專利名稱：用于坩堝加熱裝置的供電裝置和使其運行的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于坩堝加熱裝置的供電裝置。本發(fā)明也涉及一種使供電單元運行的方法。
背景技術(shù)：
·為了例如在采用柴氏(Czochralski)方法時融化坩堝加熱裝置中的、尤其是拉晶設(shè)備中的稱量物料(Einwaage)，通常采用低歐姆的石墨加熱器。在已知的供電裝置中借助于按照相位截止控制原理工作的執(zhí)行機構(gòu)(晶閘管調(diào)節(jié)器)提供這里所需的加熱功率。這種供電裝置具有一個電網(wǎng)輸入端和一個或者若干個直流輸出端。通過運行這種已知供電裝置至少產(chǎn)生以下所列的缺點。由供電裝置產(chǎn)生的高次波、所謂的高次諧波導(dǎo)致電網(wǎng)損耗增大。工業(yè)用戶因而被其供電方敦促，采取適合的措施來減小由它們弓I起的對電網(wǎng)的反作用。因為接收的無功功率在低于由供電方為功率因數(shù)規(guī)定的最小值時被特別地加以考慮，因此無功功率損失被特別的技術(shù)措施限制。例如為此采用被動的或者主動的濾波回路。備選地也已知有一種以下形式的供電方法，通過線性的粗執(zhí)行機構(gòu)(可調(diào)變壓器)和快速的精細執(zhí)行機構(gòu)共同作用，大大減小由于供電而引起的在輸入側(cè)的干擾。為了改善供電的功率因數(shù)而采用補償設(shè)備。已知的用于坩堝加熱的供電裝置大部分在部分載荷范圍中工作。按照相位截止控制原理工作的、例如像晶閘管調(diào)節(jié)器那樣的供電裝置典型地在部分載荷范圍中具有相對較低的效率，這一般被承認。由已知的供電系統(tǒng)在次級側(cè)產(chǎn)生的疊加交流電、也稱為波紋電流，會對坩堝加熱裝置的溫度調(diào)節(jié)過程產(chǎn)生負面影響，這是因為在溫度調(diào)節(jié)器的感應(yīng)器輸入端上出現(xiàn)減小的信號干擾間距。此外這種波紋電流在石墨加熱器上導(dǎo)致不被期望的副作用。例如可能導(dǎo)致石墨加熱器的機械振動。此外通過波紋電流而發(fā)生的電磁交變場可能在坩堝中產(chǎn)生不可預(yù)見的磁場，并因此對拉晶過程產(chǎn)生負面影響，相反的是，按規(guī)定產(chǎn)生和疊加的磁場有正面的作用，例如在DE 10 2009 027 436 Al中可見的那樣。在輸出側(cè)的干擾電壓通過主動和被動的濾波器而被衰減。在能源供給企業(yè)的供電網(wǎng)中也或者家用電網(wǎng)中可能出現(xiàn)的電網(wǎng)故障，例如像顫動、出現(xiàn)尖峰或者電壓驟降，在已知的供電系統(tǒng)中，受相位截止控制或者也可能波包控制原理的限制而導(dǎo)致次級側(cè)的干擾發(fā)射，并因此導(dǎo)致在溫度調(diào)節(jié)器的感應(yīng)器輸入端上的信號干擾間距減小。這又可能導(dǎo)致過程中的、也就是加熱功率的調(diào)節(jié)過程中的質(zhì)量干擾，直至導(dǎo)致過程損耗。如果在供電中出現(xiàn)故障，那么可能使過程中斷。一般采用主動的和被動的電網(wǎng)濾波器，以便克服短時間的電網(wǎng)故障對拉晶過程的影響。供電系統(tǒng)的對系統(tǒng)至關(guān)重要部件的失效一般導(dǎo)致過程中斷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的在于，避免或者減小已知供電裝置的上述缺點，尤其是降低運行時產(chǎn)生的對電網(wǎng)的反作用，減小在輸出側(cè)的波紋電流，并且提高效率。本發(fā)明的另外一個目的在于，提高供電系統(tǒng)的可用性，并因此提高拉晶過程的穩(wěn)定性。該目的根據(jù)本發(fā)明利用權(quán)利要求I的特征來實現(xiàn)。由此設(shè)置用于坩堝加熱裝置 的供電裝置，坩堝加熱裝置包括至少一個加熱電流回路和用于控制供電模塊的過程控制裝置，該加熱電流回路相應(yīng)地包括至少兩個供電模塊，其中在這個或者每個加熱電流回路中，至少兩個供電模塊的輸出端并聯(lián)。就方法而言，該目的根據(jù)本發(fā)明通過獨立的方法權(quán)利要求的特征來實現(xiàn)。由此提出一種用于使坩堝加熱裝置的供電裝置運行的方法，供電裝置包括有至少一個加熱電流回路，這回路分別包括有至少兩個供電模塊，還有一個過程控制模塊用于控制供電模塊，其中在這或者每個加熱電流回路中并聯(lián)了至少兩個供電模塊的輸出，而且其中被分開用于每個加熱電流回路的供電模塊取決于工藝流程和/或在單個的供電模塊中出現(xiàn)故障時進行激活或者去除激活。本發(fā)明基于以下認識，即為了使尤其是在拉晶設(shè)備中的坩堝加熱裝置運行而需要例如在200至500KW范圍內(nèi)的高功率，其中流過的電流達幾千個安培。必須精確地設(shè)置功率，并且同時由于電流較大而必須在安全性方面進行逐一。這種認識這樣被轉(zhuǎn)化，從而將開關(guān)柜中同樣的供電模塊連接在一起。本發(fā)明的優(yōu)點在于減小了對電網(wǎng)的反作用。因此一般無需單獨采取措施用于電網(wǎng)濾波。取決于各自當(dāng)前的負荷需要，可以接通或者斷開單個的供電模塊，以便使主動的供電模塊在一個盡可能最佳的工作點中運行，并因此實現(xiàn)功率因數(shù)的改善。特別是在一個部分負荷范圍中可以實現(xiàn)效率的改善。因此不需要單獨采取措施，例如在補償設(shè)備上進行供電。按此方式也可以節(jié)省成本。在輸出側(cè)可以注意到的是，在根據(jù)本發(fā)明的供電裝置中，初級側(cè)的電網(wǎng)故障，如顫動、出現(xiàn)尖峰或者電壓驟降，遠少于在已知的供電裝置中的電網(wǎng)故障。因此避免了在坩堝加熱裝置方向上發(fā)出暫時的電磁干擾場，并因此提高了過程穩(wěn)定性，尤其是拉晶過程的穩(wěn)定性。本發(fā)明的有利設(shè)計方案是從屬權(quán)利要求的內(nèi)容。在引用其他權(quán)利要求時通過相應(yīng)的從屬權(quán)利要求的特征指出了獨立權(quán)利要求的內(nèi)容的其它設(shè)計；它們并不被理解為放棄實現(xiàn)對引用其他權(quán)利要求的從屬權(quán)利要求的特征組合的自動、具體的保護。此外鑒于權(quán)利要求的設(shè)置，在對一個后置權(quán)利要求的一個特征具體化時可以推斷出在各自前面的權(quán)利要求中并不存在一種這樣的局限。在一種實施形式中，供電裝置包括連接在過程控制裝置和供電模塊之間的加熱控制裝置，用于控制和監(jiān)測供電模塊。通過過程控制裝置來引導(dǎo)加熱控制裝置，過程控制裝置獲取各種過程監(jiān)測部件的狀態(tài)-和故障信號，過程監(jiān)測部件例如是溫度監(jiān)測器、冷水監(jiān)測器、壓力監(jiān)測器。如果在供電裝置中每個供電模塊在輸入側(cè)都三相連接，那么可以避免不對稱的電網(wǎng)負荷。在一種實施形式中，每個供電模塊包括三個相同的子模塊，它們可以通過內(nèi)部的系統(tǒng)總線相互連接。每個子模塊可以選擇地包括整流器單元。每個子模塊可以選擇地包括功率因數(shù)校正級。功率因數(shù)校正級也稱為PFC-級，與已知的用于坩堝加熱的供電裝置相比，它可以顯著減小對電網(wǎng)的反作用。
在功率因數(shù)校正級之后可以選擇地連接有時鐘輸出級(getakteteLeistungsstufen)。由此與已知的供電裝置相比可以明顯改善輸出電壓的質(zhì)量，這是因為波紋電流被減小。當(dāng)波紋電流減小時，在加熱電流回路中，例如在石墨加熱器上只出現(xiàn)較小 的感應(yīng)產(chǎn)生的橫向力。因此減小了石墨加熱器的機械振動，并且延長了它的使用壽命。在一種實施形式中，每個供電模塊可以包括通信接口，以便可以用過程控制裝置或者加熱控制裝置來交換狀態(tài)-和控制信息。狀態(tài)-和故障信號可以例如經(jīng)過在其中布置有供電裝置的開關(guān)柜上的HMI (人-機-接口，Human-Machine-Interface)并且經(jīng)過通信接口，由例如直接布置在供電模塊或者子模塊端面上的LED (發(fā)光二極管Light EmittingDiode)顯示器來顯示。在這方法中選擇地規(guī)定，在供電模塊中的任一個出現(xiàn)故障時，將信號經(jīng)過通信接口，從損壞的供電模塊傳輸給連接在過程控制裝置和供電模塊之間的加熱控制裝置，并且加熱控制裝置使損壞的供電模塊去除激活。為此加熱控制裝置發(fā)出一個相應(yīng)的信號，用于使損壞的供電模塊去除激活。可替代地可以提出，在供電模塊中的任一個出現(xiàn)故障時，將信號經(jīng)過通信接口，從損壞的供電模塊傳輸給過程控制裝置，并且過程控制裝置接著使損壞的供電模塊去除激活。對此，將一個相應(yīng)的信號從過程控制裝置發(fā)送給供電模塊。按此方式阻止的是，損壞的供電模塊在繼續(xù)運行時對輸出電壓產(chǎn)生負面影響，或者引起對電網(wǎng)的反作用。在一種實施形式中，如果在附屬的加熱電流回路中所需要的功率小于或者等于激活的供電模塊的最大功率、即還在相應(yīng)的加熱電流回路中可用的那些供電模塊的最大功率之和的話，可以使去除激活的供電模塊的功率附加地按比例分配給那個或那些在附屬加熱電流回路中繼續(xù)激活的供電模塊。這可以使供電裝置實現(xiàn)更高的可用度。當(dāng)供電模塊停止運行時，供電系統(tǒng)的重新建立時間大大短于例如在已知的供電裝置中那樣。因此可以使坩堝設(shè)備更快地重新投入運行。在一個實施形式中，可以使一個并不需要的供電模塊去除激活，并且在并聯(lián)的供電模塊停止運行或出現(xiàn)故障時，可以使這個并不需要的供電模塊又自動地激活。這樣就可以尤其是在部分負荷范圍中優(yōu)化供電裝置的運轉(zhuǎn)點。可替代地可以使一個并不需要的供電模塊去除激活，而可以在并聯(lián)的供電模塊停止運行或出現(xiàn)故障時，使這個并不需要的供電模塊手工地或者自動地-選擇地利用確認查詢(Bestatigungsriickfrage)-激活。作為去除激活的供電模塊的運行模式既可以考慮用“熱待機模式”(“HotStandby-Modus”)(AC-輸入端激活)或者說“冷待機模式”(“Cold Standby-Modus”)(AC-輸入端去除激活)。運行模式可以根據(jù)需要用于供電模塊，如果多個供電模塊被去除激活的話，例如也可以使一部分去除激活的供電模塊在“熱待機模式”下運行，而另一部分在“冷待機模式”下運行。在一種實施形式中，與這個或這些去除激活的供電模塊并聯(lián)的供電模塊至少按比例承擔(dān)去除激活的供電模塊的功率。例如在加熱電流回路中的三個供電模塊中，其中一個去除激活，兩個激活的供電模塊可以分別承擔(dān)已去除激活的供電模塊的一半功率，并且因此可以在一個比較有利的工作點上運行。在一種實施形式中本發(fā)明在軟件中實施。因此本發(fā)明一方面也是計算機程序，其具有通過計算機可以實施的程序編碼指令，另一方面是具有這樣的計算機程序的存儲介質(zhì)，以及最后也是一種具有處理單元的過程控制裝置或者加熱控制裝置，其存儲器中被載入或者可以載入這樣的計算機程序，作為用于實施該方法和其設(shè)計方案的設(shè)備。加熱控制裝置可以同樣實施前面和以下聯(lián)系過程控制裝置所提到的所有任務(wù)。


以下根據(jù)附圖對本發(fā)明的一個實施例進行詳細敘述。彼此相應(yīng)的內(nèi)容和元件在所有附圖中用相同的標(biāo)號表示。所示為圖I是根據(jù)本發(fā)明的供電裝置的一種實施例；圖2是初級的電壓供給裝置和冷水供給裝置；圖3是根據(jù)本發(fā)明的供電裝置的另一個實施例；圖4是用于圖I所示供電裝置的優(yōu)化的供電系統(tǒng)的一個實例；圖5是在圖I所示供電裝置中的供電模塊的出現(xiàn)故障時的一個實例；圖6是根據(jù)本發(fā)明的供電裝置運行的方法的一個實例。
具體實施例方式圖I簡略表示了根據(jù)本發(fā)明的供電裝置10的一個實施例。供電裝置10包括布置在開關(guān)柜22中的5個供電模塊12,14,16,18, 20。第一和第二供電模塊12,14的輸出端借助于母線(未示出)并聯(lián)，并且供給坩堝加熱裝置28的第一加熱電流回路26。第三、第四和第五供電模塊16，18，10的輸出端29同樣也并聯(lián)，并供給坩堝加熱裝置28的第二加熱電流回路30。供電模塊12-20分別包括有三個相同的子模塊(未示出)，它們通過內(nèi)部的系統(tǒng)總線(未示出)相互連接。每個子模塊一般由整流單元、功率因數(shù)校正級(PFC-級)和具有變壓器以及遠距輸出端的功率轉(zhuǎn)換器組成。此外每個供電模塊12-20還具有通信接口，如以下所述，以便能夠傳輸和交換狀態(tài)-和控制信息。通過加熱控制裝置32來進行對單個的供電模塊12-20的控制和監(jiān)測，加熱控制裝置經(jīng)過通信接口 34與供電模塊12-20進行通信，并且布置在開關(guān)柜22內(nèi)。然而同樣也可以將加熱控制裝置32布置在開關(guān)柜22外。加熱控制裝置32與過程控制裝置36的通信接口 34連接，過程控制裝置獲得單個部件、例如冷水監(jiān)測器38、壓力監(jiān)測器40和溫度監(jiān)測器42的狀態(tài)-和故障信號以用于過程監(jiān)測，并通過這些部件進行控制。過程控制裝置36包括有處理單元44和存儲器46，用于執(zhí)行或者存儲用于過程監(jiān)測和控制的計算機程序。代替過程控制裝置36，加熱控制裝置32也可以包括處理單元和存儲器(二者都未示出)，以便執(zhí)行或者存儲用于過程監(jiān)測的計算機程序。在圖2中示意性示出了用于供電模塊12-20的初級電壓供給裝置48的一個實例。電壓供給裝置48包括有配電板50，利用該配電板將供給電壓51直接引導(dǎo)到供電模塊12-20上。每個供電模塊12-20單個地連接在冷水回路52上。圖3表示了根據(jù)本發(fā)明的供電裝置54的另一個實施例，在這裝置中供電模塊12-20直接與過程控制裝置36的通信接口 34連接，并且通過過程控制裝置36直接進行檢測和控制。圖4示出了用于供電裝置10的優(yōu)化的供電系統(tǒng)的一個實例。對此在部分負荷范圍中使一個不再需要的供電模塊20去除激活。對此將一個相應(yīng)的控制信號56從加熱控制裝置32發(fā)送給待去除激活的供電模塊20。例如當(dāng)經(jīng)過通信接口指示出在與去除激活的供電模塊20并聯(lián)的供電模塊16，18中的任一個出現(xiàn)故障時，可以根據(jù)需要在“熱待機”或者“冷待機”狀態(tài)中運行，也就是說在需要時自動地再激活或者手動接通。給在第二個加熱電流回路30中繼續(xù)激活的供電模塊16，18分別發(fā)送一個對應(yīng)的控制信號58，用于分別承擔(dān)已經(jīng)去除激活的供電模塊20的一半功率。那么它們可以在比較有利的工作點上運行。也可以確定在第二個加熱電流回路30中剩余的激活的供電模塊16，18上的另外一種功率分配，從而例如一個供電模塊承擔(dān)去除激活的供電模塊20功率的30%，并且另一個供電模塊承擔(dān)70%?？梢赃@樣來確定承擔(dān)功率的值，從而可以使剩余的激活的供電模塊16，18在一個盡可能有利的工作點中運行。圖5示出了在供電裝置10中的供電模塊20的出現(xiàn)故障時的一個實例。從供電模塊20將故障信號60發(fā)送給加熱控制裝置32。則通過加熱控制裝置32使具有故障的供電模塊20去除激活。同時從加熱控制裝置32將相應(yīng)的控制信號62發(fā)送給在附屬的第二加熱電流回路30中剩余的供電模塊16，18，從而只要在第二加熱電流回路30中需要的加熱功率小于或者等于還可用的、激活的供電模塊16，18的最大功率之和，就附加地例如分別將有故障的供電模塊20的50%的功率分配給剩余的供電模塊。在過程、例如拉晶過程結(jié)束之后，可以借助于更換損壞的供電模塊20，短期地并且耗費少量服務(wù)成本地又完成供電裝置的運行準(zhǔn)備。供電裝置10，54的模塊化結(jié)構(gòu)可以使得也用于其它設(shè)備、尤其是拉晶設(shè)備的供電裝置10，54匹配于加熱電流回路的變化的功率需要。圖6示出了使根據(jù)本發(fā)明的供電裝置10，54運行的方法64的一種實例。在第一步66中，將信號經(jīng)過通信接口從損壞的供電模塊傳輸給過程控制裝置。在第二步68中，過程控制裝置借助于相應(yīng)的控制信號使損壞的供電模塊去除激活。在第三步70中，如果在附屬的加熱電流回路中需要的功率小于或者等于激活供電模塊的最大功率，通過從過程控制裝置到附屬加熱電流回路中激活的供電模塊的相應(yīng)控制信號，將去除激活的供電模塊的功率附加地按比例分配給在附屬的加熱電流回路激活的供電模塊。因此可以將在此提出的說明中的各個主要方面簡單總結(jié)如下說明了一種用于坩堝加熱裝置28的供電裝置10，54，其包括至少一個相應(yīng)地包括有至少兩個供電模塊12，14，16，18，20的加熱電流回路26，30，其中在這個或者每個加熱電流回路26，30中，至少兩個供電模塊12-30的輸出24，29并聯(lián)，還給出了一種用于控制供電模塊12-20的過程控制裝置36。
權(quán)利要求
1.一種用于坩堝加熱裝置(28)的供電裝置(10)，包括至少一個加熱電流回路(26，30)和用于控制供電模塊(12，14，16，18，20)的過程控制裝置(36)，所述加熱電流回路相應(yīng)地包括至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)，其中在所述這個或者每個加熱電流回路(26，30)中，所述至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)的輸出端(24，29)并聯(lián)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的供電裝置(10)，具有連接在所述過程控制裝置(36)和所述供電模塊(12，14，16，18，20)之間的加熱控制裝置(32)，用于控制和監(jiān)測所述供電模塊(12，14，16，18，20)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或者2所述的供電裝置(10)，其中每個供電模塊(12，14，16，18，20)在輸入側(cè)三相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項所述的供電裝置(10)，其中每個供電模塊(12，14，16，18，20)包括三個相同的子模塊，所述這些子模塊通過內(nèi)部的系統(tǒng)總線相互連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的供電裝置(10)，其中每個子模塊包括整流器單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的供電裝置(10)，其中每個子模塊包括功率因數(shù)校正級。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的供電裝置(10)，其中在所述功率因數(shù)校正級之后連接有時鐘輸出級。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中任一項所述的供電裝置(10)，其中每個供電模塊(12，14，16，18，20)包括通信接口。
9.一種運行用于坩堝加熱裝置(28)的供電裝置(10)的方法，所述供電裝置包括至少一個加熱電流回路(26，30)和用于控制供電模塊(12，14，16，18，20)的過程控制裝置(36)，所述加熱電流回路相應(yīng)地包括有至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)，其中在所述這個或者每個加熱電流回路(26，30)中，所述至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)的輸出端(24，29 )并聯(lián)，而且其中被分開用于每個加熱電流回路(26，30 )的所述供電模塊(12，14，16，18，20)取決于工藝流程和/或在單個的供電模塊(12，14，16，18，20)中出現(xiàn)故障時激活或者去除激活。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中在所述供電模塊(12，14，16，18，20)中的任一個出現(xiàn)故障時，將信號(56)經(jīng)過通信接口，從損壞的所述供電模塊(12，14，16，18，20)傳輸給連接在所述過程控制裝置(36)和所述供電模塊(12，14，16，18，20)之間的加熱控制裝置(32)，并且所述加熱控制裝置(32)使損壞的所述供電模塊(12，14，16，18，20)去除激活。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中在所述供電模塊(12，14，16，18，20)中的任一個出現(xiàn)故障時，將信號(56)經(jīng)過通信接口，從損壞的所述供電模塊(12，14，16，18，20)傳輸給所述過程控制裝置(36)，并且所述過程控制裝置(36)使損壞的所述供電模塊(12，14，16，18，20)去除激活。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或者11所述的方法，其中如果在附屬的所述加熱電流回路(26，30)中所需要的功率小于或者等于激活的供電模塊(12，14，16，18，20)的最大功率，則將去除激活的供電模塊(12，14，16，18,20)的功率附加地按比例分配給所述那個或那些在附屬的所述加熱電流回路(26，30)中激活的供電模塊(12，14，16，18，20)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的方法，其中使并不需要的供電模塊(12，14，16，18，20)去除激活，而且其中在并聯(lián)的供電模塊(12，14，16，18，20)停止運行或出現(xiàn)故障時，使所述不需要的供電模塊(12，14，16，18，20)自動地激活。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述這個或這些與去除激活的供電模(12，14，16，18，20)并聯(lián)的供電模塊(12，14，16，18，20)至少按比例承擔(dān)所述去除激活的供電模塊(12，14，16，18，20)的功率。
15.一種具有程序編碼器的計算機程序，用于在過程控制裝置(36)或者加熱控制裝置(32)上運行程序時實施根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項所述的所有步驟。
16.一種具有程序編碼器的計算機程序產(chǎn)品，所述計算機程序產(chǎn)品存儲在計算機可讀的數(shù)據(jù)載體上，用于在過程控制裝置(36)或者加熱控制裝置(32)上運行程序時實施根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項所述的方法。
17.一種數(shù)字存儲介質(zhì)，尤其是磁盤，具有可以電子讀出的控制信號，所述控制信號可以這樣與可編程的過程控制裝置(36)或者加熱控制裝置(32)共同作用，從而實施一種根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項所述的方法。
18.一種過程控制裝置(36 )或加熱控制裝置(32 )，具有處理單元(44 )和存儲器(46 )，根據(jù)權(quán)利要求15所述的計算機程序載入所述存儲器，所述計算機程序在設(shè)備運行中通過所述處理單元(44)來實施。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于坩堝加熱裝置(28)的供電裝置(10，54)，包括至少一個加熱電流回路(26，30)和用于控制供電模塊(12，14，16，18，20)的過程控制裝置(36)，其中加熱電流回路(26，30)相應(yīng)地包括至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)，其中在這個或者每個加熱電流回路(26，30)中，至少兩個供電模塊(12，14，16，18，20)的輸出端(24，29)并聯(lián)，本發(fā)明還涉及一種使其運行的方法。選擇地可以設(shè)置加熱控制裝置(32)來代替過程控制裝置(36)，用于控制供電模塊(12，14，16，18，20)。
文檔編號C30B15/00GK102912423SQ201210272810
公開日2013年2月6日 申請日期2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月1日
發(fā)明者烏韋·鮑姆巴赫, 邁克·魯?shù)婪?申請人:西門子公司