液靜壓工作裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種液靜壓工作裝置，其包括一基座、一載臺(tái)、一液靜壓提供器、一測(cè)量器及一控制器。載臺(tái)設(shè)置于基座。載臺(tái)設(shè)有一液靜壓通道，液靜壓通道內(nèi)設(shè)有油液。載臺(tái)通過(guò)液靜壓通道內(nèi)的油液與基座間具有一間距。液靜壓提供器，供給液靜壓通道的油液并調(diào)整油液供給壓力。測(cè)量器設(shè)置于載臺(tái)，用以測(cè)量載臺(tái)與基座間的間距，并輸出一距離信號(hào)。控制器連接液靜壓提供器與測(cè)量器。控制器根據(jù)距離信號(hào)控制液靜壓提供器調(diào)整油液供給壓力。
【專利說(shuō)明】液靜壓工作裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種液靜壓工作裝置，尤其是涉及一種可調(diào)整載臺(tái)與基座的油液供給壓力的液靜壓工作裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]于傳統(tǒng)的液靜壓工作裝置中，通常會(huì)在載臺(tái)及基座之間設(shè)置多個(gè)節(jié)流器及可調(diào)整間隙的出油口，以于載臺(tái)的不同位置提供油液，使載臺(tái)與基座之間具有一間距。當(dāng)載臺(tái)傾斜時(shí)，會(huì)使得不同位置的油液壓力不同。當(dāng)載臺(tái)愈下沉，則油液壓力愈大。油液壓力愈大時(shí)，則節(jié)流器會(huì)提供較大量的油液，并縮小出油口的間隙，而以大量增加剛性的油液抬起載臺(tái)的下沉部分。 [0003]然而，若是在載臺(tái)并未傾斜的情況下，就無(wú)法調(diào)整節(jié)流器及出油口對(duì)于油液的供應(yīng)。而在將載臺(tái)從傾斜調(diào)整成水平時(shí)，也無(wú)法得知載臺(tái)是否還在原始高度上。若載臺(tái)并未回復(fù)至原始高度，則可能造成加工上的誤差產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種液靜壓工作裝置，能夠根據(jù)載臺(tái)與基座的間距主動(dòng)調(diào)整油液供給壓力。
[0005]為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種液靜壓工作裝置，其包括一基座、一載臺(tái)、一液靜壓提供器、一測(cè)量器及一控制器。載臺(tái)設(shè)置于基座。載臺(tái)設(shè)有一液靜壓通道，液靜壓通道內(nèi)設(shè)有油液。載臺(tái)通過(guò)液靜壓通道內(nèi)的油液與基座間具有一間距。液靜壓提供器供給液靜壓通道的油液并調(diào)整油液供給壓力。測(cè)量器設(shè)置于載臺(tái)，用以測(cè)量載臺(tái)與基座間的間距，并輸出一距離信號(hào)?？刂破鬟B接液靜壓提供器與測(cè)量器?？刂破鞲鶕?jù)距離信號(hào)控制液靜壓提供器調(diào)整油液供給壓力。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的液靜壓工作裝置，因能根據(jù)載臺(tái)與基座的間距，而控制液靜壓提供器供給液靜壓通道的油液供給壓力。且通過(guò)油液供給壓力的改變主動(dòng)調(diào)整載臺(tái)與基座的間距。因此，能夠使載臺(tái)保持一定的偏斜或水平情形及高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。
[0007]以上的關(guān)于本
【發(fā)明內(nèi)容】
的說(shuō)明及以下的實(shí)施方式的說(shuō)明用以示范與解釋本發(fā)明的精神與原理，并且提供本發(fā)明的專利申請(qǐng)范圍更進(jìn)一步的解釋。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1A為本發(fā)明的實(shí)施例的液靜壓工作裝置的立體圖；
[0009]圖1B為圖1A的液靜壓工作裝置的側(cè)視圖；
[0010]圖1C為圖1A的液靜壓工作裝置的控制架構(gòu)圖；
[0011]圖2為本發(fā)明的另一實(shí)施例的液靜壓工作裝置的側(cè)視圖；
[0012]圖3為本發(fā)明的另一實(shí)施例的液靜壓工作裝置的側(cè)視圖。
[0013]主要元件符號(hào)說(shuō)明[0014]10、30、50液靜壓工作裝置
[0015]100,300,500 基座
[0016]IlOaUlOb,310,510 基準(zhǔn)面
[0017]120,320,520 軌道
[0018]130排放通道
[0019]140 凸起
[0020]150控制器
[0021]200、400、600 載臺(tái)
[0022]210a、2IOb液靜壓通道
[0023]220a,220b,420,620 測(cè)量單元
[0024]230 罩體
[0025]240液靜壓提供器
[0026]200a>400a 底部
[0027]400b 凹部
[0028]400c 側(cè)壁
[0029]600a 側(cè)面
[0030]D1、D10、D2、D20 間距
【具體實(shí)施方式】
[0031]以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使任何本領(lǐng)域中具通常知識(shí)者了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說(shuō)明書所公開的內(nèi)容、權(quán)利要求及附圖，任何本領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)。以下的實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。
[0032]請(qǐng)參照?qǐng)D1A，其繪示本發(fā)明的實(shí)施例的液靜壓工作裝置10的立體圖。本發(fā)明的液靜壓工作裝置10包括一基座100及一載臺(tái)200。載臺(tái)200設(shè)置于基座100上而能相對(duì)于基座100移動(dòng)。載臺(tái)200能夠承載工件，以利用液靜壓工作裝置10對(duì)工件進(jìn)行加工。請(qǐng)參照?qǐng)D1B及圖1C，圖1B繪示圖1A的液靜壓工作裝置10的側(cè)視圖，圖1C繪示圖1A的液靜壓工作裝置10的控制架構(gòu)圖。液靜壓工作裝置10還包括一液靜壓提供器240、多個(gè)測(cè)量單元220a,220b 及一控制器 150。
[0033]基座100包括多個(gè)基準(zhǔn)面110a、110b、一對(duì)軌道120、一排放通道130及多個(gè)凸起140。基準(zhǔn)面IlOaUlOb分別位于軌道120的外側(cè)。凸起140設(shè)置于軌道120及基準(zhǔn)面IlOaUlOb之間?；鶞?zhǔn)面IlOaUlOb的光線反射率為百分之七十以上。
[0034]載臺(tái)200設(shè)置于基座100的軌道120，且能沿軌道120移動(dòng)。載臺(tái)200設(shè)有多個(gè)液靜壓通道210a、210b。液靜壓通道210a、210b內(nèi)設(shè)有油液。液靜壓通道210a、210b的開口分別朝向軌道120供給油液。載臺(tái)200通過(guò)液靜壓通道210a、210b內(nèi)的油液而與基座100間具有間距D10、D20。排放通道130與間距D10、D20連通。基座100的凸起140能防止油液流至基準(zhǔn)面110a、110b。
[0035]液靜壓提供器240與液靜壓通道210a、210b連接。液靜壓提供器240供給液靜壓通道210a、210b油液，并調(diào)整油液供給壓力。載臺(tái)200與基座100的間距DIO、D20能通過(guò)位于間距DIO、D20的油液的油液供給壓力而改變。當(dāng)油液供給壓力增加時(shí)，間距DIO、D20的大小也會(huì)增加。反之，當(dāng)油液供給壓力下降時(shí)，間距D10、D20的大小則會(huì)縮短。
[0036]測(cè)量單元220a、220b設(shè)置于載臺(tái)200并分別朝向基準(zhǔn)面110a、110b。測(cè)量單元220a、220b能形成一測(cè)量器，測(cè)量器能以光線感測(cè)器構(gòu)成。測(cè)量單元220a、220b因而能通過(guò)基準(zhǔn)面IlOaUlOb的反射光線測(cè)量距離及偏移角度。測(cè)量單元220a能測(cè)量基準(zhǔn)面IlOa與測(cè)量單元220a的間距D1，進(jìn)而能通過(guò)推算得的間距D10。測(cè)量單元220b能測(cè)量基準(zhǔn)面IlOb與測(cè)量單元220b的間距D2，進(jìn)而能通過(guò)推算得的間距D20。測(cè)量單元220a、220b于測(cè)量間距D1、D2后能輸出一距離信號(hào)。載臺(tái)200朝向基座100具有一底部200a，測(cè)量器的測(cè)量單元220a、220b設(shè)置于載臺(tái)200的底部200a，以通過(guò)載臺(tái)200本身遮擋載臺(tái)200上進(jìn)行加工時(shí)所產(chǎn)生的噴屑及加工藥劑。液靜壓工作裝置10還包含一罩體230。罩體230設(shè)置于載臺(tái)200且能覆蓋測(cè)量單元220a、220b，以避免載臺(tái)200上進(jìn)行加工時(shí)所產(chǎn)生的噴屑及加工藥劑污損測(cè)量單元220a、220b。此外，載臺(tái)200沿著軌道120延伸的方向上，即圖1B的出紙及入紙方向上，能夠設(shè)置伸縮防護(hù)罩(未繪示)，以保護(hù)測(cè)量單元220a、220b不受污損。
[0037]控制器150連接液靜壓提供器240與測(cè)量單元220a、220b。控制器150能根據(jù)距離信號(hào)而控制液靜壓提供器240，使液靜壓提供器240調(diào)整供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力。
[0038]當(dāng)載臺(tái)200及其所承載的工件具有重量上的變化時(shí)，載臺(tái)200相對(duì)于基座100的間距D10、D20也會(huì)隨之變化。設(shè)置于載臺(tái)200上的測(cè)量單元220a、220b及基座100的基準(zhǔn)面11 Oa、11 Ob之間的間距D1、D2也會(huì)隨著間距DIO、D20變化。
[0039]當(dāng)載臺(tái)200尚未承載工件，或者承載工件的重心及重量未改變時(shí)，控制器150能控制液靜壓提供器240調(diào)整供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力。同時(shí)，測(cè)量單元220a測(cè)量其本身與基準(zhǔn)面IlOa的間距D1，測(cè)量單元220b測(cè)量其本身與基準(zhǔn)面IlOb的間距D2，并傳遞距離信號(hào)至控制器150?？刂破?50也根據(jù)距離信號(hào)繼續(xù)控制液靜壓提供器240調(diào)整油液供給壓力，使間距DlO與間距D20相等，進(jìn)而使間距Dl與間距D2相等。而從液靜壓通道210a、2IOb流出的油液，則能從排放通道130排出載臺(tái)200與基座100之間，并能回收至液靜壓提供器240再利用。
[0040]當(dāng)要抬升載臺(tái)200時(shí)，控制器150能控制液靜壓提供器240增加油液供給壓力。通過(guò)油液供給壓力支撐載臺(tái)200的重量，以增加載臺(tái)200及基座100的間距D10、D20，間距DU D2隨著間距DIO、D20的增加而增加，直到間距DU D2增加至一預(yù)定距離。當(dāng)載臺(tái)200承載工件時(shí)，載臺(tái)200會(huì)因重力而下沉。測(cè)量單元220a、220b會(huì)測(cè)量到間距Dl、D2縮短的情形，并發(fā)出距離信號(hào)通知控制器150?？刂破?50能控制液靜壓提供器240增加油液供給壓力，以支撐載臺(tái)200及工件的重量，并增加載臺(tái)200及基座100的間距D10、D20，直到間距D1、D2回復(fù)至預(yù)定距離。如此，能精準(zhǔn)控制載臺(tái)200的高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。
[0041]當(dāng)移開工件或工件的重量減少時(shí)，原本必須支撐載臺(tái)200及工件的油液供給壓力，因僅需支撐載臺(tái)200的重量而顯得過(guò)大。此時(shí)油液供給壓力會(huì)抬升載臺(tái)200而使得間距D10、D20增加，間距D1、D2也隨之增加。控制器150根據(jù)測(cè)量單元220a、220b測(cè)量間距D1、D2增加的距離信號(hào)，控制液靜壓提供器240減少油液供給壓力，以縮短載臺(tái)200及基座100的間距D10、D20，直到間距D1、D2回復(fù)至預(yù)定距離。如此，能精準(zhǔn)控制載臺(tái)200的高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。[0042]當(dāng)工件的重心偏斜擺放于載臺(tái)200上，或者載臺(tái)200上的工件因加工而改變重心時(shí)，載臺(tái)200也會(huì)隨之偏斜。此時(shí)，載臺(tái)200與基座100之間的間距DIO、D20可能會(huì)不相等，使得間距D1、D2也不相等。當(dāng)測(cè)量單元220a所測(cè)量的間距Dl及測(cè)量單元220b所測(cè)量的間距D2皆小于預(yù)定距離，且間距Dl小于間距D2時(shí)，表示載臺(tái)200左右皆下沉，且左方較右方下沉?？刂破?50能通過(guò)間距Dl及間距D2控制液靜壓提供器240增加供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力。此時(shí)，控制器150能控制供給至液靜壓通道210a的油液供給壓力的增加幅度，大于供給至液靜壓通道210b的油液供給壓力的增加幅度，直到間距D1、D2回復(fù)至預(yù)定距離。如此，能夠使載臺(tái)200保持水平，并且能精準(zhǔn)控制載臺(tái)200的高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。
[0043]當(dāng)測(cè)量單元220a所測(cè)量的間距Dl小于預(yù)定距離，但測(cè)量單元220b所測(cè)量的間距D2大于預(yù)定距離時(shí)，表示載臺(tái)200左方較為下沉，但右方較為上升。控制器150能通過(guò)間距Dl及間距D2控制液靜壓提供器240調(diào)整供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力。此時(shí)，控制器150能控制液靜壓提供器240增加供給至液靜壓通道210a的油液供給壓力，還能控制液靜壓提供器240減少供給至液靜壓通道210b的油液供給壓力，直到間距D1、D2回復(fù)至預(yù)定距離。如此，能夠使載臺(tái)200保持水平，并且能精準(zhǔn)控制載臺(tái)200的高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。
[0044]當(dāng)測(cè)量單元220a所測(cè)量的間距Dl及測(cè)量單元220b所測(cè)量的間距D2皆大于預(yù)定距離，且間距Dl小于間距D2時(shí)，表示載臺(tái)200左右皆上升，且右方較左方上升?？刂破?50能通過(guò)間距Dl及間距D2控制液靜壓提供器240減少供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力。此時(shí)，控制器150能控制供給至液靜壓通道210a的油液供給壓力的減少幅度，小于供給至液靜壓通道210b的油液供給壓力的減少幅度，直到間距Dl、D2回復(fù)至預(yù)定距離。如此，能夠使載臺(tái)200保持水平，并且能精準(zhǔn)控制載臺(tái)200的高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。
[0045]以上雖以間距Dl小于間距D2做為說(shuō)明范例，但間距Dl大于間距D2的情形，也能夠與上述范例相似，但左右相反，因此不予贅述。
[0046]當(dāng)測(cè)量單元220a、220b所測(cè)量的間距Dl、D2皆為預(yù)定距離，但測(cè)量單元220a、220b的測(cè)量角度具有一偏移角度時(shí)，表示載臺(tái)200本身已呈現(xiàn)彎曲情形。當(dāng)測(cè)量單元220a、220b所量側(cè)的偏移角度皆朝向載臺(tái)200的中央時(shí)，表示載臺(tái)200中央較為拱起，而兩外側(cè)較為下沉。當(dāng)測(cè)量單元220a、220b所量側(cè)的偏移角度皆朝向載臺(tái)200的兩外側(cè)時(shí)，表示載臺(tái)200中央較為凹陷，而兩外側(cè)較為翹起。控制器150能通過(guò)測(cè)量單元220a、220b所測(cè)量的偏移角度及載臺(tái)200本身的幾何數(shù)據(jù)，計(jì)算載臺(tái)200的彎曲情形。當(dāng)加工用的刀具所對(duì)應(yīng)的位置為載臺(tái)200較為下沉的位置時(shí)，控制器150能控制液靜壓提供器240增加供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力，以補(bǔ)償載臺(tái)200下沉的幅度。當(dāng)加工用的刀具所對(duì)應(yīng)的位置為載臺(tái)200較為上升的位置時(shí)，控制器150能控制液靜壓提供器240減少供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力，以補(bǔ)償載臺(tái)200上升的幅度。
[0047]此外，當(dāng)控制器150通過(guò)測(cè)量單元220a、220b所量側(cè)的偏移角度推算出載臺(tái)200中央較為凹陷時(shí)，例如載臺(tái)200本身的重量所造成的變形，使用者還能夠利用千分表或萬(wàn)分表測(cè)量中央凹陷量，并將中央凹陷量輸入控制器150中，以通過(guò)控制器150控制液靜壓提供器240增加供給至液靜壓通道210a、210b的油液供給壓力，以補(bǔ)償載臺(tái)200凹陷的幅度。[0048]請(qǐng)參照?qǐng)D2，繪示本發(fā)明的另一實(shí)施例的液靜壓工作裝置30的側(cè)視圖。本實(shí)施例的液靜壓工作裝置30的結(jié)構(gòu)大致上與圖1B所示的液靜壓工作裝置10相似。然而，本實(shí)施例的液靜壓工作裝置30中，基座300的基準(zhǔn)面310背對(duì)于軌道320。載臺(tái)400朝向基座300具有一底部400a，底部400a具有一凹部400b，凹部400b具有一側(cè)壁400c，測(cè)量器的多個(gè)測(cè)量單元420設(shè)置于側(cè)壁400c且分別朝向軌道320而朝向基準(zhǔn)面310。當(dāng)載臺(tái)400偏斜時(shí)，測(cè)量單元420與基準(zhǔn)面310的間距以及測(cè)量單元420的測(cè)量角度皆會(huì)有所改變?；鶞?zhǔn)面310上能設(shè)置有多個(gè)刻度，測(cè)量單元420還能根據(jù)基準(zhǔn)面上的刻度得知測(cè)量單元420相較于基座300的高度位置。圖1C中所示的控制器150能通過(guò)測(cè)量單元420所測(cè)量到的間距、測(cè)量角度及高度位置，控制載臺(tái)400的偏斜或水平情形以及載臺(tái)的高度位置。
[0049]請(qǐng)參照?qǐng)D3，繪示本發(fā)明的另一實(shí)施例的液靜壓工作裝置50的側(cè)視圖。本實(shí)施例的液靜壓工作裝置50的結(jié)構(gòu)大致上與圖2所示的液靜壓工作裝置30相似。然而，本實(shí)施例的液靜壓工作裝置50中，基座500的基準(zhǔn)面510朝向軌道520，測(cè)量器的多個(gè)測(cè)量單元620設(shè)置于該載臺(tái)的側(cè)面600a，且分別背對(duì)軌道520而朝向基準(zhǔn)面510。當(dāng)載臺(tái)600偏斜時(shí)，測(cè)量單元620與基準(zhǔn)面510的間距以及測(cè)量單元620的測(cè)量角度皆會(huì)有所改變?；鶞?zhǔn)面510上能設(shè)置有多個(gè)刻度，測(cè)量單元620還能根據(jù)基準(zhǔn)面上的刻度得知測(cè)量單元620相較于基座500的高度位置。圖1C中所示的控制器150能通過(guò)測(cè)量單元620所測(cè)量到的間距、測(cè)量角度及高度位置，控制載臺(tái)600的偏斜或水平情形以及載臺(tái)的高度位置。
[0050]綜上所述，本發(fā)明的液靜壓工作裝置，因能根據(jù)載臺(tái)與基座的間距，而控制液靜壓提供器供給液靜壓通道的油液供給壓力。且通過(guò)油液供給壓力的改變主動(dòng)調(diào)整載臺(tái)與基座的間距。因此，能夠使載臺(tái)保持一定的偏斜或水平情形及高度位置，以避免加工時(shí)產(chǎn)生誤差。測(cè)量器的測(cè)量單元能夠設(shè)置于載臺(tái)的底部以朝向基座的基準(zhǔn)面，而得以通過(guò)載臺(tái)本身、設(shè)置于載臺(tái)的罩體及伸縮防護(hù)照，遮擋載臺(tái)上進(jìn)行加工時(shí)所產(chǎn)生的噴屑及加工藥劑，避免污損。測(cè)量單元設(shè)置于載臺(tái)，能避免在機(jī)房或是基座上設(shè)置大量的測(cè)量單元。由此，能在使用最少測(cè)量單元數(shù)量的情況下，達(dá)成測(cè)量載臺(tái)與基座的間距的目的。
【權(quán)利要求】
1.一種液靜壓工作裝置，包括: 基座; 載臺(tái)，設(shè)置于該基座，該載臺(tái)設(shè)有一液靜壓通道，該液靜壓通道內(nèi)設(shè)有油液，該載臺(tái)通過(guò)該液靜壓通道內(nèi)的油液與該基座間具有一間距； 液靜壓提供器，供給該液靜壓通道的油液并調(diào)整油液供給壓力； 測(cè)量器，設(shè)置于該載臺(tái)，用以測(cè)量該載臺(tái)與該基座間的間距，并輸出一距離信號(hào)；以及控制器，連接該液靜壓提供器與該測(cè)量器，該控制器根據(jù)該距離信號(hào)控制該液靜壓提供器調(diào)整油液供給壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，還包含一罩體，設(shè)置于該載臺(tái)且覆蓋該測(cè)量器。
3.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該載臺(tái)朝向該基座具有一底部，該測(cè)量器設(shè)置于該底部。
4.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該基座包括多個(gè)基準(zhǔn)面及一對(duì)軌道，該測(cè)量器包括多個(gè)測(cè)量單元，該載臺(tái)設(shè)置于該基座的該對(duì)軌道，且能沿該對(duì)軌道移動(dòng)，該些測(cè)量單元分別朝向該些基準(zhǔn)面測(cè)量。
5.如權(quán)利要求4所述的液靜壓工作裝置，其中該基座還具有一排放通道，與該間距連通。
6.如權(quán)利要求4所述的液靜壓工作裝置，其中該測(cè)量器為光線感測(cè)器。
7.如權(quán)利要求6所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準(zhǔn)面的光線反射率為百分之七十以上。
8.如權(quán)利要求4所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準(zhǔn)面設(shè)置有多個(gè)刻度。
9.如權(quán)利要求4所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準(zhǔn)面位于該對(duì)軌道的外側(cè)。
10.如權(quán)利要求9所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準(zhǔn)面朝向該對(duì)軌道，該些測(cè)量單元設(shè)置于該載臺(tái)的側(cè)面，且分別背對(duì)該對(duì)軌道而朝向該些基準(zhǔn)面。
11.如權(quán)利要求9所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準(zhǔn)面背對(duì)該對(duì)軌道，該載臺(tái)朝向該基座具有一底部，該底部具有一凹部，該凹部具有一側(cè)壁，該些測(cè)量單元設(shè)置于該側(cè)壁且分別朝向該對(duì)軌道而朝向該些基準(zhǔn)面。
【文檔編號(hào)】B30B15/00GK103770364SQ201210475267
【公開日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2012年11月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月23日
【發(fā)明者】陳羿銘, 羅佐良, 洪紹穎, 廖建智, 林衛(wèi)助, 黃少谷 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院