專利名稱：探針臺的熱對流式降溫附加裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導體集成電路制造設備，特別是涉及一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置。
背景技術(shù)：
未裝配風冷模組或冷凍機臺的探針臺一般從高溫(85°C左右)降溫至室溫需要耗時120分鐘左右(具體時間視機臺型號和環(huán)境溫度而略有區(qū)別)。而安裝風冷模組或冷凍機臺會涉及一定的成本，故普通配置的探針臺的高溫切換到常溫時，都需要通過靜置方式緩慢降溫，時間成本被大量浪費。
實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，能加速探針臺從高溫降溫至室溫。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，所述熱對流式降溫附加裝置設置在所述探針臺的連接器上方，包括一外轉(zhuǎn)子軸流風機及一導風罩，所述導風罩連接在所述外轉(zhuǎn)子軸流風機的下方，兩者密封連接。進一步的，所述導風罩與所述外轉(zhuǎn)子軸流風機連接為螺紋連接。進一步的，所述外轉(zhuǎn)子軸流風機采用探針臺電源供電。進一步的，所述導風罩底部含橡膠密封圈。進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸與所述外轉(zhuǎn)子軸流風機的底部直徑尺寸相同。進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸小。進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸大。 進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸與所述導風罩底部直徑尺寸相同。進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸為300_。通過安裝本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置，在探針臺腔體中形成一定高度的氣流層水平運動，從而促進了整體空氣循環(huán)，加速熱對流的作用下，腔體內(nèi)高溫空氣從探針臺前后開口流出，起到了加速探針臺降溫的作用。
以下結(jié)合附圖
和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明圖I是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置使用狀態(tài)示意圖；圖2是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第一實施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第二實施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第三實施例結(jié)構(gòu)示意圖。主要元件符號說明如下[0020]探針臺11連接器12導風罩13外轉(zhuǎn)子軸流風機14導風罩21外轉(zhuǎn)子軸流風機22導風罩31外轉(zhuǎn)子軸流風機32導風罩41外轉(zhuǎn)子軸流風機具體實施方式
為使貴審查員對本實用新型的目的、特征及功效能夠有更進一步的了解與認識，以下配合附圖詳述如后。如圖I所示，本實用新型熱對流式降溫附加裝置，包括外轉(zhuǎn)子軸流風機14及導風罩13，所述導風罩13位于外轉(zhuǎn)子軸流風機14的下方，所述導風罩13與所述外轉(zhuǎn)子軸流風機14通過螺紋連接，兩者密封連接；所述熱對流式降溫附加裝置設置在連接器(FrogUnit) 12的上方，覆蓋連接器12，即導風罩13的下底面直徑尺寸比連接器12的直徑尺寸大；所述連接器12位于探針臺11的上頂面，本實用新型熱對流式降溫附加裝置通過連接器12推射大量常溫氣流進入探針臺11內(nèi)，在探針臺11腔體中形成一定高度的氣流層水平運動，從而促進了整體空氣循環(huán)，加速熱對流的作用下，對其進行降溫；所述導風罩13的底部可以設置一橡膠密封圈(圖中未標出)；用于緊密貼合探針臺11的上表面，提高氣密性。本實用新型的熱對流式降溫附加裝置采用探針臺電源供電并且當探針臺不需要降溫時，可以隨時移走所述熱對流式降溫附件設備，極大提高了設備的便攜性。如圖2所示，為本實用新型熱對流式降溫附加裝置第一實施例結(jié)構(gòu)示意圖，包括外轉(zhuǎn)子軸流風機22及導風罩21，其中導風罩21的上頂面直徑尺寸與外轉(zhuǎn)子軸流風機22的直徑尺寸相同，導風罩21的下底面直徑尺寸比導風罩21的上頂面直徑尺寸大，使得導風罩21的形狀為圓臺型。例如外轉(zhuǎn)子軸流風機22的直徑尺寸可以為300_，而導風罩21的下底面直徑尺寸可以為320mm。如圖3所示，為本實用新型熱對流式降溫附加裝置第二實施例結(jié)構(gòu)示意圖，包括外轉(zhuǎn)子軸流風機32及導風罩31，其中導風罩31的上頂面直徑尺寸與外轉(zhuǎn)子軸流風機32的直徑尺寸相同，導風罩31的下底面直徑尺寸比導風罩31的上頂面直徑尺寸小，使得導風罩31的形狀為倒圓臺型。例如外轉(zhuǎn)子軸流風機32的直徑尺寸可以為300_，而導風罩31的下底面直徑尺寸可以為200mm。如圖4所示，為本實用新型熱對流式降溫附加裝置第三實施例結(jié)構(gòu)示意圖，包括外轉(zhuǎn)子軸流風機42及導風罩41，其中導風罩41的上頂面直徑尺寸與外轉(zhuǎn)子軸流風機42的直徑尺寸相同，導風罩41的下底面直徑尺寸比導風罩41的上頂面直徑尺寸相同，使得導風罩41的形狀為圓柱型。例如外轉(zhuǎn)子軸流風機42的直徑尺寸可以為300mm，而導風罩41的下底面直徑尺寸可以為300mm。本實用新型要采用何種規(guī)格的風機來推射常溫氣流送入探針臺腔體加速熱對流的作用，就需要先計算需要的對流空氣量。然后根據(jù)風量和風壓來確定風機型號，假設目前采用是尺寸300mm*100mm，輸入功率80W，風量每小時980立方米，轉(zhuǎn)速每分鐘2700轉(zhuǎn)的工業(yè)級外轉(zhuǎn)子軸流風機。排風量的計算公式為Qf = Q/ (Cp*p *ΔΤ)[0032]式中[0033]Qf :強迫風冷系統(tǒng)所須提供的風量。Q :被冷卻設備的總熱功耗，W。Cp = 1005J/(kg*°C ):空氣比熱。P=L ll(m3/kg):空氣密度。AT = 85-25 0C = 60 °C :溫差。Q = Qf*(Cp* P * Λ T) = (980/60/60)*(1005*1. 11*60) = 18220.65W以損耗20%左右計算，該風機可應用于總熱功耗不大于15000W的被冷卻設備。預計探針臺降溫時間可控制在10至15分鐘，較之前120分鐘靜置方案節(jié)省90%等待時間。以上通過具體實施例對本實用新型進行了詳細的說明，但這些并非構(gòu)成對本實用新型的限制。在不脫離本實用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進，這些也應視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，所述熱對流式降溫附加裝置設置在所述探針臺的連接器上方，其特征在于，包括一外轉(zhuǎn)子軸流風機及一導風罩，所述導風罩連接在所述外轉(zhuǎn)子軸流風機的下方，兩者密封連接。
2.如權(quán)利要求I所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩與所述外轉(zhuǎn)子軸流風機連接為螺紋連接。
3.如權(quán)利要求I所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述外轉(zhuǎn)子軸流風機采用探針臺電源供電。
4.如權(quán)利要求I所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩底部含橡膠密封圈。
5.如權(quán)利要求I所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩頂部直徑尺寸與所述外轉(zhuǎn)子軸流風機的底部直徑尺寸相同。
6.如權(quán)利要求5所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸小。
7.如權(quán)利要求5所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸大。
8.如權(quán)利要求5所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩頂部直徑尺寸與所述導風罩底部直徑尺寸相同。
9.如權(quán)利要求5所述探針臺的熱對流式降溫附加裝置，其特征在于所述導風罩頂部直徑尺寸為300mm。
專利摘要本實用新型公開了一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，所述熱對流式降溫附加裝置設置在所述探針臺的連接器上方，包括一外轉(zhuǎn)子軸流風機及一導風罩，所述導風罩連接在所述外轉(zhuǎn)子軸流風機的下方；兩者密封連接。通過安裝本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置，在探針臺腔體中形成一定高度的氣流層水平運動，從而促進了整體空氣循環(huán)，加速熱對流的作用下，腔體內(nèi)高溫空氣從探針臺前后開口流出，起到了加速探針臺降溫的作用。
文檔編號H05K7/20GK202799534SQ20122043824
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月30日
發(fā)明者宋旻皓, 鄭國鵬 申請人:上海華虹Nec電子有限公司