專利名稱：一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板。
背景技術(shù)：
單晶爐是采用直拉法生產(chǎn)單晶硅的主要設(shè)備，其主要生產(chǎn)過程是將原料多晶硅塊放入到單晶爐中，然后使用單晶爐的加熱器對其進(jìn)行加熱，使多晶硅塊熔化為多晶硅溶液，然后在籽晶的引導(dǎo)下冷凝生成單晶硅固體。在上述多晶硅塊熔化成溶液的過程中，存在于多晶硅塊中的雜質(zhì)會揮發(fā)到熱場中，同時(shí)在熔化的過程中也會由于高溫而產(chǎn)生硅蒸汽，而熱場中的雜質(zhì)會對后續(xù)的單晶硅生長造成一定的影響，所以一般會將揮發(fā)出的雜質(zhì)排出單晶爐，硅蒸汽也會隨著氣流一同排出，當(dāng)單晶爐使用下排氣的方式排除雜質(zhì)時(shí)，含有雜質(zhì)和硅蒸汽的氣流流經(jīng)單晶爐的導(dǎo)流筒下部、溶液液面和加熱器，并最終從排氣口排出單晶爐。在單晶爐的內(nèi)部熱場中，受到加熱器形狀和大小的限制，熱場中各點(diǎn)的溫度不盡相同，即熱場中存在溫度差。在豎直方向上，內(nèi)部熱場中加熱器01中心部分溫度最高，遠(yuǎn)離加熱器01的上端部和下端部的溫度隨著距離的增大逐漸降低，而加熱器01的電極連接腳02則正處于加熱器01下端部的低溫區(qū)，且采用下排氣方式排出的硅蒸汽會流經(jīng)此處，所以在電極連接腳02的正上方覆蓋有矩形石墨蓋板03，以對電極連接腳02進(jìn)行保溫和防護(hù)，如圖1所示。此矩形的石墨蓋板03在其兩個(gè)短邊和一個(gè)長邊的邊緣處均設(shè)置有垂直其平面凸出的擋邊，使其一側(cè)形成凹槽，如圖2所示，石墨蓋板03在安裝到電極連接腳的上方時(shí)，擋邊位于石墨蓋板03的下方，與電極連接腳02靠近設(shè)置，但不與電極連接腳02貼合。在實(shí)際的生產(chǎn)過程中，硅蒸汽在流經(jīng)電極連接腳02處時(shí)，會因?yàn)闇囟鹊慕档投a(chǎn)生一定程度的冷凝，進(jìn)而形成固體附著在電極連接腳02上，一旦硅蒸汽冷凝而形成的固體過多，其會將用于連接電極連接腳02和石墨電極的石墨螺絲04與電極連接腳02粘接為一體，不方便加熱器01的拆卸，嚴(yán)重時(shí)需將石墨螺絲04鋸斷才能將加熱器01取出，造成了不必要的損失，進(jìn)而增加了生產(chǎn)成本。綜上所述，如何提供一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，以減少石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象出現(xiàn)，進(jìn)而降低損壞石墨螺絲的幾率以節(jié)約生產(chǎn)成本，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其減少了石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象出現(xiàn)，進(jìn)而降低損壞石墨螺絲的幾率以節(jié)約生產(chǎn)成本。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體，其還包括:設(shè)置在所述本體表面的保溫層；[0010]覆蓋在所述保溫層上，且與所述本體連接以與所述本體配合將所述保溫層夾緊的連接體。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體設(shè)置在所述本體形成的凹槽的內(nèi)側(cè)。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體設(shè)置在所述本體形成的凹槽的外側(cè)。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體與所述本體為一體式設(shè)計(jì)，且構(gòu)成容納所述保溫層的封閉內(nèi)腔。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述本體和連接體靠近單晶爐的加熱器設(shè)置的兩個(gè)角為圓角。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述本體和所述連接體均為
石墨體。優(yōu)選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述保溫層為軟氈層。本實(shí)用新型提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，在本體的表面上設(shè)置了保溫層，并且還設(shè)置有覆蓋該保溫層的連接體，使得蓋板在原有本體的基礎(chǔ)上增設(shè)了保溫層和連接體，與原有僅具備本體的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得硅蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結(jié)構(gòu)也提高了蓋板對電極連接腳的防護(hù)性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的幾率，進(jìn)而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產(chǎn)成本。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的石墨蓋板與加熱器、電極連接腳配合的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)提供的石墨蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的主視圖(以連接體設(shè)置在本體的凹槽內(nèi)側(cè)為例);圖4為連接體設(shè)置在本體凹槽內(nèi)側(cè)的配合示意圖；圖5為連接體設(shè)置在本體凹槽外側(cè)的配合示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與加熱器、電極連接腳配合的結(jié)構(gòu)示意圖。以上圖1-圖6中:加熱器01、電極連接腳02、石墨蓋板03、石墨螺絲04 ；本體1、保溫層2、連接體3。
具體實(shí)施方式
為了進(jìn)一步理解本實(shí)用新型，下面結(jié)合實(shí)施例對本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，這些描述只是為了進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的特征和優(yōu)點(diǎn)，而不是對本實(shí)用新型權(quán)利要求的限制。本實(shí)用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其減少了石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象出現(xiàn)，進(jìn)而降低損壞石墨螺絲的幾率以節(jié)約生產(chǎn)成本。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。如圖3所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體I，其還包括:設(shè)置在本體I表面的保溫層2 ；覆蓋在保溫層2上，且與本體I連接以與本體I配合將保溫層2夾緊的連接體3。其中，圖3僅僅是將連接體3設(shè)置在本體I凹槽內(nèi)側(cè)的實(shí)施方式，圖中虛線為連接體3，連接體3還可以如圖5所示的方式設(shè)置在本體I凹槽的外側(cè)。本實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，在本體I的表面上設(shè)置了保溫層2，并且還設(shè)置有覆蓋該保溫層2的連接體3，使得蓋板在原有本體I的基礎(chǔ)上增設(shè)了保溫層2和連接體3，與原有僅具備本體I的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得硅蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結(jié)構(gòu)也提高了蓋板對電極連接腳的防護(hù)性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的幾率，進(jìn)而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產(chǎn)成本。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，本實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，連接體3設(shè)置在本體I形成的凹槽的內(nèi)側(cè)，如圖4所示，其中虛線部分為連接體3。本實(shí)施例所要實(shí)現(xiàn)的技術(shù)目的就是要更好的避免硅蒸汽冷凝成的固體將石墨螺絲和電極連接腳粘接在一起而造成加熱器無法拆卸，所以增強(qiáng)其保溫性能就是一個(gè)很好的選擇，因此設(shè)置了保溫層2，并設(shè)置了用于與本體I配合固定保溫層2的連接體3。而將保溫層2設(shè)置在本體I由擋邊形成的凹槽的內(nèi)側(cè)，是為了避免增大本實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的體積而造成其他的不良影響，例如因體積增大與加熱器過于靠近而與加熱器之間發(fā)生“打火”現(xiàn)象。因?yàn)楸貙?設(shè)置在了凹槽的內(nèi)側(cè)，所以在此基礎(chǔ)上將覆蓋保溫層2的連接體3也設(shè)置在了凹槽的內(nèi)側(cè)，這樣即可以實(shí)現(xiàn)技術(shù)目的，同時(shí)也不會增大蓋板的體積而造成不良的影響，為優(yōu)選方案。與圖4的設(shè)置方式相對應(yīng)的，將連接體3設(shè)置在本體I的凹槽的外側(cè)同樣能夠?qū)崿F(xiàn)保溫的技術(shù)目的，如圖5所示，其中虛線部分為連接體3。如圖4和圖5所示，連接體3與本體I為一體式設(shè)計(jì)，且構(gòu)成容納保溫層2的封閉內(nèi)腔。將連接體3與本體I設(shè)置為一體式結(jié)構(gòu)，保溫層2可以方便的從連接體3與本體I之間直接插入或抽出，使得保溫層2的更換更加的方便和快捷，此外，密封式的內(nèi)腔還能夠防止外側(cè)的氣流通過連接體3和本體I之間的空間而吹到電極連接腳處，其防護(hù)性更高。進(jìn)一步的，如圖6所示，本體I和連接體3靠近單晶爐的加熱器設(shè)置的兩個(gè)角為圓角。將靠近加熱器設(shè)置的兩個(gè)角設(shè)置為圓角，可以增大本實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與加熱器之間的設(shè)置距離，減少甚至避免蓋板與加熱器之間發(fā)生“打火”的幾率，使得單晶爐的生產(chǎn)過程能夠更加順利的完成，當(dāng)然，為了增大蓋板與加熱器之間的設(shè)置距離，還可以直接將蓋板靠近加熱器的兩個(gè)直角切除，使其形成兩個(gè)倒角，同樣能夠增大與加熱器的距離。此外，本實(shí)施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的其他兩個(gè)角也可以設(shè)置成圓角或倒角以節(jié)省材料。具體的，為了盡可能的減少因部件的改進(jìn)對生產(chǎn)環(huán)境的影響，在本實(shí)施例中，連接體3的材料選擇與本體I材料一致的石墨材料，保溫層2選擇與加熱器外側(cè)保溫材料相同的軟氈作為保溫層2。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體(I)，其特征在于，還包括: 設(shè)置在所述本體(I)表面的保溫層(2)； 覆蓋在所述保溫層(2 )上，且與所述本體(I)連接以與所述本體(I)配合將所述保溫層(2)夾緊的連接體(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述連接體(3 )設(shè)置在所述本體(I)形成的凹槽的內(nèi)側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述連接體(3)設(shè)置在所述本體(I)形成的凹槽的外側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述連接體(3)與所述本體(I)為一體式設(shè)計(jì)，且構(gòu)成容納所述保溫層(2)的封閉內(nèi)腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述本體(I)和連接體(3 )靠近單晶爐的加熱器設(shè)置的兩個(gè)角為圓角。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述本體(I)和所述連接體(3)均為石墨體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特征在于，所述保溫層(2)為軟氈層。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體，其還包括設(shè)置在所述本體表面的保溫層；覆蓋在所述保溫層上，且與所述本體連接以與所述本體配合將所述保溫層夾緊的連接體。本實(shí)用新型提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與原有僅具備本體的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得硅蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結(jié)構(gòu)也提高了蓋板對電極連接腳的防護(hù)性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的幾率，進(jìn)而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發(fā)生粘接的現(xiàn)象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號C30B15/18GK202925147SQ20122062359
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月22日
發(fā)明者劉淑娜 申請人:英利能源(中國)有限公司