吸嘴及其異常檢測裝置制造方法
【專利摘要】在吸嘴(11)的嘴支架(12)上形成有通過嘴活塞(16)的上下動作而被開閉的氣體流路(22)，在保持該嘴支架(12)的安裝頭(13)形成有向該嘴支架(12)的氣體流路(22)供給氣體的氣體供給路(28)，并設(shè)有檢測在該氣體供給路(28)中流動的氣體流量的流量傳感器(27)?；谠摿髁總鞲衅?27)的輸出信號，監(jiān)視在嘴支架(12)的氣體流路(22)中流動的氣體流量，檢測嘴活塞(16)的上下動作的不良(固著)。
【專利說明】吸嘴及其異常檢測裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是涉及在利用施力單元向下方對吸附元件的嘴部進行施力的狀態(tài)下上下可動地設(shè)置的吸嘴及其異常檢測裝置的發(fā)明。

【背景技術(shù)】
[0002]在元件安裝機中，例如如專利文獻I (日本特開2006-313838號公報)、專利文獻2(日本特開2009-88035號公報)記載的那樣，在用吸嘴吸附元件時、或?qū)⑺降脑惭b于基板上時，為了使元件不因沖擊而損傷，將嘴部上下可運地設(shè)于嘴支架上，并利用彈簧向下方對該嘴部進行施力，在進行元件吸附動作時嘴部的下端與元件抵接后、或在進行元件安裝動作時吸附于嘴部的元件與基板抵接后，在保持嘴支架的安裝頭的下降動作停止之前，對應(yīng)于該下降動作，嘴部克服彈簧的彈力而被壓入，由此緩解施加在元件上的沖擊。
[0003]專利文獻1:日本特開2006-313838號公報
[0004]專利文獻2:日本特開2009-88035號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]然而，嘴部有時因異物進入到嘴支架和嘴部之間的滑動部等而發(fā)生固著，當(dāng)嘴部發(fā)生固著時，存在下述可能性:發(fā)生元件吸附失誤、元件安裝失誤，或無法獲得沖擊緩解效果，使元件損傷。因此，當(dāng)嘴部發(fā)生固著時，需要在早期檢測出該情況，并使元件安裝機停止而進行維修。
[0006]由于現(xiàn)有元件安裝機具有利用相機對吸附于嘴部上的元件進行拍攝來監(jiān)視元件吸附姿勢等的功能，所以在因嘴部的固著而連續(xù)發(fā)生元件吸附失誤的情況下，在利用相機的拍攝圖像檢測出連續(xù)發(fā)生的元件吸附失誤后，使元件安裝機停止。
[0007]然而，在該固著檢測方法中，在連續(xù)發(fā)生的元件吸附失誤被檢測出之前，元件安裝機持續(xù)動作，無法在早期檢測出嘴部的固著。
[0008]因此，雖然考慮了在保持吸嘴的安裝頭上設(shè)置確認(rèn)嘴部的壓入量的光電傳感器，但在該構(gòu)成中，為了在元件安裝動作時避免光電傳感器與已安裝的元件發(fā)生干擾，需要將光電傳感器配置于比已安裝的元件高的位置上，而且，需要將向下方對嘴部進行施力的彈簧配置于比光電傳感器高的位置上，所以存在吸嘴在高度方向上大型化的缺陷。
[0009]因此，本發(fā)明要解決的課題在于能夠在早期檢測出嘴部的固著，并能夠避免吸嘴在高度方向上大型化。
[0010]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種吸嘴的異常檢測裝置，將吸附元件的嘴部上下可動地設(shè)于嘴支架，并且在嘴支架上設(shè)有向下方對上述嘴部進行施力的施力單元，在進行元件吸附動作時上述嘴部的下端與元件抵接后、或在進行元件安裝動作時吸附于上述嘴部的元件與基板抵接后，對應(yīng)于上述嘴支架的下降動作，上述嘴部克服上述施力單元的作用力而被壓入，在上述嘴支架上，設(shè)有通過上述嘴部的上下動作而被開閉的氣體流路，并且設(shè)有檢測在上述氣體流路中流動的氣體流量或壓力的檢測單元(流量傳感器或壓力傳感器)，通過向上述氣體流路供給氣體并利用上述檢測單元監(jiān)視氣體流量或壓力，來檢測上述嘴部的上下動作的不良(固定)。此處，嘴部可以分別形成在嘴支架內(nèi)上下動作的部分(嘴活塞)和嘴前端部，并將兩者結(jié)合而形成一體化，也可以將兩者一體地形成。
[0011]在該結(jié)構(gòu)中，如果嘴部未發(fā)生固著，則在進行元件吸附動作時或元件安裝動作時，嘴部上下動作，嘴支架的氣體流路被開閉，但當(dāng)嘴部發(fā)生固著、嘴部無法進行上下動作時，由于氣體流路無法被開閉，所以在氣體流路中流動的氣體流量、壓力不發(fā)生變化。根據(jù)該關(guān)系，只要利用檢測單元來監(jiān)視在氣體流路中流動的氣體流量或壓力，則能夠在早期檢測出嘴部的上下動作的不良(固著)。而且，由于未設(shè)置確認(rèn)嘴部的壓入量的光電傳感器，所以能夠?qū)⑾蛳路綄ψ觳窟M行施力的施力單元設(shè)置于任意的高度位置，能夠避免吸嘴在高度方向上大型化。
[0012]在此情況下，也可以是，嘴支架以能夠裝卸的方式安裝于沿元件安裝機的XYZ方向移動的安裝頭，在該安裝頭上設(shè)有向嘴支架的氣體流路供給氣體的氣體供給路，上述檢測單元安裝于該安裝頭，以檢測在上述安裝頭的氣體供給路中流動的氣體流量或壓力?？傊?，由于在嘴支架的氣體流路中流動的氣體流量是與在安裝頭的氣體供給路中流動的氣體流量相同的流量，所以檢測在安裝頭的氣體供給路中流動的氣體流量或壓力作為在嘴支架的氣體流路中流動的氣體流量或壓力的信息。這樣一來，能夠?qū)z測單元(流量傳感器或壓力傳感器)安裝于安裝頭上，所以無需在吸嘴上設(shè)置檢測單元，能夠避免吸嘴的結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
[0013]具體而言，也可以是，在嘴支架的內(nèi)周面形成有氣體流路的孔和大氣連通孔，在嘴部中的在嘴支架內(nèi)上下動作的部分嵌裝有對氣體流路的孔和上述大氣連通孔進行開閉的筒狀閥芯，在筒狀閥芯的外周部形成有連通槽，在嘴部的壓入量為預(yù)定值時，上述連通槽使上述氣體流路的孔和上述大氣連通孔連通。此處，預(yù)定值只要在嘴部的上下行程的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定即可，也可以是上下行程的下限值(壓入量為O)。本發(fā)明也可以將筒狀閥芯一體地形成于嘴部。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是表示本發(fā)明一實施例中的在嘴活塞未被壓入時的吸嘴的狀態(tài)的縱向剖視圖。
[0015]圖2是表示在嘴活塞被壓入時的吸嘴的狀態(tài)的縱向剖視圖。
[0016]圖3是表示嘴活塞固著檢測程序的處理流程的流程圖。

【具體實施方式】
[0017]以下，說明將用于實施本發(fā)明的方式具體化的一個實施例。
[0018]首先，基于圖1來說明吸嘴11的構(gòu)成。
[0019]吸嘴11的嘴支架12以能夠裝卸的方式安裝于沿元件安裝機的XYZ方向移動的安裝頭13上。吸嘴11的裝卸方式可以是任一種方式，例如，可以將設(shè)于安裝頭13上的卡合部件(未圖示)掛在設(shè)于嘴支架12的銷14上進行保持，也可以構(gòu)成為利用負(fù)壓(真空壓力)將吸嘴11吸附于安裝頭13上。
[0020]筒狀支撐部件15通過壓入等方式嵌裝固定于嘴支架12的向下延伸的筒狀部12a的內(nèi)周部，嘴活塞16上下可動地插通支撐于該筒狀支撐部件15的內(nèi)周部。將從安裝頭13側(cè)供給的負(fù)壓導(dǎo)入的負(fù)壓導(dǎo)入通路17沿上下方向貫通于該嘴活塞16而形成，在該嘴活塞16的下端部，利用連接部件19同軸狀地固定有利用從負(fù)壓導(dǎo)入通路17導(dǎo)入的負(fù)壓來吸附元件的嘴前端部18。在此情況下，利用連接部件19連接嘴活塞16和嘴前端部18而構(gòu)成嘴部20。
[0021]此外，嘴前端部18和連接部件19的固定方式為，將形成于嘴前端部18的上部的外螺紋部擰入到連接部件19的內(nèi)螺紋部，由此嘴前端部18固定于連接部件19，連接部件19和嘴活塞16的固定方式為，從嵌合于嘴活塞16的下端部的連接部件19的外周側(cè)將螺釘(未圖示)沿徑向擰入到連接部件19，使該螺釘?shù)那岸藟航佑谧旎钊?6的外周面，由此連接部件19固定于嘴活塞16的下端部。由此，在改變嘴前端部18的開口直徑等嘴種類的情況下，通過使將固定有嘴前端部18的連接部件19固定于嘴活塞16的螺釘松脫，能夠?qū)⒆烨岸瞬?8和連接部件19從嘴活塞16拆下，而將其它嘴前端部18和連接部件19更換到嘴活塞16上。
[0022]連接部件19位于嘴支架12的筒狀部12a下端的下方，在該連接部件19和嘴支架12的筒狀部12a下端之間，確保容許嘴部20的上下動作的間隙。連接部件19的外徑尺寸形成得比安裝于嘴支架12的筒狀部12a的外周部上的彈簧21 (施力單元)的外徑尺寸稍大，彈簧21被壓縮并夾持于該連接部件19和嘴支架12的筒狀部12a上端臺階部12b之間，利用該彈簧21的彈力，向下方對嘴部20進行施力。通過該構(gòu)成，在進行元件吸附動作時嘴前端部18的下端與元件抵接后、或在進行元件安裝動作時吸附于嘴前端部18的元件與基板抵接后，在保持嘴支架12的安裝頭13的下降動作停止之前，對應(yīng)于其下降動作，嘴部20克服彈簧21的彈力而被壓入。
[0023]在嘴支架12上形成有空氣流路22，該空氣流路22的入口側(cè)的孔22a貫通于該嘴支架12的上表面，出口側(cè)的孔22b貫通于該嘴支架12的內(nèi)周面。此外，在嘴支架12上，大氣連通孔23以貫通該嘴支架12的內(nèi)外兩周面的方式形成在高度與氣體流路22的出口側(cè)的孔22b相同的位置上。
[0024]與此相應(yīng)，對嘴支架12的氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23進行開閉的筒狀閥芯24通過壓入等方式嵌裝固定于嘴活塞16的上部。在該筒狀閥芯24的外周部形成有環(huán)狀的連通槽25，在嘴活塞16相對于嘴支架12的壓入量為預(yù)定值(在預(yù)定范圍內(nèi))時，連通槽25使氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23對齊，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，當(dāng)嘴活塞16的壓入量為預(yù)定值以外(在預(yù)定范圍外)時，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23被筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)。
[0025]在本實施例中構(gòu)成為，如圖1所示，在嘴活塞16位于其上下行程的最下位置時(嘴活塞16的壓入量為O時)，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，如圖2所示，在嘴活塞16被壓入時，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23被筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)。
[0026]在嘴支架12的內(nèi)周部中的、筒狀閥芯24滑動的區(qū)域的下端，環(huán)狀的止動部12c向內(nèi)周側(cè)突出地形成，該筒狀閥芯24的下端與止動部12c抵接的位置成為嘴活塞16的上下行程的最下位置(壓入量為O)。另外，在嘴支架12的內(nèi)周部中的、筒狀閥芯24滑動的區(qū)域，安裝有用于防止負(fù)壓從該嘴支架12的內(nèi)周面和該筒狀閥芯24的外周面之間的間隙泄漏的密封件26。
[0027]在保持上述那樣構(gòu)成的吸嘴11的嘴支架12的安裝頭13上，形成有向嘴活塞16的負(fù)壓導(dǎo)入通路17供給負(fù)壓的負(fù)壓供給路(未圖示)，并且形成有向嘴支架12的氣體流路22供給氣體的氣體供給路28。此外，在安裝頭13上設(shè)有對在該安裝頭13的氣體供給路28中流動的氣體流量進行檢測的流量傳感器27 (檢測單元)。該流量傳感器27的輸出信號被元件安裝機的控制裝置30讀取，而監(jiān)視從安裝頭13的氣體供給路28流向嘴支架12的氣體流路22的氣體流量。
[0028]然而，嘴活塞16有時因異物進入到嘴支架12和嘴活塞16之間的滑動部等而發(fā)生固著，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時，存在下述可能性:發(fā)生元件吸附失誤、元件安裝失誤，或無法獲得沖擊緩解效果，使元件損傷。因此，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時，需要在早期檢測出該情況，使元件安裝機停止而進行維修。
[0029]因此，元件安裝機的控制裝置30通過以預(yù)定周期重復(fù)執(zhí)行圖3的嘴活塞固著檢測程序，基于流量傳感器27的輸出信號監(jiān)視在嘴支架12的氣體流路22中流動的氣體流量，來檢測嘴活塞16的上下動作的不良(固著)?？傊?，如果嘴活塞16未發(fā)生固著，則在進行元件吸附動作時或在進行元件安裝動作時嘴活塞16上下動作，嘴支架12的氣體流路22由嘴活塞16的筒狀閥芯24開閉，但當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著、嘴活塞16無法進行上下動作時，由于氣體流路22無法被開閉，所以在氣體流路22中流動的氣體流量不發(fā)生變化。根據(jù)該關(guān)系，如果利用流量傳感器27來監(jiān)視在氣體流路22中流動的氣體流量，則能夠在早期檢測出嘴活塞16的上下動作的不良(固定)。
[0030]然而，即使嘴活塞16在其上下行程的最下位置(壓入量為O)處發(fā)生固著，通過元件吸附動作或元件安裝動作，嘴活塞16也大多被壓入，但當(dāng)嘴活塞16在被壓入的狀態(tài)下發(fā)生固著時，嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置(壓入量為O)，這成為產(chǎn)生元件吸附失誤、元件安裝失誤的原因。圖3的嘴活塞固著檢測程序是檢測嘴活塞16在被壓入的狀態(tài)下發(fā)生固著的狀態(tài)的程序。
[0031]以下，說明圖3的嘴活塞固著檢測程序的處理內(nèi)容。本程序在元件安裝機運轉(zhuǎn)中以預(yù)定周期執(zhí)行。當(dāng)起動本程序時，首先在步驟101，判定元件吸附動作是否結(jié)束或元件安裝動作是否結(jié)束。由于嘴活塞16通過元件吸附動作或元件安裝動作克服彈簧21的彈力被壓入，所以每當(dāng)嘴活塞16的壓入動作結(jié)束、吸嘴11上升時，則成為判定嘴活塞16有無發(fā)生固著的時機。
[0032]如果在上述步驟101中判定為“否”，則判斷為不是嘴活塞固著判定時機，不進行以后的處理，結(jié)束本程序，但當(dāng)在上述步驟101中判定為“是”，則判斷為是嘴活塞固著判定時機，前進至步驟102，讀取流量傳感器27的輸出信號，檢測從安裝頭13的氣體供給路28流向嘴支架12的氣體流路22的氣體流量。
[0033]然后，前進至步驟103，判定由流量傳感器27檢測出的氣體流量是否小于判定閾值。在嘴活塞16未發(fā)生固著的情況下，如果嘴活塞16的壓入動作結(jié)束、吸嘴11上升，則如圖1所示，利用彈簧21的彈力，嘴活塞16被下壓至其上下行程的最下位置，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由嘴活塞16的筒狀閥芯24的連通槽25連通的狀態(tài)，所以在氣體流路22中流動的氣體流量增加，但在嘴活塞16的壓入動作中，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時，即使壓入動作結(jié)束、吸嘴11上升，由于嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置，所以也維持成氣體流路22的孔22b被嘴活塞16的筒狀閥芯24堵塞的狀態(tài)，在氣體流路22中流動的氣體流量不增加。
[0034]根據(jù)該關(guān)系，在步驟103中，判定在氣體流路22中流動的氣體流量是否小于判定閾值，如果氣體流量小于判定閾值，則判斷為嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置，前進至步驟104，判定為嘴活塞16發(fā)生固著，如果氣體流量為判定閾值以上，則嘴活塞16返回至其上下行程的最下位置，所以判斷為嘴活塞16未發(fā)生固著，直接結(jié)束本程序。
[0035]另外，也可以是，在檢測出嘴活塞16完全固著于其上下行程的最下位置、在進行元件吸附動作時或元件安裝動作時嘴活塞16也未完全被壓入的狀態(tài)的情況下，在進行元件吸附動作時或元件安裝動作時，例如在安裝頭13的下降動作停止時(即，如果嘴活塞16未發(fā)生固著，則嘴支架12的壓入量為最大時)，判定由流量傳感器27檢測出的氣體流量是否大于判定閾值，如果氣體流量大于判定閾值，則判定為嘴活塞16固著于其上下行程的最下位置，如果氣體流量為判定閾值以下，則處于嘴活塞16被壓入、嘴支架12的氣體流路22被嘴活塞16的筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)，所以判定為嘴活塞16未發(fā)生固著。
[0036]或者,也可以是,在進行元件吸附動作時或元件安裝動作時,監(jiān)視由流量傳感器27檢測出的氣體流量的變化量的絕對值是否為判定閾值以上，如果氣體流量的變化量的絕對值為判定閾值以上，則判斷為嘴活塞16被壓入，嘴支架12的氣體流路22被開閉，判定為嘴活塞16未發(fā)生固著，如果氣體流量的變化量的絕對值小于判定閾值，則判斷為嘴支架12的氣體流路22未被開閉，判定為嘴活塞16已固著。
[0037]在以上說明的本實施例中，利用嘴支架12和嘴活塞16的滑動部分來構(gòu)成閥結(jié)構(gòu)，利用流量傳感器27來監(jiān)視在通過嘴活塞16的上下動作而被開閉的氣體流路22中流動的氣體流量，所以能夠在早期檢測嘴活塞16的固著。而且，由于未設(shè)置確認(rèn)嘴活塞16的壓入量的光電傳感器，所以能夠?qū)⑾蛳路綄ψ旎钊?6進行施力的彈簧21配置于任意的高度位置，能夠避免吸嘴11在高度方向上大型化。此外，由于將流量傳感器27安裝于安裝頭13上，所以無需在吸嘴11上設(shè)置流量傳感器27，能夠避免吸嘴11的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。
[0038]在本實施例中，利用流量傳感器27監(jiān)視在嘴活塞16的氣體流路22 (安裝頭13的氣體供給路28)中流動的氣體流量，來檢測氣體流路22的開閉，但也可以利用壓力傳感器監(jiān)視嘴活塞16的氣體流路22 (安裝頭13的氣體供給路28)的壓力，來檢測氣體流路22的開閉。在此情況下，在氣體流路22開放時，利用壓力傳感器檢測出的壓力為大氣壓，在氣體流路22封閉時，對應(yīng)于向氣體流路22供給的壓力(正壓或負(fù)壓)，利用壓力傳感器檢測出的壓力比大氣壓高或低，所以與氣體流量相同，即使檢測壓力也能檢測出氣體流路22的開閉。
[0039]另外，在本實施例中，雖然分別形成嘴部20中的在嘴支架12內(nèi)上下動作的部分(嘴活塞16)和嘴前端部18，并利用連接部件19將兩者結(jié)合而形成一體化結(jié)構(gòu)，但也可以將兩者一體地形成。
[0040]另外，在本實施例中，雖然將筒狀閥芯24嵌裝固定于嘴活塞16上，但也可以將兩者一體地形成。
[0041]另外，在本實施例中，雖然構(gòu)成為在嘴活塞16位于其上下行程的最下位置時(嘴活塞16的壓入量為O時)處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，但也可以構(gòu)成為在嘴活塞16的壓入量為預(yù)定值(正值)時處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，只要切換氣體流路22的開閉的位置在嘴活塞16的上下行程的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定即可。
[0042]此外，本發(fā)明也可以適當(dāng)改變利用嘴支架12和嘴活塞16的滑動部分而構(gòu)成的閥結(jié)構(gòu)的位置、其構(gòu)成等，在不脫離主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更來實施，這是不言而喻的。
[0043]附圖標(biāo)記說明
[0044]11 吸嘴
[0045]12嘴支架
[0046]13安裝頭
[0047]15筒狀支撐部件
[0048]16嘴活塞
[0049]17負(fù)壓導(dǎo)入通路
[0050]18嘴前端部
[0051]19連接部件
[0052]20 嘴部
[0053]21彈簧(施力單元)
[0054]22氣體流路
[0055]22a入口側(cè)的孔
[0056]22b出口側(cè)的孔
[0057]23大氣連通孔
[0058]24筒狀閥芯
[0059]25連通槽
[0060]27流量傳感器(檢測單元)
[0061]28氣體供給路
[0062]30控制裝置
【權(quán)利要求】
1.一種吸嘴的異常檢測裝置，將吸附元件的嘴部上下可動地設(shè)于嘴支架，并且在所述嘴支架上設(shè)有向下方對所述嘴部進行施力的施力單元，在進行元件吸附動作時所述嘴部的下端與元件抵接后、或在進行元件安裝動作時吸附于所述嘴部的元件與基板抵接后，在所述嘴支架的下降動作停止之前，對應(yīng)于所述嘴支架的下降動作，所述嘴部克服所述施力單元的作用力而被壓入，所述吸嘴的異常檢測裝置的特征在于， 在所述嘴支架上，設(shè)有通過所述嘴部的上下動作而被開閉的氣體流路，并且設(shè)有檢測在所述氣體流路中流動的氣體流量或壓力的檢測單元， 通過向所述氣體流路供給氣體并利用所述檢測單元監(jiān)視氣體流量或壓力，來檢測所述嘴部的上下動作的不良。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸嘴的異常檢測裝置，其特征在于， 所述嘴支架以能夠裝卸的方式安裝于沿著元件安裝機的XYZ方向移動的安裝頭， 在所述安裝頭上設(shè)有向所述嘴支架的氣體流路供給氣體的氣體供給路， 所述檢測單元安裝于所述安裝頭，以檢測在所述安裝頭的氣體供給路中流動的氣體流量或壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吸嘴的異常檢測裝置，其特征在于， 在所述嘴支架的內(nèi)周面形成有所述氣體流路的孔和大氣連通孔， 在所述嘴部中的在所述嘴支架內(nèi)上下動作的部分，嵌裝有對所述氣體流路的孔和所述大氣連通孔進行開閉的筒狀閥芯， 在所述筒狀閥芯的外周部形成有連通槽，在所述嘴部的壓入量為預(yù)定值時，所述連通槽使所述氣體流路的孔和所述大氣連通孔連通。
4.一種吸嘴，將吸附元件的嘴部上下可動地設(shè)于嘴支架，并且在所述嘴支架上設(shè)有向下方對所述嘴部進行施力的施力單元，在進行元件吸附動作時所述嘴部的下端與元件抵接后、或在進行元件安裝動作時吸附于所述嘴部的元件與基板抵接后，在所述嘴支架的下降動作停止之前，對應(yīng)于所述嘴支架的下降動作，所述嘴部克服所述施力單元的作用力而被壓入，所述吸嘴的特征在于， 在所述嘴支架上設(shè)有通過所述嘴部的上下動作而被開閉的氣體流路。
【文檔編號】H05K13/04GK104054411SQ201280067534
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2012年1月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月19日
【發(fā)明者】西山識 申請人:富士機械制造株式會社