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一種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號:8152782閱讀:225來源:國知局
專利名稱:一種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及單晶爐設(shè)備,具體地說是ー種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
目前,公知的單晶爐設(shè)備中的觀察窗為單層結(jié)構(gòu),設(shè)備運(yùn)行過程中揮發(fā)物很快將觀察窗玻璃污染,造成無法繼續(xù)觀測,需頻繁更換觀察窗玻璃,使操作繁復(fù)。單個觀察窗ー般僅能實現(xiàn)觀察、測溫、攝像功能中的ー種,不易實現(xiàn)單晶爐晶體生長自動化。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述單層觀察窗存在的觀察玻璃需頻繁更換、觀察窗實現(xiàn)功能単一、不易實現(xiàn)晶體生長自動化問題,本發(fā)明的目的在于提供ー種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的 本發(fā)明包括驅(qū)動裝置、傳動裝置、固定層玻璃、活動層玻璃及托架,其中驅(qū)動裝置安裝在單晶爐的座體上,所述托架通過傳動裝置與驅(qū)動裝置連接,由驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn),在托架上放置有多個活動層玻璃;所述固定層玻璃安裝在座體上,隨托架旋轉(zhuǎn)的活動層玻璃位于固定層玻璃的下方,遮擋住通道內(nèi)的揮發(fā)物。其中所述托架上設(shè)有與活動層玻璃數(shù)量相等的內(nèi)孔,每個內(nèi)孔內(nèi)均放有活動層玻璃;所述內(nèi)孔為通孔,且為階梯孔,活動層玻璃放置在階梯孔內(nèi)壁形成的平臺上;每個在固定層玻璃下方遮擋揮發(fā)物的活動層玻璃遮擋固定層玻璃的面積大于或等于固定層玻璃總面積的50%;所述單晶爐的座體安裝在單晶爐的觀察口上,該觀察口內(nèi)設(shè)有通道,所述通道位于固定層玻璃的正下方;所述座體與觀察ロ的內(nèi)部形成容置空間,所述傳動裝置及托架位于該容置空間內(nèi);所述傳動裝置包括主動齒輪及從動齒輪,其中主動齒輪與傳動裝置的輸出端相連,從動齒輪的齒輪軸通過軸承轉(zhuǎn)動安裝在所述座體上,并與主動齒輪相嚙合;所述托架固接在從動齒輪上,隨從動齒輪旋轉(zhuǎn);所述固定層玻璃上設(shè)有觀察壓蓋。本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為I.本發(fā)明將觀察窗玻璃分為固定層玻璃和活動層玻璃,其中固定層玻璃相對浄止,活動層玻璃通過傳動裝置實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)切換,延長固定層玻璃的使用時間,無需頻繁更換,使操作過程簡化。2.應(yīng)用本發(fā)明的觀測機(jī)構(gòu),能夠使單個觀察窗同時實現(xiàn)觀察、測溫、攝像功能,易于實現(xiàn)晶體生長自動化。


圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為圖I的俯視圖;其中1為驅(qū)動裝置,2為主動齒輪,3為從動齒輪,4為固定層玻璃,5為活動層玻璃,6為托架,7為座體,8為觀察ロ,9為觀察壓蓋,10為通道,11為容置空間,12為軸承。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)ー步詳述。如圖I、圖2所示,本發(fā)明包括驅(qū)動裝置I、傳動裝置、固定層玻璃4、活動層玻璃5及托架6,單晶爐的座體7安裝在觀察ロ 8上,觀察ロ 8內(nèi)開有通道10,座體7與觀察ロ 8的內(nèi)部形成容置空間11。驅(qū)動裝置I安裝在座體7上, 可為電機(jī);傳動裝置位于該容置空間11內(nèi),可為齒輪傳動、皮帶皮帶輪傳動等,本實施例的傳動裝置為齒輪傳動、包括主動齒輪2及從動齒輪3。電機(jī)的輸出軸伸入容置空間11內(nèi),并連接有主動齒輪2 ;從動齒輪3的齒輪軸通過軸承12轉(zhuǎn)動安裝在座體7上,并與主動齒輪2相嚙合。在容置空間11內(nèi)還容置有托架6,該托架6固接在從動齒輪3上,隨從動齒輪3旋轉(zhuǎn)。托架6上開設(shè)有數(shù)量多個內(nèi)孔,每個內(nèi)孔內(nèi)均放有活動層玻璃5,當(dāng)電機(jī)帶動托架6旋轉(zhuǎn)吋,活動層玻璃5隨托架6旋轉(zhuǎn)。內(nèi)孔為通孔,且為階梯孔,活動層玻璃5放置在階梯孔內(nèi)壁形成的平臺上。固定層玻璃4安裝在座體7上,位于通道10的正上方,隨托架6旋轉(zhuǎn)的活動層玻璃5位于固定層玻璃4的下方,遮擋住通道10內(nèi)的揮發(fā)物,每個在固定層玻璃4下方遮擋揮發(fā)物的活動層玻璃5遮擋固定層玻璃4的面積大于或等于固定層玻璃4總面積的50%。在固定層玻璃4上設(shè)有觀察壓蓋9,以保證固定層玻璃4相對活動層玻璃5保持靜止;觀察壓蓋9為中空結(jié)構(gòu),以便于通過固定層玻璃4觀察。本實施例的固定層玻璃4至少為ー個,當(dāng)托架6由電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)時,可由不同的活動層玻璃5同時遮擋住多個固定層玻璃4。本發(fā)明的工作原理為驅(qū)動裝置I工作,驅(qū)動主動齒輪2旋轉(zhuǎn),通過與從動齒輪3的嚙合傳動,帶動托架6旋轉(zhuǎn);放置在托架6上內(nèi)孔內(nèi)的活動層玻璃5即隨之旋轉(zhuǎn)。固定層玻璃4不動,托架6每旋轉(zhuǎn)設(shè)定角度,使得活動層玻璃5遮擋住不少于50%的固定層玻璃4面積,從而實現(xiàn)活動層玻璃5旋轉(zhuǎn)切換遮擋、固定層玻璃4防污染的目的。
權(quán)利要求
1.一種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于包括驅(qū)動裝置(I)、傳動裝置、固定層玻璃(4)、活動層玻璃(5)及托架(6),其中驅(qū)動裝置(I)安裝在單晶爐的座體(7)上,所述托架(6)通過傳動裝置與驅(qū)動裝置(I)連接,由驅(qū)動裝置(I)驅(qū)動旋轉(zhuǎn),在托架(6)上放置有多個活動層玻璃(5);所述固定層玻璃(4)安裝在座體(7)上,隨托架(6)旋轉(zhuǎn)的活動層玻璃(5)位于固定層玻璃(4)的下方,遮擋住通道(10)內(nèi)的揮發(fā)物。
2.按權(quán)利要求I所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于所述托架(6)上設(shè)有與活動層玻璃(5)數(shù)量相等的內(nèi)孔,每個內(nèi)孔內(nèi)均放有活動層玻璃(5)。
3.按權(quán)利要求2所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于所述內(nèi)孔為通孔,且為階梯孔,活動層玻璃(5)放置在階梯孔內(nèi)壁形成的平臺上。
4.按權(quán)利要求I所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于每個在固定層玻璃(4)下方遮擋揮發(fā)物的活動層玻璃(5)遮擋固定層玻璃(4)的面積大于或等于固定層玻璃(4)總面積的50%。
5.按權(quán)利要求I所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于所述單晶爐的座體(7)安裝在單晶爐的觀察口(8)上,該觀察口(8)內(nèi)設(shè)有通道(10),所述通道(10)位于固定層玻璃(4)的正下方;所述座體(7)與觀察口(8)的內(nèi)部形成容置空間(11),所述傳動裝置及托架(6)位于該容置空間(11)內(nèi)。
6.按權(quán)利要求I或5所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于所述傳動裝置包括主動齒輪(2 )及從動齒輪(3 ),其中主動齒輪(2 )與傳動裝置的輸出端相連,從動齒輪(3 )的齒輪軸通過軸承(12)轉(zhuǎn)動安裝在所述座體(7)上,并與主動齒輪(2)相嚙合;所述托架(6)固接在從動齒輪(3)上,隨從動齒輪(3)旋轉(zhuǎn)。
7.按權(quán)利要求I所述用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),其特征在于所述固定層玻璃(4)上設(shè)有觀察壓蓋(9)。
全文摘要
本發(fā)明涉及單晶爐設(shè)備,具體地說是一種用于單晶爐設(shè)備的觀測機(jī)構(gòu),包括驅(qū)動裝置、傳動裝置、固定層玻璃、活動層玻璃及托架,其中驅(qū)動裝置安裝在單晶爐的座體上,所述托架通過傳動裝置與驅(qū)動裝置連接,由驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn),在托架上放置有多個活動層玻璃;所述固定層玻璃安裝在座體上,隨托架旋轉(zhuǎn)的活動層玻璃位于固定層玻璃的下方,遮擋住通道內(nèi)的揮發(fā)物。本發(fā)明將觀察窗玻璃分為固定層玻璃和活動層玻璃,其中固定層玻璃相對靜止,活動層玻璃通過傳動裝置實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)切換,延長固定層玻璃的使用時間,無需頻繁更換,使操作過程簡化。
文檔編號C30B15/00GK102808217SQ20121029727
公開日2012年12月5日 申請日期2012年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月21日
發(fā)明者雷震霖, 呂棋, 佟輝, 王宏宇 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
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