單晶爐夾取裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶爐裝置【技術領域】,特別涉及單晶爐夾取裝置。利用升降桿的上部套裝有一機械手,該機械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸;所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接;所述機械手底部設有一固定桿,該固定桿起點連接手臂尾端底部,終點連接液壓缸底部;位于手臂與連桿之間的固定桿上設有一通孔;所述升降桿的下部設有兩個擋塊;使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會斷裂,從而保證了操作的安全;而機械手夾取時,方便快捷并且現成本低,提高了工作效率。
【專利說明】單晶爐夾取裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶爐裝置【技術領域】,特別涉及單晶爐夾取裝置。
【背景技術】
[0002]目前將單晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人員帶上手套,用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式不僅存在危險性,而且單晶硅晶棒的破裂強度與抗拉強度均較小,且晶棒在下降過程中存在一定的晃動,因此晶棒很容易出現斷裂,以及人工操作隨意性交大,效率緩慢。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種方便快捷且安全的單晶爐夾取裝置。
[0004]實現本實用新型的技術方案如下:
[0005]單晶爐夾取裝置,包括機架和升降桿;所述機架上固定有上下兩塊夾持板;所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔;所述升降桿底部連有油缸;所述升降桿的上部套裝有一機械手,該機械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸;所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接;所述機械手底部設有一固定桿,該固定桿起點連接手臂尾端底部,終點連接液壓缸底部;位于手臂與連桿之間的固定桿上設有一通孔;所述升降桿的下部設有兩個擋塊。
[0006]所述升降桿與兩個擋塊的連接處各開有一個環(huán)形凹槽,所述兩個擋塊的一端套在環(huán)形凹槽上,使擋塊與升降桿活動連接。方便將擋塊固定在升降桿上
[0007]所述手臂包括兩個豎桿與橫桿形成“卜”字形的夾取桿、以及固定夾取桿的底座;所述兩個夾取桿通過橫桿上的螺孔水平連接于底座上。利用“卜”字形夾取單晶硅晶棒更牢固。
[0008]本實用新型的有益效果是:機架放置于地面上,用發(fā)動機械手夾住單晶硅晶棒的上部,再將兩個擋塊一左一右夾持住晶棒下部,隨后松開兩塊夾持板,在利用底部的油缸推動升降桿上升,從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出,同時取出晶棒時不會抖動,使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會斷裂,從而保證了操作的安全;而機械手夾取時,方便快捷并且成本低,又提高了工作效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]通過下面結合附圖的詳細描述,本實用新型前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點將變得顯而易見。
[0010]其中:圖1為實用新型結構示意圖;
[0011]圖2為本實用新型升降桿結構示意圖;
[0012]圖3為本實用新型手臂結構示意圖;
[0013]附圖中,I為機架,2為升降桿,3為夾持板,4為油缸,5為機械手,6為手臂,7為液壓缸,8為連桿,9為固定桿,10為通孔,11為擋塊,12為環(huán)形凹槽,13為夾取桿,14為底座,15為豎桿,16為橫桿。
【具體實施方式】
[0014]參見圖1-圖4所示,單晶爐夾取裝置,包括機架I和升降桿2 ;所述機架上固定有上下兩塊夾持板3 ;所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔;所述升降桿底部連有油缸4 ;所述升降桿的上部套裝有一機械手5,該機械手包括前端安裝的手臂6、以及末端安裝的液壓缸7 ;所述液壓缸和手臂之間通過連桿8連接;所述機械手底部設有一固定桿9,該固定桿起點連接手臂尾端底部,終點連接液壓缸底部;位于手臂與連桿之間的固定桿上設有一通孔10 ;所述升降桿的下部設有兩個擋塊11。
[0015]利用機械手,升降桿的下部設有兩個擋塊,以及升降桿底部連有油缸。使用時將機架放置于單晶爐旁的地面上,用打開液壓缸,推動機械手夾住單晶硅晶棒的上部,隨后將兩個擋塊左右轉動,夾持住單晶硅晶棒的下部,使其不會晃動,隨后松開兩塊夾持板,并用油缸推動升降桿上升,從而取出單晶硅晶棒這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出,并且可以保證操作人員的安全,同時取出晶棒時不會抖動,使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐,從而保證了單晶硅晶棒的質量;而利用機械手代替人工操作不僅安全而且操作方便有效快捷,大大提高了勞動效率。
[0016]優(yōu)選的,參見圖2所示,升降桿2與兩個擋塊11的連接處各開有一個環(huán)形凹槽12,所述兩個擋塊的一端套在環(huán)形凹槽12上,使擋塊與升降桿活動連接。方便將擋塊固定在升降桿上。
[0017]優(yōu)選的,參見圖3-圖4所示,手臂包括兩個豎桿15與橫桿16形成“卜”字形的夾取桿13、以及固定夾取桿的底座14 ;所述兩個對稱的夾取桿13通過橫桿上的螺孔水平連接于底座14上。利用“卜”字形夾取單晶硅晶棒更牢固。
【權利要求】
1.單晶爐夾取裝置,包括機架和升降桿;所述機架上固定有上下兩塊夾持板;所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔;所述升降桿底部連有油缸;其特征在于,所述升降桿的上部套裝有一機械手,該機械手包括前端安裝的手臂、以及末端安裝的液壓缸;所述液壓缸和手臂之間通過連桿連接;所述機械手底部設有一固定桿,該固定桿起點連接手臂尾端底部,終點連接液壓缸底部;位于手臂與連桿之間的固定桿上設有一通孔;所述升降桿的下部設有兩個擋塊。
2.根據權利要求1所述的單晶爐夾取裝置,其特征在于,所述升降桿與兩個擋塊的連接處各開有一個環(huán)形凹槽,所述兩個擋塊的一端套在環(huán)形凹槽上,使擋塊與升降桿活動連接。
3.根據權利要求1所述的單晶爐夾取裝置,其特征在于,所述手臂包括兩個豎桿與橫桿形成“卜”字形的夾取桿、以及固定夾取桿的底座;所述兩個夾取桿通過橫桿上的螺孔水平連接于底座上。
【文檔編號】C30B35/00GK203728965SQ201320825397
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年12月12日 優(yōu)先權日:2013年12月12日
【發(fā)明者】潘燕萍 申請人:常州市天龍光電設備有限公司