頂板運(yùn)送車以及物品運(yùn)送設(shè)備的制作方法
【專利摘要】頂板運(yùn)送車具有相對(duì)于行進(jìn)體升降移動(dòng)操作支承體的升降操作機(jī)構(gòu)。升降操作機(jī)構(gòu)具有沿上下方向伸縮自如的連桿機(jī)構(gòu)、和令連桿機(jī)構(gòu)伸縮的伸縮用驅(qū)動(dòng)部。連桿機(jī)構(gòu)的上端部所連結(jié)的上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于行進(jìn)體的本體部被支承為繞沿水平方向的水平軸心擺動(dòng)自如，具有令上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于本體部繞水平軸心擺動(dòng)的擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部。
【專利說(shuō)明】頂板運(yùn)送車以及物品運(yùn)送設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種頂板運(yùn)送車及具有該頂板運(yùn)送車的物品運(yùn)送設(shè)備，所述頂板運(yùn)送車具有:在被配設(shè)于頂板側(cè)的行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的狀態(tài)下沿行進(jìn)路徑行進(jìn)的行進(jìn)體、被懸吊支承于行進(jìn)體且支承物品的支承體、相對(duì)于行進(jìn)體升降移動(dòng)操作支承體的升降操作機(jī)構(gòu)、配備于升降操作機(jī)構(gòu)并且上端部與行進(jìn)體的上側(cè)連結(jié)部連結(jié)且下端部與支承體的下側(cè)連結(jié)部連結(jié)而在上下方向中伸縮自如的連桿機(jī)構(gòu)、配備于升降操作機(jī)構(gòu)并且令連桿機(jī)構(gòu)伸縮的伸縮用驅(qū)動(dòng)部。
【背景技術(shù)】
[0002]上述那樣的頂板運(yùn)送車構(gòu)成為，令行進(jìn)體沿行進(jìn)路徑行進(jìn)、在令該行進(jìn)體在行進(jìn)路徑上的與運(yùn)送對(duì)象位置對(duì)應(yīng)的位置停止的狀態(tài)下，利用伸縮用驅(qū)動(dòng)部令連桿機(jī)構(gòu)伸縮而令支承體升降移動(dòng)，從而將物品向運(yùn)送對(duì)象位置運(yùn)送。作為運(yùn)送對(duì)象位置，例如有使用物品的裝置的交接位置、收納物品的收納容器的收納部等。
[0003]而且，在這樣的頂板運(yùn)送車中，有時(shí)由于運(yùn)送對(duì)象位置的設(shè)置誤差等，運(yùn)送對(duì)象位置相對(duì)于支承于頂板運(yùn)送車的物品從適當(dāng)?shù)奈恢醚厮椒较蚱?。在日本特開(kāi)平10 -029793號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中記載了下述構(gòu)成:為了應(yīng)對(duì)這樣的情況，將與連桿機(jī)構(gòu)的上端部連結(jié)的上側(cè)連結(jié)部構(gòu)成為相對(duì)于行進(jìn)體中的被行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的本體部沿水平方向滑動(dòng)移動(dòng)自如，通過(guò)利用滑動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部滑動(dòng)移動(dòng)，令基板相對(duì)于運(yùn)送對(duì)象位置在水平方向中移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> [0004]但是，在上述的專利文獻(xiàn)I的頂板運(yùn)送車中，上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于行進(jìn)部沿水平方向移動(dòng)，所以需要確保上側(cè)連結(jié)部沿水平方向滑動(dòng)移動(dòng)的空間，行進(jìn)體的設(shè)置需要大的空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]用于解決課題的手段
鑒于上述背景，期望實(shí)現(xiàn)一種能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)體的設(shè)置空間的省空間化的頂板運(yùn)送車、以及具有該頂板運(yùn)送車的物品運(yùn)送設(shè)備。
[0006]本發(fā)明的頂板運(yùn)送車包括:
行進(jìn)體，在被配設(shè)于頂板側(cè)的行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的狀態(tài)下沿行進(jìn)路徑行進(jìn)；
支承體，被懸吊支承于所述行進(jìn)體，且支承物品；
升降操作機(jī)構(gòu)，相對(duì)于所述行進(jìn)體升降移動(dòng)操作所述支承體；
連桿機(jī)構(gòu)，配備于所述升降操作機(jī)構(gòu)，上端部與所述行進(jìn)體的上側(cè)連結(jié)部連結(jié)且下端部與所述支承體的下側(cè)連結(jié)部連結(jié)，沿上下方向伸縮自如；
伸縮用驅(qū)動(dòng)部，配備于所述升降操作機(jī)構(gòu)，令所述連桿機(jī)構(gòu)伸縮；
在此，所述上側(cè)連結(jié)部被支承為相對(duì)于所述行進(jìn)體中被所述行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的本體部繞沿水平方向的水平軸心擺動(dòng)自如， 擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部，令所述上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于所述本體部繞所述水平軸心擺動(dòng)。
[0007]S卩，通過(guò)利用擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部繞水平軸心擺動(dòng)，連接于上側(cè)連結(jié)部的連桿機(jī)構(gòu)的整體傾斜，連結(jié)于連桿機(jī)構(gòu)的下端部的支承體、以及支承于該支承體的物品的位置向垂直于沿著水平軸心的方向的水平方向移動(dòng)。通過(guò)這樣地利用擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部擺動(dòng)，能夠令支承于支承體的物品沿水平方向移動(dòng)，所以即便由于運(yùn)送對(duì)象位置的設(shè)置誤差等而運(yùn)送對(duì)象位置相對(duì)于被支承于頂板運(yùn)送車的物品從適當(dāng)?shù)奈恢醚厮椒较蚱茣r(shí)，也能夠令物品相對(duì)于運(yùn)送對(duì)象位置在水平方向中移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> [0008]而且，上側(cè)連結(jié)部?jī)H相對(duì)于行進(jìn)部擺動(dòng)，上側(cè)連結(jié)部在水平方向中不較大地移動(dòng)，所以無(wú)需為了設(shè)置行進(jìn)體而在水平方向設(shè)置大的空間，能夠?qū)崿F(xiàn)行進(jìn)體的設(shè)置空間的省空間化。
[0009]以下說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的例。
[0010]在本發(fā)明的頂板運(yùn)送車的實(shí)施方式中，優(yōu)選所述水平軸心設(shè)定為沿所述行進(jìn)體的行進(jìn)方向的方向。
[0011]S卩，通過(guò)令上側(cè)連結(jié)部繞沿行進(jìn)體的行進(jìn)方向的水平軸心擺動(dòng)，能夠令支承于支承體的物品的位置向垂直于行進(jìn)方向的橫寬方向移動(dòng)。
[0012]S卩，在移載對(duì)象位置在行進(jìn)方向中偏移時(shí)，通過(guò)令行進(jìn)體沿行進(jìn)方向行進(jìn)而能夠修正位置偏移，但在移載對(duì)象位置在垂直于行進(jìn)方向的橫寬方向中偏移時(shí)，即便令行進(jìn)體沿行進(jìn)方向行進(jìn)也無(wú)法修正位置偏移。但是，通過(guò)如上所述地令上側(cè)連結(jié)部繞沿行進(jìn)體的行進(jìn)方向的水平軸心擺動(dòng)，能夠應(yīng)對(duì)即便令行進(jìn)體沿行進(jìn)方向行進(jìn)也無(wú)法修正位置偏移的橫寬方向中的位置偏移。
[0013]在本發(fā)明的頂板運(yùn)送車的實(shí)施方式中優(yōu)選構(gòu)成為，所述連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，令上端部與所述上側(cè)連結(jié)部擺動(dòng)自如地連結(jié)的上側(cè)連桿體的下端部、和下端部與所述下側(cè)連結(jié)部擺動(dòng)自如地連結(jié)的下側(cè)連桿體的上端部擺動(dòng)自如地連結(jié)，一對(duì)的所述連桿機(jī)構(gòu)分別設(shè)置為伸縮自如的狀態(tài)，所述伸縮用驅(qū)動(dòng)部令所述一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)的一方的第一連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體、和所述一對(duì)的所述連桿機(jī)構(gòu)的另一方的第二連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的各自向相互相反的方向擺動(dòng)，從而令所述一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)伸縮。
[0014]S卩，利用伸縮用驅(qū)動(dòng)部令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)的各自的上側(cè)連桿體向相互相反的方向擺動(dòng)而令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)以同步的狀態(tài)在上下方向中伸縮，從而能夠像在上下方向中兩個(gè)并列地設(shè)置X連桿機(jī)構(gòu)那樣地，在令支承體維持為期望的姿態(tài)的狀態(tài)下令支承體升降移動(dòng)。
[0015]而且，無(wú)需像由X連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成連桿機(jī)構(gòu)時(shí)那樣將上側(cè)連桿體彼此、下側(cè)連桿體彼此連結(jié)，此外，無(wú)需將上側(cè)連桿體滑動(dòng)移動(dòng)自如地連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部、無(wú)需將下側(cè)連桿體滑動(dòng)移動(dòng)自如地連結(jié)于下側(cè)連結(jié)部。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)連桿機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的簡(jiǎn)化、以及連桿機(jī)構(gòu)和上側(cè)連結(jié)部、下側(cè)連結(jié)部的連結(jié)構(gòu)造的簡(jiǎn)化。
[0016]在本發(fā)明的頂板運(yùn)送車的實(shí)施方式中，所述伸縮用驅(qū)動(dòng)部具備:擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述第一連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部、和擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述第二連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部。
[0017]S卩，利用第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部令第一連桿機(jī)構(gòu)中的上側(cè)連桿體向一方向擺動(dòng)，利用第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部令第二連桿機(jī)構(gòu)中的上側(cè)連桿體向另一方向擺動(dòng)，從而能夠令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)的各自的上側(cè)連桿體向相互相反的方向擺動(dòng)。
[0018]而且，由于為利用第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部以及第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部分別地?cái)[動(dòng)驅(qū)動(dòng)一對(duì)的上側(cè)連桿體的構(gòu)成，所以與利用單一的伸縮用驅(qū)動(dòng)部令一對(duì)的上側(cè)連桿體擺動(dòng)時(shí)相比，作為第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部、第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部能夠使用驅(qū)動(dòng)力小的小型的驅(qū)動(dòng)部。因此，在構(gòu)成為由擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部繞水平軸心擺動(dòng)而令物品沿水平方向移動(dòng)而實(shí)現(xiàn)了省空間化的行進(jìn)體中，第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部、第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部的設(shè)置變得容易。
[0019]本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備是具備上述的各構(gòu)成的頂板運(yùn)送車的物品運(yùn)送設(shè)備，
所述物品是形成為板狀的基板，
所述頂板運(yùn)送車構(gòu)成為，由所述支承體支承面方向沿上下方向的朝向的基板的上端部，利用所述支承體的下降移動(dòng)而令基板向設(shè)置于運(yùn)送對(duì)象位置的基板保持部移動(dòng)，
所述基板保持部構(gòu)成為將一對(duì)的夾持用部件的狀態(tài)自如地切換為插入狀態(tài)和夾持狀
態(tài)，
所述插入狀態(tài)是下述狀態(tài):利用所述支承體的下降移動(dòng)而下降的基板從上方側(cè)插入自如地、在基板的厚度方向中所述一對(duì)的夾持用部件相互分離，
所述夾持狀態(tài)是下述狀態(tài):為了夾持插入到所述一對(duì)的夾持用部件之間的基板，令所述一對(duì)的夾持用部件相互接近。
[0020]S卩，利用伸縮用驅(qū)動(dòng)部令連桿機(jī)構(gòu)伸長(zhǎng)而令支承體下降移動(dòng)，從而能夠向基板保持部交出基板。
[0021]而且，在利用擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于本體部繞水平軸心擺動(dòng)時(shí)，連桿機(jī)構(gòu)從鉛直姿態(tài)傾斜。因此，如果在該傾斜的姿態(tài)下令連桿機(jī)構(gòu)伸長(zhǎng)，則支承體向斜下方移動(dòng)，支承于該支承體的基板也向斜下方移動(dòng)，通過(guò)令基板保持部所具備的一對(duì)的夾持用部件相互離開(kāi)而令基板保持部為插入狀態(tài)，能夠?qū)⑾蛐毕路较陆档幕鍙纳戏絺?cè)插入一對(duì)的夾持用部件之間。而且，在這樣地將基板插入一對(duì)的夾持用部件之間的狀態(tài)下，通過(guò)令一對(duì)的夾持用部件相互地接近而將基板保持部切換為夾持狀態(tài)，能夠利用一對(duì)的夾持用部件夾持基板而保持基板。
[0022]這樣地構(gòu)成為利用擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部令上側(cè)連結(jié)部繞水平軸心擺動(dòng)而令物品沿水平方向移動(dòng)而實(shí)現(xiàn)了行進(jìn)體的省空間化時(shí)，也能夠?qū)⒒褰怀龅交灞３植俊?br> 【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1是物品運(yùn)送設(shè)備的立體圖，
圖2是頂板運(yùn)送車的局部切去側(cè)視圖，
圖3是表示頂板運(yùn)送車的要部的立體圖，
圖4是表示令連桿機(jī)構(gòu)最為縮短的狀態(tài)的頂板運(yùn)送車的立體圖，
圖5是表示令連桿機(jī)構(gòu)最為伸長(zhǎng)的狀態(tài)的頂板運(yùn)送車的立體圖，
圖6是表示將基板的姿態(tài)從前后姿態(tài)切換為橫姿態(tài)的狀態(tài)的頂板運(yùn)送車的立體圖，
圖7是表示令基板沿面方向傾斜的狀態(tài)的頂板運(yùn)送車的立體圖，
圖8是頂板運(yùn)送車的傾斜功能的說(shuō)明圖，
圖9是頂板運(yùn)送車的傾斜功能的說(shuō)明圖，
圖10是頂板運(yùn)送車的傾斜功能的說(shuō)明圖，圖11是控制框圖，
圖12是流程圖。
[0024]附圖標(biāo)記說(shuō)明
I…頂板運(yùn)送車
2…行進(jìn)軌道
3…行進(jìn)路徑
8…夾持用部件
11…行進(jìn)體
12…支承體
13…升降操作機(jī)構(gòu)
15…本體部
18…上側(cè)連結(jié)部
21…連桿機(jī)構(gòu)
22…伸縮用驅(qū)動(dòng)部
22F…一方側(cè)伸縮用驅(qū)動(dòng)部
22R…另一方側(cè)伸縮用驅(qū)動(dòng)部`
23…下側(cè)連結(jié)部
24…上側(cè)連桿體
25…下側(cè)連桿體
E…運(yùn)送對(duì)象位置
e…基板交接部
LI…水平軸心
W…基板(物品)。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下基于【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0026]如圖1所示，配備于物品運(yùn)送設(shè)備的頂板運(yùn)送車I構(gòu)成為，以被設(shè)置于頂板的行進(jìn)
軌道2引導(dǎo)支承的狀態(tài)設(shè)置，沿經(jīng)由運(yùn)送對(duì)象位置E的上方的行進(jìn)路徑3行進(jìn)而運(yùn)送作為
物品的形成為板狀的基板W。此外，在本實(shí)施方式中，作為基板W，由頂板運(yùn)送車I運(yùn)送用于
液晶面板等的玻璃基板的加工的光掩模。
[0027]另外，將沿著行進(jìn)方向的水平方向稱為前后方向，將與該前后方向垂直的水平方
向稱為橫寬方向而進(jìn)行說(shuō)明。在圖1中，用箭頭X表示前后方向，用箭頭Y表示橫寬方向。
頂板運(yùn)送車I從前后方向的后方側(cè)(圖1的右上側(cè))向前方側(cè)(圖1的左下側(cè))單方向地行進(jìn)。
[0028]在物品運(yùn)送設(shè)備上，設(shè)置有使用基板W (光掩模)進(jìn)行玻璃基板的加工處理的處理
裝置4、自如地收納多張基板W的基板收納容器6。
[0029]而且，頂板運(yùn)送車I構(gòu)成為將基板W向基板支承臺(tái)5的交接位置5a、基板收納容器
6的收納部6a交出，從交接位置5a、收納部6a接收基板W。
[0030]基板支承臺(tái)5以相對(duì)于處理裝置4在橫寬方向中鄰接的狀態(tài)設(shè)置，在處理裝置4中，設(shè)置將基板支承臺(tái)5的基板W取入處理裝置4內(nèi)且將處理裝置4內(nèi)的基板W取出到基板支承臺(tái)5的基板運(yùn)送裝置(未圖示)。
[0031]基板支承臺(tái)5的交接位置5a構(gòu)成為以基板W的表面沿前后方向的姿態(tài)(朝向)保持基板W。此外，基板收納容器6的收納部6a沿前后方向配備多個(gè)，構(gòu)成為以基板W的表面沿橫寬方向的姿態(tài)(朝向)保持基板W。
[0032]另外，基板支承臺(tái)5、基板收納容器6相當(dāng)于運(yùn)送對(duì)象位置E，基板支承臺(tái)5的交接位置5a、基板收納容器6的多個(gè)收納部6a的各自相當(dāng)于基板保持部e?；灞３植縠的各自位于行進(jìn)路徑3的正下方。
[0033]基板保持部e具備一對(duì)的夾持用部件8，構(gòu)成為將該一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)自如地切換為插入狀態(tài)和夾持狀態(tài)。在此，插入狀態(tài)是借助頂板運(yùn)送車I的支承體12的下降移動(dòng)而下降的基板W自如地從上方側(cè)插入、在基板W的厚度方向中一對(duì)的夾持用部件8相互分離的狀態(tài)。此外，夾持狀態(tài)是為了夾持插入到一對(duì)的夾持用部件8之間的基板W而令一對(duì)的夾持用部件8相互地接近的狀態(tài)。
[0034]對(duì)于一對(duì)的夾持用部件8，以配備于交接位置5a的一對(duì)的夾持用部件8為例進(jìn)行說(shuō)明。如圖1以及圖8?10所示，一對(duì)的夾持用部件8以沿橫寬方向并列的狀態(tài)設(shè)置，設(shè)置為以一對(duì)的夾持用部件8的下端部為支點(diǎn)而上端部彼此相互地遠(yuǎn)離接近移動(dòng)(B卩，接近或者離開(kāi))地自如擺動(dòng)。如圖8所示，自然狀態(tài)中一對(duì)的夾持用部件8的各自的上端部彼此相互離開(kāi)而在前后方向視中為倒八字狀(V字狀)，一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)為插入狀態(tài)。而且，如圖9以及圖10所示，由于插入的基板W的載荷而下端部被向下方壓下，從而一對(duì)的夾持用部件8的各自變?yōu)殂U直姿態(tài)，一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)被切換為夾持基板W的夾持狀態(tài)。
[0035]在本實(shí)施方式中，一對(duì)的夾持用部件8的各自的上下方向的長(zhǎng)度形成為基板W的上下方向的長(zhǎng)度的1/3左右的長(zhǎng)度，構(gòu)成為由一對(duì)的夾持用部件8以沿厚度方向夾持基板W的下部的形態(tài)保持基板W。
[0036]另外，對(duì)于配備于收納部6a的一對(duì)的夾持用部件8，除了將一對(duì)的夾持用部件8設(shè)置為沿前后方向并列的狀態(tài)這一點(diǎn)以外與交接位置5a的一對(duì)的夾持用部件8同樣地構(gòu)成，所以省略說(shuō)明。
[0037]如圖2以及圖4?7所示，頂板運(yùn)送車I具備:以被行進(jìn)軌道2引導(dǎo)支承的狀態(tài)沿行進(jìn)路徑3行進(jìn)的行進(jìn)體11、懸吊支承于行進(jìn)體11且支承基板W的支承體12、相對(duì)于行進(jìn)體11升降移動(dòng)操作支承體12的升降操作機(jī)構(gòu)13。
[0038]〔行進(jìn)體〕
如圖2所示，在行進(jìn)體11的行進(jìn)本體部15 (相當(dāng)于本發(fā)明中的“本體部”)中，設(shè)置被行進(jìn)用電動(dòng)馬達(dá)16旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而在行進(jìn)軌道2的上表面上滾動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪17、與行進(jìn)軌道2的側(cè)面抵接的旋轉(zhuǎn)自如的引導(dǎo)輪(未圖示)。而且，構(gòu)成為通過(guò)驅(qū)動(dòng)輪17被行進(jìn)用電動(dòng)馬達(dá)16旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)、引導(dǎo)輪被行進(jìn)軌道2接觸引導(dǎo)，行進(jìn)體11被行進(jìn)軌道2引導(dǎo)而沿行進(jìn)路徑3行進(jìn)。
[0039]如圖2以及圖3所示，在行進(jìn)體11上設(shè)置有與升降操作機(jī)構(gòu)13連結(jié)的上側(cè)連結(jié)部18。該上側(cè)連結(jié)部18相對(duì)于行進(jìn)體11中的行進(jìn)本體部15繞沿前后方向(行進(jìn)體11的行進(jìn)方向)的第I軸心LI (水平軸心)擺動(dòng)自如地被支承。[0040]而且，在行進(jìn)體11的行進(jìn)本體部15上設(shè)置有作為令上側(cè)連結(jié)部18相對(duì)于行進(jìn)本體部15繞第I軸心LI擺動(dòng)的擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部的擺動(dòng)用電動(dòng)馬達(dá)19。行進(jìn)體11構(gòu)成為利用該擺動(dòng)用電動(dòng)馬達(dá)19的驅(qū)動(dòng)令上側(cè)連結(jié)部18擺動(dòng),如圖8?10所示,令連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18的升降操作機(jī)構(gòu)13繞第I軸心LI擺動(dòng)。
[0041]〔升降操作機(jī)構(gòu)〕
升降操作機(jī)構(gòu)13具備:上端部與行進(jìn)體11的上側(cè)連結(jié)部18連結(jié)且下端部與支承體12的下側(cè)連結(jié)部23連結(jié)而在上下方向中伸縮自如的連桿機(jī)構(gòu)21、和令連桿機(jī)構(gòu)21伸縮的伸縮用驅(qū)動(dòng)部22。
[0042]如圖2以及圖3所示，連桿機(jī)構(gòu)21構(gòu)成為，將上側(cè)連桿體24的上端部相對(duì)于行進(jìn)體11的上側(cè)連結(jié)部18繞第2軸心L2擺動(dòng)自如地連結(jié)，將上側(cè)連桿體24的下端部與下側(cè)連桿體25的上端部繞第3軸心L3擺動(dòng)自如地連結(jié)，將下側(cè)連桿體25的下端部相對(duì)于支承體12的下側(cè)連結(jié)部23繞第4軸心L4擺動(dòng)自如地連結(jié)。
[0043]此外，連桿機(jī)構(gòu)21為，設(shè)置為第2軸心L2和第3軸心L3和第4軸心L4為相互地平行的狀態(tài)，這些第2軸心L2和第3軸心L3和第4軸心L4垂直于第I軸心LI而沿橫寬方向。
[0044]而且，一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21以分別伸縮自如的狀態(tài)設(shè)置，一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自中的上側(cè)連桿體24以及下側(cè)連桿體25形成為棒狀。此外，一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自為，上側(cè)連桿體24和下側(cè)連桿體25形成為相同的長(zhǎng)度。
[0045]另外，一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21以相互沿前后方向錯(cuò)開(kāi)的狀態(tài)連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18以及下側(cè)連結(jié)部23的各自，為了方便，將連結(jié)于前側(cè)(圖2中的左側(cè))的一方的連桿機(jī)構(gòu)21稱為前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F,將連結(jié)于后側(cè)(圖2中的右側(cè))的另一方的連桿機(jī)構(gòu)21稱為后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R。前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F相當(dāng)于本發(fā)明中的“第一連桿機(jī)構(gòu)”，后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R相當(dāng)于本發(fā)明中的“第二連桿機(jī)構(gòu)”。
[0046]如果進(jìn)一步說(shuō)明連桿機(jī)構(gòu)21的設(shè)置，則上側(cè)連結(jié)部18中的朝向橫寬方向的一方側(cè)(右側(cè))的面上連結(jié)前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的上側(cè)連桿體24，上側(cè)連結(jié)部18中的朝向橫寬方向的另一方側(cè)(左側(cè))的面上連結(jié)后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的上側(cè)連桿體24。
[0047]此外，下側(cè)連結(jié)部23中的朝向橫寬方向的一方側(cè)(右側(cè))的面上連結(jié)前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的下側(cè)連桿體25，下側(cè)連結(jié)部23中的朝向橫寬方向的另一方側(cè)(左側(cè))的面上連結(jié)后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)2IR的下側(cè)連桿體25。
[0048]這樣地,一方的連桿機(jī)構(gòu)21相對(duì)于另一方的連桿機(jī)構(gòu)21在橫寬方向中在不同的位置連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18以及下側(cè)連結(jié)部23的各自。
[0049]此外，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的上側(cè)連桿體24和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的上側(cè)連桿體24在相互為相同高度且在前后方向中錯(cuò)開(kāi)的位置處連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的下側(cè)連桿體25和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的下側(cè)連桿體25在相互為相同高度且在前后方向錯(cuò)開(kāi)的位置處連結(jié)于下側(cè)連結(jié)部23。
[0050]這樣地，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F在與后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R為相同高度、且相對(duì)于后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R在前后方向中不同的位置處，連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18以及下側(cè)連結(jié)部23的各自。即，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R在相互為相同高度、且在橫寬方向以及前后方向的各方向中相互不同的位置處，連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18以及下側(cè)連結(jié)部23的各自。[0051]例如，一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自以下述狀態(tài)設(shè)置:在橫寬方向中看，在從將上側(cè)連桿體24連結(jié)于上側(cè)連結(jié)部18的位置位于正下方的位置處將下側(cè)連桿體25連結(jié)于下側(cè)連結(jié)部23。
[0052]一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21在橫寬方向中看以向相互相反的方向彎折的狀態(tài)設(shè)置。如下地設(shè)置一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21:在令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自最為縮短的狀態(tài)(參照?qǐng)D4)以及最為伸長(zhǎng)的狀態(tài)(參照?qǐng)D5以及圖6)中，在橫寬方向中看，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F中的上側(cè)連桿體24和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的上側(cè)連桿體24相互地交叉，且前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F中的下側(cè)連桿體25和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的下側(cè)連桿體25相互地交叉。
[0053]此外，在令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自最為縮短的狀態(tài)中，前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F中的上側(cè)連桿體24和下側(cè)連桿體25的連結(jié)位置位于比后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的上側(cè)連桿體24與上側(cè)連結(jié)部18連結(jié)的位置及下側(cè)連桿體25與下側(cè)連結(jié)部23連結(jié)的位置靠后方側(cè)，此夕卜，后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的上側(cè)連桿體24和下側(cè)連桿體25的連結(jié)位置位于比前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)2IF中的上側(cè)連桿體24與上側(cè)連結(jié)部18連結(jié)的位置及下側(cè)連桿體25與下側(cè)連結(jié)部23連結(jié)的位置靠前方側(cè)。
[0054]伸縮用驅(qū)動(dòng)部22構(gòu)成為，通過(guò)令前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F中的上側(cè)連桿體24和后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的上側(cè)連桿體24的各自向相互相反的方向擺動(dòng)，令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各
自伸縮。
[0055]此外，伸縮用驅(qū)動(dòng)部22具備:作為擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F中的上側(cè)連桿體24的第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部的前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F、和作為擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R中的上側(cè)連桿體24的第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部的后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R。
[0056]伸縮用驅(qū)動(dòng)部22構(gòu)成為，在左側(cè)視圖中，利用前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F令前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的上側(cè)連桿體24順時(shí)針地?cái)[動(dòng)且利用后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R令后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的上側(cè)連桿體24逆時(shí)針地?cái)[動(dòng)，從而令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自伸長(zhǎng)。此外，伸縮用驅(qū)動(dòng)部22構(gòu)成為，在左側(cè)視圖中，利用前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F令前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的上側(cè)連桿體24逆時(shí)針地?cái)[動(dòng)且利用后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R令后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的上側(cè)連桿體24逆時(shí)針地?cái)[動(dòng)，從而令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自縮短。
[0057]而且，升降操作機(jī)構(gòu)13構(gòu)成為，通過(guò)利用伸縮用驅(qū)動(dòng)部22令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自伸長(zhǎng)令支承體12下降移動(dòng)、且通過(guò)利用伸縮用驅(qū)動(dòng)部22令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21的各自縮短，令支承體12上升移動(dòng)。
[0058]另外，前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F設(shè)置為其輸出軸繞前側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21F的上側(cè)連桿體24的第2軸心L2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R設(shè)置為其輸出軸繞后側(cè)連桿機(jī)構(gòu)21R的上側(cè)連桿體24的第2軸心L2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0059]此外，通過(guò)令前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F的驅(qū)動(dòng)速度和后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R的驅(qū)動(dòng)速度不同，能夠令基板W —邊沿面方向傾斜一邊升降。此外，通過(guò)僅令前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F驅(qū)動(dòng)或僅令后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R驅(qū)動(dòng)，如圖7所示，能夠令基板W沿面方向傾斜。在此，令基板W沿面方向傾斜是指以伴隨著傾斜的基板W的各部的移動(dòng)方向?yàn)榕c基板W的面平行的方向的方式令基板W傾斜。
[0060]〔支承體〕
如圖2以及圖3所示，支承體12具有擺動(dòng)部27。擺動(dòng)部27相對(duì)于與連桿機(jī)構(gòu)21的下側(cè)連桿體25連結(jié)的下側(cè)連結(jié)部23，繞沿前后方向的第5軸心L5擺動(dòng)自如地被支承。而且，擺動(dòng)部27繞沿上下方向的第6軸心L6旋轉(zhuǎn)自如地支承用于支承基板W的支承部28。
[0061]此外，在支承體12上具備:令支承部28相對(duì)于擺動(dòng)部27繞第6軸心L6旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)馬達(dá)29(參照?qǐng)D11)、以及用于切換擺動(dòng)部27相對(duì)于下側(cè)連結(jié)部23繞第5軸心L5擺動(dòng)自如的狀態(tài)和限制擺動(dòng)部27相對(duì)于下側(cè)連結(jié)部23繞第5軸心L5擺動(dòng)的狀態(tài)的切換用電動(dòng)壓力缸30 (參照?qǐng)D11)。
[0062]而且，構(gòu)成為通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)馬達(dá)29旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)支承部28，如圖6所示，支承部28以及支承于該支承部28的基板W繞第6軸心L6旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)⒒錡的姿態(tài)(朝向)切換為基板W的表面沿前后方向的前后姿態(tài)(參照?qǐng)D5)和基板W的表面沿橫寬方向的橫姿態(tài)(參照?qǐng)D6)。
[0063]此外，構(gòu)成為在將基板W的姿態(tài)姿態(tài)變更為前后姿態(tài)的狀態(tài)下，令頂板運(yùn)送車I沿行進(jìn)路徑3行進(jìn)移動(dòng)，且將基板W交出到基板支承臺(tái)5的交接位置5a。此外，構(gòu)成為在將基板W的姿態(tài)姿態(tài)變更為橫姿態(tài)的狀態(tài)下，將基板W交出到基板收納容器6的收納部6a。
[0064]此外，省略詳細(xì)的說(shuō)明，切換用電動(dòng)壓力缸30設(shè)置為令設(shè)置于下側(cè)連結(jié)部23側(cè)的接觸部件(未圖示)升降移動(dòng)。構(gòu)成為通過(guò)利用切換用電動(dòng)壓力缸30令接觸部件下降移動(dòng)到與擺動(dòng)部27接觸的限制位置，限制擺動(dòng)部27相對(duì)于下側(cè)連結(jié)部23擺動(dòng)，此外，通過(guò)利用切換用電動(dòng)壓力缸30令接觸部件上升移動(dòng)到從擺動(dòng)部27離開(kāi)的限制解除位置，切換為解除擺動(dòng)部27的擺動(dòng)限制而擺動(dòng)部27相對(duì)于下側(cè)連結(jié)部23自由地?cái)[動(dòng)的狀態(tài)。
[0065]而且，在解除了擺動(dòng)部27的擺動(dòng)限制的狀態(tài)中，如圖9以及圖10所示，即便由于擺動(dòng)用電動(dòng)馬達(dá)19的動(dòng)作而連桿機(jī)構(gòu)21繞第I軸心LI擺動(dòng)，借助擺動(dòng)部27繞第5軸心L5擺動(dòng)而基板W的姿態(tài)不發(fā)生變化，維持基板W的表面沿著鉛直方向的姿態(tài)。
[0066]如圖11所示，在頂板運(yùn)送車I上設(shè)置控制裝置H2?？刂蒲b置H2控制行進(jìn)用電動(dòng)馬達(dá)16、擺動(dòng)用電動(dòng)馬達(dá)19、前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F、后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R、旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)馬達(dá)29、以及切換用電動(dòng)壓力缸30的動(dòng)作。控制裝置H2構(gòu)成為，基于來(lái)自設(shè)置于地上側(cè)的上位控制器Hl的控制指令，控制設(shè)置于頂板運(yùn)送車I的電動(dòng)馬達(dá)的動(dòng)作，以便進(jìn)行將基板W向運(yùn)送對(duì)象位置E交出的交接處理、和將基板W從運(yùn)送對(duì)象位置E接收的接收處理。
[0067]此外，有時(shí)由于基板支承臺(tái)5、基板收納容器6的設(shè)置誤差，運(yùn)送對(duì)象位置E相對(duì)于行進(jìn)路徑3從正下方的位置向橫寬方向偏移。對(duì)于這樣地位置偏移的運(yùn)送對(duì)象位置E，存儲(chǔ)位置偏移位置，對(duì)于作為該位置偏移位置而存儲(chǔ)的運(yùn)送對(duì)象位置E，預(yù)先存儲(chǔ)修正擺動(dòng)量，所述修正擺動(dòng)量由相對(duì)于行進(jìn)路徑3的運(yùn)送對(duì)象位置E的橫寬方向中的偏移量以及運(yùn)送對(duì)象位置E和頂板運(yùn)送車I的高低差求得。
[0068]對(duì)于交接處理，基于圖12所示的流程進(jìn)行說(shuō)明。
[0069]首先，進(jìn)行行進(jìn)控制，令支承基板W的頂板運(yùn)送車I停止在與運(yùn)送對(duì)象位置E對(duì)應(yīng)的停止位置。然后，在運(yùn)送對(duì)象位置E為基板收納容器6的收納部6a時(shí)，進(jìn)行令旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)馬達(dá)29動(dòng)作而令支承部28相對(duì)于擺動(dòng)部27繞第6軸心L6旋轉(zhuǎn)90°的旋轉(zhuǎn)控制。此外，在運(yùn)送對(duì)象位置E為位置偏移位置時(shí)，進(jìn)行傾斜控制，所述傾斜控制為，令切換用電動(dòng)壓力缸30動(dòng)作而切換為限制解除狀態(tài)，令擺動(dòng)用電動(dòng)馬達(dá)19動(dòng)作而令上側(cè)連結(jié)部18相對(duì)于行進(jìn)本體部15繞第I軸心LI擺動(dòng)修正擺動(dòng)量，然后令切換用電動(dòng)壓力缸30動(dòng)作而切換為限制狀態(tài)。然后，進(jìn)行令前側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22F以及后側(cè)用電動(dòng)馬達(dá)22R動(dòng)作而令一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)21伸長(zhǎng)的伸長(zhǎng)控制，令基板W向基板保持部e移動(dòng)。
[0070]另外，接收處理是以與交接處理相反的順序進(jìn)行的處理，省略其說(shuō)明。
[0071]〔其他實(shí)施方式〕
(I)上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了使用上側(cè)連桿體24和下側(cè)連桿體25而將連桿機(jī)構(gòu)21構(gòu)成為 < 字狀、將這樣的連桿機(jī)構(gòu)21以分別伸縮自如的狀態(tài)設(shè)置一對(duì)的構(gòu)成，但也可以將連桿機(jī)構(gòu)21構(gòu)成為將上側(cè)連桿體24彼此以及下側(cè)連桿體25彼此在長(zhǎng)邊方向的中間部擺動(dòng)自如地連結(jié)的X字狀的X連桿機(jī)構(gòu)。此外，在由X連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成連桿機(jī)構(gòu)21時(shí)，也可以由單一的X連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成連桿機(jī)構(gòu)21，此外也可以構(gòu)成為在上下方向中排列多個(gè)X連桿機(jī)構(gòu)。
[0072](2)在上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了伸縮用驅(qū)動(dòng)部22具有令一方的連桿機(jī)構(gòu)21 (第一連桿機(jī)構(gòu))中的上側(cè)連桿體24擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)的第一伸縮驅(qū)動(dòng)部、和令另一方的連桿機(jī)構(gòu)21 (第二連桿機(jī)構(gòu))中的上側(cè)連桿體24擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)的第二伸縮驅(qū)動(dòng)部的構(gòu)成，但也可以構(gòu)成為由令一方的連桿機(jī)構(gòu)21中的上側(cè)連桿體24和另一方的連桿機(jī)構(gòu)21中的上側(cè)連桿體24擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)的兩側(cè)伸縮驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成伸縮用驅(qū)動(dòng)部22。此外，此時(shí)，以令一對(duì)的上側(cè)連桿體24向相互相反的方向擺動(dòng)的方式，經(jīng)由齒輪等的連動(dòng)機(jī)構(gòu)連動(dòng)連結(jié)兩側(cè)伸縮驅(qū)動(dòng)部和一對(duì)的上側(cè)連桿體24。
[0073](3)在上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了相對(duì)于本體部繞沿行進(jìn)體11的行進(jìn)方向的水平軸心擺動(dòng)自如地支承上側(cè)連結(jié)部18的構(gòu)成，但也可以構(gòu)成為相對(duì)于本體部繞沿垂直于行進(jìn)體11的行進(jìn)方向的橫寬方向的水平軸心擺動(dòng)自如地支承上側(cè)連結(jié)部18。
[0074](4)在上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了基板保持部e以一對(duì)的夾持用部件8的下端部為支點(diǎn)而令上端部彼此相互地遠(yuǎn)離接近移動(dòng)而將一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)切換為插入狀態(tài)和夾持狀態(tài)的構(gòu)成，但也可以基板保持部e構(gòu)成為通過(guò)令一對(duì)的夾持用部件8的整體相互地遠(yuǎn)離接近移動(dòng)而將一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)切換為插入狀態(tài)和夾持狀態(tài)。
[0075]此外，在上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了利用插入的基板W的自重而將一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)從插入狀態(tài)切換為夾持狀態(tài)的構(gòu)成，但也可以構(gòu)成為設(shè)置驅(qū)動(dòng)操作一對(duì)的夾持用部件8的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，利用該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)將一對(duì)的夾持用部件8的狀態(tài)從插入狀態(tài)切換為夾持狀態(tài)。
[0076](5)在上述實(shí)施方式中，作為例子說(shuō)明了作為基板運(yùn)送光掩模的構(gòu)成，但作為基板也可以運(yùn)送液晶玻璃基板、有機(jī)EL面板等的其他的基板。此外，作為物品，除了基板以外也可以是紙板箱、集裝箱、或者收納多個(gè)基板的基板收納容器等。
【權(quán)利要求】
1.一種頂板運(yùn)送車，具備: 行進(jìn)體，在被配設(shè)于頂板側(cè)的行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的狀態(tài)下沿行進(jìn)路徑行進(jìn)； 支承體，懸吊支承于所述行進(jìn)體，且支承物品； 升降操作機(jī)構(gòu)，相對(duì)于所述行進(jìn)體升降移動(dòng)操作所述支承體； 連桿機(jī)構(gòu)，配備于所述升降操作機(jī)構(gòu)，上端部連結(jié)于所述行進(jìn)體的上側(cè)連結(jié)部、且下端部連結(jié)于所述支承體的下側(cè)連結(jié)部，沿上下方向伸縮自如； 伸縮用驅(qū)動(dòng)部，配備于所述升降操作機(jī)構(gòu)，令所述連桿機(jī)構(gòu)伸縮； 其特征在于， 所述上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于所述行進(jìn)體中的被所述行進(jìn)軌道引導(dǎo)支承的本體部繞沿水平方向的水平軸心擺動(dòng)自如地被支承， 具備擺動(dòng)用驅(qū)動(dòng)部，令所述上側(cè)連結(jié)部相對(duì)于所述本體部繞所述水平軸心擺動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂板運(yùn)送車，其特征在于， 所述水平軸心設(shè)定為沿所述行進(jìn)體的行進(jìn)方向的方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的頂板運(yùn)送車，其特征在于， 所述連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，擺動(dòng)自如地連結(jié)上側(cè)連桿體的下端部和下側(cè)連桿體的上端部，所述上側(cè)連桿體的上端部擺動(dòng)自如地連結(jié)于所述上側(cè)連結(jié)部，所述下側(cè)連桿體的下端部擺動(dòng)自如地連結(jié)于所述下側(cè)連結(jié)部， 一對(duì)的所述連桿機(jī)構(gòu)以分別伸縮自如的狀態(tài)設(shè)置， 所述伸縮用驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成為，令所述一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)的一方的第一連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體和所述一對(duì)的所述連桿機(jī)構(gòu)的另一方的第二連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的各自向相互相反的方向擺動(dòng)，從而令所述一對(duì)的連桿機(jī)構(gòu)伸縮。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的頂板運(yùn)送車，其特征在于， 所述伸縮用驅(qū)動(dòng)部具備:擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述第一連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的第一伸縮用驅(qū)動(dòng)部、和擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)所述第二連桿機(jī)構(gòu)中的所述上側(cè)連桿體的第二伸縮用驅(qū)動(dòng)部。
5.一種物品運(yùn)送設(shè)備，具備: 權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的頂板運(yùn)送車； 其特征在于， 所述物品是形成為板狀的基板， 所述頂板運(yùn)送車構(gòu)成為，利用所述支承體支承面方向沿上下方向的朝向的基板的上端部，利用所述支承體的下降移動(dòng)令基板向設(shè)置于運(yùn)送對(duì)象位置的基板保持部移動(dòng)， 所述基板保持部構(gòu)成為自如地將一對(duì)的夾持用部件的狀態(tài)切換為插入狀態(tài)和夾持狀態(tài)， 所述插入狀態(tài)是利用所述支承體的下降移動(dòng)而下降的基板自如地從上方側(cè)插入、在基板的厚度方向中令所述一對(duì)的夾持用部件相互離開(kāi)的狀態(tài)， 所述夾持狀態(tài)是令所述一對(duì)的夾持用部件相互地接近以便夾持插入到所述一對(duì)的夾持用部件之間的基板的狀態(tài)。
【文檔編號(hào)】B66F7/06GK103508373SQ201310238317
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年6月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月18日
【發(fā)明者】村山繁人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福