有機(jī)el裝置以及有機(jī)el裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可以獲得高的發(fā)光產(chǎn)額并能夠提高長(zhǎng)期穩(wěn)定性的有機(jī)EL裝置及其制造方法。該有機(jī)EL裝置（100）具有導(dǎo)電性基板（101），其特征在于，在導(dǎo)電性基板（101）面上層疊有無(wú)機(jī)絕緣層（102）；在無(wú)機(jī)絕緣層（102）上層疊有有機(jī)絕緣層（103）；在有機(jī)絕緣層（103）上具有有機(jī)EL元件（110）；所述有機(jī)EL裝置（100）具有密封有機(jī)絕緣層（103）及有機(jī)EL元件（110）的密封材料（150），而且，有機(jī)絕緣層（103）配置于密封材料（150）的內(nèi)側(cè)。
【專利說(shuō)明】有機(jī)EL裝置以及有機(jī)EL裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種有機(jī)EL裝置及有機(jī)EL裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]已知有機(jī)EL (electroluminescence,電致發(fā)光)裝置會(huì)因大氣中的水分及氧氣而劣化。因此，作為形成有機(jī)EL元件的基板及所形成的有機(jī)EL元件的密封板，一直使用玻璃或金屬等低透濕性的材料。近年來(lái)，柔性(也稱為撓性)裝置的開(kāi)發(fā)正在發(fā)展，對(duì)有機(jī)EL裝置的可撓化而言，探討了使用由有機(jī)樹(shù)脂形成的基板。但是，具有由于透過(guò)有機(jī)樹(shù)脂而侵入的氧或水分，容易使有機(jī)EL元件劣化的問(wèn)題。于是，正在探討使用金屬板作為基板。在該情況下，為了制作有機(jī)EL元件，需要在金屬板上設(shè)置絕緣層。作為所述絕緣層，正在嘗試形成有機(jī)樹(shù)脂層或無(wú)機(jī)層(例如參照專利文獻(xiàn)I?3)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-25763號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2010-82899號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)3:日本專利第3942017號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0009]然而，有機(jī)樹(shù)脂層雖然平滑性優(yōu)良，但水分阻擋性差。另一方面，無(wú)機(jī)層與有機(jī)樹(shù)脂層相比，雖然水分阻擋性良好，但厚度若薄則難以絕緣(產(chǎn)生針孔)且難以確保平滑性。另夕卜，若厚則平滑性雖提高，但會(huì)有易斷裂等問(wèn)題。此外，在形成有機(jī)樹(shù)脂層時(shí)，因元件端面部或引出電極部的有機(jī)樹(shù)脂的露出，可能會(huì)有氧氣或水分自露出部透過(guò)樹(shù)脂而使有機(jī)EL元件劣化等問(wèn)題。
[0010]在此，本發(fā)明的目的在于提供一種可以獲得高的發(fā)光產(chǎn)額(light-emissionyield,也稱為發(fā)光產(chǎn)率)并能夠提高長(zhǎng)期穩(wěn)定性的有機(jī)EL裝置及其制造方法。
[0011]解決問(wèn)題的手段
[0012]本發(fā)明的有機(jī)EL裝置是具有導(dǎo)電性基板的有機(jī)EL裝置，其特征在于:
[0013]在所述導(dǎo)電性基板面上層疊有無(wú)機(jī)絕緣層，在所述無(wú)機(jī)絕緣層上層疊有有機(jī)絕緣層；
[0014]在所述有機(jī)絕緣層上具有有機(jī)EL元件；
[0015]所述有機(jī)EL裝置具有密封所述有機(jī)絕緣層及所述有機(jī)EL元件的密封材料；
[0016]而且，所述有機(jī)絕緣層配置于所述密封材料的內(nèi)側(cè)。
[0017]另外，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法的特征在于，其含有下述工序:
[0018]在導(dǎo)電性基板面上層疊無(wú)機(jī)絕緣層的無(wú)機(jī)絕緣層形成工序；
[0019]在所層疊的無(wú)機(jī)絕緣層上層疊有機(jī)絕緣層的有機(jī)絕緣層形成工序；[0020]在所述有機(jī)絕緣層上形成有機(jī)EL元件的工序；以及
[0021]以包圍所述有機(jī)絕緣層及所述有機(jī)EL元件的方式形成密封材料的密封工序；
[0022]所述有機(jī)絕緣層形成工序包含選擇性地形成所述有機(jī)絕緣層的圖案化工序。
[0023]發(fā)明的效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種可以獲得高的發(fā)光產(chǎn)額，并能夠提高長(zhǎng)期穩(wěn)定性的有機(jī)EL裝置及其制造方法。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1是表示實(shí)施方式I的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的概略截面圖。
[0026]圖2是表示實(shí)施方式I的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的變形例的概略截面圖。
[0027]圖3是表示實(shí)施方式2的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的概略截面圖。
[0028]圖4是圖3的有機(jī)絕緣層的側(cè)面部附近的放大說(shuō)明圖。
[0029]圖5是表示實(shí)施方式2的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的變形例的概略截面圖。
[0030]圖6是表示比較例I?4的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的概略截面圖。
[0031]圖7是表示比較例5?7的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的概略截面圖。
[0032]圖8是表示比較例8?10的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的概略截面圖。
[0033]圖9是表示比較例11?13的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的概略截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置中，所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面的至少一部分為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面，所述有機(jī)絕緣層的錐面與所述導(dǎo)電性基板面所形成的角度(以下有時(shí)稱為“錐角”)優(yōu)選為I度?50度的范圍內(nèi)。
[0035]在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選的是:所述無(wú)機(jī)絕緣層含有金屬及半金屬中的至少I(mǎi)種，而且，所述金屬及所述半金屬中的至少I(mǎi)種是從由氧化物、氮化物、碳化物、氧化氮化物、氧化碳化物、氮化碳化物及氧化氮化碳化物構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。
[0036]在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置中，所述有機(jī)絕緣層優(yōu)選為由從丙烯酸樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)月旨、環(huán)氧樹(shù)脂及聚酰亞胺樹(shù)脂構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。
[0037]本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法優(yōu)選在所述有機(jī)絕緣層形成工序中形成下述有機(jī)絕緣層:所述述有機(jī)絕緣層的側(cè)面的至少一部分為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面的有機(jī)絕緣層，而且，所述有機(jī)絕緣層的錐面與所述導(dǎo)電性基板面所形成的角度為I度?50度的范圍內(nèi)。
[0038]在本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，所述圖案化工序優(yōu)選通過(guò)光刻法進(jìn)行。
[0039]本發(fā)明的另一方式的有機(jī)EL裝置優(yōu)選通過(guò)所述本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法來(lái)制造。
[0040]接下來(lái)，針對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。但本發(fā)明并不受以下記載的限制。
[0041][實(shí)施方式I]
[0042]圖1是本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的概略截面圖。如圖所示，該有機(jī)EL裝置100是在導(dǎo)電性基板101面上依次層疊有無(wú)機(jī)絕緣層102及有機(jī)絕緣層103，在有機(jī)絕緣層103上具有有機(jī)EL元件110。有機(jī)絕緣層103及有機(jī)EL元件110使用密封層151及密封板152作為密封材料150進(jìn)行面密封。于其上形成有有機(jī)EL元件110的有機(jī)絕緣層103以不從密封層151中露出的方式，配置于密封層151的內(nèi)側(cè)。對(duì)于有機(jī)EL元件110，通過(guò)陽(yáng)極111及陰極113，利用從外部所供給的電流，在有機(jī)EL層112中電子與空穴結(jié)合，利用由結(jié)合產(chǎn)生的激發(fā)能而發(fā)光。本發(fā)明中，源自有機(jī)EL層112的光是從有機(jī)EL元件110的陰極113側(cè)射出的(頂部發(fā)光方式)。
[0043]有機(jī)EL元件具有在基板上使陽(yáng)極、有機(jī)EL層及陰極按此順序設(shè)置而成的層疊體。作為所述陽(yáng)極，形成例如可作為透明電極層使用的ITO (Indium Tin Oxide,銦錫氧化物)或IZO (注冊(cè)商標(biāo)，Indium Zinc Oxide、銦鋅氧化物)的層。所述有機(jī)EL層由例如空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層構(gòu)成。作為陰極，形成兼作反射層的鋁層、鎂/鋁層、鎂/銀層等。以使該層疊體不暴露于大氣中的方式，從上方進(jìn)行密封。
[0044]本發(fā)明的有機(jī)EL裝置使用了導(dǎo)電性基板作為所述基板。有機(jī)EL元件的形成面必須確保絕緣性。因此，使用導(dǎo)電性基板時(shí)，必須在導(dǎo)電性基板上設(shè)置絕緣層。在本發(fā)明中，作為絕緣層，在使無(wú)機(jī)絕緣層及有機(jī)絕緣層按此順序?qū)盈B的導(dǎo)電性基板面上，具有有機(jī)EL元件。所述有機(jī)EL元件形成于所述有機(jī)絕緣層上。并且，具有將所述有機(jī)絕緣層及所述有機(jī)EL元件密封的密封材料，所述有機(jī)絕緣層配置于所述密封材料的內(nèi)側(cè)。
[0045]作為所述導(dǎo)電性基板，可使用例如不銹鋼、鐵、鋁、鎳、鈷、銅及它們的合金等。優(yōu)選在常溫、常壓下可形成金屬箔那樣的薄膜狀態(tài)的金屬，只要為這樣的金屬，則何種金屬都可以使用。再者，若使用金屬箔作為基板，則可以實(shí)現(xiàn)有機(jī)EL裝置的輕量化、薄型化及柔軟化。此時(shí)，作為顯示器的有機(jī)EL裝置成為柔性的裝置，還可以將其彎曲等以電子紙的方式來(lái)使用。
[0046]本發(fā)明的無(wú)機(jī)絕緣層用具有氣體阻擋性的絕緣材料來(lái)形成即可。所述無(wú)機(jī)絕緣層優(yōu)選含有金屬及半金屬中的至少I(mǎi)種。所述金屬或所述半金屬中的至少I(mǎi)種優(yōu)選為從由氧化物、氮化物、碳化物、氧化氮化物、氧化碳化物、氮化碳化物及氧化氮化碳化物構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。作為金屬，可以列舉出例如鋅、鋁、鈦、銅、鎂等，作為半金屬，可以列舉出例如硅、鉍、鍺等。
[0047]所述無(wú)機(jī)絕緣層若過(guò)薄則絕緣性降低。另外，若過(guò)厚則變得易產(chǎn)生裂縫，氣體阻擋性及絕緣性降低。所述無(wú)機(jī)絕緣層的厚度優(yōu)選為IOnm?5 μ m的范圍，更優(yōu)選為50nm?2μπι的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1?Ιμπι的范圍。形成所述無(wú)機(jī)絕緣層的方法沒(méi)有限定，可利用蒸鍍法、濺射法、CVD法等干式法及溶膠凝膠法等濕式法等。
[0048]本發(fā)明中，當(dāng)所述無(wú)機(jī)絕緣層是從由金屬氧化物、金屬氮化物、半金屬氧化物及半金屬氮化物所構(gòu)成的組中選擇時(shí)，氧化物或氮化物中所含的氧或氮例如可通過(guò)下述方法導(dǎo)入:在反應(yīng)氣體的存在下通過(guò)產(chǎn)生電弧放電等離子體來(lái)進(jìn)行所述金屬及所述半金屬中的至少I(mǎi)種的蒸鍍，從而導(dǎo)入。作為所述蒸鍍中的蒸鍍材料，也可以使用金屬氧化物、半金屬氧化物。作為所述反應(yīng)氣體，可使用含氧氣體、含氮?dú)怏w或它們的混合氣體。作為含氧氣體，可列舉如氧氣(02)、一氧化二氮(Ν20)、一氧化氮(NO);作為含氮?dú)怏w，可列舉如氮?dú)?Ν2)、氨氣(ΝΗ3)、一氧化氮(NO)等。
[0049]作為使所述蒸鍍材料蒸發(fā)的方法，可以使用向蒸鍍材料(蒸鍍?cè)?導(dǎo)入電阻加熱、電子束、電弧放電等離子體中的任一種的方法。其中優(yōu)選能夠高速蒸鍍的利用電子束或電弧放電等離子體的方法。這些方法也可以并用。[0050]本發(fā)明的有機(jī)絕緣層可以使用絕緣性的樹(shù)脂層。所述導(dǎo)電性基板由于在制造工藝上有時(shí)會(huì)被加熱至150?300°C，所以優(yōu)選選擇具有150°C以上的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的耐熱性樹(shù)脂。具體而言，可以列舉出丙烯酸樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚芳香酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚醚酮樹(shù)月旨、聚苯基砜樹(shù)脂及這些樹(shù)脂的復(fù)合體。其中，作為所述樹(shù)脂，優(yōu)選為從由丙烯酸樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂及聚酰亞胺樹(shù)脂所構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。
[0051]所述有機(jī)絕緣層的厚度若過(guò)薄，則無(wú)法充分將所述導(dǎo)電性基板的表面凹凸平坦化；若過(guò)厚，則對(duì)無(wú)機(jī)絕緣層及有機(jī)EL元件的密合性有可能降低。因此，所述有機(jī)絕緣層的厚度優(yōu)選為I?40 μ m的范圍?；蛘?優(yōu)選為0.5?40 μ m的范圍。只要是所述范圍內(nèi)的厚度，則可確保充分的電絕緣性，并能確保對(duì)基材的密合性。所述有機(jī)絕緣層的厚度更優(yōu)選為I?10 μ m的范圍，或者為0.5?10 μ m的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為I?5μηι的范圍。在所述的范圍中，所述有機(jī)絕緣層的厚度根據(jù)所述導(dǎo)電性基板的表面凹凸的大小而存在更優(yōu)選的厚度范圍。形成所述有機(jī)絕緣層的方法沒(méi)有限定，可通過(guò)利用輥涂、噴涂、旋涂及浸潰等所進(jìn)行的涂布，或通過(guò)形成為膜狀的樹(shù)脂的轉(zhuǎn)印來(lái)形成。
[0052]在本發(fā)明中，所述有機(jī)絕緣層可在形成有所述有機(jī)EL元件的區(qū)域，通過(guò)圖案化工序來(lái)選擇性地形成。作為所述圖案化的方法，可以使用光刻法、光蝕刻法、絲網(wǎng)印刷法、噴墨印刷法等方法。所述圖案化優(yōu)選通過(guò)光刻法進(jìn)行。光刻法的圖案精度高且微細(xì)加工容易。另外，如后所述那樣，在將所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面形成為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面時(shí)，通過(guò)調(diào)整光刻法的曝光量及后烘烤的條件等，可以簡(jiǎn)便地調(diào)整錐角。
[0053]作為所述密封層，可使用耐水性及耐熱性優(yōu)良、水分透過(guò)率低的材料。作為該種材料，可列舉如環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚芳香酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂等。若使用雙組份固化型環(huán)氧樹(shù)脂，則可能在常溫下固化，由于不需要對(duì)有機(jī)EL元件加熱，故可防止劣化，因而優(yōu)選。作為所述密封板，優(yōu)選使用玻璃板及形成了氣體阻擋層的樹(shù)脂薄膜等水分透過(guò)率低的材料。
[0054]根據(jù)本實(shí)施方式，因所述有機(jī)絕緣層以不從所述密封材料中露出的方式配置于所述密封材料的內(nèi)側(cè)，故可以獲得高的發(fā)光產(chǎn)額，并能夠提高長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
[0055]圖2是本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的變形例的概略截面圖。在圖2中，在與圖1相同的部分標(biāo)上相同的符號(hào)。該有機(jī)EL裝置200使用玻璃罩(glasscap)作為密封材料250，將其周?chē)褂谜辰觿?51進(jìn)行中空密封。其上形成有有機(jī)EL元件110的有機(jī)絕緣層103以不從密封材料(玻璃罩)250中露出的方式，配置于密封材料250的內(nèi)側(cè)。作為用于所述密封的粘接劑251，可以使用與所述密封層151相同的材料。
[0056][實(shí)施方式2]
[0057]圖3是表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的概略截面圖。在圖3中，對(duì)與圖1相同的部分標(biāo)上相同符號(hào)。該有機(jī)EL裝置100A的有機(jī)絕緣層103的側(cè)面形成了從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面103T。錐面103T優(yōu)選與導(dǎo)電性基板101面形成I度?50度的范圍內(nèi)的角度。圖4是將有機(jī)絕緣層103的側(cè)面部附近(圖3的區(qū)域T)放大的說(shuō)明圖。所述角度是指有機(jī)絕緣層103的側(cè)面的截面線的延長(zhǎng)線與導(dǎo)電性基板101面相交的部分的角度(圖中角A的角度)。所述角度若超過(guò)50度，起因于由有機(jī)絕緣層所產(chǎn)生的階梯差，容易發(fā)生有機(jī)EL元件的電極(陽(yáng)極111或陰極113)的斷線。另外，所述角度若低于1，則由于錐面所占的寬度變寬，將使引出電極的長(zhǎng)度變長(zhǎng)，發(fā)光部的范圍變窄，故不優(yōu)選。所述角度優(yōu)選為10?40度的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為10?20度的范圍內(nèi)。所述錐面不一定設(shè)置在有機(jī)絕緣層的端部上未形成有陽(yáng)極或陰極的部分上。如此，有機(jī)絕緣層103的側(cè)面若形成為具有I度?50度的范圍內(nèi)的錐角的錐面103T的構(gòu)成，則能夠防止有機(jī)EL元件110的陽(yáng)極111及陰極113的斷線。為了將有機(jī)絕緣層的側(cè)面設(shè)成從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面，可通過(guò)例如在有機(jī)絕緣層的形成中使用光刻法，并調(diào)整曝光量及后烘烤的條件等來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0058]圖5是表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的變形例的概略截面圖。在圖5中，對(duì)與圖1?3相同的部分標(biāo)上相同符號(hào)。該有機(jī)EL裝置200A中，有機(jī)絕緣層103的側(cè)面的至少一部分與有機(jī)EL裝置100A相同，為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面103T。其他的構(gòu)成與圖2所示的有機(jī)EL裝置200相同，使用玻璃罩作為密封材料250，將其周?chē)褂谜辰觿?51進(jìn)行中空密封。
[0059]根據(jù)本實(shí)施方式，也可以獲得與實(shí)施方式I相同的效果。進(jìn)而，有機(jī)絕緣層的側(cè)面因具有所述錐角，故起因于有機(jī)絕緣層所造成的階梯差的有機(jī)EL元件的電極斷線就難以發(fā)生，另外，還可以擴(kuò)大發(fā)光部的范圍。
[0060]實(shí)施例
[0061]接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例與比較例一起進(jìn)行說(shuō)明。再者，本發(fā)明不受下述實(shí)施例及比較例的任何限定或限制。另外，各實(shí)施例及各比較例的各種特性及物性的測(cè)定及評(píng)價(jià)通過(guò)下述方法來(lái)實(shí)施。
[0062](無(wú)機(jī)絕緣層及有機(jī)絕緣層的厚度)
[0063]無(wú)機(jī)絕緣層及有機(jī)絕緣層的厚度是用株式會(huì)社日本電子制的掃描型電子顯微鏡(商品名:JSM-6610)觀察有機(jī)EL裝置的截面，測(cè)出各層的厚度來(lái)算出的。
[0064](發(fā)光產(chǎn)額)
[0065]制作20個(gè)具有2mm見(jiàn)方的發(fā)光部的有機(jī)EL裝置，用光學(xué)顯微鏡(株式會(huì)社KEYENCE制的數(shù)字顯微鏡(商品名:VHX-1000))觀察初期的發(fā)光狀態(tài)。計(jì)算發(fā)光狀態(tài)良好的元件的數(shù)量，算出發(fā)光產(chǎn)額。
[0066](發(fā)光面積)
[0067]將所述有機(jī)EL裝置在溫度60°C、濕度90%RH的恒溫恒濕條件下以非點(diǎn)燈狀態(tài)保存。在200小時(shí)后，使有機(jī)EL裝置發(fā)光，通過(guò)顯微鏡觀察來(lái)測(cè)定發(fā)光面積。觀察及發(fā)光面積測(cè)定使用株式會(huì)社KEYENCE制的數(shù)字顯微鏡(商品名:VHX-1000)來(lái)進(jìn)行。
[0068](有機(jī)絕緣層側(cè)面的錐角)
[0069]有機(jī)絕緣層側(cè)面的錐角是用株式會(huì)社日本電子制的掃描型電子顯微鏡(商品名:JSM-6610)觀察有機(jī)EL裝置的截面并測(cè)量。
[0070][實(shí)施例1]
[0071][絕緣層的制作]
[0072]作為制作有機(jī)EL元件的導(dǎo)電性基板，準(zhǔn)備不銹鋼(SUS)基板(SUS304，厚度50 μ m)。在所述SUS基板上利用濺射來(lái)形成SiO2層(無(wú)機(jī)絕緣層，厚度0.3 μ m)。進(jìn)一步在其上用繞線棒涂布降冰片烯樹(shù)脂(日本ZEON株式會(huì)社制，商品名“ZE0C0AT”)，在100°C下進(jìn)行5分鐘預(yù)烘烤。然后，以使所述降冰片烯樹(shù)脂層在利用密封材料密封后不露出到外部的方式，通過(guò)光刻法來(lái)進(jìn)行圖案化。在光刻法中，對(duì)規(guī)定圖案進(jìn)行曝光，并使用TMAH (四甲基氫氧化銨)水溶液作為顯影液來(lái)進(jìn)行。將經(jīng)圖案化的所述降冰片烯樹(shù)脂層在220°C下進(jìn)行I小時(shí)后烘烤，獲得經(jīng)圖案化的厚度為3μπι的有機(jī)絕緣層。其后，以純水進(jìn)行洗滌工序，在200°C下進(jìn)行I小時(shí)的加熱工序。所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面，錐角為約20度。
[0073][有機(jī)EL元件的制作]
[0074]在所獲得的絕緣層上，通過(guò)真空蒸鍍法按照IOOnm的Al作為陽(yáng)極、IOnm的HAT-CN (1，4，5，8，9，12-六氮雜苯并菲六腈)作為空穴注入層、50nm的NPB (N，N，-雙(萘-1-基)-N，N’ -雙(苯基)-聯(lián)苯胺)作為空穴輸送層、45nm的Alq (三(8_羥基喹啉)鋁)作為發(fā)光層及電子輸送層、0.5nm的LiF作為電子注入層、5/15nm (共蒸鍍)的Mg/Ag作為陰極、60nm的MoO3作為折射率調(diào)整層這樣的順序進(jìn)行蒸鍍，從而制作有機(jī)EL元件。
[0075][密封]
[0076]在形成了有機(jī)EL元件之后，在覆蓋發(fā)光層的狀態(tài)下，以成為可連接來(lái)自所述陽(yáng)極及所述陰極的端子的狀態(tài)的方式，設(shè)置玻璃罩來(lái)進(jìn)行密封(參照?qǐng)D2)，獲得本實(shí)施例的有機(jī)EL裝置。玻璃罩的周?chē)峭坎己须p組份固化型環(huán)氧樹(shù)脂的粘接劑(K0NISHI株式會(huì)社制，商品名“Bond Quick5”),使所述粘接劑自然固化來(lái)密封。
[0077][實(shí)施例2]
[0078]除了使用下述組成的環(huán)氧樹(shù)脂來(lái)代替所述降冰片烯樹(shù)脂之外，按照與實(shí)施例1相同的步驟，獲得本實(shí)施例的有機(jī)EL裝置。所述環(huán)氧樹(shù)脂是用繞線棒涂布，在90°C下進(jìn)行15分鐘的預(yù)烘烤。光刻法中，對(duì)規(guī)定圖案進(jìn)行曝光，并使用乙腈作為顯影液來(lái)進(jìn)行。將經(jīng)圖案化的所述環(huán)氧樹(shù)脂層在170°C下進(jìn)行30分鐘的后烘烤，獲得經(jīng)圖案化的厚度為3μπι的有機(jī)絕緣層。所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面，錐角為約50度。
[0079](環(huán)氧樹(shù)脂)
[0080]芴衍生物1:50重量份
[0081]芴衍生物2:50重量份
[0082]光產(chǎn)酸劑:I重量份
[0083]芴衍生物1:雙苯氧乙醇芴二縮水甘油醚
[0084](下述通式(I)中，是R1?R6均為氫原子且η=1的物質(zhì))
[0085]芴衍生物2:雙酚芴二縮水甘油醚
[0086](下述通式(I)中，是R1?R6均為氫原子且n=0的物質(zhì))
[0087]光產(chǎn)酸劑:4，4-雙[二( β羥基乙氧基)苯基锍]苯硫醚-雙-六氟銻酸鹽的50%的3-戍酮碳化物(propion carbide)溶液。
[0088]
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)EL裝置，其是具有導(dǎo)電性基板的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 在所述導(dǎo)電性基板面上層疊有無(wú)機(jī)絕緣層，在所述無(wú)機(jī)絕緣層上層疊有有機(jī)絕緣層； 在所述有機(jī)絕緣層上具有有機(jī)EL元件； 所述有機(jī)EL裝置具有密封所述有機(jī)絕緣層及所述有機(jī)EL元件的密封材料； 而且，所述有機(jī)絕緣層配置于所述密封材料的內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面的至少一部分為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面，所述有機(jī)絕緣層的錐面與所述導(dǎo)電性基板面所形成的角度為I度?50度的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述無(wú)機(jī)絕緣層含有金屬及半金屬中的至少I(mǎi)種，而且，所述金屬及所述半金屬中的至少I(mǎi)種是從由氧化物、氮化物、碳化物、氧化氮化物、氧化碳化物、氮化碳化物及氧化氮化碳化物構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述有機(jī)絕緣層是從由丙烯酸樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂及聚酰亞胺樹(shù)脂構(gòu)成的組中選擇的至少I(mǎi)種。
5.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，包含下述工序: 在導(dǎo)電性基板面上層疊無(wú)機(jī)絕緣層的無(wú)機(jī)絕緣層形成工序； 在所層疊的無(wú)機(jī)絕緣層上層疊有機(jī)絕緣層的有機(jī)絕緣層形成工序； 在所述有機(jī)絕緣層上形成有機(jī)EL元件的工序；以及 以包圍所述有機(jī)絕緣層及所述有機(jī)EL元件的方式形成密封材料的密封工序； 而且，所述有機(jī)絕緣層形成工序包含選擇性地形成所述有機(jī)絕緣層的圖案化工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，在所述有機(jī)絕緣層形成工序中形成下述有機(jī)絕緣層:所述有機(jī)絕緣層的側(cè)面的至少一部分為從下側(cè)向上側(cè)朝著內(nèi)部方向傾斜的錐面的有機(jī)絕緣層，而且，所述有機(jī)絕緣層的錐面與所述導(dǎo)電性基板面所形成的角度為I度?50度的范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要去5或6所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，所述圖案化工序通過(guò)光刻法進(jìn)行。
【文檔編號(hào)】H05B33/22GK103891403SQ201280051886
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2012年10月9日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月10日
【發(fā)明者】大崎啟功, 中井孝洋, 森田成紀(jì), 長(zhǎng)瀨純一 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社