一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，包括爐體（1）、設(shè)置在爐體（1）內(nèi)的隔熱籠體（2）、設(shè)置在隔熱籠體（2）內(nèi)的石英坩堝（4），石英坩堝（4）底面貼附有底板（6），底板（6）主要由至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部。本實(shí)用新型技術(shù)方案帶來的有益效果在于：通過改變側(cè)部加熱器上下各部位的熱量供應(yīng)能力和坩堝四周護(hù)板、底板與DS散熱塊各部位的熱傳導(dǎo)能力，可以有效控制鑄錠爐內(nèi)部的溫場分布，改善熔化和長晶界面中心上凸現(xiàn)象，使固液界面趨于平坦，且有利于長晶過程中雜質(zhì)的排出，從而產(chǎn)出雜質(zhì)含量少、晶粒相對均勻的高效多晶硅錠。
【專利說明】一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅錠鑄錠技術(shù)，具體是一種受熱均勻、熔硅均勻的高效多晶硅錠鑄錠爐。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，能源是國民經(jīng)濟(jì)的命脈，是許多國家制定全球戰(zhàn)略的首要問題。然而今天，
[0003]能源短缺和環(huán)境問題已成為全球能源問題的主題。如何有效開發(fā)利用清潔無污染的可再生能源就成為人類的一件迫在眉睫的事情。太陽能是取之不盡用之不絕的綠色能源，在太陽能的利用中，光電轉(zhuǎn)換應(yīng)用最為廣泛，光伏電池是目前市場上最主要的一種產(chǎn)品，它以多晶娃作為基材，故娃晶體的制備是光伏電池的基礎(chǔ)。
[0004]多晶硅鑄錠爐是一種硅原料重熔再結(jié)晶設(shè)備，用于生產(chǎn)太陽能級多晶硅錠。在實(shí)際生產(chǎn)中，經(jīng)過加熱熔化、定向長晶、退火、冷卻等步驟，將多晶硅原料制備成沿一定方向生長的多晶硅錠。硅原料重熔再結(jié)晶過程是在多晶硅鑄錠爐的熱場中進(jìn)行，它由隔熱籠組件、石墨加熱器、DS散熱塊等零部件組成。熱場不僅為多晶硅熔化提供所需的熱能，在長晶過程中又提供一個(gè)溫度梯度場，從而形成定向凝固。高品質(zhì)多晶硅錠的生產(chǎn)，關(guān)鍵就在于能否精確地控制熱場內(nèi)的溫度梯度，形成一個(gè)理想的固液界面條件。
[0005]然而，現(xiàn)有的多晶硅鑄錠爐熱場設(shè)計(jì)存在較大的缺陷，難以獲得合理的溫度分布，很難使固液界面達(dá)到理想狀態(tài)，從而影響了多晶硅錠的品質(zhì)。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)方案:現(xiàn)有的多晶娃鑄淀爐內(nèi)部熱場大多由隔熱籠組件、石墨加熱器、DS散熱塊等零部件組成，在實(shí)際生產(chǎn)過程中，爐內(nèi)溫場通過這些零部件共同作用形成。目前，生產(chǎn)所用的石墨加熱器整體寬度和厚度相同，從而各部位具有相同的供熱能力；坩堝護(hù)板和底板均為等靜壓石墨板，各部位的導(dǎo)熱能力相同；而現(xiàn)用的DS散熱塊呈臺階狀，頂部四周均空出一部分，鑄錠時(shí)空缺部分用與臺階尺寸相同的隔熱保溫條填充；再通過上下移動隔熱籠體，達(dá)到開啟和閉合隔熱籠體的目的，進(jìn)而調(diào)節(jié)爐內(nèi)溫場分布，實(shí)現(xiàn)高效多晶鑄錠過程。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn):現(xiàn)有的多晶娃鑄淀爐內(nèi)部熱場設(shè)計(jì)，由于石墨加熱器各部位供熱能力相同、坩堝護(hù)板和底板各部位的導(dǎo)熱能力相同，而與底板接觸的DS散熱塊和保溫條的導(dǎo)熱能力不同，保溫條具有隔熱保溫的作用，加之坩堝四周和頂部均有供熱能力相同的石墨加熱器供熱，從而導(dǎo)致坩堝四周的溫度高于坩堝中部，使得溫度梯度分布不均，如圖6所示，造成熔化界面和長晶界面中心向上凸起，且中心上凸現(xiàn)象自坩堝頂部到底部越來越明顯，晶體內(nèi)部雜質(zhì)就會偏聚或沉淀，改變晶界的電活性，顯著降低少數(shù)載流子的壽命，極大的影響了聞效多晶娃淀的品質(zhì)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型的目的在于提供一種多導(dǎo)熱底板聞效多晶娃淀鑄淀爐，旨在解決聞效多晶硅錠鑄錠過程中熔化和長晶階段固液界面中心上凸現(xiàn)象，使徑向溫度梯度趨向于零，提升聞效多晶娃淀的品質(zhì)。
[0009]本實(shí)用新型的目的主要通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，包括爐體、設(shè)置在爐體內(nèi)的隔熱籠體、設(shè)置在隔熱籠體內(nèi)的石英坩堝，石英坩堝底面貼附有底板，底板主要由至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部。
[0010]本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理為:由于原有的底板的每個(gè)區(qū)域的散熱能力相同，因此加熱器各部位供熱能力相同的情況下，石英坩堝四周和頂部均有供熱能力相同的石墨加熱器供熱，從而導(dǎo)致坩堝四周的溫度高于石英坩堝中部石英坩堝，使得溫度梯度分布不均。為了解決這個(gè)問題，本實(shí)用新型采用至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成底板，采用導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部的方式形成可在不同區(qū)域?qū)崃坎煌牡装澹?dāng)將上述改進(jìn)后的底板放置在石英坩堝底面后，由于導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部，因此石英坩堝底面中心區(qū)域的散熱效率低下，而石英坩堝周圍區(qū)域?qū)?yīng)導(dǎo)熱系數(shù)大的板體，因此石英坩堝周圍區(qū)域的散熱效率高，這樣使得石英坩堝周圍區(qū)域和熔化速度下降，保證石英坩堝中心區(qū)域的熔化速度増加，如此ー來可使得石英坩堝內(nèi)部的固態(tài)硅料熔化的速度在任何一個(gè)點(diǎn)位的都趨于一致。以達(dá)到溫度梯度分布均勻的目的。
[0011]優(yōu)選的，底板主要由3種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，分別為:板體A、板體B、板體C，板體A的導(dǎo)熱系數(shù)<板體B的導(dǎo)熱系數(shù)<板體C導(dǎo)熱系數(shù)，板體A嵌套在板體B內(nèi)，板體B嵌套在板體C內(nèi)。還可以優(yōu)選的，底板主要由4種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，分別為:板體A、板體B、板體C、板體D，板體A的導(dǎo)熱系數(shù)<板體B的導(dǎo)熱系數(shù)<板體C導(dǎo)熱系數(shù)<板體D導(dǎo)熱系數(shù)，板體A嵌套在板體B內(nèi)，板體B嵌套在板體C內(nèi)，板體C嵌套在板體D內(nèi)。
[0012]底板可以視為導(dǎo)熱系數(shù)最小板體和外圍層疊的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體位于整個(gè)底板的中心區(qū)域，沿著導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體的四周依次層疊設(shè)置若干個(gè)導(dǎo)熱系數(shù)依次増大的板體環(huán)，除導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體外，其余的板體均為環(huán)板結(jié)構(gòu)。外圍層疊的板體可以為矩形環(huán)，也可以為圓形環(huán)，視石英坩堝底面形狀而定。
[0013]優(yōu)選的，導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體中心點(diǎn)與石英坩堝底面中心點(diǎn)對齊。一面出現(xiàn)受熱不均勻的現(xiàn)象。
[0014]還包括設(shè)置在石英坩堝四周面至隔熱籠體區(qū)間的側(cè)面加熱器。
[0015]另外，除了上述解決方法外，本實(shí)用新型的側(cè)面加熱器的電阻自上而下逐步減小。開有對加熱源進(jìn)行改進(jìn)，使得側(cè)面加熱器下部的供熱能力小于上部的供熱能力，輻射到坩堝四周的熱量自上而下也就逐步減少，從而緩解上述現(xiàn)象。
[0016]另外，除了上述解決方法外，側(cè)面加熱器的電阻寬度在石英坩堝頂部指向底板方向上，從上至下寬度逐漸增大，從而導(dǎo)致側(cè)面加熱器的電阻自上而下逐步減小。使得側(cè)面加熱器下部的供熱能力小于上部的供熱能力，輻射到坩堝四周的熱量自上而下也就逐步減少，從而緩解上述現(xiàn)象。
[0017]石英坩堝四周面貼附有護(hù)板。
[0018]護(hù)板靠近底板一端通過絕熱材料板與底板連接。由于石英坩堝外敷的護(hù)板靠近底板一端通過絕熱材料板與底板連接，因此石英坩堝下部的導(dǎo)熱系數(shù)較小，在硅料熔化階段可以減少一部分熱量傳向坩堝，從而縮小坩堝內(nèi)部徑向溫度差，降低坩堝四周硅料的熔化速度，使熔化界面趨于平坦。
[0019]底板遠(yuǎn)離石英坩堝的一端連接有矩形的DS散熱塊。另外，本實(shí)用新型去掉DS散熱塊頂部四周的隔熱保溫條，將原本呈臺階狀的DS散熱塊制作成長方體式樣或正方體式樣，使DS散熱塊整個(gè)頂部均與底板相接觸，坩堝四周的部分熱量則可通過DS散熱塊熱傳導(dǎo)的方式傳遞出去，增加其散熱量，降低坩堝四周的溫度，平衡坩堝內(nèi)部的徑向溫差。以本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)進(jìn)行生產(chǎn)，從而生長出雜質(zhì)含量少、晶粒相對均勻的柱狀晶體，提升高效多晶硅淀的品質(zhì)。
[0020]石英坩堝正上方設(shè)置有頂部加熱器。
[0021]本實(shí)用新型技術(shù)方案帶來的有益效果在于:通過改變側(cè)部加熱器上下各部位的熱量供應(yīng)能力和坩堝四周護(hù)板、底板與DS散熱塊各部位的熱傳導(dǎo)能力，可以有效控制鑄錠爐內(nèi)部的溫場分布，改善熔化和長晶界面中心上凸現(xiàn)象，使固液界面趨于平坦，且有利于長晶過程中雜質(zhì)的排出，從而產(chǎn)出雜質(zhì)含量少、晶粒相對均勻的高效多晶硅錠。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為現(xiàn)有技術(shù)樹禍底板俯視不意圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型提供的坩堝底板俯視示意圖；
[0025]圖4為現(xiàn)有技術(shù)DS散熱塊側(cè)視示意圖；
[0026]圖5為本實(shí)用新型提供的DS散熱塊側(cè)視示意圖；
[0027]圖6為現(xiàn)有技術(shù)硅料熔化界面示意圖；
[0028]圖7為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)中硅料熔化界面示意圖。
[0029]圖中的附圖標(biāo)記分別表示為:1_爐體，2-隔熱籠體，3-護(hù)板，4-石英坩堝，5-硅熔體，6-底板，7-DS散熱塊，8-頂部加熱器，9-固態(tài)硅料，10-側(cè)面加熱器。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。
[0031]實(shí)施例1:
[0032]如圖1至圖7所示。
[0033]一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，包括爐體1、設(shè)置在爐體I內(nèi)的隔熱籠體2、設(shè)置在隔熱籠體2內(nèi)的石英坩堝4，石英坩堝4底面貼附有底板6，底板6主要由至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部。
[0034]本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理為:由于原有的底板的每個(gè)區(qū)域的散熱能力相同，因此加熱器各部位供熱能力相同的情況下，石英坩堝四周和頂部均有供熱能力相同的石墨加熱器供熱，從而導(dǎo)致坩堝四周的溫度高于石英坩堝中部石英坩堝，使得溫度梯度分布不均。為了解決這個(gè)問題，本實(shí)用新型采用至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成底板6，采用導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部的方式形成可在不同區(qū)域?qū)崃坎煌牡装澹?dāng)將上述改進(jìn)后的底板放置在石英坩堝4底面后，由于導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部，因此石英坩堝4底面中心區(qū)域的散熱效率低下，而石英坩堝4周圍區(qū)域?qū)?yīng)導(dǎo)熱系數(shù)大的板體，因此石英坩堝4周圍區(qū)域的散熱效率高，這樣使得石英坩堝4周圍區(qū)域和熔化速度下降，保證石英坩堝4中心區(qū)域的熔化速度増加，如此ー來可使得石英坩堝4內(nèi)部的固態(tài)硅料熔化的速度在任何一個(gè)點(diǎn)位的都趨于一致。以達(dá)到溫度梯度分布均勻的目的。
[0035]實(shí)施例2:
[0036]如圖1至圖7所示。
[0037]本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于，優(yōu)選的，底板6主要由3種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，分別為:板體A、板體B、板體C，板體A的導(dǎo)熱系數(shù)<板體B的導(dǎo)熱系數(shù)<板體C導(dǎo)熱系數(shù)，板體A嵌套在板體B內(nèi)，板體B嵌套在板體C內(nèi)。還可以優(yōu)選的，底板6主要由4種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，分別為:板體A、板體B、板體C、板體D，板體A的導(dǎo)熱系數(shù)<板體B的導(dǎo)熱系數(shù)<板體C導(dǎo)熱系數(shù)<板體D導(dǎo)熱系數(shù)，板體A嵌套在板體B內(nèi)，板體B嵌套在板體C內(nèi)，板體C嵌套在板體D內(nèi)。
[0038]底板6可以視為導(dǎo)熱系數(shù)最小板體和外圍層疊的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體位于整個(gè)底板的中心區(qū)域，沿著導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體的四周依次層疊設(shè)置若干個(gè)導(dǎo)熱系數(shù)依次増大的板體環(huán)，除導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體外，其余的板體均為環(huán)板結(jié)構(gòu)。外圍層疊的板體可以為矩形環(huán)，也可以為圓形環(huán)，視石英坩堝4底面形狀而定。
[0039]優(yōu)選的，導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體中心點(diǎn)與石英坩堝4底面中心點(diǎn)對齊。一面出現(xiàn)受熱不均勻的現(xiàn)象。
[0040]實(shí)施例3:
[0041]如圖1至圖7所示。
[0042]本實(shí)施例在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，還包括設(shè)置在石英坩堝4四周面至隔熱籠體2區(qū)間的側(cè)面加熱器10。
[0043]另外，除了上述解決方法外，本實(shí)用新型的側(cè)面加熱器10的電阻自上而下逐步減小。開有對加熱源進(jìn)行改進(jìn)，使得側(cè)面加熱器下部的供熱能力小于上部的供熱能力，輻射到坩堝四周的熱量自上而下也就逐步減少，從而緩解上述現(xiàn)象。
[0044]另外，除了上述解決方法外，側(cè)面加熱器10的電阻寬度在石英坩堝4頂部指向底板方向上，從上至下寬度逐漸增大，從而導(dǎo)致側(cè)面加熱器10的電阻自上而下逐步減小。使得側(cè)面加熱器下部的供熱能力小于上部的供熱能力，輻射到坩堝四周的熱量自上而下也就逐步減少，從而緩解上述現(xiàn)象。
[0045]實(shí)施例4:
[0046]如圖1至圖7所示。
[0047]本實(shí)施例在實(shí)施例1和實(shí)施例2的基礎(chǔ)上，石英坩堝4四周面貼附有護(hù)板3。
[0048]護(hù)板3靠近底板6 —端通過絕熱材料板與底板6連接。由于石英坩堝外敷的護(hù)板靠近底板6 —端通過絕熱材料板與底板6連接，因此石英坩堝下部的導(dǎo)熱系數(shù)較小，在硅料熔化階段可以減少一部分熱量傳向坩堝，從而縮小坩堝內(nèi)部徑向溫度差，降低坩堝四周硅料的熔化速度，使熔化界面趨于平坦。
[0049]實(shí)施例5:
[0050]如圖1至圖7所示。
[0051]本實(shí)施例在實(shí)施例1和實(shí)施例2的基礎(chǔ)上，底板6遠(yuǎn)離石英坩堝的一端連接有矩形的DS散熱塊7。另外，本實(shí)用新型去掉DS散熱塊頂部四周的隔熱保溫條，將原本呈臺階狀的DS散熱塊制作成長方體式樣或正方體式樣，使DS散熱塊整個(gè)頂部均與底板相接觸，坩堝四周的部分熱量則可通過DS散熱塊熱傳導(dǎo)的方式傳遞出去，增加其散熱量，降低坩堝四周的溫度，平衡坩堝內(nèi)部的徑向溫差。
[0052]實(shí)施例6:
[0053]如圖1至圖7所示。
[0054]本實(shí)施例在實(shí)施例1和實(shí)施例2的基礎(chǔ)上，石英坩堝4正上方設(shè)置有頂部加熱器8。
[0055]實(shí)施例7:
[0056]如圖1至圖7所示。
[0057]本實(shí)用新型的總設(shè)計(jì)方案為:包括爐體、隔熱籠體、護(hù)板、石英坩堝、硅熔體5、底板、DS散熱塊、頂部加熱器、固態(tài)硅料9、側(cè)面加熱器。石英坩堝采用現(xiàn)有的熱場結(jié)構(gòu)生產(chǎn)高效多晶硅錠時(shí)，由于頂部加熱器、側(cè)部加熱器各部位具有相同的供熱能力，坩堝外敷護(hù)板和底板也具有相同的導(dǎo)熱能力，而與底板接觸的DS散熱塊和保溫條的導(dǎo)熱能力不同，DS散熱塊頂部外徑設(shè)置保溫條，保溫條具有隔熱保溫的作用，造成坩堝四周的溫度高于中部，爐內(nèi)徑向溫度梯度較大，固液界面呈波浪式、中心向上突起，且中心上凸現(xiàn)象自坩堝頂部到底部越來越明顯，如圖6所示。這樣一來，石英坩堝底部的結(jié)晶層一開始就存在應(yīng)力，不利于高效多晶硅錠的生長。而本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的熱場結(jié)構(gòu)，由于石英坩堝外敷的護(hù)板3連接絕熱材料板，導(dǎo)熱系數(shù)較小，在硅料熔化階段可以減少一部分熱量傳向坩堝，從而縮小坩堝內(nèi)部徑向溫度差，降低坩堝四周硅料的熔化速度，使熔化界面趨于平坦。同時(shí)坩堝底板6從中心到外圍分別采用導(dǎo)熱系數(shù)不同的材料制成，如圖3所示，導(dǎo)熱系數(shù)A區(qū)〈B區(qū)〈C區(qū)，中心采用導(dǎo)熱系數(shù)較小的材料，減少中心的熱量損失，外圍則采用導(dǎo)熱系數(shù)較大的材料，增強(qiáng)四周的導(dǎo)熱能力，從而緩解熔化界面中心上凸現(xiàn)象。另外，本實(shí)用新型去掉DS散熱塊7頂部四周的隔熱保溫條，將原本呈臺階狀的DS散熱塊制作成長方體式樣，使整個(gè)頂部均與坩堝底板相接觸，坩堝四周的部分熱量則可通過熱傳導(dǎo)的方式傳遞出去，增加其散熱量，降低坩堝四周的溫度，平衡坩堝內(nèi)部的徑向溫差。針對熔化界面中心上凸現(xiàn)象自坩堝頂部到底部越來越明顯，本實(shí)用新型將側(cè)部加熱器10制作成上下寬度、厚度均不一致的樣式，使加熱器的電阻自上而下逐步減小，在同樣的條件下，加熱器下部的供熱能力小于上部的供熱能力，輻射到坩堝四周的熱量自上而下也就逐步減少，從而緩解上述現(xiàn)象，使固液界面進(jìn)一步趨于平坦，如圖7所示，從而生長出雜質(zhì)含量少、晶粒相對均勻的柱狀晶體，提升高效多晶硅錠的品質(zhì)。上述石英坩堝簡稱坩堝。
[0058]上述針對DS散熱塊的改進(jìn)方案、底板的改進(jìn)方案、側(cè)面加熱器的改進(jìn)方案、護(hù)板的改進(jìn)方案均可以單獨(dú)實(shí)施，當(dāng)四個(gè)方案結(jié)合后效果最佳。
[0059]如上則可較好的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
【權(quán)利要求】
1.一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，包括爐體(I)、設(shè)置在爐體(I)內(nèi)的隔熱籠體(2)、設(shè)置在隔熱籠體(2)內(nèi)的石英坩堝(4)，其特征在干:石英坩堝(4)底面貼附有底板(6)，底板(6)主要由至少2種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，導(dǎo)熱系數(shù)小的板體嵌套在導(dǎo)熱系數(shù)大的板體內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ー種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:底板(6)主要由3種不同導(dǎo)熱系數(shù)的板體構(gòu)成，分別為:板體A、板體B、板體C，板體A的導(dǎo)熱系數(shù)<板體B的導(dǎo)熱系數(shù)<板體C導(dǎo)熱系數(shù)，板體A嵌套在板體B內(nèi)，板體B嵌套在板體C內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ー種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:導(dǎo)熱系數(shù)最小的板體中心點(diǎn)與石英坩堝(4)底面中心點(diǎn)對齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:還包括設(shè)置在石英坩堝(4)四周面至隔熱籠體(2)區(qū)間的側(cè)面加熱器(10)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的ー種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:側(cè)面加熱器(10)的電阻自上而下逐步減小。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的ー種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:側(cè)面加熱器(10)的電阻寬度在石英坩堝(4)頂部指向底板方向上，從上至下寬度逐漸増大。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:石英坩堝(4)四周面貼附有護(hù)板(3)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的ー種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:護(hù)板(3)靠近底板(6) —端通過絕熱材料板與底板(6)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在干:底板(6 )遠(yuǎn)離石英坩堝的一端連接有矩形的DS散熱塊(7 )。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的一種多導(dǎo)熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐，其特征在于:石英坩堝(4)正上方設(shè)置有頂部加熱器(8)。
【文檔編號】C30B28/06GK203393257SQ201320501569
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年8月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月16日
【發(fā)明者】林洪峰, 馮媛, 李書森, 劉興翀, 蘭洵, 龍巍, 趙秀生 申請人:天威新能源控股有限公司