加熱爐、其控制裝置、其控制方法及存儲(chǔ)介質(zhì)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種加熱爐、其控制裝置、其控制方法及存儲(chǔ)介質(zhì)。在加熱爐的控制裝置（100）中，控制部（101）按照第一條件及第二條件使供給部動(dòng)作。第一條件為用于以在加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持該加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)的條件。第二條件為用于以能耗量比將加熱爐的爐內(nèi)維持在第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制供給部的條件。控制部（101）在使供給部以第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以將加熱爐維持在第一狀態(tài)的方式使供給部動(dòng)作。
【專利說明】加熱爐、其控制裝置、其控制方法及存儲(chǔ)介質(zhì)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及加熱爐的控制，特別涉及合適的方式下的加熱爐的能耗的降低。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，關(guān)于能耗的降低，進(jìn)行了各種研究，其中，關(guān)于產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中的能耗的降低，提出了各種技術(shù)。
[0003]例如，在非專利文獻(xiàn)I (伊藤貞芳、村上友康、領(lǐng)木直矢、田端大助、松田直子、中裕之，“根據(jù)節(jié)能方案技術(shù)的節(jié)能領(lǐng)航工廠的實(shí)現(xiàn)”，Panasonic Technical JournalVol.57N0.1Apr.2011，[online],平成23年4月，檢索日(平成23年9月20日)，網(wǎng)址〈URL:http://panasonic.c0.jp/ptj/v5701/pdf/p0106.pdf>)中公開有在工廠內(nèi)使用的用于削減能源的技術(shù)。在該技術(shù)中，在回流焊爐、干燥爐及燒結(jié)爐等的生產(chǎn)待機(jī)狀態(tài)下，導(dǎo)入降低給排氣風(fēng)量的節(jié)能待機(jī)模式。
[0004]非專利文獻(xiàn)1:伊藤貞芳、村上友康、領(lǐng)木直矢、田端大助、松田直子、中裕之，“根據(jù)節(jié)能方案技術(shù)的節(jié)能領(lǐng)航工廠的實(shí)現(xiàn)”，Panasonic Technical JournalVol.57N0.1Apr.2011，[online],平成23年4月，檢索日(平成23年9月20日)，網(wǎng)址URL:http://Panasonic, c0.jp/pti/v5701/pdf/p0106.pdf。
[0005]能源問題是始終需要研究的問題。其中，特別是謀求工廠內(nèi)的能耗降低的情況，需要考慮兼顧產(chǎn)品的生產(chǎn)效率的維持。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是鑒于上述情況而設(shè)立的，其目的在于實(shí)現(xiàn)兼顧工廠內(nèi)的能耗的降低和生產(chǎn)效率的維持。
[0007]本實(shí)施方式的控制裝置為具備用于控制向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作的控制部的加熱爐的控制裝置?？刂撇堪凑盏谝粭l件使供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持該加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)，在規(guī)定的條件成立的情況下，使供給部按照第二條件動(dòng)作，該第二條件用于以能耗量比維持在第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)?？刂蒲b置還具備用于存儲(chǔ)基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的存儲(chǔ)部，所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間是從供給部按照第二條件動(dòng)作的狀態(tài)直到使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)所需的時(shí)間?？刂撇吭谑构┙o部以第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使加熱爐維持在第一狀態(tài)的方式使所述供給部動(dòng)作。
[0008]優(yōu)選的是，作為第二條件的內(nèi)容，存儲(chǔ)部存儲(chǔ)多個(gè)內(nèi)容，關(guān)于第二條件的多個(gè)內(nèi)容的每一個(gè)，控制部測量并提示從按照該第二條件的控制起到使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)需要的時(shí)間即預(yù)備恢復(fù)時(shí)間、和供給部消耗的能量即耗能量。
[0009]優(yōu)選的是，還具備用于輸入基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的輸入部，控制部在預(yù)備恢復(fù)時(shí)間和耗能量的測量結(jié)果中，提示作為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間向輸入部輸入的時(shí)間為預(yù)備恢復(fù)時(shí)間的情況下的、與該預(yù)備恢復(fù)時(shí)間對(duì)應(yīng)的耗能量。
[0010]優(yōu)選的是，在按照第二條件的控制中，控制部暫時(shí)停止由供給部進(jìn)行的向加熱爐供給能源。
[0011]優(yōu)選的是，第一狀態(tài)為加熱爐的爐內(nèi)的溫度為特定的溫度以上的狀態(tài)，在按照第二條件的控制中，控制部以比特定的溫度低的溫度維持加熱爐的爐內(nèi)的溫度。
[0012]優(yōu)選的是，第一狀態(tài)為加熱爐的爐內(nèi)的氧濃度為特定的濃度以下的狀態(tài)，在按照第二條件的控制中，控制部以比特定的濃度高的濃度維持加熱爐的爐內(nèi)的氧濃度。
[0013]優(yōu)選的是，規(guī)定的條件以該加熱爐的爐內(nèi)沒有被加熱物為條件。
[0014]優(yōu)選的是，規(guī)定的條件還設(shè)為，應(yīng)成為按照第二條件的控制的時(shí)間為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以上。
[0015]優(yōu)選的是，應(yīng)成為按照第二條件的控制的時(shí)間通過該加熱爐的預(yù)工序中有無被加熱物來決定。
[0016]本發(fā)明的存儲(chǔ)介質(zhì)為非暫時(shí)存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)可執(zhí)行的程序的計(jì)算機(jī)可讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)控制用于向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作。程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下的步驟:按照第一條件使供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持該加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)；在規(guī)定的條件成立的情況下，按照第二條件使供給部動(dòng)作，所述第二條件用于以能耗量比維持在第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)；在使供給部以第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為從供給部按照第二條件動(dòng)作的狀態(tài)起直到使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)所需的時(shí)間即基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使加熱爐維持在第一狀態(tài)的方式使供給部動(dòng)作。
[0017]本發(fā)明的加熱爐的控制方法為加熱爐的控制裝置用于控制向該加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作的控制方法?？刂品椒òㄈ缦碌牟襟E:按照第一條件使所述供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持該加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)；在規(guī)定的條件成立的情況下，按照第二條件使供給部動(dòng)作，所述第二條件用于以能耗量比維持在第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)；在使供給部以第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為從供給部按照第二條件動(dòng)作的狀態(tài)起直到使加熱爐恢復(fù)到第一狀態(tài)所需的時(shí)間即基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使加熱爐維持在第一狀態(tài)的方式使供給部動(dòng)作。
[0018]本發(fā)明的加熱爐具備上述任一方面的控制裝置、和用于向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，控制裝置在規(guī)定的條件成立的情況下，以允許加熱爐的爐內(nèi)的環(huán)境成為比對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的情況更低溫或更高氧濃度等能耗量低的狀態(tài)的方式，控制向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部。另外，在直到被加熱物的熱處理重新開始的剩余時(shí)間為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下的情況下，結(jié)束這種方式下的控制，以用于對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的方式下的控制來控制供給部。
[0020]由此，可實(shí)現(xiàn)工廠內(nèi)的能耗的降低和生產(chǎn)效率的維持。
【專利附圖】

【附圖說明】[0021]圖1是表示包含本實(shí)施方式的回流焊爐的基板處理系統(tǒng)的整體構(gòu)成的圖；
[0022]圖2是示意性地表示該回流焊爐的構(gòu)成的圖；
[0023]圖3是圖2的回流焊爐的控制框圖；
[0024]圖4是用于說明回流焊爐中的運(yùn)轉(zhuǎn)模式的切換的一例的圖；
[0025]圖5是示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式的加熱爐中的溫度變化的圖案的例子的圖；
[0026]圖6是示意性地表示導(dǎo)入惰性環(huán)境室的基板數(shù)的時(shí)間變化的圖；
[0027]圖7是示意性地表示由加熱器消耗的電力的時(shí)間變化(實(shí)線)和自其運(yùn)轉(zhuǎn)開始時(shí)的累計(jì)值(點(diǎn)劃線)的圖；
[0028]圖8是示意性地表示惰性環(huán)境室內(nèi)的第七加熱工序中的環(huán)境溫度的時(shí)間變化的圖；
[0029]圖9是示意性地表示在流量計(jì)中檢測的氮流量的時(shí)間變化(實(shí)線)和其累計(jì)值(點(diǎn)劃線)的圖；
[0030]圖10是示意性地表示由氧濃度傳感器檢測的氧濃度的時(shí)間變化的圖；
[0031]圖11是在控制器中執(zhí)行的、用于設(shè)定上述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的處理(示教處理)的流程圖；
[0032]圖12是表示示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖；
[0033]圖13是示意性地表示由步驟SA90的處理表示的圖表的一例的圖；
[0034]圖14是表示用于提示抑制消耗后所預(yù)測的電能的畫面的一例的圖；
[0035]圖15是運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理的流程圖；
[0036]圖16是剩余待機(jī)時(shí)間算出處理的流程圖的一例；
[0037]圖17是在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中執(zhí)行的示教處理的流程圖；
[0038]圖18是表示示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖；
[0039]圖19是示意性地表示由步驟SD90的處理表示的圖表的一例的圖；
[0040]圖20是在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中執(zhí)行的示教處理的流程圖；
[0041]圖21是表示示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖；
[0042]圖22是示意性地表示由步驟SE90的處理表示的圖表的一例的圖。
[0043]標(biāo)記說明
[0044]IlA ?I IN:加熱器
[0045]16:N2 閥
[0046]22:溫度傳感器
[0047]80:02濃度傳感器
[0048]100:回流焊爐
[0049]101:控制器。
【具體實(shí)施方式】
[0050]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的加熱爐的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在各圖中，對(duì)相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)記且不重復(fù)詳細(xì)的說明。
[0051]另外，在以下的實(shí)施方式中，作為加熱爐的一例雖然列舉出回流焊爐，但本發(fā)明的加熱爐并未限定于回流焊爐，只要在爐內(nèi)對(duì)處理對(duì)象物進(jìn)行加熱，也可以是干燥爐及燒結(jié)爐。
[0052][第一實(shí)施方式]
[0053]<概略構(gòu)成>
[0054]圖1是表示包含本實(shí)施方式的回流焊爐的基板處理系統(tǒng)的整體構(gòu)成的圖。圖2是示意性地表示該回流焊爐的構(gòu)成的圖。另外，圖3是圖2的回流焊爐的控制框圖。
[0055]( I)基板處理系統(tǒng)的概略構(gòu)成
[0056]圖1的基板處理系統(tǒng)是用于將電子零件安裝在印刷電路板上的系統(tǒng)。
[0057]參照?qǐng)D1，在基板處理系統(tǒng)中，被處理的印刷電路板按裝載機(jī)210、焊料印刷機(jī)220、檢查裝置230、高速裝配器240、高精度裝配器250、檢查裝置260、回流焊爐100、卸載機(jī)310的順序進(jìn)行輸送。圖1中的箭頭標(biāo)記Dl表示印刷電路板的輸送方向。
[0058]從裝載機(jī)210送來的印刷電路板在焊料印刷機(jī)220中印刷焊料，該印刷的狀態(tài)由檢查裝置230檢查后，由高速裝配器240及高精度裝配器250裝配電子零件，進(jìn)而，該裝配的狀態(tài)由檢查裝置260檢查，然后，裝配了電子零件的印刷電路板被送至回流焊爐100。在本說明書中，將送至回流焊爐100的、裝配了電子零件的印刷電路板稱為“工件”。
[0059]然后，在回流焊爐100，使焊料熔解而將電子零件固定后，工件經(jīng)由卸載機(jī)310被送至各種工序。
[0060]另外，裝載機(jī)210、焊料印刷機(jī)220、檢查裝置230、高速裝配器240、高精度裝配器250、檢查裝置260、回流焊爐100及卸載機(jī)310分別具備緊急照明燈219、229、239、249、259、269、109、319，另外，其動(dòng)作由各自的控制裝置控制。而且，該控制裝置在各自發(fā)生了緊急狀況的情況下，使與各裝置對(duì)應(yīng)的緊急照明燈點(diǎn)亮。
[0061](2)回流焊爐的概略構(gòu)成
[0062]參照?qǐng)D2，在回流焊爐100內(nèi)，從檢查裝置260送入的工件90載置于輸送機(jī)80上，在回流焊爐100中進(jìn)行輸送。圖2中的箭頭標(biāo)記D2表示輸送機(jī)80的旋轉(zhuǎn)方向。
[0063]在回流焊爐中設(shè)有惰性環(huán)境室13。在惰性環(huán)境室13的上游側(cè)設(shè)有通道56A，在下游側(cè)設(shè)有通道56B。
[0064]在通道56A、56B中分別設(shè)有風(fēng)扇50A、50B及開閉板52A、52B。風(fēng)扇50A、50B由電機(jī)51A、51B驅(qū)動(dòng)，電機(jī)51A、51B由變頻器(變換器)55A、55B供給電力。
[0065]開閉板52A、52B分別在通道56A、56B中為了調(diào)整空氣流動(dòng)的程度而設(shè)置?；陂_閉板52A、52B的通道56A、56B內(nèi)的送風(fēng)路的開閉程度分別由調(diào)節(jié)風(fēng)門用電機(jī)53A、53B控制。
[0066]在工件90所使用的焊料為所謂無鉛的焊料的情況等、希望降低氧濃度的情況下，為了降低氧濃度，經(jīng)由氮?dú)夤苈?4將氮?dú)馑腿攵栊原h(huán)境室13。氮?dú)庀蚨栊原h(huán)境室13的導(dǎo)入量通過控制氮?dú)忾y(以下，也稱為“N2閥”)16的開閉度而控制。另外，氮?dú)夤苈?4中的氮?dú)獾牧髁坑闪髁坑?jì)15檢測。另外，在回流焊爐中設(shè)有用于檢測惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的氧濃度傳感器(以下，也稱為“02濃度傳感器”)80。
[0067]為了以七個(gè)階段對(duì)工件進(jìn)行加熱，在惰性環(huán)境室13內(nèi)設(shè)有加熱器11A、11B、加熱器11C、11D、加熱器11E、11F、加熱器11G、11H、加熱器111、11J、加熱器11K、11L、加熱器11M、I IN七組加熱裝置。各組加熱裝置包含配置于輸送機(jī)80上方的加熱器和配置于下方的加熱器。在回流焊爐中，加熱器IlA?IlN消耗的電力由功率計(jì)70測量。[0068]另外，為了攪拌惰性環(huán)境室13內(nèi)的空氣，在各加熱器的附近設(shè)有風(fēng)扇12A、12B、風(fēng)扇 12C、12D、風(fēng)扇 12E、12F、風(fēng)扇 12G、12H、風(fēng)扇 121、12J、風(fēng)扇 12K、12L、風(fēng)扇 12M、12N。
[0069]在惰性環(huán)境室13中，由加熱器11A、11B、加熱器11C、11D、加熱器11E、11F、加熱器11G、11H、加熱器111、11J、加熱器11K、11L、加熱器IlMUlN加熱的工件90被送至通道56B，由冷卻器60冷卻。冷卻器60具備冷卻管61、62。然后,工件90被送至下一工序(例如，圖1的卸載機(jī)310)。
[0070]在惰性環(huán)境室13及通道56B中設(shè)有未圖示的溫度傳感器。溫度調(diào)節(jié)單元102根據(jù)由該溫度傳感器檢測的溫度反饋控制加熱器IlA?IlN的動(dòng)作。另外，在回流焊爐中設(shè)有用于根據(jù)功率計(jì)70及氧濃度傳感器80的檢測輸出整體地控制加熱器IIA?I IN等各要素的動(dòng)作的控制器101。
[0071]在控制器101上連接有作為監(jiān)視器等起作用的個(gè)人電腦(以下，也稱為“PC”)300、及檢查裝置230、260等的用于控制在基板處理系統(tǒng)(參照?qǐng)D1)中設(shè)于比回流焊爐100更靠預(yù)工序的裝置的裝置(控制器200)。如后所述，控制器101即使根據(jù)從PC300及控制器200獲取的信息，有時(shí)也可以控制加熱器IlA?IlN等各要素的動(dòng)作。
[0072](3)回流焊爐的控制塊
[0073]參照?qǐng)D3，在回流焊爐100中，除了參照?qǐng)D2說明的加熱器IIA?I IN等各要素外，控制器101還與用于檢測惰性環(huán)境室13內(nèi)的七階段的加熱工序(各加熱器組)的每一個(gè)中的環(huán)境溫度及通道56B的工件90的通過區(qū)域附近的環(huán)境溫度的溫度傳感器22、對(duì)導(dǎo)入惰性環(huán)境室13內(nèi)的基板的數(shù)目進(jìn)行檢測的基板用傳感器21、使輸送機(jī)80旋轉(zhuǎn)的輸送機(jī)電機(jī)81、及參照?qǐng)D1說明的緊急照明燈109連接。另外，圖3將圖2的溫度調(diào)節(jié)單元102作為包含于控制器101內(nèi)的部件進(jìn)行記載。
[0074]控制器101根據(jù)溫度傳感器22的檢測輸出，對(duì)加熱器IlA?IlN的加熱動(dòng)作等以通過PID (Proportional Integral Differential)控制等反饋控制維持在關(guān)于各加熱工序規(guī)定的溫度的方式進(jìn)行控制。另外，控制器101根據(jù)氧濃度傳感器80的檢測輸出對(duì)氮?dú)忾y16的開閉程度進(jìn)行反饋控制。另外，控制器101根據(jù)由溫度傳感器22進(jìn)行的通道56B內(nèi)的環(huán)境溫度的檢測輸出，對(duì)冷卻器60中的冷卻管61、62中的制冷劑的循環(huán)量等通道56B內(nèi)的環(huán)境的冷卻狀態(tài)進(jìn)行控制。
[0075]另外，控制器101在惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度異常上升的情況及由輸送機(jī)80進(jìn)行的工件90的輸送中出現(xiàn)故障的情況等、在基板處理系統(tǒng)中發(fā)生無法正常執(zhí)行預(yù)定的動(dòng)作的情形的情況下，在采取使由加熱器IlA?IlN進(jìn)行的加熱停止的、使由輸送機(jī)80進(jìn)行的工件90的輸送停止等公知的措施后，點(diǎn)亮緊急照明燈109。據(jù)此，作業(yè)人員在除去了回流焊爐中的不良情況后，采取使控制器101復(fù)位，使回流焊爐的運(yùn)轉(zhuǎn)重新開始等措施。
[0076]控制器101具備CPlXCentral Processing Unit)等運(yùn)算裝置101A、用于存儲(chǔ)程序等各種數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器101B、上述PC300及控制器200和控制器101通信時(shí)利用的接口 101C。接口 IOlC例如通過網(wǎng)卡等通信裝置實(shí)現(xiàn)。而且，運(yùn)算裝置IOlA例如通過執(zhí)行保存于該存儲(chǔ)器IOlB中的程序，實(shí)現(xiàn)由本說明書中記載的控制器101進(jìn)行的控制動(dòng)作。但是，控制器101有時(shí)也可以通過具備實(shí)現(xiàn)該控制器101的各功能的I以上的硬件裝置(LSI (Large ScaleIntegration)等)而實(shí)現(xiàn)。
[0077]另外，存儲(chǔ)器101B有時(shí)也可以通過可從控制器101的主體拆裝的存儲(chǔ)介質(zhì)而實(shí)現(xiàn)。作為這種存儲(chǔ)介質(zhì)，可舉出 CD — ROM (Compact Disk — Read Only Memory)、DVD —ROM (Digital Versatile Disk — Read Only Memory)> USB (Universal Serial Bus)存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)卡、FD (Flexible Disk)、硬盤、磁帶、卡帶、MO (Magnetic Optical Disk)、MD(Mini Disk)、IC (Integrated Circuit)卡(存儲(chǔ)卡除外)、光卡、掩模 ROM、EPROM、EEPROM(Electronically Erasable Programmable Read 一 Only Memory)等非易失性地保存程序的介質(zhì)。
[0078]<回流焊爐中的節(jié)省能源控制的概要>
[0079]圖4是用于說明回流焊爐中的運(yùn)轉(zhuǎn)模式的切換的一例的圖。另外，在該圖中，橫向?yàn)闀r(shí)間軸。
[0080]參照?qǐng)D4，在回流焊爐的運(yùn)轉(zhuǎn)開始后，控制器101以用于將惰性環(huán)境室13內(nèi)的狀態(tài)(溫度、氧濃度等)維持在適合工件90的熱處理的狀態(tài)的通常模式控制回流焊爐的各要素。
[0081]在通常模式下的控制的執(zhí)行中，若例如一定時(shí)間內(nèi)工件90不向惰性環(huán)境室13輸送等規(guī)定的條件成立，則相對(duì)上述通常模式，控制器101以單位時(shí)間的回流焊爐的耗電能低的節(jié)省能源模式(以下，也稱為“節(jié)能模式”)控制回流焊爐的各要素。另外，規(guī)定的條件由從預(yù)工序的控制器200、PC300、其它輸入裝置等向控制器101的輸入來決定。
[0082]在節(jié)能模式下的控制的執(zhí)行中，以相對(duì)應(yīng)使惰性環(huán)境室13內(nèi)的狀態(tài)恢復(fù)到適合工件90的熱處理的狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間(以下，也稱為“剩余待機(jī)時(shí)間”)為從惰性環(huán)境室13內(nèi)的狀態(tài)在節(jié)能模式的控制下的狀態(tài)起到返回適合上述熱處理的狀態(tài)所需的時(shí)間(以下，也稱為“基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間”)以下的情況為條件，控制器101使回流焊爐的各要素的控制模式返回上述的通常模式。
[0083]而且，在通常模式重新開始后，以惰性環(huán)境室13內(nèi)的狀態(tài)恢復(fù)為適合上述熱處理的狀態(tài)的情況為條件，再次向惰性環(huán)境室13內(nèi)輸送工件90。
[0084]圖5是示意性地表示在參照?qǐng)D4說明那樣地切換運(yùn)轉(zhuǎn)模式時(shí)的、惰性環(huán)境室13內(nèi)的第七加熱工序中的環(huán)境溫度的變化的例子的圖。另外，圖5包含(A)和(B)的溫度變化的兩個(gè)圖案。另外，在圖5 (A)和圖5 (B)雙方中，縱軸表不上述環(huán)境溫度,橫軸表不時(shí)間。另外，它們雙方的縱軸及橫軸以相同的刻度記載。
[0085]在圖5 (A)的例子中，在上述環(huán)境溫度達(dá)到第一溫度(在圖5 (A)中為“TP1”)后，在時(shí)刻TAl停止向加熱器IlA?IlN的供電。由此，以后，上述環(huán)境溫度降低。然后，在時(shí)刻TA2，使向加熱器IlA?IlN的供電重新開始。由此，上述環(huán)境溫度上升，在時(shí)刻TA3，該環(huán)境溫度恢復(fù)到上述TPl。
[0086]在圖5 (B)的例子中，在上述環(huán)境溫度達(dá)到上述TPl后，在時(shí)刻TB1，停止向加熱器IlA?IlN的供電。由此，之后，上述環(huán)境溫度降低。然后，在時(shí)刻TB2，使向加熱器IlA?IlN的供電重新開始。由此，上述環(huán)境溫度上升，在時(shí)刻TB3，該環(huán)境溫度恢復(fù)到上述TP1。
[0087]另外，比較圖5 (A)和圖5 (B),圖5 (A)所不的例子與圖5 (B)所不的例子相比，使向加熱器IlA?IlN的供電停止的時(shí)間更長。即，從時(shí)刻TAl到時(shí)刻TA2的時(shí)間比從時(shí)刻TBl到時(shí)刻TB2的時(shí)間更長。
[0088]由此，圖5 (A)所示的例子與圖5 (B)所示的例子相比，上述環(huán)境溫度降低至更低的溫度。
[0089]由此，圖5 (A)所示的例子與圖5 (B)所示的例子相比，在向加熱器IlA?IlN供電后，直到上述環(huán)境溫度恢復(fù)至TPl的時(shí)間更長。即，從時(shí)刻TA2到時(shí)刻TA3的時(shí)間比從時(shí)刻TB2到時(shí)刻TB3的時(shí)間更長。
[0090]那么，作為通常模式中的溫度控制，根據(jù)溫度傳感器22的檢測輸出，以將惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度維持在適合工件90的熱處理的溫度(以下，也稱為“第一溫度”)的方式控制加熱器IlA?IlN的開/關(guān)(或向加熱器IlA?IlN的供電)。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)上述七階段的加熱工序的環(huán)境溫度的各個(gè)進(jìn)行測定，以各個(gè)均成為適合工件90的熱處理的溫度的方式控制加熱器IlA?IlN的動(dòng)作。而且，本說明書中的“第一溫度”是對(duì)它們中第七階段的加熱工序中的環(huán)境溫度而言的。
[0091]作為節(jié)能模式中的控制，例如可舉出一定時(shí)間內(nèi)，停止向加熱器IlA?IlN的供電的控制(一定時(shí)間持續(xù)使加熱器IlA?IlN關(guān)閉)、及用于將惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度維持在比上述第一溫度更低的溫度的加熱器IlA?IlN的動(dòng)作的控制。另外，即使在后者的控制中，在連續(xù)地執(zhí)行加熱器IlA?IlN的動(dòng)作控制中，在惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度為上述第一溫度以上的情況下，有時(shí)也可暫時(shí)性地使加熱器IlA?IlN關(guān)閉。與此相對(duì)，前者的控制、SP“使向加熱器IlA?IlN的供電停止的控制”意味著在一定時(shí)間內(nèi)使向加熱器IlA?IlN的供電停止，且不執(zhí)行加熱器IlA?IlN的動(dòng)作的控制自身。在本實(shí)施方式中，作為節(jié)能模式中的控制，對(duì)前者的控制進(jìn)行說明。另外，后者的控制將在第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0092]另外，具體的節(jié)能模式下的控制內(nèi)容在后文中說明。
[0093]<回流焊爐內(nèi)的動(dòng)作>
[0094]圖6是示意性地表示導(dǎo)入惰性環(huán)境室13的基板的數(shù)目的時(shí)間變化的圖。圖7是示意性地表示在回流焊爐中消耗的電力的時(shí)間變化(實(shí)線)和自該運(yùn)轉(zhuǎn)開始時(shí)的累計(jì)值(點(diǎn)劃線)的圖。圖8是示意性地表示惰性環(huán)境室13內(nèi)的第七加熱工序(配置有加熱器IIM和加熱器IlN的位置上的加熱工序)中的環(huán)境溫度的時(shí)間變化的圖。另外，在圖8中，實(shí)線(作為“上部”表示)表示進(jìn)行第七加熱工序的區(qū)域的輸送機(jī)80的上方的檢測溫度，實(shí)線(作為“下部”表示)表示進(jìn)行第七加熱工序的區(qū)域的輸送機(jī)80的下方的檢測溫度。圖9是示意性地表示在流量計(jì)15中檢測的氮流量的時(shí)間變化(實(shí)線)和其累計(jì)值(點(diǎn)劃線)的圖。圖10是示意性地表示由氧濃度傳感器80檢測的氧濃度的時(shí)間變化的圖。
[0095]圖6?圖10的橫軸表示進(jìn)行測量的時(shí)刻。在各圖中，測量時(shí)刻是共通的同。例如，在各圖中，“17:30”表示當(dāng)天的17時(shí)30分。
[0096]參照?qǐng)D6，在該例中，表示在17時(shí)20分以后，基板向惰性環(huán)境室13的導(dǎo)入停止規(guī)定期間的狀態(tài)。
[0097]在此，在基板向惰性環(huán)境室13的導(dǎo)入停止規(guī)定期間的期間，為了抑制回流焊爐中的電力消耗，停止向加熱器IlA?IlN的供電，另外，為了抑制回流焊爐中的壓力能源的消耗，考慮關(guān)閉氮?dú)忾y16的情況。
[0098]在該情況下，在17時(shí)45分以后，停止向加熱器IlA?IlN的電力的供給。另外，在此，“17時(shí)45分”是指檢測到在17時(shí)20分導(dǎo)入到惰性環(huán)境室13中的“最后的”工件90經(jīng)過惰性環(huán)境室13及通道56B被送至回流焊爐的下一工序所預(yù)定的時(shí)刻。而且，通過停止向加熱器IlA?IlN的電力的供給，從而如圖7中表示為“裝置下降”那樣地降低加熱器IlA?IlN中的電力的消耗量(實(shí)線)。
[0099]具體而言，在圖7中，從17時(shí)45分左右到18時(shí)15分左右，通過停止加熱器IlA?11N，回流焊爐中的消耗電力僅用于加熱用風(fēng)扇12A?12N等，因此，電力急劇降低。而且，在18時(shí)15分，對(duì)回流焊爐的電力的供給停止(電源切斷)。
[0100]另外，在上述17時(shí)45分以后，氮?dú)忾y16關(guān)閉，停止向惰性環(huán)境室13供給氮?dú)狻Ｓ纱?，如圖9所示，供給氮?dú)獾牧?在圖9中用實(shí)線表示的流量)降低。
[0101]S卩，在本實(shí)施方式的回流焊爐中，如參照?qǐng)D7進(jìn)行說明的那樣，隨著向加熱器IlA?IlN的電力的供給停止(或降低)，如圖8所示，惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境溫度下降。另夕卜，如參照?qǐng)D9進(jìn)行說明的那樣，隨著氮?dú)忾y16的關(guān)閉，如圖10所示，惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度上升。
[0102]如上所述，在惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境溫度下降的情況下，使向加熱器IlA?IlN的供電重新開始以使惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度上升至適合工件90的熱處理的溫度需要一定程度的時(shí)間。
[0103]另外，如上所述，在惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度上升的情況下，通過打開氮?dú)忾y16且使向惰性環(huán)境室13內(nèi)的氮?dú)獾墓┙o量增加，從而使惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度降低到適合工件90的熱處理的濃度，需要一定程度的時(shí)間。
[0104]在本說明書中，將使惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度降低一次后，再次上升至適合工件90的熱處理的溫度稱為“恢復(fù)”。另外，將使惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度上升一次后，再次降低至適合工件90的熱處理的濃度也稱為“恢復(fù)”。
[0105]<基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的設(shè)定>
[0106]圖11是在控制器101中執(zhí)行的、用于設(shè)定上述的基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的處理(示教處理)的流程圖。該示教處理在于回流焊爐中，例如惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度調(diào)整為適合工件90的熱處理的溫度的情況下，即按照指示該處理的執(zhí)行或者在回流焊爐起動(dòng)時(shí)開始。處理的執(zhí)行的指示例如從PC300經(jīng)由接口 IOlC輸入。另外，控制器101具備鼠標(biāo)及鍵盤、觸摸屏等輸入裝置，有時(shí)也可以通過對(duì)該裝置的操作指示上述處理的執(zhí)行。
[0107]參照?qǐng)D11，在步驟SAlO中，控制器101將在示教處理中使用的變量η初始化為1，進(jìn)入步驟SA20進(jìn)行處理。
[0108]在步驟SA20中，控制器101使向加熱器IlA?IlN的電力的供給停止期間Τη，處理進(jìn)入步驟SA30。在此，期間Tn為與變量η的值相關(guān)聯(lián)而預(yù)先設(shè)定的值。在存儲(chǔ)器IOlB中保存有在示教處理中作為使供電停止的時(shí)間長度而預(yù)先設(shè)定的、特定N個(gè)期間(Tl?TN)的信息。在步驟SA20中，控制器101從存儲(chǔ)器IOlB獲取N個(gè)期間中特定第η期間的信息，在該期間，使向加熱器IlA?IlN的電力的供給停止。
[0109]在步驟SA30中，控制器101開始惰性環(huán)境室13內(nèi)的指標(biāo)(在本實(shí)施方式中，為第七加熱工序的環(huán)境溫度)的檢測，進(jìn)入步驟SA40進(jìn)行處理。
[0110]在步驟SA40中，控制器101使向加熱器IlA?IlN的電力的供給重新開始，并進(jìn)入步驟SA50進(jìn)行處理。由此，在從步驟SA20中的供電停止起經(jīng)過了期間Tn的時(shí)刻，向加熱器IlA?IlN的電力的供給重新開始。
[0111]在步驟SA50中，控制器101判斷指標(biāo)是否達(dá)到控制的目標(biāo)范圍。而且，若判斷為達(dá)到，則控制器101進(jìn)入步驟SA60進(jìn)行處理。即，在上述環(huán)境溫度達(dá)到第一溫度的情況下，進(jìn)入步驟SA60進(jìn)行處理。
[0112]在步驟SA60中，控制器101獲取消耗電力和恢復(fù)時(shí)間并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器101Β，進(jìn)入步驟SA70進(jìn)行處理。另外，此處的消耗電力為從步驟SA20中使向加熱器IlA?IlN的電力的供給停止到使供電重新開始，在步驟SA50中上述環(huán)境溫度達(dá)到第一溫度的、加熱器IlA?IlN中的消耗電力。另外，恢復(fù)時(shí)間為從步驟SA40中使供電重新開始起到在步驟SA50中上述環(huán)境溫度達(dá)到第一溫度的時(shí)間。另外，此處的“達(dá)到”可置換為進(jìn)行“在達(dá)到后持續(xù)規(guī)定時(shí)間保持第一溫度”等、為了特定溫度的恢復(fù)而通常利用的條件。
[0113]在步驟SA70中，控制器101將變量η加I更新，進(jìn)入步驟SA80進(jìn)行處理。
[0114]在步驟SA80中，控制器101判斷變量η的值是否超過上述期間的個(gè)數(shù)即“N”，若判斷為沒有超過，則返回步驟SA20進(jìn)行處理，若判斷為超過，則進(jìn)入步驟SA90進(jìn)行處理。
[0115]S卩，控制器101通過步驟SA20?步驟SA80的處理獲取關(guān)于N個(gè)期間的每一個(gè)的“消耗電力”和“恢復(fù)時(shí)間”。
[0116]圖12是表示包含通過步驟SA20?步驟SA80的處理獲取的數(shù)據(jù)的、在示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖。
[0117]在圖12中，表示運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間、以及關(guān)于各運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的恢復(fù)時(shí)間、周期時(shí)間、周期、電能/周期、電能及節(jié)能率的各項(xiàng)目的數(shù)據(jù)。
[0118]“運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間”為上述Τη。
[0119]“恢復(fù)時(shí)間”為關(guān)于各運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間在步驟SA60中獲取的恢復(fù)時(shí)間。
[0120]“周期時(shí)間”為上述運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間與恢復(fù)時(shí)間的和。
[0121]“周期”為在特定的時(shí)間(在該例中為3.5小時(shí)(210分))能夠重復(fù)上述周期時(shí)間的次數(shù)，為“特定的時(shí)間”除以“周期時(shí)間”所得的值。
[0122]“電能/周期”為在上述周期時(shí)間消耗的電能，為在步驟SA60中獲取的消耗電能。
[0123]“電能”為上述“電能/周期”和上述“周期”的乘積，具體而言，假定為在特定的時(shí)間重復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的供電停止和恢復(fù)時(shí)間的供電時(shí)所消耗的消耗電能。
[0124]另外，在圖12中，作為“運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間”為“O分”的情況，也表示了在上述特定的時(shí)間期間連續(xù)地向加熱器IlA?IlN供電的情況下的數(shù)據(jù)。
[0125]而且，“節(jié)能率”為“電能”與“運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間”為“O分”的情況下的“電能”的差，相當(dāng)于在上述特定的時(shí)間期間連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下能夠抑制消耗的電能。
[0126]在圖12中表示了關(guān)于運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間為O分(連續(xù)的供電)、7分、15分、30分、45分、60分、75分、90分、105分、120分、135分、150分、165分及180分的數(shù)據(jù)。
[0127]在圖12中，在運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間為7分和150分時(shí)，“電能”為“10.5KWh”和“3.5KWh”。而且，在這些期間，運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間越長，“電能”越低。在運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間為165分時(shí)，“電能”與150分的沒有變化。而且，在運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間為180分時(shí)，“電能”變?yōu)椤?.0KWh”，相對(duì)150分及165分，稍微上升。
[0128]另外，在運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間為7分和150分時(shí)，“節(jié)能率”為“5%”和“64%”。而且，“節(jié)能率”相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化也表現(xiàn)出與“電能”相同的傾向。
[0129]返回圖11，在步驟SA90中，控制器101制作用于表示伴隨上述運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化的、“消耗電力”(圖12的“電能”)和“恢復(fù)時(shí)間”(圖12的“恢復(fù)時(shí)間”)的變化的畫面數(shù)據(jù)并發(fā)送至PC300。通過步驟SA90的處理，在PC300的顯示器顯示該圖表。另外，控制器101具備監(jiān)視器，該圖表有時(shí)也在控制器101的監(jiān)視器中顯示。
[0130]圖13是示意性地表示通過步驟SA90的處理而表示的圖表的一例的圖。[0131]在圖13中，表示圖表901和圖表902兩個(gè)圖表。圖表901為表示伴隨運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化的“消耗電力”(圖12的“電能”)的變化的圖表。另外，圖表902為表示伴隨運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化的“恢復(fù)時(shí)間”(圖12的“恢復(fù)時(shí)間”)的變化的圖表。
[0132]在圖表901和圖表902中，表示運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的橫軸的左右方向的位置是共通的。因此，通過觀察圖13所示的圖表，在設(shè)定了運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的情況下，用戶能夠識(shí)別預(yù)想在上述特定的時(shí)間消耗的情況的電能、和使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境(溫度)恢復(fù)所需的時(shí)間。
[0133]另外，在圖表901和圖表902中，根據(jù)各數(shù)據(jù)制作的近似函數(shù)用粗線表示?？刂破?01根據(jù)圖12所示的伴隨運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化的電能及恢復(fù)時(shí)間的實(shí)測值生成近似函數(shù)，如圖表901和圖表902所示，有時(shí)也與該實(shí)測值一同表示。
[0134]返回圖11，在步驟SA90后，控制器101在步驟SA100接受在實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)使向加熱器IlA?IlN的供電停止的時(shí)間(以下，也稱為“基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)”)的指定，并進(jìn)入步驟SAllO進(jìn)行處理。
[0135]用戶能夠一邊參照例如圖13所示的圖表一邊指定基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)。具體而言，例如，用戶在PC300中，進(jìn)行如圖13中所示的點(diǎn)劃線那樣的使位置向左右方向移動(dòng)而特定運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的操作、及用于將該特定的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間指定作為基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)的操作，從而從PC300經(jīng)由接口 IOlC向控制器101輸入用于指定基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)的信息。
[0136]在此，作為基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)而指定的時(shí)間并不限定于圖12中作為“運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間”表示的、具有電能等實(shí)測值的時(shí)間。
[0137]另外，在PC300中的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的特定時(shí)，如圖13中虛線的箭頭標(biāo)記所示，表示與該運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的信息也可以在PC300中顯示。這種對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的顯示例如在控制器101上作為CGI (Common Gateway Interface)實(shí)現(xiàn)。即，例如運(yùn)算裝置IOlA通過根據(jù)來自PC300的要求執(zhí)行存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器IOlB的CGI程序，從而將顯示與在PC300中特定的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的數(shù)據(jù)從控制器101發(fā)送至PC300。另外，在圖12的數(shù)據(jù)保存在例如存儲(chǔ)器IOlB的情況下，運(yùn)算裝置IOlA利用該數(shù)據(jù)執(zhí)行上述CGI程序。
[0138]返回圖11，步驟SAllO中，控制器101將在步驟SA100接受指定的基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)保存在存儲(chǔ)器101B，另外，在上述近似函數(shù)或圖12的實(shí)測值中，將與和該基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)相同長度的時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間對(duì)應(yīng)的恢復(fù)時(shí)間作為“基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)”而保存并結(jié)束處理。
[0139]另外，在示教處理中，也可以與所設(shè)定的基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)對(duì)應(yīng)，提示預(yù)測在特定的時(shí)間內(nèi)抑制消耗的電能。
[0140]圖14是表示用于提示預(yù)測為抑制消耗的電能的畫面的一例的圖。
[0141]在圖14中，作為“運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間”，顯示作為基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)而指定的時(shí)間。另夕卜，在圖14中，作為“可削減的電能”，顯示在圖13的圖表901中，與和上述基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)相同時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間對(duì)應(yīng)的電能?？刂破?01通過執(zhí)行例如CGI程序，根據(jù)基于圖12或該圖12的電能的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的變化的狀態(tài)制作的近似函數(shù)，獲取與所指定的基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)對(duì)應(yīng)的電能，并將表示其內(nèi)容的信息發(fā)送至PC300等。
[0142]〈通常的運(yùn)轉(zhuǎn)控制〉
[0143]接著，對(duì)在回流焊爐中將工件90導(dǎo)入惰性環(huán)境室13內(nèi)并進(jìn)行該工件90的熱處理時(shí)的、通過控制器101執(zhí)行的處理(運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理)進(jìn)行說明。該處理在例如回流焊爐起動(dòng)時(shí)執(zhí)行。
[0144]圖15是運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理的流程圖。
[0145]參照?qǐng)D15，在步驟SB10，控制器101以上述的通常模式控制包含加熱器IlA?IlN的回流焊爐的各要素的動(dòng)作，進(jìn)入步驟SB20進(jìn)行處理。
[0146]在步驟SB20中，控制器101通過參照基板用傳感器21的檢測輸出判斷導(dǎo)入惰性環(huán)境室13內(nèi)的基板(工件90)的塊數(shù)是否變?yōu)?，若判斷為變?yōu)?，則進(jìn)入步驟SB30進(jìn)行處理。
[0147]在步驟SB30中，控制器101算出剩余待機(jī)時(shí)間并進(jìn)入步驟SB40進(jìn)行處理。剩余待機(jī)時(shí)間是指，用于算出直到下一次向惰性環(huán)境室13內(nèi)投入基板(工件90)的時(shí)刻(或，預(yù)定投入的時(shí)刻)的剩余時(shí)間的處理。例如，在存儲(chǔ)器IOlB預(yù)先保存下次投入預(yù)定時(shí)刻，控制器101通過算出當(dāng)前時(shí)刻和下次投入預(yù)定時(shí)刻的差，實(shí)現(xiàn)步驟SB30的處理。
[0148]在步驟SB40中，控制器101判斷上述剩余待機(jī)時(shí)間是否為上述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)以上，若判斷為是，則進(jìn)入步驟SB50進(jìn)行處理，若判斷為上述剩余待機(jī)時(shí)間不足上述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)，則進(jìn)入步驟SB60進(jìn)行處理。
[0149]在步驟SB50中，控制器101執(zhí)行上述節(jié)能模式下的控制，進(jìn)入步驟SB30進(jìn)行處理。
[0150]節(jié)能模式下的具體的控制內(nèi)容，例如可舉出不斷重復(fù)基準(zhǔn)停止時(shí)間(td)的向加熱器IlA?IlN的供電的停止、和用于將惰性環(huán)境室13設(shè)為適合工件90的熱處理的狀態(tài)的反饋控制下的基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)的向加熱器IlA?IlN的供電的內(nèi)容。
[0151]另一方面，在步驟SB60中，控制器101執(zhí)行上述通常模式下的控制，返回步驟SBlO進(jìn)行處理。
[0152]根據(jù)以上說明的運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理，在未將工件90導(dǎo)入惰性環(huán)境室13內(nèi)時(shí)，直到下次投入工件90的剩余時(shí)間(剩余待機(jī)時(shí)間)成為保存于存儲(chǔ)器IOlB的基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)，以節(jié)能模式控制回流焊爐的各要素。而且，在剩余待機(jī)時(shí)間成為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)以下后，回流焊爐的各要素的控制返回通常模式。
[0153]節(jié)能模式為用于向惰性環(huán)境室13供給能源的部件(加熱器IlA?IlN等)中的能耗量比通常模式低的模式。
[0154]而且，通過圖15的運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理，能夠在上述的下次投入預(yù)定時(shí)刻可靠地使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境(溫度等)恢復(fù)到適合工件90的熱處理的狀態(tài)，同時(shí)能夠抑制上述用于供給能源的部件中的能耗量。
[0155]〈關(guān)于剩余待機(jī)時(shí)間算出處理〉
[0156]在參照?qǐng)D15說明的運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理的步驟SB30的剩余待機(jī)時(shí)間算出處理中，根據(jù)下次投入預(yù)定時(shí)刻和當(dāng)前時(shí)刻算出剩余待機(jī)時(shí)間。
[0157]另外，剩余待機(jī)時(shí)間也可以根據(jù)基板處理系統(tǒng)中的回流焊爐之外的裝置(檢查裝置230等)的狀態(tài)算出。
[0158]圖16是剩余待機(jī)時(shí)間算出處理的流程圖的一例。圖16的處理例如在圖15的處理的背景下執(zhí)行。在執(zhí)行圖16的處理的情況下，優(yōu)選為省略圖15的步驟SB30的處理。
[0159]參照?qǐng)D16，在步驟SClO中，控制器101判斷預(yù)工序基板投入標(biāo)志的值是否為I。預(yù)工序基板投入標(biāo)志為在基板處理系統(tǒng)中，在比回流焊爐100提前將基板投入處理基板的特定的裝置(檢查裝置230等)的情況下設(shè)為“1”，在未投入的情況下設(shè)為“O”的標(biāo)志。控制器101通過從例如上述特定的裝置的控制器(圖3的“控制器200”)接收關(guān)于有無基板投入的信號(hào)，從而更新預(yù)工序基板投入標(biāo)志的值，在剩余待機(jī)時(shí)間算出處理中利用。
[0160]而且，在步驟SClO中，若判斷為預(yù)工序基板投入標(biāo)志的值為“1”，則控制器101進(jìn)入步驟SC20進(jìn)行處理。
[0161]在步驟SClO后，在步驟SC20中，控制器101使剩余待機(jī)時(shí)間倒數(shù)計(jì)時(shí)，進(jìn)入步驟SC30進(jìn)行處理。在此，剩余待機(jī)時(shí)間的初始值為基板從上述特定的裝置直行至回流焊爐的情況下的節(jié)拍時(shí)間。另外，在從上述特定的裝置到回流焊爐期間，基板(工件90)經(jīng)過多個(gè)裝置的情況下，上述初始值為各裝置中的節(jié)拍時(shí)間的總和。而且，在步驟SC20中，通過從該初始值倒數(shù)計(jì)時(shí)來更新剩余待機(jī)時(shí)間。在第二次以后的步驟SC20中，從更新后的剩余待機(jī)時(shí)間倒數(shù)計(jì)時(shí)。
[0162]在步驟SC20后，控制器101判斷剩余待機(jī)時(shí)間是否超過0，若判斷為超過，則進(jìn)入步驟SC40進(jìn)行處理，若判斷為O以下，則進(jìn)入步驟SC50進(jìn)行處理。
[0163]在步驟SC40中，控制器101判斷預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志是否為O。預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志為表示上述特定的裝置是否正常工作的標(biāo)志，在正常工作時(shí)值為“ I ”，在不正常工作時(shí)(產(chǎn)生異常等)值為“O”?？刂破?01通過與上述特定的裝置通信，適當(dāng)更新預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志的值。例如，控制器101也可以接收該特定的裝置中發(fā)送至緊急照明燈(緊急照明燈239等)的點(diǎn)亮/熄滅信號(hào)，根據(jù)該信號(hào)的內(nèi)容更新預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志的值。即，例如在向緊急照明燈發(fā)送使該緊急照明燈點(diǎn)亮的信號(hào)時(shí)，將預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志更新為“0”，在發(fā)送使該緊急照明燈熄滅的信號(hào)時(shí)，將預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志更新為“I”。而且，如果預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志的值為“1”，則返回步驟SC20進(jìn)行處理。另一方面，如果預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志的值為“0”，則控制器101使步驟S20中的剩余待機(jī)時(shí)間的倒數(shù)計(jì)時(shí)停止，直到預(yù)工序運(yùn)轉(zhuǎn)標(biāo)志的值返回“I”。而且，如果該值返回“1”，則使步驟SC20中的倒數(shù)計(jì)時(shí)重新開始。
[0164]根據(jù)以上說明的剩余待機(jī)時(shí)間算出處理，剩余待機(jī)時(shí)間根據(jù)設(shè)有回流焊爐的基板處理系統(tǒng)中的、回流焊爐的預(yù)工序的裝置的工作情況更新。由此，在參照?qǐng)D15說明的運(yùn)轉(zhuǎn)控制處理中，作為應(yīng)使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境恢復(fù)的時(shí)刻，可利用按照實(shí)際情況的時(shí)刻。由此，在將基板導(dǎo)入回流焊爐的時(shí)刻由于預(yù)工序的裝置的不合適等而延遲的情況下，根據(jù)其延遲，能夠更長地進(jìn)行節(jié)能模式下的控制。由此，能夠與將基板導(dǎo)入回流焊爐的時(shí)刻配合而使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境恢復(fù)，同時(shí)抑制更多的能源的消耗。
[0165][第二實(shí)施方式]
[0166]本實(shí)施方式的回流焊爐能夠設(shè)為與第一實(shí)施方式中說明的回流焊爐相同的構(gòu)成。但是在本實(shí)施方式中，如上所述，作為節(jié)能模式中的控制，執(zhí)行用于以比上述第一溫度低的溫度維持惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的加熱器IlA?IlN的動(dòng)作的控制。以下，對(duì)在本實(shí)施方式中執(zhí)行的處理內(nèi)容進(jìn)行說明。
[0167]<基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的設(shè)定(示教處理)>
[0168]圖17是在本實(shí)施方式中所執(zhí)行的示教處理的流程圖。
[0169]參照?qǐng)D17，在步驟SDlO中，控制器101將在本示教處理中使用的變量η初始化為I，進(jìn)入步驟SD20進(jìn)行處理。[0170]在步驟SD20中，控制器101將惰性環(huán)境室13內(nèi)的控制目標(biāo)溫度設(shè)定為臨時(shí)控制溫度Tn，并進(jìn)入步驟SD30進(jìn)行處理。在此，臨時(shí)控制溫度Tn為與變量η的值相關(guān)聯(lián)而預(yù)先設(shè)定的值。在存儲(chǔ)器IOlB中存儲(chǔ)有在示教處理中作為控制目標(biāo)的溫度而預(yù)定的、特定N個(gè)臨時(shí)控制溫度(Tl?TN)的信息。在步驟SD20中，控制器101從存儲(chǔ)器IOlB獲取N個(gè)臨時(shí)控制溫度中特定第η個(gè)臨時(shí)控制溫度的信息并進(jìn)行設(shè)定。由此，以惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度(第七加熱工序的環(huán)境溫度)維持在該臨時(shí)控制溫度的方式控制加熱器IlA?IlN的開/關(guān)。
[0171]另外，N個(gè)臨時(shí)控制溫度(Tl?TN)均為比惰性環(huán)境室13中的適合工件90的熱處理的溫度(第一溫度)低的溫度。
[0172]在步驟SD30中，控制器101判斷惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度(第七加熱工序的環(huán)境溫度)是否降低至臨時(shí)控制溫度Τη，若判斷為降低至臨時(shí)控制溫度Τη，則進(jìn)入步驟SD40進(jìn)行處理。
[0173]在步驟SD40中，控制器101使惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度控制的目標(biāo)返回上述第一溫度，另外，開始惰性環(huán)境室13內(nèi)的指標(biāo)(在本實(shí)施方式中，為第七加熱工序的環(huán)境溫度)的檢測，進(jìn)入步驟SD50進(jìn)行處理。
[0174]在步驟SD50中，控制器101判斷惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度是否上升至上述第一溫度。而且，若判斷為上升至第一溫度，則控制器101進(jìn)入步驟SD60進(jìn)行處理。
[0175]在步驟SD60中，控制器101獲取消耗電力和恢復(fù)時(shí)間并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器101Β，進(jìn)入步驟SD70進(jìn)行處理。另外，此處的消耗電力為從步驟SD20中使將惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的控制目標(biāo)變更為臨時(shí)控制溫度Tn的控制開始到在步驟SD60中惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度恢復(fù)到第一溫度的、加熱器IlA?IlN中的消耗電力。另外，恢復(fù)時(shí)間為從在步驟SD40中使控制目標(biāo)返回第一溫度起到在步驟SD50中判斷為上述環(huán)境溫度達(dá)到第一溫度的時(shí)間。另夕卜，此處的“達(dá)到”可置換為進(jìn)行“在達(dá)到后持續(xù)規(guī)定時(shí)間保持第一溫度”等、為了特定溫度的恢復(fù)而通常利用的條件。
[0176]在步驟SD70中，控制器101將變量η加I更新，并進(jìn)入步驟SD80進(jìn)行處理。
[0177]在步驟SD80中，控制器101判斷變量η的值是否超過上述期間的個(gè)數(shù)即“N”，若判斷為沒有超過，則返回步驟SD20進(jìn)行處理，若判斷為超過，則進(jìn)入步驟SD90進(jìn)行處理。
[0178]S卩，控制器101通過步驟SD20?步驟SD80的處理，獲取關(guān)于N個(gè)臨時(shí)控制溫度的每一個(gè)的“消耗電力”和“恢復(fù)時(shí)間”。
[0179]圖18是表示包含通過步驟SD20?步驟SD80的處理獲取的數(shù)據(jù)的、在本實(shí)施方式的示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖。
[0180]在圖18中，表示臨時(shí)控制溫度、以及關(guān)于各臨時(shí)控制溫度的恢復(fù)時(shí)間、周期時(shí)間、周期、電能/周期、電能及節(jié)能率的各項(xiàng)目的數(shù)據(jù)。
[0181]“臨時(shí)控制溫度”為上述Τη。
[0182]“恢復(fù)時(shí)間”為關(guān)于各臨時(shí)控制溫度在步驟SD60獲取的恢復(fù)時(shí)間。
[0183]“周期時(shí)間”為從步驟SD20中使控制目標(biāo)變更為臨時(shí)控制溫度起到步驟SD50中判斷為惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度達(dá)到第一溫度的時(shí)間。
[0184]“周期”為在特定的時(shí)間(在該例中為3.5小時(shí)(210分))中能夠重復(fù)上述周期時(shí)間的次數(shù)，為“特定的時(shí)間”除以“周期時(shí)間”所得的值。[0185]“電能/周期”為在上述周期時(shí)間中所消耗的電能，為在步驟SD60中獲取的消耗電倉泛。
[0186]“電能”為上述“電能/周期”和上述“周期”的乘積，具體而言，為假定為在上述特定的時(shí)間中，在重復(fù)向臨時(shí)控制溫度的控制目標(biāo)的變更和其后的至第一溫度的恢復(fù)時(shí)所消耗的消耗電能。
[0187]在圖18中，作為將臨時(shí)控制溫度設(shè)為第一溫度(230°C)的情況，也表示了在上述特定的時(shí)間期間連續(xù)地向加熱器IlA?IlN供電的情況下的數(shù)據(jù)。
[0188]而且，“節(jié)能率”為“電能”與“臨時(shí)控制溫度”為第一溫度的情況下的“電能”的差，相當(dāng)于在上述特定的時(shí)間期間連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下能夠抑制消耗的電能。
[0189]在圖18中表示了關(guān)于臨時(shí)控制溫度為230°C (連續(xù)的第一溫度下的溫度控制)、223°C、215°C、20(TC、185t:、17(rC、155t:、14(rC、125t:、ll(rC、95t:、8(rC、65t:及 5(TC 的數(shù)據(jù)。
[0190]在圖18中，例如臨時(shí)控制溫度為223 V和80。。時(shí)，“電能”為“ 10.5KWh”和“3.5KWh”。而且，在這些期間，臨時(shí)控制溫度越長，“電能”越低。在臨時(shí)控制溫度為65°C時(shí)，“電能”與80°C時(shí)沒有變化。而且，在臨時(shí)控制溫度為50°C時(shí)，“電能”變?yōu)椤?.0KWh”，相對(duì)于80°C及65°C時(shí)，稍微上升。
[0191]另外，在臨時(shí)控制溫度為223°C和80°C時(shí)，“節(jié)能率”為“5%”和“64%”。而且，“節(jié)能率”相對(duì)于臨時(shí)控制溫度的變化也表現(xiàn)出與“電能”相同的傾向。
[0192]返回圖17，在步驟SD90中，控制器101制作用于表示伴隨上述臨時(shí)控制溫度的變化的、“消耗電力”(圖18的“電能”)和“恢復(fù)時(shí)間”(圖18的“恢復(fù)時(shí)間”)的變化的畫面數(shù)據(jù)并發(fā)送至PC300。通過步驟SD90的處理，在PC300的監(jiān)視器顯示該圖表。另外，控制器101具備監(jiān)視器，該圖表有時(shí)也在控制器101的監(jiān)視器中顯示。
[0193]圖19是示意性地表示通過步驟SD90的處理而表示的圖表的一例的圖。
[0194]在圖19中，展現(xiàn)圖表911和圖表912兩個(gè)圖表。圖表911為表示伴隨臨時(shí)控制溫度的變化的“消耗電力”(圖18的“電能”)的變化的圖表。另外，圖表912為表示伴隨臨時(shí)控制溫度的變化的“恢復(fù)時(shí)間”(圖18的“恢復(fù)時(shí)間”)的變化的圖表。
[0195]在圖表911和圖表912中，表示臨時(shí)控制溫度的橫軸的左右方向的位置是共通的。因此，通過觀察圖19所示的圖表，在如后述那樣地設(shè)定作為節(jié)能模式中的控制目標(biāo)溫度的情況下，作為與對(duì)應(yīng)于該控制目標(biāo)溫度的臨時(shí)控制溫度對(duì)應(yīng)的信息，用戶能夠識(shí)別預(yù)想在上述特定的時(shí)間消耗的情況的電能、和使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境(溫度)恢復(fù)所需的時(shí)間。
[0196]另外，在圖表911和圖表912中，根據(jù)各數(shù)據(jù)制作的近似函數(shù)用粗線表示?？刂破?01根據(jù)圖18所示的伴隨臨時(shí)控制溫度的變化的電能及恢復(fù)時(shí)間的實(shí)測值生成近似函數(shù)，如圖表911和圖表912所不,有可與該實(shí)測值一同表不。
[0197]返回圖17，在步驟SD90后，控制器101在步驟SD100接受在實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在節(jié)能模式下成為惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的控制目標(biāo)的溫度(以下，也稱為“節(jié)能控制溫度(Tes)”)的指定，進(jìn)入步驟SDllO進(jìn)行處理。
[0198]用戶能夠一邊參照例如圖19所示的圖表一邊指定節(jié)能控制溫度(Tes)。具體而言，例如用戶在PC300中進(jìn)行如圖19中所示的點(diǎn)劃線那樣的使位置向左右方向移動(dòng)而特定臨時(shí)控制溫度的操作、及用于將該特定的臨時(shí)控制溫度指定作為節(jié)能控制溫度(Tes)的操作，從而從PC300經(jīng)由接口 IOlC向控制器101輸入用于指定節(jié)能控制溫度(Tes)的信息。
[0199]在此，作為節(jié)能控制溫度(Tes)而指定的時(shí)間并不限定于圖18中作為“臨時(shí)控制溫度”表示的、具有電能等實(shí)測值的溫度。
[0200]另外，在PC300中的臨時(shí)控制溫度的特定時(shí)，如圖19中虛線的箭頭標(biāo)記所示，表示與該臨時(shí)控制溫度對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的信息也可以在PC300中顯示。這種對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的顯示例如在控制器101上作為CGI實(shí)現(xiàn)。S卩，例如，運(yùn)算裝置IOlA通過根據(jù)來自PC300的要求執(zhí)行保存于存儲(chǔ)器IOlB的CGI程序，從而將顯示與在PC300中特定的節(jié)能控制溫度對(duì)應(yīng)的電能和恢復(fù)時(shí)間的數(shù)據(jù)從控制器101發(fā)送至PC300。另外，在圖18的數(shù)據(jù)保存在例如存儲(chǔ)器IOlB的情況下，運(yùn)算裝置IOlA利用該數(shù)據(jù)執(zhí)行上述CGI程序。
[0201]返回圖17，在步驟SDl 10中，控制器101將在步驟SD100接受指定的節(jié)能控制溫度(Tes)保存在存儲(chǔ)器101B，另外，在上述近似函數(shù)或圖18的實(shí)測值中，將與該節(jié)能控制溫度(Tes)相同溫度的臨時(shí)控制溫度對(duì)應(yīng)的恢復(fù)時(shí)間作為“基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)”而保存并結(jié)束處理。
[0202]另外，在本實(shí)施方式的示教處理中，如參照?qǐng)D14說明的那樣，也可以與所設(shè)定的節(jié)能控制溫度(Tes)對(duì)應(yīng)，提示預(yù)測在特定的時(shí)間內(nèi)抑制消耗的電能。
[0203]<通常的運(yùn)轉(zhuǎn)控制>
[0204]在參照?qǐng)D15說明的第一實(shí)施方式的“通常的運(yùn)轉(zhuǎn)處理”中，由于規(guī)定的條件成立，因此，運(yùn)轉(zhuǎn)模式從通常模式轉(zhuǎn)變?yōu)楣?jié)能模式。而且，以剩余待機(jī)時(shí)間不為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)以上作為條件，運(yùn)轉(zhuǎn)模式從節(jié)能模式返回通常模式。
[0205]另外，在本實(shí)施方式的通常模式中，惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的控制目標(biāo)設(shè)為第一溫度。而且，在節(jié)能模式中，惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的控制目標(biāo)變更為比第一溫度低的節(jié)能控制溫度(Tes)。
[0206]在本實(shí)施方式中，在于惰性環(huán)境室13內(nèi)進(jìn)行工件90的熱處理的情況下，將惰性環(huán)境室13內(nèi)的控制溫度控制到第一溫度。而且，在規(guī)定的條件成立的情況下，以節(jié)能模式(惰性環(huán)境室13內(nèi)的控制目標(biāo)與通常模式相比溫度低的模式)控制回流焊爐。由此，能夠可靠地抑制加熱器IlA?IlN的消耗電力。
[0207][第三實(shí)施方式]
[0208]如第一實(shí)施方式中說明的那樣，在回流焊爐中，若停止向惰性環(huán)境室13供給氮?dú)?，則惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度上升。因此，為了再次將工件90導(dǎo)入惰性環(huán)境室13使(工件90的)焊料熔解，需要打開氮?dú)忾y16使惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度降低至合適的濃度。
[0209]在本實(shí)施方式中，作為節(jié)能模式中的控制，以將惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度維持在比通常模式高的濃度的方式控制氮?dú)忾y16的開閉。即，在本實(shí)施方式中，抑制消耗的能源為壓力能源，該能源的消耗量由對(duì)惰性環(huán)境室13的氮?dú)獾墓┙o量(消耗量)表示。以下，對(duì)本實(shí)施方式中所執(zhí)行的處理內(nèi)容進(jìn)行說明。
[0210]<基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的設(shè)定(示教處理)>
[0211]圖20是在本實(shí)施方式中執(zhí)行的示教處理的流程圖。
[0212]參照?qǐng)D20，在步驟SElO中，控制器101將本示教處理中使用的變量η初始化為1，并進(jìn)入步驟SE20進(jìn)行處理。
[0213]在步驟SE20中，控制器101將惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的控制目標(biāo)設(shè)為臨時(shí)氧濃度Cn，并進(jìn)入步驟SE30進(jìn)行處理。在此，臨時(shí)氧濃度Cn為與變量η的值相關(guān)聯(lián)付而預(yù)先設(shè)定的值。在存儲(chǔ)器IOlB中保存有在示教處理中作為氧濃度的控制目標(biāo)而預(yù)先設(shè)定的、特定N個(gè)臨時(shí)氧濃度(Cl?CN)的信息。在步驟SE20中，控制器101從存儲(chǔ)器IOlB獲取N個(gè)臨時(shí)氧濃度中特定第η個(gè)臨時(shí)氧濃度的信息并進(jìn)行設(shè)定。由此，以惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度維持在該臨時(shí)氧濃度的方式控制氮?dú)忾y16的開閉。
[0214]另外，N個(gè)臨時(shí)氧濃度(Cl?CN)均為比惰性環(huán)境室13中的適合工件90的熱處理的氧濃度(第一濃度)高的濃度。
[0215]在步驟SE30中，控制器101判斷惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度是否上升至臨時(shí)氧濃度Cn，若判斷為上升至了則進(jìn)入步驟SE40進(jìn)行處理。
[0216]在步驟SE40中，控制器101使惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的控制目標(biāo)返回上述第一濃度，另外，開始惰性環(huán)境室13內(nèi)的指標(biāo)(在本實(shí)施方式中，為氧濃度)的檢測，進(jìn)入步驟SE50進(jìn)行處理。
[0217]在步驟SE50中，控制器101判斷惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度是否降低至上述第一濃度。而且，若判斷為降低至第一濃度，則控制器101進(jìn)入步驟SE60進(jìn)行處理。
[0218]在步驟SE60中，控制器101獲取氮?dú)獾南牧亢突謴?fù)時(shí)間并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器101B，進(jìn)入步驟SE70進(jìn)行處理。另外，此處的氮?dú)獾南牧繛閺牟襟ESE20中使將惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的控制目標(biāo)變更為臨時(shí)氧濃度Cn的控制開始到在步驟SE60中惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度恢復(fù)到第一濃度，經(jīng)由氮?dú)夤苈?4導(dǎo)入惰性環(huán)境室13的氮?dú)獾牧?。另外，恢?fù)時(shí)間為從步驟SE40中使控制目標(biāo)返回第一濃度起到步驟SE50中判斷為氧濃度達(dá)到第一濃度的時(shí)間。另外，此處的“達(dá)到”可置換為進(jìn)行“在達(dá)到后持續(xù)規(guī)定時(shí)間保持第一濃度”等、為了特定濃度的恢復(fù)而通常利用的條件。
[0219]在步驟SE70中，控制器101將變量η加I更新，并進(jìn)入步驟SE80進(jìn)行處理。
[0220]在步驟SE80中，控制器101判斷變量η的值是否超過上述期間的個(gè)數(shù)即“N”，若判斷為沒有超過，則進(jìn)入步驟SE20進(jìn)行處理，若判斷為超過，則進(jìn)入步驟SE90進(jìn)行處理。
[0221]S卩，控制器101通過步驟SE20?步驟SE80的處理獲取關(guān)于N個(gè)臨時(shí)氧濃度的每一個(gè)的“氮?dú)獾南牧?N2消耗量)”和“恢復(fù)時(shí)間”。
[0222]圖21是表示包含通過步驟SE20?步驟SE80的處理獲取的數(shù)據(jù)的、在本實(shí)施方式的示教處理中利用的數(shù)據(jù)的一例的圖。
[0223]在圖21中，表示臨時(shí)氧濃度、以及關(guān)于各臨時(shí)氧濃度的恢復(fù)時(shí)間、周期時(shí)間、周期、消耗量/周期、消耗量及節(jié)能率的各項(xiàng)目的數(shù)據(jù)。
[0224]“臨時(shí)氧濃度”為上述的Cn。
[0225]“恢復(fù)時(shí)間”為關(guān)于各臨時(shí)氧濃度在步驟SE60獲取的恢復(fù)時(shí)間。
[0226]“周期時(shí)間”在該例中為60分。
[0227]“周期”為在上述特定的時(shí)間(在該例中，為3.5小時(shí)(210分))中能夠重復(fù)上述周期時(shí)間的次數(shù)，為“特定的時(shí)間”除以“周期時(shí)間”所得的值。
[0228]“消耗量/周期”為在上述周期時(shí)間中所消耗的氮?dú)獾南牧浚瑸樵诓襟ESE60所獲取的消耗量。
[0229]“消耗量”為上述“消耗量/周期”和上述“周期”的乘積，具體而言，為設(shè)想在上述特定的時(shí)間中重復(fù)向臨時(shí)氧濃度的控制目標(biāo)的變更和其后的至第一濃度的恢復(fù)時(shí)所消耗的氮?dú)獾南牧俊?br> [0230]在圖21中，作為將臨時(shí)氧濃度設(shè)為第一濃度(4000PPM)的情況，也表示了在上述特定的時(shí)間期間以該第一濃度維持惰性環(huán)境室13的情況下的數(shù)據(jù)。
[0231]而且，“節(jié)能率”為“消耗量”與“臨時(shí)氧濃度”為第一濃度的情況下的“消耗量”的差，相當(dāng)于上述特定的時(shí)間期間連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下能夠抑制消耗的消耗量。
[0232]圖21中表示了關(guān)于臨時(shí)氧濃度為4000PPM(連續(xù)的第一濃度下的控制)、4500PPM、5000PPM、5500PPM、6000PPM、6500PPM、7000PPM、7500PPM、8000PPM、8500PPM、9000PPM、9500PPM 及 10000PPM 的數(shù)據(jù)。
[0233]在圖21中，例如臨時(shí)氧濃度為4500PPM時(shí)，“消耗量”為“26.lm3”。而且，臨時(shí)氧濃度越高，“消耗量”越低。
[0234]另外，在臨時(shí)氧濃度為4500PPM時(shí)，“節(jié)能率”為“11%”。而且，“節(jié)能率”相對(duì)于臨時(shí)氧濃度的變化也表現(xiàn)出與“消耗量”相同的傾向。
[0235]返回圖20，在步驟SE90中，控制器101制作用于表示伴隨上述臨時(shí)氧濃度的變化的、表示“消耗量”和“恢復(fù)時(shí)間”的變化的圖表的畫面數(shù)據(jù)，并發(fā)送至PC300。通過步驟SE90的處理，在PC300的監(jiān)視器顯示該圖表。另外，控制器101具備監(jiān)視器，該圖表有時(shí)也可在控制器101的監(jiān)視器中顯示。
[0236]圖22是示意性地表示通過步驟SE90的處理而顯示的圖表的一例的圖。
[0237]在圖22中，表示圖表921和圖表922兩個(gè)圖表。圖表921為表示伴隨臨時(shí)氧濃度的變化的“消耗電力”(圖21的“消耗量”)的變化的圖表。另外，圖表922為表示伴隨臨時(shí)氧濃度的變化的“恢復(fù)時(shí)間”(圖21的“恢復(fù)時(shí)間”)的變化的圖表。
[0238]在圖表921和圖表922中，表示臨時(shí)氧濃度的橫軸的左右方向的位置是共通的。因此，通過觀察圖22所示的圖表，在如后述那樣地設(shè)定節(jié)能模式中的控制目標(biāo)濃度(節(jié)能氧濃度)的情況下，作為與對(duì)應(yīng)于該節(jié)能氧濃度的臨時(shí)氧濃度對(duì)應(yīng)的信息，用戶能夠識(shí)別預(yù)想在上述特定的時(shí)間消耗的情況的消耗量、和使惰性環(huán)境室13內(nèi)的環(huán)境(濃度)恢復(fù)需要的時(shí)間。
[0239]另外，在圖表921和圖表922中，根據(jù)各數(shù)據(jù)制作的近似函數(shù)用粗線表示?？刂破?01根據(jù)圖21所示的伴隨臨時(shí)氧濃度的變化的消耗量及恢復(fù)時(shí)間的實(shí)測值生成近似函數(shù)，如圖表921和圖表922所示，有時(shí)也與該實(shí)測值一同表示。
[0240]返回圖20，在步驟SE90后，控制器101在步驟SE100中接受在實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在節(jié)能模式下成為惰性環(huán)境室13內(nèi)的溫度的控制目標(biāo)的溫度(以下，也稱為“節(jié)能氧濃度(Ces)”)的指定，并進(jìn)入步驟SEllO進(jìn)行處理。
[0241]用戶能夠一邊參照例如圖22所示的圖表，一邊指定節(jié)能氧濃度(Ces)。具體而言，例如，用戶在PC300中，通過進(jìn)行如圖22所示的點(diǎn)劃線那樣的使位置向左右方向移動(dòng)而特定臨時(shí)氧濃度的操作、及用于將該特定的臨時(shí)氧濃度指定作為節(jié)能氧濃度(Ces )的操作，從而從PC300經(jīng)由接口 IOlC向控制器101輸入用于指定節(jié)能氧濃度(Ces)的信息。
[0242]在此，作為節(jié)能氧濃度(Ces)而指定的濃度并不限定于圖21中作為“臨時(shí)氧濃度”表示的、具有消耗量等實(shí)測值的濃度。
[0243]另外，在PC300中對(duì)臨時(shí)氧濃度進(jìn)行特定時(shí)，如圖22中虛線的箭頭標(biāo)記所示，表示與該臨時(shí)氧濃度對(duì)應(yīng)的消耗量和恢復(fù)時(shí)間的信息也可以在PC300中顯示。這種對(duì)應(yīng)的消耗量和恢復(fù)時(shí)間的顯示例如在控制器101上作為CGI實(shí)現(xiàn)。S卩，例如運(yùn)算裝置IOlA通過根據(jù)來自PC300的要求執(zhí)行保存于存儲(chǔ)器IOlB的CGI程序，從而將顯示與在PC300中特定的節(jié)能氧濃度對(duì)應(yīng)的消耗量和恢復(fù)時(shí)間的數(shù)據(jù)從控制器101發(fā)送至PC300。另外，在圖21的數(shù)據(jù)保存在例如存儲(chǔ)器IOlB的情況下，運(yùn)算裝置IOlA利用該數(shù)據(jù)執(zhí)行上述CGI程序。
[0244]返回圖20，在步驟SEllO中，控制器101將在步驟SE100接受指定的節(jié)能氧濃度(Ces)保存在存儲(chǔ)器101B，另外，在上述近似函數(shù)或圖21的實(shí)測值中，將與該節(jié)能氧濃度(Ces)相同濃度的臨時(shí)氧濃度對(duì)應(yīng)的恢復(fù)時(shí)間作為“基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)”而保存并結(jié)束處理。
[0245]另外，在本實(shí)施方式的示教處理中，如參照?qǐng)D14說明的那樣，也可以與所設(shè)定的節(jié)能氧濃度(Ces)對(duì)應(yīng)，提示預(yù)測在特定的時(shí)間抑制消耗的消耗量。
[0246]<通常的運(yùn)轉(zhuǎn)控制>
[0247]在參照?qǐng)D15說明的第一實(shí)施方式的“通常的運(yùn)轉(zhuǎn)處理”中，由于規(guī)定的條件成立，因此，運(yùn)轉(zhuǎn)模式從通常模式轉(zhuǎn)變?yōu)楣?jié)能模式。而且，以剩余待機(jī)時(shí)間不為基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間(tr)以上作為條件，運(yùn)轉(zhuǎn)模式從節(jié)能模式返回通常模式。
[0248]在本實(shí)施方式的通常模式中，惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的控制目標(biāo)設(shè)為第一濃度。而且，在節(jié)能模式中，惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度的控制目標(biāo)變更為比第一濃度高的節(jié)能氧濃度(Ces)。
[0249]在本實(shí)施方式中，在于惰性環(huán)境室13內(nèi)進(jìn)行工件90的熱處理的情況下，將惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度控制在第一濃度以下。而且，在規(guī)定的條件成立的情況下，以節(jié)能模式(惰性環(huán)境室13內(nèi)的控制目標(biāo)與通常模式比氧濃度高的模式)控制回流焊爐。由此，能夠可靠地抑制氮?dú)獾南牧俊?br> [0250][其它變形例等]
[0251]在以上說明的實(shí)施方式中，將氮?dú)鈱?dǎo)入惰性環(huán)境室13并使該惰性環(huán)境室13內(nèi)的氧濃度降低，但這樣的控限制于如上述那樣地在工件90中使用的焊料為無鉛的焊料的情況下等特別的情況。即，在本發(fā)明的回流焊爐中，也考慮不需要在惰性環(huán)境室13中導(dǎo)入氮?dú)獾那闆r。
[0252]本次公開的各實(shí)施方式及其變形例應(yīng)認(rèn)為所有的方面為例示而不為限制。本發(fā)明的范圍并非上述的說明而是由權(quán)利要求書表示，意圖包含與權(quán)利要求書均等的意思及范圍內(nèi)的所有的變更。
[0253]另外，各實(shí)施方式及其變形例可單獨(dú)實(shí)施、或根據(jù)需要而適當(dāng)組合實(shí)施。
【權(quán)利要求】
1.一種加熱爐的控制裝置(100)，具備用于控制向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作的控制部(101)，其中， 所述控制部(101)按照第一條件使所述供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在所述加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)， 在規(guī)定的條件成立的情況下，使所述供給部按照第二條件動(dòng)作，該第二條件用于以能耗量比維持在所述第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)， 還具備用于存儲(chǔ)基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的存儲(chǔ)部，所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間是從所述供給部按照所述第二條件動(dòng)作的狀態(tài)直到使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)所需的時(shí)間， 所述控制部(101)在使所述供給部以所述第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使所述加熱爐維持在所述第一狀態(tài)的方式使所述供給部動(dòng)作。
2.如權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)，其中， 作為所述第二條件的內(nèi)容，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)多個(gè)內(nèi)容， 關(guān)于所述第二條件的多個(gè)內(nèi)容的每一個(gè)，所述控制部(101)測量并提示從按照該第二條件的控制起到使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)需要的時(shí)間即預(yù)備恢復(fù)時(shí)間、和所述供給部消耗的能量即耗能量。
3.如權(quán)利要求2所述的控制裝置(100)，其中， 還具備用于輸入所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間的輸入部， 所述控制部(101)在所述預(yù)·備恢復(fù)時(shí)間和所述耗能量的測量結(jié)果中，提示作為所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間向所述輸入部輸入的時(shí)間為所述預(yù)備恢復(fù)時(shí)間的情況下的、與該預(yù)備恢復(fù)時(shí)間對(duì)應(yīng)的所述耗能量。
4.如權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)，其中， 在按照所述第二條件的控制中，所述控制部(101)暫時(shí)停止由所述供給部進(jìn)行的向所述加熱爐供給能源。
5.如權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)，其中， 所述第一狀態(tài)為所述加熱爐的爐內(nèi)的溫度為特定的溫度以上的狀態(tài)， 在按照所述第二條件的控制中，所述控制部(101)以比所述特定的溫度低的溫度維持所述加熱爐的爐內(nèi)的溫度。
6.如權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)，其中， 所述第一狀態(tài)為所述加熱爐的爐內(nèi)的氧濃度為特定的濃度以下的狀態(tài)， 在按照所述第二條件的控制中，所述控制部(101)以比所述特定的濃度高的濃度維持所述加熱爐的爐內(nèi)的氧濃度。
7.如權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)，其中， 所述規(guī)定的條件以該加熱爐的爐內(nèi)沒有被加熱物為條件。
8.如權(quán)利要求7所述的控制裝置(100)，其中， 所述規(guī)定的條件還設(shè)為，應(yīng)成為按照所述第二條件的控制的時(shí)間為所述基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以上。
9.如權(quán)利要求8所述的控制裝置(100)，其中， 應(yīng)成為按照所述第二條件的控制的時(shí)間通過該加熱爐的預(yù)工序中有無被加熱物來決定。
10.一種加熱爐，具備: 權(quán)利要求1所述的控制裝置(100)； 用于向所述加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部(11A~11N、12A~12N、16)。
11.一種存儲(chǔ)介質(zhì)，為非暫時(shí)存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)可執(zhí)行的程序的計(jì)算機(jī)可讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)控制用于向加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作，其中， 所述程序使所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行如下的步驟: 按照第一條件使所述供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在所述加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)； 在規(guī)定的條件成立的情況下，按照第二條件使所述供給部動(dòng)作，所述第二條件用于以能耗量比維持在所述第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)； 在使所述供給部以所述第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為從所述供給部按照所述第二條件動(dòng)作的狀態(tài)起直到使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)所需的時(shí)間即基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使所述加熱爐維持在所述第一狀態(tài)的方式使所述供給部動(dòng)作。
12.一種加熱 爐的控制方法，為加熱爐的控制裝置用于控制向該加熱爐的爐內(nèi)供給能源的供給部的動(dòng)作的控制方法，其中，包括如下的步驟: 按照第一條件使所述供給部動(dòng)作，所述第一條件用于以在所述加熱爐的爐內(nèi)對(duì)被加熱物進(jìn)行熱處理的第一狀態(tài)維持所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)； 在規(guī)定的條件成立的情況下，按照第二條件使所述供給部動(dòng)作，所述第二條件用于以能耗量比維持在所述第一狀態(tài)的能耗量低的狀態(tài)控制所述加熱爐的爐內(nèi)的狀態(tài)； 在使所述供給部以所述第二條件動(dòng)作的情況下，在直到應(yīng)使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)的時(shí)刻的剩余時(shí)間為從所述供給部按照所述第二條件動(dòng)作的狀態(tài)起直到使所述加熱爐恢復(fù)到所述第一狀態(tài)所需的時(shí)間即基準(zhǔn)恢復(fù)時(shí)間以下時(shí)，以使所述加熱爐維持在所述第一狀態(tài)的方式使所述供給部動(dòng)作。
【文檔編號(hào)】H05B3/00GK103718642SQ201280037103
【公開日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2012年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月2日
【發(fā)明者】高市隆一郎, 遠(yuǎn)藤真希, 瓦谷誠一郎 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社