專利名稱：一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，尤其是一種籽晶伺服機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著國(guó)內(nèi)LED行業(yè)的逐漸發(fā)展，對(duì)藍(lán)寶石襯底片的加工技術(shù)的要求越來(lái)越高，目前國(guó)內(nèi)大多數(shù)采用KY晶體生長(zhǎng)工藝，此種工藝是目前最易產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，晶體質(zhì)量最高的一種工藝。而這種技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)在于引晶，引晶的質(zhì)量好壞直接決定著晶體的質(zhì)量。在引晶過(guò)程中，籽晶的伺服機(jī)構(gòu)決定著操作者引晶的培訓(xùn)周期，引晶質(zhì)量的穩(wěn)定，以及可重復(fù)性。傳統(tǒng)的泡生法KY技術(shù)其籽晶伺服機(jī)構(gòu)粗糙，基本上都是手動(dòng)操作，稱重系統(tǒng)不夠精密，并且不夠穩(wěn)定，其工藝掌握的程度很大程度上依賴于操作者的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，并且自動(dòng)化程度較低，操作者勞動(dòng)強(qiáng)度較大，晶體質(zhì)量極不穩(wěn)定。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，解決引晶的穩(wěn)定性問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)和稱重系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)采用變頻電機(jī)，轉(zhuǎn)速?gòu)?-30000rpm無(wú)級(jí)可調(diào)，所述升降導(dǎo)軌為絲杠結(jié)構(gòu)，通過(guò)螺桿和螺母帶動(dòng)升降系統(tǒng)其它部件運(yùn)動(dòng)，升降速率0-7000_/h無(wú)級(jí)可調(diào)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)采用變頻電機(jī)，轉(zhuǎn)速?gòu)腛-1OOrpm無(wú)級(jí)可調(diào)，所述籽晶夾持機(jī)構(gòu)以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99.95%，是夾持籽晶的機(jī)構(gòu)，所述稱重系統(tǒng)為一圓環(huán)形壓力傳感器，傳感器分辨率為0.0lg，量程為0-200kg。上述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)，稱重系統(tǒng)和連接裝置都放于升降系統(tǒng)上，在長(zhǎng)晶爐開(kāi)爐前，所述籽晶伺服機(jī)構(gòu)嚴(yán)格和熱場(chǎng)的中心對(duì)中，籽晶升降伺服機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)全部采用工控機(jī)PLC控制。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:籽晶伺服機(jī)構(gòu)大大提高了自動(dòng)化程度，降低了人員勞動(dòng)強(qiáng)度，可以很好的解決引晶的穩(wěn)定性問(wèn)題，對(duì)于工藝培訓(xùn)和保證晶體質(zhì)量的穩(wěn)定性非常有利。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1是監(jiān)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)整體不意圖。圖2是籽晶伺服機(jī)構(gòu)示意圖。圖3是壓力傳感器示意圖。
具體實(shí)施方式
圖1，圖2和圖3所示，藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)包括升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)1，升降導(dǎo)軌2，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)3，稱重傳感器4，止推軸承5，波紋管6，上爐蓋7，鎢坩堝8，晶體9，熔體10和籽晶夾持機(jī)構(gòu)14，籽晶伺服機(jī)構(gòu)置于上爐蓋7上，通過(guò)籽晶通孔將籽晶桿14置于爐腔內(nèi)，通過(guò)控制爐腔內(nèi)的溫度使熔體10逐漸在籽晶表面凝固成晶體9，開(kāi)爐前將籽晶桿14與鎢坩堝8的中心嚴(yán)格對(duì)中。籽晶伺服機(jī)構(gòu)包括升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)1，升降導(dǎo)軌2，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)3，籽晶夾持機(jī)構(gòu)14和稱重系統(tǒng)4。升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)I為變頻電機(jī)，帶動(dòng)螺桿12，轉(zhuǎn)速?gòu)?-30000rpm無(wú)級(jí)可調(diào)，升降導(dǎo)軌2通過(guò)螺桿12帶動(dòng)螺母11升降，兩個(gè)螺母之間通過(guò)連接桿13硬連接，升降速率0-7000mm/h無(wú)級(jí)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)3為變頻電機(jī)，轉(zhuǎn)速?gòu)腛-1OOrpm無(wú)級(jí)可調(diào)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)14以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99.95%，是夾持籽晶的機(jī)構(gòu)，稱重系統(tǒng)4為一圓環(huán)形壓力傳感器15，分辨率為0.0lg，量程0_200kgo
權(quán)利要求1.一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)和稱重系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)采用變頻電機(jī)，轉(zhuǎn)速?gòu)?-30000rpm無(wú)級(jí)可調(diào)，所述升降導(dǎo)軌為絲杠結(jié)構(gòu)，通過(guò)螺桿和螺母帶動(dòng)升降系統(tǒng)其它部件運(yùn)動(dòng)，升降速率0-7000mm/h無(wú)級(jí)可調(diào)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)采用變頻電機(jī)，轉(zhuǎn)速?gòu)腛-1OOrpm無(wú)級(jí)可調(diào)，所述籽晶夾持機(jī)構(gòu)以鑰為材質(zhì)，使用鍛造鑰棒加工而成，純度99.95%，是夾持籽晶的機(jī)構(gòu)，所述稱重系統(tǒng)為一圓環(huán)形壓力傳感器，傳感器分辨率為0.0lg，量程為 O 至 200kg。
2.根據(jù)權(quán)利I所述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)，稱重系統(tǒng)和連接裝置都放于升降系統(tǒng)上。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐籽晶伺服機(jī)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，升降導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伺服電機(jī)，籽晶夾持機(jī)構(gòu)和稱重系統(tǒng)，大大提高了自動(dòng)化程度，降低了人員勞動(dòng)強(qiáng)度，可以很好的解決引晶的穩(wěn)定性問(wèn)題，對(duì)于工藝培訓(xùn)和保證晶體質(zhì)量的穩(wěn)定性非常有利。
文檔編號(hào)C30B17/00GK203049092SQ20122066336
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者滑喜寶 申請(qǐng)人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司