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一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法

文檔序號(hào):8117793閱讀:507來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,屬太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域。
背景技術(shù)
多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過(guò)冷條件下凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來(lái), 就結(jié)晶成多晶娃。
正常情況下多晶鑄錠的冷卻是在通入氬氣的環(huán)境中進(jìn)行冷卻的,通入的氬氣在爐體內(nèi)停留時(shí)間較短,帶走的熱量只有80%—85%,冷卻效果一般且冷卻氣體成本大。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,進(jìn)入退火階段爐體不進(jìn)氣,不出氣保持恒壓,爐體內(nèi)的氣體的溫度與爐體內(nèi)的溫度一致,爐體內(nèi)的氣體作為介質(zhì)就可以把更多的熱傳給爐壁流動(dòng)的水,在不影響成晶率及生產(chǎn)周期的前提下使多晶鑄錠冷卻效率更加高效明顯,并大量減少冷卻氣體的使用量,較大程度上降低生產(chǎn)成本。
一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓470-530Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持11. 6-12. 4h,直到冷卻工序結(jié)束。
本發(fā)明在可以保證優(yōu)質(zhì)的太陽(yáng)能用的多晶硅錠或者單晶硅棒的同時(shí),實(shí)現(xiàn)減少使用大量氬氣的效果,在不影響成晶率的前提下降低多晶鑄錠或者拉晶成本。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例I:一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓470Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持11.6h,直到冷卻工序結(jié)束。
實(shí)施例2 一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓500Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持12.0h,直到冷卻工序結(jié)束。
實(shí)施例3 一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓530Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持12.4h,直到冷卻工序結(jié)束。
實(shí)施例4:一種多晶鑄錠高效冷卻的方法,長(zhǎng)晶工序完成后,退火和冷卻工序不停止通入氬氣,維持12. 0h,直至整個(gè)直拉法單晶制備工藝結(jié)束。
制備多晶時(shí)分別采用實(shí)施例1-4的冷卻工藝,其所得的多晶的成晶率和氬氣總消耗量如下表所示
權(quán)利要求
1.一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,其特征在于長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓470-530Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持11. 6-12. 4h,直到冷卻工序結(jié)束。
2.如權(quán)利要求I所述的一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,其特征在于長(zhǎng)晶工序完成后,從退火過(guò)程開(kāi)始保持長(zhǎng)晶過(guò)程的爐壓500Pa,不通入氬氣也不排出氬氣,一直到冷卻工序,是一個(gè)保壓的狀態(tài),維持12. Oh,直到冷卻工序結(jié)束。
全文摘要
一種多晶鑄錠高效冷卻的技術(shù)方法,進(jìn)入退火階段爐體不進(jìn)氣,不出氣保持恒壓,爐體內(nèi)的氣體的溫度與爐體內(nèi)的溫度一致,爐體內(nèi)的氣體作為介質(zhì)就可以把更多的熱傳給爐壁流動(dòng)的水,在不影響成晶率及生產(chǎn)周期的前提下使多晶鑄錠冷卻效率更加高效明顯,并大量減少冷卻氣體的使用量,較大程度上降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C30B33/02GK102978709SQ20121046275
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月16日
發(fā)明者周慧敏, 冷金標(biāo), 周建國(guó), 龍昭欽, 徐志群 申請(qǐng)人:晶科能源有限公司
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