專利名稱：一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
晶圓的制備工藝中有一退火步驟，主要是依靠晶圓退火爐來完成的。將待退火的晶圓中間產(chǎn)品放入晶圓退火爐中，加溫至1000多度退火，退火完成之后，要等自然冷卻到常溫，中間要等5個(gè)小時(shí)，這極大影響了產(chǎn)能，每次運(yùn)轉(zhuǎn)至少浪費(fèi)5個(gè)小時(shí)，損耗產(chǎn)能大概一次有25片。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，就是為了解決上述問題而提供了一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:本實(shí)用新型的一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，所述冷卻系統(tǒng)安裝于所述晶圓退火爐上，所述冷卻系統(tǒng)包括冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)，所述冷卻水系統(tǒng)包括變頻泵、換熱器、過濾器和螺旋形冷卻水管，其中，所述變頻泵的出水口與所述換熱器的第一進(jìn)水口連接，所述換熱器的第一出水口通過所述過濾器與所述螺旋形冷卻水管的進(jìn)水口連接，所述螺旋形冷卻水管的進(jìn)水口與所述變頻泵的進(jìn)水口連接，所述螺旋形冷卻水管纏繞在所述晶圓退火爐的外壁上；所述冷凍水系統(tǒng)包括冷凍機(jī)和循環(huán)泵，所述冷凍機(jī)的出水口與所述循環(huán)泵的進(jìn)水口連接，所述循環(huán)泵的出水口與所述換熱器的第二進(jìn)水口連接，所述換熱器的第二出水口與所述冷凍機(jī)的進(jìn)水口連接。上述的一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，其中，所述換熱器為板式換熱器。上述的一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，其中，所述冷卻水系統(tǒng)還包括壓力傳感器、PLC和變頻器，所述壓力傳感器設(shè)于所述變頻泵出水口側(cè)的管道上，所述壓力傳感器、PLC和變頻器依次電連接，所述變頻器與所述變頻泵電連接。本實(shí)用新型冷卻系統(tǒng)大大減少了退火完成后冷卻至常溫的等待時(shí)間，即只需要I個(gè)小時(shí)就能使其冷卻到常溫，由此大大提高了產(chǎn)能，每天能多產(chǎn)50片晶圓，同時(shí)，設(shè)備的利用率也大大提高。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。請(qǐng)參閱圖1,本實(shí)用新型用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)包括冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)。冷卻水系統(tǒng)包括變頻泵1、板式換熱器2、過濾器3、螺旋形冷卻水管4、壓力傳感器
8、PLC(圖中未畫出)和變頻器(圖中未畫出)，其中:變頻泵I的出水口與板式換熱器2的第一進(jìn)水口連接，板式換熱器2的第一出水口通過過濾器3與螺旋形冷卻水管4的進(jìn)水口連接，螺旋形冷卻水管4的進(jìn)水口與變頻泵I的進(jìn)水口連接，由此形成封閉的冷卻水循環(huán)回路，螺旋形冷卻水管4纏繞在晶圓退火爐5的外壁上，壓力傳感器8設(shè)于變頻泵I出水口側(cè)的管道上，壓力傳感器8、PLC和變頻器依次電連接，變頻器與變頻泵I電連接；冷凍水系統(tǒng)包括冷凍機(jī)6和循環(huán)泵7，冷凍機(jī)6的出水口與循環(huán)泵7的進(jìn)水口連接，循環(huán)泵7的出水口與板式換熱器2的第二進(jìn)水口連接，板式換熱器2的第二出水口與冷凍機(jī)6的進(jìn)水口連接。冷凍水系統(tǒng)中循環(huán)流動(dòng)的冷凍水，是由冷凍機(jī)6不斷制造的。從生產(chǎn)設(shè)備中抽出的水，經(jīng)變頻泵I至板式換熱器2，通過與冷凍水系統(tǒng)中冷凍水進(jìn)行熱交換來降低水的溫度，通過過濾器3后送至螺旋形冷卻水管4，進(jìn)而降低晶圓退火爐5的溫度，最后水再回到變頻泵1，由此構(gòu)成了封閉的冷卻水循環(huán)回路。由壓力傳感器8采集的壓力參數(shù)反饋至PLC，PLC經(jīng)過分析處理后通過變頻器改變變頻泵I的頻率。以上實(shí)施例僅供說明本實(shí)用新型之用，而非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本實(shí)用新型的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求1.一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，所述冷卻系統(tǒng)安裝于所述晶圓退火爐上，所述冷卻系統(tǒng)包括冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻水系統(tǒng)包括變頻泵、換熱器、過濾器和螺旋形冷卻水管，其中， 所述變頻泵的出水口與所述換熱器的第一進(jìn)水口連接，所述換熱器的第一出水口通過所述過濾器與所述螺旋形冷卻水管的進(jìn)水口連接，所述螺旋形冷卻水管的進(jìn)水口與所述變頻泵的進(jìn)水口連接，所述螺旋形冷卻水管纏繞在所述晶圓退火爐的外壁上； 所述冷凍水系統(tǒng)包括冷凍機(jī)和循環(huán)泵，所述冷凍機(jī)的出水口與所述循環(huán)泵的進(jìn)水口連接，所述循環(huán)泵的出水口與所述換熱器的第二進(jìn)水口連接，所述換熱器的第二出水口與所述冷凍機(jī)的進(jìn)水口連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述換熱器為板式換熱器。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻水系統(tǒng)還包括壓力傳感器、PLC和變頻器，所述壓力傳感器設(shè)于所述變頻泵出水口側(cè)的管道上，所述壓力傳感器、PLC和變頻器依次電連接，所述變頻器與所述變頻泵電連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于晶圓退火爐的冷卻系統(tǒng)，包括冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)，所述冷卻水系統(tǒng)包括依次連接并形成封閉循環(huán)回路的變頻泵、換熱器、過濾器和螺旋形冷卻水管，所述螺旋形冷卻水管纏繞在所述晶圓退火爐的外壁上；冷凍水系統(tǒng)包括冷凍機(jī)和循環(huán)泵，冷凍機(jī)、循環(huán)泵和換熱器依次連接并形成封閉循環(huán)回路。本實(shí)用新型冷卻系統(tǒng)大大減少了退火完成后冷卻至常溫的等待時(shí)間，即只需要1個(gè)小時(shí)就能使其冷卻到常溫，由此大大提高了產(chǎn)能，每天能多產(chǎn)50片晶圓，同時(shí)，設(shè)備的利用率也大大提高。
文檔編號(hào)C30B33/02GK203007495SQ20122070380
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月18日
發(fā)明者黃惠良, 李雪峰, 陳子勇 申請(qǐng)人:上海鴻輝光通科技股份有限公司