物理輪廓是沒(méi)有缺陷的，并且其觸點(diǎn)陣列按照封裝的機(jī)械規(guī)格精確地相對(duì)于元件的所有邊緣定位。圖IA示出理想封裝的示例。其具有沒(méi)有缺陷的物理輪廓并且所有的封裝觸點(diǎn)在所劃的格柵位置上。圖IB示出傾斜封裝的示例，其中觸點(diǎn)陣列不平行于封裝物理輪廓，并且從封裝的輪廓看去傾斜于理想的格柵位置。圖IC示出一個(gè)不合規(guī)格封裝的不同的示例，其中觸點(diǎn)陣列沒(méi)有正確地中心模制，并且因而從封裝輪廓看去顯示出從理想格柵位置偏離。在圖IB和圖IC中封裝是物理上不符合規(guī)格，難以在傳統(tǒng)的表面安裝組裝中使用。附圖中的缺陷被夸張了，以示出該概念。圖2示出將偏離格柵元件200置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案208上的示例。如所示,在元件200上的觸點(diǎn)陣列209在左下方向具有偏離量207。在放置之后，在元件200上的所有的觸點(diǎn)200將具有離目標(biāo)焊接區(qū)圖案208相同的偏離量207。這不同于傾斜封裝的放置，在傾斜封裝的放置中在拐角觸點(diǎn)處的偏斜或偏離大于在中心處的。將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記添加到元件將顯著地減少由于封裝輪廓的缺陷的不良影響，并且即使封裝輪廓仍然符合規(guī)格，也能夠消除由觸點(diǎn)陣列離理想格柵位置的偏離而引起的接觸位置不確定性。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記能夠置于元件觸點(diǎn)陣列內(nèi)或之外。在相對(duì)于元件觸點(diǎn)陣列的預(yù)定空間關(guān)系處制造，而不是在基于元件物理輪廓或離封裝邊緣的距離的位置處。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記去掉了設(shè)備對(duì)元件的理想物理輪廓的依賴。因而，之前在生產(chǎn)中劃線的 一些物理上不合規(guī)格的元件，諸如在物理輪廓中具有小傾斜的封裝、具有偏離理想格柵位置的觸點(diǎn)陣列的封裝、或裸管芯(沿相鄰管芯之間的劃線切割而沒(méi)有很好地定心)，將能夠用于系統(tǒng)組裝。該結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步細(xì)節(jié)和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的操作描述如下。在整個(gè)本說(shuō)明書(shū)中，還提供某些方法和變型。使用電阻探頭的元件對(duì)準(zhǔn)在這個(gè)實(shí)施例中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是以相對(duì)于觸點(diǎn)陣列的預(yù)定空間位置結(jié)合在元件或封裝中的電傳導(dǎo)路徑。傳導(dǎo)路徑能夠從元件的頂表面(測(cè)試信號(hào)可以施加到該處)到元件的底部表面(目標(biāo)平臺(tái)上的匹配觸電點(diǎn)或參考?jí)|能夠連接在下面)。元件上的傳導(dǎo)路徑和目標(biāo)平臺(tái)上的匹配參考?jí)|是成對(duì)的，以監(jiān)視元件放置的準(zhǔn)確度。如果元件準(zhǔn)確地放置在目標(biāo)平臺(tái)上，匹配參考?jí)|將出現(xiàn)在傳導(dǎo)路徑的底部表面下，當(dāng)電壓施加到元件的頂表面時(shí)傳導(dǎo)電流將被檢測(cè)到。圖3示出將元件300置于目標(biāo)平臺(tái)310上的示例。元件300是在觸點(diǎn)陣列309處具有多個(gè)外部連接和作為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的一個(gè)或多個(gè)傳導(dǎo)路徑302、303的密封封裝301。在目標(biāo)平臺(tái)上，焊接區(qū)圖案308和一組參考?jí)|306、307預(yù)先制造。如果元件300與焊接區(qū)圖案308對(duì)準(zhǔn)，則參考?jí)|306、307將在傳導(dǎo)路徑302、303的底部表面下。該圖僅僅是示例，在這里不應(yīng)該不適當(dāng)?shù)叵拗茩?quán)利要求的范圍。所屬領(lǐng)域的一般技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到許多變型、修改和替代，諸如元件可以是具有嵌入的從頂部到底部作為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的傳導(dǎo)路徑的裸管芯、密封在具有焊堆的陶瓷材料封裝或塑料封裝中的集成電路、或用于外部互連但沒(méi)有焊堆的層疊有一層ACE膜的器件，或這些的組合等。元件300中的傳導(dǎo)路徑可以是直管或任何不規(guī)則形狀的傳導(dǎo)跡線303，在元件中從頂部到表面延伸。一個(gè)或多個(gè)傳導(dǎo)路徑能夠結(jié)合在元件中。與傳導(dǎo)路徑302、303關(guān)聯(lián)的外部訪問(wèn)點(diǎn)304、305可以是簡(jiǎn)單圓形墊。其它墊的形狀諸如方形、矩形、三角形、梯形或這些形狀的組合是可能的。電阻探頭置于外部訪問(wèn)點(diǎn)304、305上，以監(jiān)視放置準(zhǔn)確度的狀態(tài)。傳導(dǎo)路徑可以是金屬、摻雜半導(dǎo)體路徑或其它可檢測(cè)的實(shí)體。在圖3中，一組參考?jí)|306、307在目標(biāo)平臺(tái)上預(yù)先制造，作為目標(biāo)參考來(lái)弓I導(dǎo)元件的放置。參考?jí)|可以是簡(jiǎn)單圓形墊，但是其它形狀諸如方形、矩形、三角形、梯形、一組接地點(diǎn)和這些的組合也可能。在目標(biāo)平臺(tái)310上的參考?jí)|306、307稱為”參考標(biāo)記”。對(duì)于元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記能夠添加到目標(biāo)平臺(tái)上。目標(biāo)平臺(tái)310上的參考標(biāo)記的位置以這樣一種方式制造，使得目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記306、307和焊接區(qū)圖案308之間空間關(guān)系匹配元件300上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記302、303和觸點(diǎn)陣列309之間的空間關(guān)系。參考標(biāo)記的尺寸由諸如元件輪廓、觸點(diǎn)陣列、目標(biāo)平臺(tái)、設(shè)備精度、機(jī)械老化和數(shù)據(jù)庫(kù)取整誤差等中的缺陷的放置系統(tǒng)的變量確定。具有較大累積的放置不確定性需要較大參考標(biāo)記。參考標(biāo)記的尺寸應(yīng)該是足夠的大，使得在每一個(gè)元件初始放置處對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記應(yīng)該至少局部地在目標(biāo)參考標(biāo)記的邊界內(nèi)。初始元件放置是基于存儲(chǔ)在放置數(shù)據(jù)庫(kù)中的參考標(biāo)記或目標(biāo)焊接區(qū)圖案的坐標(biāo)的放置。此外，優(yōu)選地，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸與參考標(biāo)記的尺寸相同或小于參考標(biāo)記的尺寸，這是因?yàn)槠淠軌蛴绊懺胖玫臏?zhǔn)確度，這將在后面解釋。除了上下結(jié)構(gòu)(與傳導(dǎo)路徑關(guān)聯(lián)的一個(gè)測(cè)試點(diǎn)在元件的頂表面上)，如圖4所示，還可以在與觸點(diǎn)陣列409相同側(cè)處具有兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)411、412。在這個(gè)情況下兩個(gè)附加的跡 線406、407添加到目標(biāo)平臺(tái)410，以將與傳導(dǎo)路徑關(guān)聯(lián)的測(cè)試點(diǎn)411、412連接到目標(biāo)平臺(tái)404上的外部訪問(wèn)點(diǎn)403、404。電阻探頭的功率和接地端能夠施加到兩個(gè)外部訪問(wèn)點(diǎn)403、404，以檢測(cè)是否有傳導(dǎo)電流，以判斷元件是否已經(jīng)正確地置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案408之上。具有位于與觸點(diǎn)陣列相同側(cè)的兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)的傳導(dǎo)路徑稱為間接對(duì)準(zhǔn)路徑。其接觸點(diǎn)是間接對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。如果在不同元件上的幾個(gè)間接對(duì)準(zhǔn)路徑連接到目標(biāo)平臺(tái)上的系列菊花鏈，則其能夠用于監(jiān)視鏈中所有元件的接觸條件或檢查當(dāng)該系統(tǒng)在使用中時(shí)所有元件是否還在適當(dāng)?shù)奈恢?。這對(duì)于裝有無(wú)焊元件(諸如使用ACE作為互連界面的元件)的電子系統(tǒng)是有用的，在這種情況下，用于所有ACE基的元件的間接對(duì)準(zhǔn)路徑連接成單對(duì)準(zhǔn)鏈或幾個(gè)更短的鏈。供應(yīng)電壓和檢測(cè)器，諸如LED 二極管，能夠連接到每一個(gè)鏈，以監(jiān)視鏈中所有無(wú)焊元件的連接狀態(tài)。在元件上結(jié)合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記不僅能夠檢測(cè)在目標(biāo)平臺(tái)上元件放置的準(zhǔn)確度，而且能夠在放置之后修正元件位置偏移。然而，是測(cè)試探頭的構(gòu)造以及對(duì)測(cè)試探頭所檢測(cè)的信號(hào)進(jìn)行的處理來(lái)確定對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的功能。單測(cè)試點(diǎn)探頭，即單傳感器探頭，能夠檢測(cè)放置狀態(tài)和界面接觸條件，而多測(cè)試點(diǎn)探頭，即多傳感器探頭，能夠檢測(cè)元件放置的偏移方向和程度，這將在后面解釋。圖5示出使用單測(cè)試點(diǎn)電阻探頭520以監(jiān)視目標(biāo)平臺(tái)510上的元件500的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)的示例。假定包含兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記501和502的元件500已經(jīng)與目標(biāo)平臺(tái)510上的焊接區(qū)圖案對(duì)準(zhǔn)，這時(shí)，有一組對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記503和504。傳導(dǎo)路徑從探頭520的供應(yīng)端521通過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記501到目標(biāo)平臺(tái)510上的參考標(biāo)記503而形成。第二傳導(dǎo)路徑從電阻標(biāo)記502到目標(biāo)平臺(tái)510上的參考標(biāo)記504。為了避免兩個(gè)參考標(biāo)記503、504在測(cè)試時(shí)浮置,兩個(gè)參考標(biāo)記503、504應(yīng)該連接到目標(biāo)平臺(tái)510上的內(nèi)平面507，內(nèi)平面507連接到已知的參考電壓或通過(guò)表面接觸708接地508。不同的方法是將兩個(gè)參考標(biāo)記在內(nèi)部連接在一起。在放置元件之后，可以應(yīng)用探頭來(lái)測(cè)試連接性。例如，如果將探頭520的供應(yīng)端521施加到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記501的頂表面，并且將接地端515施加到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記502的頂表面，那么，如果元件500在目標(biāo)平臺(tái)510上很好地對(duì)準(zhǔn)，則形成閉合的電流環(huán)路，以檢測(cè)從探頭的測(cè)試端521通過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記501、參考標(biāo)記503、內(nèi)部跡線或平面507返回至參考標(biāo)記504、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記502，并且最終至探頭接地端515的傳導(dǎo)電流。盡管示出兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，如果方位誤差在元件放置中可能性不大，則一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記就足夠。或者，如果參考?jí)|503、504連接到內(nèi)平面507，參考電壓或接地508施加到表面接觸505，那么，參考?jí)|503、504將在參考電壓下或接地。由于在這種情況下測(cè)試端521施加到元件500上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的頂表面，所以，如果兩個(gè)接地連接在一起，那么閉合環(huán)路從探頭通過(guò)電阻標(biāo)記、對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記，到系統(tǒng)接地，然后探頭接地而形成。如圖5所示，測(cè)試探頭520可以含有電阻522、發(fā)光二極管523、聲音蜂鳴器或電流計(jì)524，以指示放置的狀態(tài)。電阻器限制流過(guò)探頭和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的最大電流。發(fā)光二極管提供可見(jiàn)信號(hào)以指示放置是否正確。聲音蜂鳴器使用戶能夠聽(tīng)得見(jiàn)。電流計(jì)示出通過(guò)探頭的電流量。探頭能夠設(shè)置在用于監(jiān)視放置狀態(tài)的放置設(shè)備中。還可以是用于由用戶人工地檢查元件放置準(zhǔn)確度和接觸條件的探頭。
圖6示出改進(jìn)元件放置的準(zhǔn)確度的四點(diǎn)探頭的使用。多檢測(cè)點(diǎn)探頭是修正元件放置偏移不可少的。在該示例中，使用具有測(cè)試點(diǎn)A、B、C和D的四點(diǎn)電阻探頭。圓形參考標(biāo)記602以大虛線圓示出。也是圓形對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601以大實(shí)線圓示出。為了使圖示更簡(jiǎn)單，假定電對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601的尺寸與參考標(biāo)記602的尺寸相同，并且假定用在該放置中的探頭具有匹配參考標(biāo)記602的環(huán)境的所有四個(gè)測(cè)試點(diǎn)。如果選擇方形參考標(biāo)記作為示例，則在探頭位置與參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)之后探頭上所有四個(gè)點(diǎn)應(yīng)該能夠匹配方形參考標(biāo)記的四個(gè)角。為了修正元件放置的偏離，首先需要通過(guò)將探頭上所有測(cè)試點(diǎn)A、B、C和D移動(dòng)到或靠近目標(biāo)參考標(biāo)記602的邊界而相對(duì)于參考標(biāo)記的位置對(duì)準(zhǔn)探頭位置。接著，將元件移入并且根據(jù)存儲(chǔ)在放置數(shù)據(jù)庫(kù)的信息置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案的坐標(biāo)。如果元件放置出現(xiàn)偏移，則，元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601將僅僅局部地與目標(biāo)平臺(tái)上的目標(biāo)參考標(biāo)記602重疊。四點(diǎn)電阻探頭能夠檢測(cè)這種局部重疊。例如，假定偏移是向左下角的并且只有測(cè)試點(diǎn)C在左下角處與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601接觸。這時(shí),只有該測(cè)試點(diǎn)C檢測(cè)到流經(jīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601到接地參考標(biāo)記602的電流。測(cè)試點(diǎn)A、B和D沒(méi)有檢測(cè)到電流。這是因?yàn)樗鼈冊(cè)趯?duì)準(zhǔn)標(biāo)記601的外部區(qū)域，而該區(qū)域不導(dǎo)電的。使用該測(cè)試結(jié)果作為反饋，放置設(shè)備能夠因而獲知元件放置的偏移。元件位置向右上的偏移能夠修正放置偏移，即從電流由測(cè)試點(diǎn)通過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601檢測(cè)的方向到?jīng)]有檢測(cè)到電流的方向。這個(gè)過(guò)程持續(xù)直到元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601移動(dòng)到與所有測(cè)試點(diǎn)接觸的位置。然后，元件準(zhǔn)確地定位。如果放置之后，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記601在兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)(譬如，兩個(gè)左測(cè)試點(diǎn))檢測(cè)傳導(dǎo)電流的位置。那么，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，還有元件應(yīng)該向右偏移直到其到達(dá)所有四個(gè)測(cè)試點(diǎn)能夠檢測(cè)到電流的位置。在這情況下，測(cè)試探頭、參考標(biāo)記和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記都對(duì)準(zhǔn)，元件被準(zhǔn)確地放置。放置設(shè)備中的測(cè)試探頭和元件的拾取頭都能夠獨(dú)立地調(diào)節(jié)。在每一個(gè)元件放置的開(kāi)始，調(diào)節(jié)測(cè)試探頭對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)參考標(biāo)記是確保放置準(zhǔn)確度不可少的。在這個(gè)具體的情況下，探頭和參考標(biāo)記之間沒(méi)有元件，是通過(guò)使探頭接觸參考標(biāo)記而完成的，從探頭的中心到目標(biāo)參考標(biāo)記的中心的偏移能夠通過(guò)監(jiān)視哪一個(gè)探頭導(dǎo)電而確定。通過(guò)向測(cè)試點(diǎn)沒(méi)有檢測(cè)到電流的方向偏移探頭位置，探頭能夠與目標(biāo)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)。這是探頭對(duì)準(zhǔn)步驟。多測(cè)試點(diǎn)探頭在監(jiān)視元件放置上具有比單測(cè)試點(diǎn)探頭更多的性能。單測(cè)試點(diǎn)電阻探頭能夠用來(lái)檢測(cè)放置準(zhǔn)確度和接觸狀況，而多測(cè)試點(diǎn)探頭能夠用來(lái)檢測(cè)和提供有關(guān)偏移元件的偏離的反饋。圖7示出由測(cè)試點(diǎn)701陣列組成的一般性測(cè)試探頭。如果由測(cè)試點(diǎn)陣列701可檢測(cè)的面積大于參考標(biāo)記700的尺寸，那么只有測(cè)試點(diǎn)陣列的一個(gè)子組將被啟動(dòng)來(lái)檢測(cè)位置偏移。在每一個(gè)元件放置中待被啟動(dòng)的測(cè)試點(diǎn)陣列的子組能夠以類似的方式在工作進(jìn)程中自動(dòng)地被確定。這能夠通過(guò)降低測(cè)試探頭，假定它是電阻探頭，與參考標(biāo)記700接觸，然后將電壓施加到陣列700中所有的測(cè)試點(diǎn)以觀察哪些測(cè)試點(diǎn)導(dǎo)電。如果所有導(dǎo)電的測(cè)試點(diǎn)是陣列中內(nèi)部測(cè)試點(diǎn)，那么選擇內(nèi)部測(cè)試點(diǎn)檢測(cè)電流702，以便于元件位置調(diào)節(jié)。陣列中不導(dǎo)電的那些測(cè)試點(diǎn)703在電流元件放置中將被忽略。待被啟動(dòng)以便于元件位置調(diào)節(jié)的陣列中的內(nèi)部測(cè)試點(diǎn)子組是工作測(cè)試點(diǎn)702。在位置調(diào)節(jié)中被忽略的那些測(cè)試點(diǎn)是無(wú)效測(cè)試點(diǎn)703。 由于從探頭結(jié)構(gòu)已知多測(cè)試點(diǎn)探頭的中心，如果該組工作測(cè)試點(diǎn)能夠重定位到圍繞多測(cè)試點(diǎn)探頭的中心的中央，則探頭設(shè)計(jì)能夠更簡(jiǎn)單。這能夠通過(guò)將探頭移動(dòng)到新的位置直到所有內(nèi)部工作測(cè)試點(diǎn)在多測(cè)試點(diǎn)探頭的中央?yún)^(qū)域而實(shí)現(xiàn)。在這新位置中，測(cè)試探頭的中心與目標(biāo)參考標(biāo)記的中心對(duì)準(zhǔn)且工作測(cè)試點(diǎn)的外部范圍匹配參考標(biāo)記的邊界。如果部分導(dǎo)電的測(cè)試點(diǎn)在多測(cè)試點(diǎn)陣列的邊緣，則探頭尺寸要么太小要么探頭位置沒(méi)有與參考標(biāo)記對(duì)齊。假定探頭尺寸太小，即小于目標(biāo)參考標(biāo)記的尺寸，它會(huì)引起由于不能夠?qū)⑿√筋^對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記中心而引起的元件位置調(diào)節(jié)的不確定性。優(yōu)選地，測(cè)試探頭的范圍兼容或大于參考標(biāo)記的尺寸。如果探頭的位置沒(méi)有與參考標(biāo)記對(duì)齊，則應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)直到陣列中工作測(cè)試點(diǎn)的中心對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記的中心。在測(cè)試探頭的電子組中能夠?qū)嵤┮唤M異步置位復(fù)位(SR)鎖存器，一個(gè)SR鎖存器用于探頭上的每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)。對(duì)應(yīng)于探頭上測(cè)試點(diǎn)被啟動(dòng)以監(jiān)視元件放置的子組，設(shè)定SR鎖存器的子組以表示對(duì)于每一個(gè)元件放置的工作測(cè)試點(diǎn)的位置。整組SR鎖存器在每一個(gè)元件放置開(kāi)始時(shí)清零?？蓪?xiě)鎖存器也能夠用于實(shí)施SR鎖存器功能。圖8示出使用該組SR鎖存器以將測(cè)試探頭與目標(biāo)參考標(biāo)記的中心對(duì)準(zhǔn)的方法。為了將多測(cè)試點(diǎn)電阻探頭對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記，在接觸參考標(biāo)記之后，如果對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)導(dǎo)電則使SR鎖存器置位，如果對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)檢測(cè)沒(méi)有電流則SR鎖存器仍然復(fù)位。計(jì)數(shù)器能夠用來(lái)掃描該組SR鎖存器上所有的行和列，以發(fā)現(xiàn)哪一行和哪一列檢測(cè)到了最高數(shù)量的“I”。最高的行和列的交點(diǎn)是參考標(biāo)記的中點(diǎn)。用于尋找具有最高數(shù)量的“I”的行數(shù)字和列數(shù)字的行計(jì)數(shù)器、列計(jì)數(shù)器、比較器、寄存器，以及選定到這些邏輯單元的輸入的一組多路轉(zhuǎn)換器等，能夠用來(lái)實(shí)現(xiàn)該種功能。這僅僅是一個(gè)示例，而不應(yīng)該是不適當(dāng)?shù)叵拗票景l(fā)明的范圍。通過(guò)將具有最高數(shù)量的“ I”的行數(shù)字和列數(shù)字與在探頭中心處的行數(shù)字和列數(shù)字比較，能夠確定將該探頭對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記中心所需的位移。探頭因而能夠相應(yīng)地偏移以與參考標(biāo)記的中心對(duì)準(zhǔn)。在重定位探頭之后，SR鎖存器清零，以針對(duì)探頭上的所有測(cè)試點(diǎn)記錄新的傳導(dǎo)狀態(tài)。在該階段置位的SR鎖存器含有與參考標(biāo)記的中心對(duì)準(zhǔn)的該組工作測(cè)試點(diǎn)的信息。為了對(duì)準(zhǔn)元件，另一組透明鎖存器能夠添加到探頭電子器件中，以跟蹤每次探頭變至新位置時(shí)所有測(cè)試點(diǎn)的即時(shí)導(dǎo)通狀況。透明鎖存器的內(nèi)容記錄了對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記之間的重疊狀況。其內(nèi)容將與SR鎖存器的內(nèi)容相比較。如果兩組的內(nèi)容匹配，則元件準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)在目標(biāo)焊接區(qū)圖案上。
圖9示出使用兩組鎖存器以獲得偏移的元件的方向和位移。在二進(jìn)制對(duì)中的第一位是該組透明鎖存器的狀況，其表示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記之間的重疊狀況。二進(jìn)制中第二位是該組SR鎖存器的狀況，其表示工作測(cè)試點(diǎn)的位置。通過(guò)比較這兩組鎖存器的內(nèi)容，或二進(jìn)制對(duì)的值，能夠推導(dǎo)出錯(cuò)位的元件的方向和調(diào)節(jié)位移。為了更簡(jiǎn)單解釋，假定對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸與參考標(biāo)記的尺寸相同。第一位中的“ I ”表示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與參考標(biāo)記重疊的區(qū)域。在第二數(shù)字中的“ I ”表示工作測(cè)試點(diǎn)的位置。通過(guò)參考圖9中的“ 11”區(qū)(可以通過(guò)簡(jiǎn)單的AND邏輯知道)，在參考標(biāo)記范圍內(nèi)部，在右側(cè)有3列包含的全部是“01”，而在上側(cè)僅僅有兩行包含的全部是“01”。放置設(shè)備因而知道右側(cè)三個(gè)位置的偏移和上側(cè)兩個(gè)位置的偏移能夠正確地重定位元件。含有“01”的測(cè)試點(diǎn)的位置能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的專用OR門獲知。這個(gè)圖示僅僅是示例，不應(yīng)該不適當(dāng)限制本發(fā)明的范圍。盡管對(duì)于偏移的元件，較大參考標(biāo)記能夠延伸調(diào)節(jié)的范圍，但是，如果測(cè)試探頭足夠大，即如果探頭上所有測(cè)試點(diǎn)的范圍大于參考標(biāo)記的尺寸，較小的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記能夠還正確 地工作。為了支持較小的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，第三組鎖存器能夠結(jié)合到探頭電子器件中，以表示工作測(cè)試點(diǎn)的有效子范圍，這時(shí)，在對(duì)準(zhǔn)時(shí)將參照小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。第三組鎖存器用作使能掩碼，在得出元件的偏移位移中確定有效的“ O I”范圍。在圖10中，二進(jìn)制元組中的第三位表示匹配對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸的參考標(biāo)記內(nèi)的子范圍。第三位的“1”，諸如二進(jìn)制元組“111”和“011”，表示工作測(cè)試點(diǎn)子組的位置，用作供較小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)的目標(biāo)。盡管由參考標(biāo)記的尺寸確定的工作測(cè)試點(diǎn)的整個(gè)范圍用來(lái)檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的存在，但是，工作測(cè)試點(diǎn)的子范圍用作供小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)的目標(biāo)。元組前兩位的“11”，即如圖10的示例中所示的“l(fā)lx”表示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記之間的重疊區(qū)域。元組“011”表示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記沒(méi)有與參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)的區(qū)域。在圖10的目標(biāo)的子范圍中，“111”的右側(cè)有兩列含有的上側(cè)有兩行含有“011”。因而，元件的向上的位置和向右兩個(gè)位置的偏移還能夠完全將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記，即使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記小于參考標(biāo)記。與較小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記關(guān)聯(lián)的工作測(cè)試點(diǎn)的實(shí)際子范圍能夠通過(guò)參照存儲(chǔ)在放置數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的直徑信息或通過(guò)使用與放置設(shè)備關(guān)聯(lián)圖像傳感器以在工作進(jìn)程中測(cè)量對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的直徑。圖11示出使用一般性測(cè)試探頭以修正偏移元件的位置的圖示。在這個(gè)示例中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1101反映了元件的位置,并小于參考標(biāo)記1102。在開(kāi)始放置每一個(gè)元件之前,探頭上的工作測(cè)試點(diǎn)的范圍應(yīng)當(dāng)預(yù)先確定，即通過(guò)將探頭移動(dòng)到參考標(biāo)記1102的頂部，使其間沒(méi)有元件，并且施加電壓到所有的測(cè)試點(diǎn)以觀察哪一個(gè)導(dǎo)電。由于測(cè)試探頭的中心已知，所以能夠選擇一組工作測(cè)試點(diǎn)，使探頭與參考標(biāo)記1102中心對(duì)準(zhǔn)，并使最外側(cè)測(cè)試點(diǎn)靠近參考標(biāo)記1102邊界。在圖11中，探頭上無(wú)源測(cè)試點(diǎn)用虛線圓表示，工作測(cè)試點(diǎn)用實(shí)線圓和實(shí)心黑點(diǎn)表示。還能夠使用放置設(shè)備內(nèi)部的圖像傳感器測(cè)量對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的直徑，或參考存儲(chǔ)在放置數(shù)據(jù)庫(kù)中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的直徑信息，來(lái)動(dòng)態(tài)地得到工作測(cè)試點(diǎn)中將要用于將較小對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記的子范圍。在初始元件放置之后，元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1101完全或部分位于參考標(biāo)記1102限定的工作測(cè)試點(diǎn)范圍內(nèi)。假定初始元件放置有偏移，并假定僅一個(gè)角部工作測(cè)試點(diǎn)1105(在圖11中以實(shí)心黑點(diǎn)示出)檢測(cè)到電流。則放置設(shè)備能夠以工作測(cè)試點(diǎn)的子組為目標(biāo)向右和向上偏移對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，直到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與工作測(cè)試點(diǎn)1106的整個(gè)子組(圖11中央的大虛線圓所示)匹配。因而，即使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記小于參考標(biāo)記，元件也能夠準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)焊接區(qū)圖案。相反，如果對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的區(qū)域比參考標(biāo)記的區(qū)域大得多，則放置的準(zhǔn)確度將降低。這是因?yàn)橛尚⒖紭?biāo)記限定的工作測(cè)試點(diǎn)的范圍是相當(dāng)有限的。因?yàn)椴荒塬@得足夠的反饋以指導(dǎo)元件上的大對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記將其中心移動(dòng)到與有限組的工作測(cè)試點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)，所以元件調(diào)整處理不能繼續(xù)進(jìn)行。對(duì)于電阻探測(cè)，使用較大對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的效果類似于使用單測(cè)試點(diǎn)探頭的效果，其中由單測(cè)試點(diǎn)探頭覆蓋的區(qū)域非常窄，類似于較小測(cè)試探頭或較小參考標(biāo)記的效果。不管怎樣，在單測(cè)試點(diǎn)探頭的情況下，較小參考標(biāo)記能夠檢測(cè)到更高的放置準(zhǔn)確度，除非參考標(biāo)記的尺寸太小而不能夠檢測(cè)。

在初始放置之后，元件被置于參考標(biāo)記之外。在這種情況下任何工作測(cè)試點(diǎn)都不會(huì)檢測(cè)到導(dǎo)通電流。這表明放置元件的設(shè)置不正確，或者低估了元件放置中最差情況下的偏移，使大小標(biāo)記走到了尺寸過(guò)小的參考標(biāo)記之外。從而可以容易地監(jiān)測(cè)到不正確的系統(tǒng)設(shè)置或操作錯(cuò)誤。為了改進(jìn)測(cè)試探頭的耐用性并確保對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記接觸良好，如圖12所示，各向異性導(dǎo)電彈性體(ACE) 1205能夠?qū)盈B在一般性的電阻探頭1200的表面作為互連界面。在這個(gè)圖中，每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)由探頭1200內(nèi)部的導(dǎo)電管1202組成。這幅圖僅僅是示例,不應(yīng)認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明范圍的限制。例如，探頭示出為圓形，但也可以是其它形狀，諸如方形、矩形、三角形、梯形、其它不規(guī)則形狀或甚至柔性電纜。還有，盡管測(cè)試點(diǎn)在圖中以規(guī)則陣列示出，但陣列的測(cè)試點(diǎn)能夠根據(jù)應(yīng)用需要以任何構(gòu)形放置。為了解決元件放置中方位誤差，可以在元件的相反側(cè)面結(jié)合兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。具有大的觸點(diǎn)陣列或超精細(xì)接觸管腳的元件中更容易產(chǎn)生方向誤差。圖13示出在元件上結(jié)合兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以修正元件放置中的方位誤差的示例。假定在初始放置之后元件逆時(shí)針傾斜，并且假定對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸與參考標(biāo)記的尺寸相同。圖中兩個(gè)大實(shí)線圓表示元件上兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1301、1302。圖中連接這兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1301、1302的假想實(shí)線示出初始放置之后元件的想象方位。目標(biāo)平臺(tái)上兩個(gè)對(duì)應(yīng)的參考標(biāo)記1303、1304以大虛線圓示出，通過(guò)假想虛線連接以表示理想的目標(biāo)方位。實(shí)線和虛線相交的銳角是在初始放置之后的方位誤差。如果沒(méi)有位移誤差，則交叉點(diǎn)是元件1300的中心。假定兩個(gè)測(cè)試探頭用來(lái)監(jiān)視含有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的元件的放置，但是如果對(duì)于每次探測(cè)，防止設(shè)備都能記錄工作測(cè)試點(diǎn)和測(cè)試探頭的中心，則一個(gè)就足夠。在放置元件之前，探頭必須與目標(biāo)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)。對(duì)于電阻探頭，這通過(guò)使探頭接觸參考標(biāo)記以確定工作測(cè)試點(diǎn)相對(duì)于參考標(biāo)記中心的范圍和坐標(biāo)而來(lái)完成。接著，隨著探頭向上運(yùn)動(dòng)，將元件拾起并置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案處。如果元件放置沒(méi)有方位誤差，則兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1301、1302將精確地位于參考標(biāo)記1303、1304的頂部并且與工作測(cè)試點(diǎn)的范圍匹配。如果有方位誤差，那么探頭上一些工作測(cè)試點(diǎn)將在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的范圍之外并且不導(dǎo)通電流。如果組件中的元件拾取頭能夠進(jìn)行角位置調(diào)節(jié)，則通過(guò)監(jiān)視工作測(cè)試點(diǎn)的導(dǎo)電狀態(tài)即可得知調(diào)節(jié)的方向，即，通過(guò)將元件或?qū)?zhǔn)標(biāo)記向工作測(cè)試點(diǎn)沒(méi)有檢測(cè)到電流的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)。在圖13中，元件上的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記1301、1302在右上和左下位置。如果逆時(shí)針?lè)轿徽`差在元件放置之后發(fā)生，那么用于上探測(cè)的檢測(cè)導(dǎo)電電流的工作測(cè)試點(diǎn)1305將在左手邊傾斜并且用于下部檢測(cè)的檢測(cè)導(dǎo)電的工作測(cè)試點(diǎn)1307將在右手側(cè)傾斜。通過(guò)將元件從工作測(cè)試點(diǎn)檢測(cè)到電流的一側(cè)向沒(méi)有檢測(cè)到電流的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，即順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，元件的方位誤差能夠得到修正。但是，假如在兩次探測(cè)中電流感測(cè)測(cè)試點(diǎn)出現(xiàn)在相同側(cè)，譬如都在左手側(cè)，那么位移誤差已經(jīng)發(fā)生并且元件應(yīng)該向右偏移以修正位移誤差。對(duì)準(zhǔn)技術(shù)可以根據(jù)應(yīng)用的需要而調(diào)整。例如，如果放置系統(tǒng)本身是歪斜的，使得一個(gè)方向的放置誤差比另一方向大，則可以選擇矩形參考標(biāo)記，并使其長(zhǎng)邊對(duì)應(yīng)于偏移較大的方向。優(yōu)選地，探頭尺寸比參考標(biāo)記尺寸大，以便對(duì)準(zhǔn)探頭和在探頭上自動(dòng)地確定工作測(cè)試點(diǎn)的范圍。優(yōu)選地，參考標(biāo)記的尺寸大于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸，或者大小相近。電阻探測(cè)需要直接接觸測(cè)量，在需要將放置的元件在目標(biāo)平臺(tái)上移動(dòng)的情況下，可能在目標(biāo)焊接區(qū)圖案周圍引起焊錫的污染。層疊有ACE作為互連界面的元件沒(méi)有這種問(wèn)題。層疊有ACE互連界面的元件還與目標(biāo)平臺(tái)上的焊接區(qū)圖案接觸良好。為了避免可能存在焊錫污染的不良影響，還可以在PCB上的焊接區(qū)圖案表面上層疊一薄層焊料，這與PCB制造過(guò)程中封裝上的焊球材料類似。接著可以取消表面安裝裝配 中的焊膏印制步驟，因而沒(méi)有焊膏污染。自頂向下的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和間接電對(duì)準(zhǔn)路徑能夠組合并且在同一元件中結(jié)合使用。自頂向下的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記能夠提高放置的準(zhǔn)確度，間接對(duì)準(zhǔn)路徑能夠串連成鏈狀，以監(jiān)視鏈中所有元件的接觸狀態(tài)，如圖14所示。這對(duì)于用層疊有ACE互連的元件裝配成電子系統(tǒng)尤其有用。使用電容探頭的對(duì)準(zhǔn)電對(duì)準(zhǔn)還能夠使用非接觸方法實(shí)現(xiàn)。除了使用電阻探頭測(cè)量直接接觸點(diǎn)處的開(kāi)/關(guān)電阻，還能用電容探頭以非接觸的方法對(duì)準(zhǔn)元件。圖15不出由Lion Presion of St. Paul, Minnesota制造的電容傳感器不例。為了提高測(cè)量準(zhǔn)確度，需要將來(lái)自傳感器的電場(chǎng)限制在傳感器的表面和參考目標(biāo)之間的空間中。單獨(dú)的導(dǎo)體保持與傳感器自身相同的電壓，該導(dǎo)體用作圍繞傳感器的側(cè)面和后面的保護(hù)體。當(dāng)AC信號(hào)施加到傳感器時(shí)，單個(gè)的電路向該保護(hù)體施加完全相同的激發(fā)電壓。因?yàn)閭鞲衅骱捅Ｗo(hù)體之間沒(méi)有電壓差，所以它們之間沒(méi)有電場(chǎng)。除了傳感器，電容探頭旁邊或后面的任何其它導(dǎo)體與保護(hù)體而不是傳感器形成電場(chǎng)。只有未受保護(hù)的傳感器前端形成到參考目標(biāo)的電場(chǎng)。傳感器產(chǎn)生的電場(chǎng)是其大小和形狀的投影。例如，圓形傳感器能夠向參考目標(biāo)投影圓柱形電場(chǎng)。在Lion Presion的電容傳感器中，圓柱形電場(chǎng)在傳感器直徑40%的有效范圍處能夠擴(kuò)展高達(dá)30%。由于AC信號(hào)施加到傳感器表面，AC電流將流經(jīng)傳感器與目標(biāo)參考之間的間隙所形成的電容。流過(guò)的電流大小取決于傳感器與目標(biāo)參考之間的電容大小，即由間隔大小和表面之間的重疊程度確定。如果傳感器完全對(duì)準(zhǔn)參考目標(biāo)，則在間隙中形成的電容最大，AC電流最高。如果傳感器完全在參考目標(biāo)之外，則沒(méi)有重疊的表面區(qū)域和相關(guān)的電容，只要在參考目標(biāo)旁邊沒(méi)有外來(lái)的導(dǎo)體在傳感器范圍內(nèi)。如圖16所示，可以將一組防護(hù)的電容傳感器組成陣列，形成用于非接觸電探測(cè)的多傳感器電容探頭。陣列中的傳感器還能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇性地啟動(dòng)。例如，圖16示出九傳感器的探頭。但是如果僅僅激活探頭四個(gè)角的傳感器用于放置檢測(cè)，則其成為四傳感器的電容探頭。
對(duì)于探測(cè)對(duì)準(zhǔn)，由探頭上每一個(gè)傳感器檢測(cè)的確切的電容不是主要問(wèn)題。這是因?yàn)樵趯?duì)準(zhǔn)應(yīng)用中，電容傳感器不測(cè)量平行物體之間的精確間隔，所以精確的電容讀數(shù)不是必須的。由探頭表面和目標(biāo)參考區(qū)域之間的區(qū)域重疊程度確定的相對(duì)電容起著關(guān)鍵作用。如果沒(méi)有外來(lái)導(dǎo)體在傳感器電場(chǎng)的范圍內(nèi)干擾相對(duì)電容的測(cè)量，則用于測(cè)量放置準(zhǔn)確度時(shí)多傳感器電容探頭的有效范圍大于單個(gè)傳感器的范圍。由于AC激發(fā)施加到探頭上所有有效傳感器，所有傳感器將在傳感器和目標(biāo)參考之間監(jiān)測(cè)到相同的電容，因而如果探頭完全與參考目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)，將測(cè)得相同大小的AC電流。如果存在未對(duì)準(zhǔn)，則探頭檢測(cè)區(qū)域上與參考目標(biāo)重疊的部分有效傳感器導(dǎo)通的電流最大，而參考目標(biāo)之外的部分有效傳感器將導(dǎo)通很小的電流。通過(guò)比較有效傳感器陣列中AC電流的相對(duì)大小，能夠獲知偏移的方向。該偏移能夠通過(guò)在電容探頭下對(duì)準(zhǔn)元件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或通過(guò)向有效傳感器檢測(cè)到較小AC電流的方向移動(dòng)偏移元件來(lái)調(diào)整。在這個(gè)過(guò)程中不需要探頭與目標(biāo)平臺(tái)或元件接觸的探頭。電容傳感器通常校準(zhǔn)為接地的目標(biāo)。電容探頭的本體或外部插座應(yīng)該用電連接至接地以提高探頭準(zhǔn)確度。參考目標(biāo)也需要正確地接地。參考目標(biāo)不正確接地將降低探頭的 靈敏度和精確度。還好，許多目標(biāo)盡管不直接接地，但與地之間有很大的電容通過(guò)其環(huán)境，諸如元件拾取頭。在AC激勵(lì)情況下，大電容最終會(huì)使目標(biāo)參考對(duì)地短路。因而，將在目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記連接到接地面或?qū)⒃砻嫣幍膶?duì)準(zhǔn)標(biāo)記連接到本地接地面是有益的，但不是必要的，只要目標(biāo)對(duì)地的電容與目標(biāo)對(duì)傳感器的電容之比相當(dāng)大。象兩個(gè)電容串聯(lián)的情況一樣，超過(guò)10的比率使電容測(cè)量的誤差小于10%。使用電容探頭對(duì)準(zhǔn)元件時(shí)，只有元件的頂部的表面標(biāo)記是相關(guān)的。在元件頂部上對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的表面區(qū)域確定了電容傳感器檢測(cè)的電容值。不再象電阻探測(cè)的情況那樣需要從元件頂部到底部的導(dǎo)通路徑作為電對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。然而，頂部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和元件底部處的觸點(diǎn)陣列之間的直角坐標(biāo)關(guān)系應(yīng)該與參考標(biāo)記和目標(biāo)平臺(tái)上的目標(biāo)焊接區(qū)圖案之間的坐標(biāo)關(guān)系相配。假定探頭已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記，則在電容探頭下與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)在電容探頭下移動(dòng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，并對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上方的所有有效傳感器檢測(cè)到超過(guò)某最小閾值的相同電流的地方進(jìn)行監(jiān)視來(lái)完成。在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)探頭之后，對(duì)準(zhǔn)的元件能夠接著向下降低以準(zhǔn)確地置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案上。使用非接觸探測(cè)，諸如電容探測(cè)，將探頭對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)參考和將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)探頭能夠獨(dú)立完成。因而，只要探頭檢測(cè)范圍大到足以覆蓋元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記，則二者之間的尺寸關(guān)系不再如在接觸探測(cè)中那么重要。因而，利用非接觸探測(cè)，具有大對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的元件仍然能夠在較小的參考標(biāo)記上準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)。電對(duì)準(zhǔn)技術(shù)還能夠用于監(jiān)視封裝芯片堆疊的準(zhǔn)確度，其中，可以從封裝芯片的頂部到底部插入導(dǎo)通路徑作為電對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。電對(duì)準(zhǔn)技術(shù)還能夠用來(lái)監(jiān)視裸管芯堆疊的準(zhǔn)確度，其中在裸管芯中從頂部到底部的導(dǎo)通路徑可以使用離子注入、擴(kuò)散或其它方法形成。圖17示出使用電對(duì)準(zhǔn)技術(shù)監(jiān)視元件的堆疊的示例。在示例中示出幾個(gè)變型以說(shuō)明不同情形下的應(yīng)用。元件堆疊的準(zhǔn)確度能夠通過(guò)直接將探頭置于頂部元件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的頂部和底部元件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的底部而得知。如果堆疊的元件將要置于支持面上，則可以將底部元件底部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記連接到支持面上的接地參考點(diǎn)以產(chǎn)生從探頭到接地面的監(jiān)視路徑?；蛘?，可以在待堆疊的元件上結(jié)合一對(duì)電對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，它們可以連接到支持面中的導(dǎo)通路徑供探頭監(jiān)視堆疊元件上兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記頂部的堆疊精度。在該圖中小圈表示到其它堆疊元件或支持面的接觸針。圖18示出使用電對(duì)準(zhǔn)方法將兩個(gè)物體一起對(duì)準(zhǔn)的另一種應(yīng)用。在這個(gè)示例中,4個(gè)傳感器組成的陣列結(jié)合在第一物體中，4個(gè)三角形組成的陣列作為參考目標(biāo)結(jié)合到第二物體中用于監(jiān)視對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)確度。四個(gè)參考三角形可以分成四個(gè)參考標(biāo)記，也可以銜接在一起形成所示的一個(gè)。四個(gè)傳感器可以是采用接觸測(cè)量的一組電阻探頭或采用非接觸方法的一組電容探頭。該結(jié)構(gòu)以類似方式工作。假定第一物體向左下方偏離第二物體，使得第一物體上的兩個(gè)左邊對(duì)準(zhǔn)傳感器在與第二物體關(guān)聯(lián)的四分之一個(gè)三角形參考標(biāo)記的外部。如果假定傳感器陣列的范圍和參考陣列的范圍匹配，那么感測(cè)電子設(shè)備會(huì)產(chǎn)生向右手側(cè)方向偏移第一物體的指令。但在第一物體向右手側(cè)偏移之后，兩個(gè)右下傳感器將接著落在第二物體上的參考標(biāo)記區(qū)域(三角形C、D)之外，而此時(shí)兩個(gè)上部傳感器仍然在參考三角形的范圍內(nèi)。通過(guò)向上，即向傳感器已經(jīng)檢測(cè)到電流的方向移動(dòng)第一物體，四個(gè)對(duì)準(zhǔn)傳感器能夠接著移 動(dòng)到參考標(biāo)記的范圍內(nèi)，兩個(gè)物體最終得到對(duì)準(zhǔn)。使用光學(xué)探頭對(duì)準(zhǔn)如果元件頂部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記是高反射性的，則光學(xué)探頭能夠用于元件對(duì)準(zhǔn)。如圖19所示，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記也可以是元件上的透明光路1901，它使激光束可以經(jīng)過(guò)下面的參考標(biāo)記并且從該參考標(biāo)記反射回來(lái)。元件頂部反射性表面標(biāo)記或元件上的光路都能夠用作光對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在光探測(cè)中，不需要將元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或光路接地，也不需要將目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記接地。然而，頂部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和元件底部的觸點(diǎn)陣列之間的空間關(guān)系應(yīng)該與參考標(biāo)記和目標(biāo)平臺(tái)上相關(guān)焊接區(qū)圖案之間的空間關(guān)系匹配，這與其它探測(cè)技術(shù)相同。圖20示出一組光電檢測(cè)器或光二極管組成的陣列，形成用于非接觸探測(cè)的多傳感器光學(xué)探頭。陣列的傳感器可以根據(jù)分辨率要求選擇性分組。例如，圖20示出十六傳感器的探頭。但是如果反射光束的邊界離焦并且略有模糊，或者如果反射光束的尺寸相當(dāng)大，則可以將光學(xué)探頭上的十六個(gè)光電檢測(cè)器重新布置成四組以形成四傳感器的光學(xué)探頭。重新設(shè)置傳感器可以通過(guò)重新設(shè)置輸往探頭電子裝置中的輸入信號(hào)而完成。在另一種示例中，如果能夠?qū)θ肷涔馐M(jìn)行調(diào)節(jié)和聚焦，則只需選擇探頭中心的四個(gè)傳感器做為對(duì)準(zhǔn)的目標(biāo)傳感器以增加對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)確度，盡管所有16傳感器的整個(gè)范圍用作有效傳感器以增加入射光束的搜索范圍。如果測(cè)試傳感器陣列組成的一般性測(cè)試探頭是電阻探頭，則其測(cè)量每一個(gè)觸點(diǎn)處的連接電阻或DC電流。如果是電容探頭，則其測(cè)量每一個(gè)測(cè)試傳感器處的AC電流，該電流反映每一個(gè)傳感器的表面和目標(biāo)參考之間的重疊區(qū)域。如果是光學(xué)探頭，則在每一個(gè)光電檢測(cè)器處檢測(cè)光電流，該電流表示反射光束的位置。使用光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，在元件放置開(kāi)始時(shí)探頭位置必須與目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記的中心對(duì)準(zhǔn)。在光學(xué)對(duì)準(zhǔn)中，參考標(biāo)記可以是簡(jiǎn)單的反射墊。入射光束的直徑最好與參考標(biāo)記的尺寸相符。否則，無(wú)論入射激光束的尺寸太大或參考標(biāo)記的尺寸太大，都會(huì)產(chǎn)生不確定性。在檢測(cè)器側(cè)，入射光束應(yīng)該正確地聚焦以確保其在光電檢測(cè)器的范圍內(nèi)。在將探頭對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記的中心之后，將元件移入并且置于焊接區(qū)圖案處。接下來(lái)將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置與探頭的位置對(duì)準(zhǔn)。對(duì)于非接觸探測(cè)，元件放置的最終精度是由兩步間接對(duì)準(zhǔn)方法確定的。取決于光束如何以光學(xué)方法準(zhǔn)直，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和參考標(biāo)記的相對(duì)的尺寸沒(méi)有在電阻探測(cè)情況下那么重要。圖21示出一種光學(xué)拾取頭的示例，它含有帶四個(gè)光電檢測(cè)器的探頭和用于檢測(cè)偏移兀件偏移的相關(guān)ι/ν放大器。每一個(gè)I/V放大器包括電流電壓轉(zhuǎn)換器和電壓放大器。隨著光入射到探頭上的光電檢測(cè)器而產(chǎn)生電流，該電流接著被Ι/v放大器放大。圖中還示出從目標(biāo)參考反射的圓形光束2002。如果兀件完全對(duì)準(zhǔn)參考目標(biāo),則反射光束將在光學(xué)拾取頭的中心。在圖21中，光學(xué)拾取頭產(chǎn)生四個(gè)不同的電壓VA、VB、VC和VD?？梢杂靡唤M比較器來(lái)比較來(lái)自這些Ι/v放大器的電壓輸出?？梢酝ㄟ^(guò)將每一個(gè)I/V放大器的輸出電壓與預(yù)定閾值電壓相比較而確定調(diào)節(jié)方向。由比較器檢測(cè)的高輸出電壓 表示探頭，目標(biāo)參考具有重疊區(qū)域。由比較器檢測(cè)的低輸出電壓表示對(duì)應(yīng)的區(qū)域還未對(duì)準(zhǔn)。通過(guò)將元件從比較器檢測(cè)高輸入電壓的位置偏移到比較器檢測(cè)低輸入電壓的位置，未對(duì)準(zhǔn)能夠被修正。如果沒(méi)有比較器檢測(cè)草果預(yù)定閾值電平(VT)的電壓電平，即沒(méi)有有關(guān)的反射束被任何四個(gè)光電檢測(cè)器檢測(cè)，其表示元件完全錯(cuò)位或光學(xué)探頭根本沒(méi)有與目標(biāo)參考對(duì)準(zhǔn)。如果所有四個(gè)電壓電平達(dá)到預(yù)定閾值電平，元件精確地在目標(biāo)平臺(tái)上對(duì)準(zhǔn)。對(duì)準(zhǔn)稈序使用對(duì)準(zhǔn)技術(shù)改進(jìn)元件放置精度的程序概括如下。a.準(zhǔn)備在組件中放置元件，一些有關(guān)信息諸如焊接區(qū)圖案的中心的坐標(biāo)或與目標(biāo)平臺(tái)上焊接區(qū)圖案關(guān)聯(lián)的參考標(biāo)記的坐標(biāo)、探頭構(gòu)造、待放置的元件上對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的尺寸等，輸入放置系統(tǒng)的數(shù)據(jù)庫(kù)。這些信息在放置自動(dòng)化中是有用的。b.將目標(biāo)平臺(tái)裝載到組裝設(shè)備。在目標(biāo)平臺(tái)上的參考點(diǎn)選擇作為原點(diǎn)，以匹配存儲(chǔ)在放置數(shù)據(jù)庫(kù)中的坐標(biāo)系統(tǒng)的原點(diǎn)。c.探頭可以是用于監(jiān)視放置精度的單傳感器探頭，或可以是用于修正偏移元件的偏移的多傳感器探頭。為了修正沒(méi)有精確放置的元件的偏移，需要在將元件置于目標(biāo)平臺(tái)上之前將探頭對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)參考標(biāo)記的中心。探頭可以是電阻探頭，其測(cè)量從探頭傳感器通過(guò)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)計(jì)，借助于直接接觸方法到參考標(biāo)記的開(kāi)/關(guān)導(dǎo)通。探頭可以是電容探頭，其借助于非接觸方法檢測(cè)探頭和目標(biāo)參考之間區(qū)域重疊的程度。探頭還可以是光學(xué)探頭，其測(cè)量探頭和目標(biāo)參考之間的光對(duì)準(zhǔn)。將探頭移到根據(jù)放置數(shù)據(jù)庫(kù)的參考標(biāo)記的坐標(biāo)，并如果需要的話，調(diào)節(jié)探頭位置，直到檢測(cè)到電流的所有傳感器是在探頭中心周圍的內(nèi)部傳感器，這樣，能夠?qū)崿F(xiàn)將探頭對(duì)準(zhǔn)參考標(biāo)記的中心。對(duì)于電阻探頭，探頭必須向下降以直接接觸參考標(biāo)記。對(duì)于非直接接觸電容探頭，探頭需要移到?jīng)]有外來(lái)導(dǎo)電物體在其電場(chǎng)范圍的范圍。對(duì)于光學(xué)探頭，探頭需要調(diào)節(jié)高度以使光束匹配目標(biāo)參考的直徑。檢測(cè)電流的內(nèi)部傳感器基于通過(guò)參考標(biāo)記的測(cè)量確定探頭上工作傳感器的范圍。利用正確的調(diào)節(jié)，這些工作傳感器的中心能夠自動(dòng)匹配參考標(biāo)記的中心。探頭上的工作傳感器的中心和范圍是待對(duì)準(zhǔn)的元件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的新位置和目標(biāo)。多傳感器探頭能夠?yàn)樵恢谜{(diào)節(jié)提供反饋，該探頭不同于僅僅能夠檢測(cè)放置精度的單傳感器探頭。d.拾取元件并且將其置于目標(biāo)焊接區(qū)圖案上。這種放置是基于目標(biāo)焊接區(qū)圖案的中心的坐標(biāo)或參考標(biāo)記的坐標(biāo)。e.調(diào)節(jié)元件拾取頭直到元件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置對(duì)準(zhǔn)探頭。調(diào)節(jié)的方向是使更多工作監(jiān)測(cè)器檢測(cè)到電流的方向。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位于探頭上所有工作傳感器能夠檢測(cè)其存在時(shí)，對(duì)準(zhǔn)就實(shí)現(xiàn)了。由于參考標(biāo)記和目標(biāo)平臺(tái)上的焊接區(qū)圖案之間的空間關(guān)系能夠預(yù)先制造以匹配元件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和觸點(diǎn)陣列之間的關(guān)系，所以，元件能夠很好地對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)焊接區(qū)圖案。在這種對(duì)準(zhǔn)技術(shù)下，一些不合規(guī)格不嚴(yán)重的元件還能夠用在組件中。f.對(duì)于具有嵌入的間接對(duì)準(zhǔn)路徑的元件，所有間接對(duì)準(zhǔn)路徑能夠按照菊花鏈進(jìn)行連接，以形成串聯(lián)的對(duì)準(zhǔn)鏈或幾個(gè)更短的對(duì)準(zhǔn)鏈。當(dāng)系統(tǒng)投入使用時(shí)，對(duì)準(zhǔn)鏈能夠用來(lái)檢測(cè)鏈中所有元件的連接狀態(tài)。以上順序的步驟示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法。當(dāng)添加步驟、除去一個(gè)或多個(gè)步 驟，或者以不同順序提供一個(gè)或多個(gè)步驟時(shí)，還可以提供其它備用方案，而不脫離此處權(quán)利要求的范圍。這種對(duì)準(zhǔn)技術(shù)不限于在組裝中PCB上放置元件，其還能夠用在各種應(yīng)用中，諸如監(jiān)視芯片封裝，其中待被安裝到襯底上的管芯被視為元件而封裝的襯底視為目標(biāo)平臺(tái)。最后，這種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和探測(cè)技術(shù)能夠應(yīng)用到多封裝堆疊、裸管芯堆疊、多芯片載體模塊組件、模塊組件、封裝卡組件和母板組件，等等。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到許多變型、修改或替換。
權(quán)利要求
1.一種用于將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的裝置，所述裝置包括 多傳感器探頭，以適用于感測(cè)一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述多傳感器探頭的相對(duì)位置，其中 所述元件包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記， 所述目標(biāo)平臺(tái)包括所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記，并且 所述多傳感器探頭包括多個(gè)傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于 感測(cè)所述多傳感器探頭相對(duì)于所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記的第一相對(duì)位置， 感測(cè)所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述多傳感器探頭的第二相對(duì)位置，以及 監(jiān)視所述多傳感器探頭與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的重疊狀態(tài)，以將所述元件與所述目標(biāo)平臺(tái)對(duì)準(zhǔn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多個(gè)傳感器的一個(gè)包括從至少電阻傳感器或電流傳感器中選取的接觸傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多個(gè)傳感器的一個(gè)包括從至少電容傳感器、光學(xué)傳感器、光電檢測(cè)器或光電二極管中選取的非接觸傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于監(jiān)視所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記是否在所述多傳感器探頭的感測(cè)區(qū)域內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于檢測(cè)目標(biāo)與所述多傳感器探頭的區(qū)域之間的位移，并且所述目標(biāo)包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于檢測(cè)目標(biāo)的中心與所述多傳感器探頭的中心之間的位移，并且所述目標(biāo)包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還包括 多個(gè)接觸傳感器，以及 層疊在所述多傳感器探頭的表面上的各向異性的導(dǎo)電彈性體。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，并且所述裝置適用于將所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭對(duì)準(zhǔn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述目標(biāo)平臺(tái)包括多個(gè)參考標(biāo)記，并且所述多傳感器探頭還適用于感測(cè)所述多個(gè)參考標(biāo)記并且適用于檢測(cè)所述目標(biāo)平臺(tái)與所述多傳感器探頭之間的方位誤差。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述元件包括多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，并且所述多傳感器探頭還適用于感測(cè)所述多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，并且適用于檢測(cè)所述元件與所述多傳感器探頭之間的方位誤差。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還適用于為元件位置調(diào)節(jié)向所述裝置提供反饋。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述元件還包括小于O.5mm的接觸間距。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述元件包括大于兩百個(gè)觸點(diǎn)。
15.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述元件是裸管芯集成電路或者裸管芯集成電路的堆置。
16.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述目標(biāo)平臺(tái)是裸管芯集成電路或者裸管芯集成電路的堆疊。
17.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記適用于相對(duì)于在所述元件上的接觸陣列具有預(yù)定空間關(guān)系。
18.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其中，所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記適用于相對(duì)于在所述目標(biāo)平臺(tái)上的接觸焊接區(qū)圖案具有預(yù)定空間關(guān)系。
19.一種用于將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的裝置，所述裝置包括 多傳感器探頭，其包括多個(gè)傳感器； 第一多個(gè)鎖存器，其適用于記錄 所述目標(biāo)平臺(tái)的參考標(biāo)記的尺寸，以及 所述參考標(biāo)記相對(duì)于所述多傳感器探頭的相對(duì)位置，以促進(jìn)所述多傳感器探頭與所述參考標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)，其中，所述第一多個(gè)鎖存器被耦合到所述多個(gè)傳感器；以及 第二多個(gè)鎖存器，其適用于記錄所述元件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭之間的瞬時(shí)位置關(guān)系，以促進(jìn)所述元件與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭的對(duì)準(zhǔn)，其中，所述第二多個(gè)鎖存器被耦合到所述多個(gè)傳感器。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭適用于根據(jù)元件封裝的外形的缺陷、管芯的切口或者目標(biāo)襯底的缺陷，將所述元件與所述目標(biāo)平臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)解耦合。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還包括層疊在所述多傳感器探頭的表面上的各向異性的導(dǎo)電彈性體。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中 所述第一多個(gè)鎖存器還適用于在所述第一多個(gè)鎖存器的子組中記錄所述參考標(biāo)記的所述尺寸以及相對(duì)于所述多傳感器探頭的相對(duì)位置， 所述第二多個(gè)鎖存器還適用于在所述第二多個(gè)鎖存器的子組中記錄所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述多傳感器探頭之間的所述瞬時(shí)位置關(guān)系，以及 所述裝置適用于響應(yīng)于所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組與所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組之間的預(yù)定關(guān)系確定已實(shí)現(xiàn)的對(duì)準(zhǔn)。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列，其中，所述測(cè)試點(diǎn)陣列以規(guī)則的構(gòu)造布置。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中，所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列，其中所述測(cè)試點(diǎn)陣列以不規(guī)則的構(gòu)造布置。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的裝置，其中 所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列， 所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組對(duì)應(yīng)于所述參考標(biāo)記的所述尺寸， 所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組對(duì)應(yīng)于所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述參考標(biāo)記之間的重疊，并且 所述裝置還適用于如果所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組與所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組記錄了所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記并且所述參考標(biāo)記具有共同的中心，則確定已實(shí)現(xiàn)的對(duì)準(zhǔn)。
26.一種用于將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的裝置，所述裝置包括 電容探頭，其適用于感測(cè)一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或者一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述電容探頭的相對(duì)位置，其中 所述元件包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記， 所述目標(biāo)平臺(tái)包括所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記， 所述電容探頭包括多個(gè)電容傳感器， 所述電容探頭適用于與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，并且 所述裝置適用于使所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述電容探頭對(duì)準(zhǔn)。
27.一種用于通過(guò)裝置將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的方法，所述方法包括以下步驟 通過(guò)多傳感器探頭感測(cè)一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或者一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述多傳感器探頭的相對(duì)位置，其中 所述元件包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記， 所述目標(biāo)平臺(tái)包括所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記，并且 所述多傳感器探頭包括多個(gè)傳感器。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括以下步驟 感測(cè)所述多傳感器探頭相對(duì)于所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記的第一相對(duì)位置， 感測(cè)所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述多傳感器探頭的第二相對(duì)位置，以及監(jiān)視所述多傳感器探頭與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的重疊狀態(tài)，以將所述元件與所述目標(biāo)平臺(tái)對(duì)準(zhǔn)。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述多個(gè)傳感器的一個(gè)包括從至少電阻傳感器或電流傳感器中選取的接觸傳感器。
30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述多個(gè)傳感器的一個(gè)包括從至少電容傳感器、光學(xué)傳感器、光電檢測(cè)器或光電二極管中選取的非接觸傳感器。
31.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括監(jiān)視所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記是否在所述多傳感器探頭的感測(cè)范圍內(nèi)的步驟。
32.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，感測(cè)步驟包括檢測(cè)目標(biāo)與所述多傳感器探頭的區(qū)域之間的位移，所述目標(biāo)包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記。
33.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，感測(cè)步驟包括檢測(cè)目標(biāo)的中心與所述多傳感器探頭的中心之間的位移，并且所述目標(biāo)包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或者所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記。
34.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述多傳感器探頭還包括 多個(gè)接觸傳感器，以及 層疊在所述多傳感器探頭的表面上的各向異性的導(dǎo)電彈性體。
35.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括以下步驟 將所述多傳感器探頭與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)；以及 將所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭對(duì)準(zhǔn)。
36.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括以下步驟 通過(guò)所述多傳感器探頭感測(cè)多個(gè)參考標(biāo)記，其中，所述目標(biāo)平臺(tái)包括所述多個(gè)參考標(biāo)記；以及 檢測(cè)所述目標(biāo)平臺(tái)與所述多傳感器探頭之間的方位誤差。
37.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括以下步驟 通過(guò)所述多傳感器探頭感測(cè)多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，其中，所述元件包括所述多個(gè)參考標(biāo)記；以及 檢測(cè)所述元件與所述多傳感器探頭之間的方位誤差。
38.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括為元件位置調(diào)節(jié)通過(guò)多傳感器探頭向所述裝置提供反饋的步驟。
39.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述元件還包括小于O.5mm的接觸間距。
40.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述元件包括大于兩百個(gè)觸點(diǎn)。
41.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述元件是裸管芯集成電路或者裸管芯集成電路的堆置。
42.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述目標(biāo)平臺(tái)是裸管芯集成電路或者裸管芯集成電路的堆疊。
43.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括使所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于在所述元件上的接觸陣列具有預(yù)定空間關(guān)系的步驟。
44.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，包括使所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記相對(duì)于在所述目標(biāo)平臺(tái)上的接觸焊接區(qū)圖案具有預(yù)定空間關(guān)系的步驟。
45.一種用于將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的方法，所述方法包括以下步驟 通過(guò)第一多個(gè)鎖存器記錄 在所述目標(biāo)平臺(tái)上的參考標(biāo)記的尺寸，以及 參考標(biāo)記相對(duì)于包括多個(gè)傳感器的多傳感器探頭的相對(duì)位置，其中，所述第一多個(gè)鎖存器被耦合到所述多個(gè)傳感器； 通過(guò)所述裝置將所述多傳感器探頭與所述參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)； 通過(guò)第二多個(gè)鎖存器記錄所述元件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭之間的瞬時(shí)位置關(guān)系；以及 通過(guò)所述裝置將所述元件與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述多傳感器探頭對(duì)準(zhǔn)，其中，所述第二多個(gè)鎖存器被耦合到所述多個(gè)傳感器。
46.根據(jù)權(quán)利要求45的方法，包括根據(jù)元件封裝的外形的缺陷、管芯的切口或者目標(biāo)襯底的缺陷、通過(guò)所述多傳感器探頭將所述元件與所述目標(biāo)平臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)解耦合的步驟。
47.根據(jù)權(quán)利要求45的方法，其中，所述多傳感器探頭還包括層疊在所述多傳感器探頭的表面上的各向異性的導(dǎo)電彈性體。
48.根據(jù)權(quán)利要求45的方法，包括響應(yīng)于所述第一多個(gè)鎖存器的子組與所述第二多個(gè)鎖存器的子組之間的預(yù)定關(guān)系、通過(guò)所述裝置確定已實(shí)現(xiàn)的對(duì)準(zhǔn)的步驟，其中 通過(guò)所述第一多個(gè)鎖存器進(jìn)行的記錄包括在所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組中記錄所述參考標(biāo)記的尺寸以及相對(duì)于所述多傳感器探頭的相對(duì)位置，以及 通過(guò)所述第二多個(gè)鎖存器進(jìn)行的記錄包括在所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組中記錄所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述多傳感器探頭之間的所述瞬時(shí)位置關(guān)系。
49.根據(jù)權(quán)利要求45的方法，其中，所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列，其中所述測(cè)試點(diǎn)陣列以規(guī)則的構(gòu)造布置。
50.根據(jù)權(quán)利要求45的方法，其中，所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列，其中所述測(cè)試點(diǎn)陣列以不規(guī)則的構(gòu)造布置。
51.根據(jù)權(quán)利要求48的方法，包括如果所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組與所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組記錄了所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記并且所述參考標(biāo)記具有共同的中心，則通過(guò)所述裝置確定已實(shí)現(xiàn)的對(duì)準(zhǔn)的步驟，其中 所述多傳感器探頭還包括與所述多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)陣列， 所述第一多個(gè)鎖存器的所述子組對(duì)應(yīng)于所述參考標(biāo)記的所述尺寸，并且 所述第二多個(gè)鎖存器的所述子組對(duì)應(yīng)于所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述參考標(biāo)記之間的重疊。
52.一種用于通過(guò)裝置將元件放置到目標(biāo)平臺(tái)上的方法，所述方法包括以下步驟 通過(guò)電容探頭感測(cè)一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記或者一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于所述電容探頭的相對(duì)位置， 通過(guò)所述裝置將所述電容探頭與所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)，以及 通過(guò)所述裝置將所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的所述電容探頭對(duì)準(zhǔn)，其中 所述元件包括所述一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記， 所述目標(biāo)平臺(tái)包括所述一個(gè)或多個(gè)參考標(biāo)記，并且 所述電容探頭包括多個(gè)電容傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種將預(yù)定元件置于目標(biāo)平臺(tái)的裝置和方法。本發(fā)明一般來(lái)講涉及組裝技術(shù)。根據(jù)本發(fā)明，描述了在組裝中改進(jìn)元件放置精度的對(duì)準(zhǔn)和探測(cè)技術(shù)。更具體地，本發(fā)明包括在各種探測(cè)技術(shù)中通過(guò)在元件結(jié)合對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記并且在目標(biāo)平臺(tái)上結(jié)合參考標(biāo)記而檢測(cè)和改進(jìn)目標(biāo)平臺(tái)上元件放置準(zhǔn)確度的方法和結(jié)構(gòu)。組成陣列以形成多傳感器探頭的一組傳感器能夠在組裝中檢測(cè)偏移元件的偏移。
文檔編號(hào)H05K13/08GK102856239SQ20121002946
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2006年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月31日
發(fā)明者孔-琛·陳 申請(qǐng)人:溫泰克工業(yè)有限公司