專利名稱：一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及提拉法單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)領(lǐng)域，尤其涉及一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置。
背景技術(shù)：
提拉法具有易觀察、可控性高、生長(zhǎng)周期短等特點(diǎn)，是人工晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域最重要的方法之一。對(duì)高質(zhì)量高均勻性人工晶體的需求以及人工成本的不斷提高，極大地推動(dòng)了提拉法晶體生長(zhǎng)自動(dòng)化的發(fā)展。在目前現(xiàn)有的幾種自動(dòng)提拉方法中，上稱重提拉法由于其自動(dòng)化程度高，精密性高，生長(zhǎng)晶體質(zhì)量好而著稱。由于上稱重法電子秤的高精密性，輕微的干擾都容易造成重量數(shù)據(jù)的波動(dòng)，造成 晶體生長(zhǎng)的不穩(wěn)定。固定在電子秤下面的籽晶桿組件需要懸空不受力，籽晶桿夾持和對(duì)中有一點(diǎn)微小的偏差，到晶體籽晶位置就放大成劃弧和抖動(dòng)。目前普通籽晶桿夾持及對(duì)中方式(參考專利號(hào)ZL =01266981. 4《籽晶桿居中調(diào)節(jié)器》)，采用三個(gè)螺絲將籽晶桿固定在對(duì)中法蘭上，由于僅靠三個(gè)點(diǎn)的固定，精度較差，籽晶桿容易劃弧抖動(dòng)。另外，當(dāng)籽晶桿轉(zhuǎn)動(dòng)速度較快、生長(zhǎng)的晶體較重或晶體生長(zhǎng)周期較長(zhǎng)時(shí)，固定螺絲容易松動(dòng)導(dǎo)致籽晶桿脫落掉入熔體中。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決傳統(tǒng)技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明公開了一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，可以有效解決籽晶桿使用過程中的抖動(dòng)劃弧及松動(dòng)問題，拆裝調(diào)節(jié)對(duì)中都很方便，本發(fā)明是通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn)的
一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，包含上法蘭I，下法蘭2，ER螺母，3，彈簧4，螺栓5，ER夾頭6，上法蘭I的盤面有三等分螺絲孔，下法蘭2盤面有與上法蘭I盤面上三等分螺絲孔相對(duì)應(yīng)的三等分圓孔，將套有彈簧4的螺栓5穿過螺絲孔與圓孔將上法蘭I與下法蘭2連接在一起，通過微調(diào)螺栓5來調(diào)節(jié)上法蘭I與下法蘭2的相對(duì)位置，從而調(diào)整籽晶桿的中心度，上法蘭I與下法蘭2中心開有錐形孔，錐形孔的錐角與ER夾頭6簧瓣的錐角相同，籽晶桿7穿過ER夾頭6，旋緊ER螺母3，法蘭中心孔的內(nèi)錐面迫使ER夾頭5的簧瓣向中心收縮，將籽晶桿7固定在法蘭盤上。工作原理籽晶桿和轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)小軸套在ER夾頭中心內(nèi)，然后將ER夾頭簧瓣一端放入法蘭的中心孔中，中心孔有一定的錐角，角度與ER夾頭簧瓣的錐角相同，通過旋緊ER螺母，法蘭中心孔的內(nèi)錐面迫使ER夾頭的簧瓣向中心收縮，達(dá)到夾持籽晶桿和電機(jī)小軸的作用。兩個(gè)法蘭通過三個(gè)螺栓連接，螺栓外面套有彈簧，通過微調(diào)螺栓來精確調(diào)整籽晶桿的中;L·、度。


圖1為本發(fā)明一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置的結(jié)構(gòu)示意圖其中I為上法蘭，2為下法蘭，3為ER螺母，4為彈簧，5為螺栓，6為ER夾頭，7為籽晶桿。
具體實(shí)施例方式 結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理進(jìn)行詳細(xì)敘述。實(shí)施例一我們將此籽晶桿夾持及對(duì)中裝置應(yīng)用于上稱重法生長(zhǎng)釔鋁石榴石(YAG)晶體，夾持和對(duì)中籽晶桿，進(jìn)行晶體生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)。晶體生長(zhǎng)歷時(shí)21天，得到晶體尺寸為Φ45*120晶體等徑部分直徑偏差〈O. 5mm,晶體重1056g，晶體表面光滑無生長(zhǎng)條紋，內(nèi)部無散射、無位錯(cuò)。而采用普通的籽晶桿固定及對(duì)中裝置生長(zhǎng)時(shí)，晶體等徑部分直徑偏差>1_，晶體表面有密集的生長(zhǎng)條紋，晶體內(nèi)部有散射。 實(shí)施例二 我們將此籽晶桿夾持及對(duì)中裝置應(yīng)用于上稱重法生長(zhǎng)鋱鎵石榴石(TGG)晶體實(shí)驗(yàn)。晶體生長(zhǎng)歷時(shí)4天，得到晶體尺寸為Φ30*40晶體等徑部分直徑偏差〈O. 5mm,晶體重230g，晶體內(nèi)部無散射、無包絡(luò)和氣泡。而采用普通的籽晶桿固定及對(duì)中裝置生長(zhǎng)時(shí)，由于籽晶桿劃弧及抖動(dòng)，晶體偏心生長(zhǎng)，長(zhǎng)大角，生長(zhǎng)無法繼續(xù)。
權(quán)利要求
1.一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，包含上法蘭1，下法蘭2，ER螺母，3，彈簧4，螺栓5，ER夾頭6，其特征在于上法蘭I的盤面有三等分螺絲孔，下法蘭2盤面有與上法蘭I盤面上三等分螺絲孔相對(duì)應(yīng)的三等分圓孔，將套有彈簧4的螺栓5穿過螺絲孔與圓孔將上法蘭I與下法蘭2連接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，其特征在于通過微調(diào)螺栓5來調(diào)節(jié)上法蘭I與下法蘭2的相對(duì)位置，從而調(diào)整籽晶桿的中心度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，其特征在于上法蘭I與下法蘭2中心開有錐形孔，錐形孔的錐角與ER夾頭6簧瓣的錐角相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上稱重提拉法籽晶桿夾持及對(duì)中裝置，其特征在于籽晶桿7穿過ER夾頭6，旋緊ER螺母3，法蘭中心孔的內(nèi)錐面迫使ER夾頭5的簧瓣向中心收縮，將籽晶桿7固定在法蘭盤上。
全文摘要
本發(fā)明涉及提拉法單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)領(lǐng)域，應(yīng)用于上稱重提拉法籽晶桿的夾持及對(duì)中，包括上下法蘭，ER夾頭，ER螺母，彈簧及螺栓，通過ER夾頭夾持籽晶桿和轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)小軸，旋轉(zhuǎn)ER螺母將其固定在對(duì)中法蘭盤上，旋轉(zhuǎn)三個(gè)套有彈簧的螺栓來精確調(diào)整籽晶桿的中心度。本發(fā)明具有夾持力強(qiáng)，精度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝配調(diào)節(jié)方便等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/32GK103014841SQ20121053875
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月14日
發(fā)明者曾憲林, 吳少凡, 鄭熠 申請(qǐng)人:福建福晶科技股份有限公司