專利名稱：一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及了一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，屬于加速器真空技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
電子輻照加速器的真空系統(tǒng)主要有電子輪、加速管支座、漂移管、波紋管、掃描磁鐵芯管、掃描盒及抽氣系統(tǒng)組成。真空抽氣系統(tǒng)是加速器真空系統(tǒng)的重要系統(tǒng)。加速器要求的真空度主要由系統(tǒng)的殘余氣體分子與電子束的碰撞，由避免及減少由碰撞產(chǎn)生的庫侖散射帶來的能量損失程度來決定。因此，真空度至少不大于IO3帕，分子的平均自由程達5米以上，才能獲得一個滿意的束流品質(zhì)，原美國RDI公司加速器在四通處動態(tài)真空為IO4帕，這樣的真空對于加速器真空顯然是不滿意的，因此具有一個良好的真空抽氣系統(tǒng)來改善束流品質(zhì)，提高加速器的性能是很重要的關(guān)鍵。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，能夠使加速器具有良好的真空度，以改變其束流品質(zhì)，提高加速器的性能。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是
一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通，所述四通的一端連接有分子泵，所述分子泵與前級泵相連接，所述四通的另一端還連接有離子泵。前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于所述分子泵與四通之間設(shè)置有插板閥。前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于所述分子泵與前級泵之間還設(shè)置有檢漏閥門。前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于所述分子泵為FB450型渦輪分子泵。前述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于所述離子泵為L400型濺射型離子泵。本發(fā)明的有益效果是通過在加速器的四通上安裝兩路可同時工作的抽真空系統(tǒng)，使加速器能獲得較為滿意的真空度，當(dāng)加速器不出束時，通過插板閥切斷其中一路抽真空系統(tǒng)，即可保證加速器的正常工作，從而保住了加速器的束流品質(zhì)。


圖1是本發(fā)明一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明作進一步的說明。
如圖1所示，一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通1，所述四通I的一端連接有分子泵2，所述分子泵2與前級泵3相連接，所述四通I的另一端還連接有離子泵4，其中分子泵2為FB450型渦輪分子泵，離子泵4為L400型濺射型離子泵。二路抽真空系統(tǒng)同時工作，可保證獲得滿意的真空度。分子泵2與四通I之間設(shè)置有插板閥5，當(dāng)加速器不出束時關(guān)閉插板閥5切斷分子泵2抽氣回路，僅啟動離子泵4來維持真空。經(jīng)一段工作時間，系統(tǒng)僅啟動離子泵4就可以保證加速器的正常工作。分子泵2與前級泵3之間還設(shè)置有檢漏閥門6,滿足真空系統(tǒng)檢漏的需要,真空密封采用無氧銅密封墊。綜上所述，本發(fā)明提供的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，能夠使加速器具有良好的真空度，以改變其束流品質(zhì)，提高加速器的性能。以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征及優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界。
權(quán)利要求
1.一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通(1)，其特征在于:所述四通(I)的一端連接有分子泵(2)，所述分子泵(2)與前級泵(3)相連接，所述四通(I)的另一端還連接有離子泵(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于:所述分子泵(2 )與四通(I)之間設(shè)置有插板閥(5 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于:所述分子泵(2 )與前級泵(3 )之間還設(shè)置有檢漏閥門(6 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于:所述分子泵(2)為FB450型渦輪分子泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于:所述離子泵(4)為L400型濺 射型離子泵。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通，所述四通的一端連接有分子泵，所述分子泵與前級泵相連接，所述四通的另一端還連接有離子泵。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中加速器的真空度無法達到要求的問題，通過在加速器的四通上安裝兩路可同時工作的抽真空系統(tǒng)，使加速器能獲得較為滿意的真空度，當(dāng)加速器不出束時，通過插板閥切斷其中一路抽真空系統(tǒng)，即可保證加速器的正常工作，從而保住了加速器的束流品質(zhì)。
文檔編號H05H7/14GK103079333SQ201210573449
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者朱錦華 申請人:江蘇達勝加速器制造有限公司