低頻消磁減震減噪防護(hù)罩的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，包括呈六面體形的方形柜體，方形柜體的外表面上設(shè)置有一層由導(dǎo)磁材料制成磁屏蔽層；方形柜體的側(cè)壁上設(shè)置有柜門；柜門的門邊處設(shè)置有多個(gè)波導(dǎo)口；方形柜體的內(nèi)壁面為多孔鋁板；多孔鋁板和磁屏蔽層之間設(shè)置有高分子吸音材料制成的吸音層；方形柜體的頂面設(shè)置有多個(gè)通風(fēng)口，每個(gè)通風(fēng)口內(nèi)均嵌設(shè)有排風(fēng)扇。本發(fā)明的用于置放電子顯微鏡的抗干擾密封柜，具有可有效保證電子顯微鏡等精密設(shè)備不受外界電磁和噪聲環(huán)境干擾、提高檢測精度、便于小型化、移動(dòng)方便、成本低且外形美觀大方等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】低頻消磁減震減噪防護(hù)罩
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，用于需要對外界磁場、震動(dòng)和噪聲進(jìn)行防護(hù)、消除或者減弱的電子顯微鏡(EMS)、光刻機(jī)、核磁共振(MRI)等精密設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]電子顯微鏡是高速電子在電磁透鏡作用下成像的，通常在數(shù)萬倍甚至一百萬倍下進(jìn)行觀察。電子顯微鏡由于其直觀、便捷等特點(diǎn)，在材料、生命科學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
[0003]由于在電子顯微鏡鏡筒中飛行的帶電粒子束極易受到外界干擾，從而使得到的圖像扭曲變形，各種類型的電子顯微鏡對周圍環(huán)境如磁場、振動(dòng)以及噪聲都有一定的要求。磁場、震動(dòng)以及噪聲雖然不會(huì)使電子顯微鏡本身受到損壞，但是都會(huì)干擾帶電粒子束的正常運(yùn)動(dòng)軌跡，影響電子顯微鏡的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，使其不能達(dá)到應(yīng)有的精度。
[0004]不同廠家的電子顯微鏡對周圍環(huán)境的要求是不同的。即使是同一廠家但型號(hào)不同的電子顯微鏡對周圍環(huán)境的要求也是不同的，沒有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。電子顯微鏡廠商都會(huì)在安裝電子顯微鏡之前，對將要安裝電子顯微鏡的場地進(jìn)行專門檢測。如果周圍環(huán)境不能符合要求，則應(yīng)該采取適當(dāng)措施解決或改善。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，一般都需要建立電子顯微鏡專用的密封房間，但是這種現(xiàn)有的密封房間一般都是不可移動(dòng)的建筑物，且占地面積較大，建筑成本較高；且房間的開門處容易存在縫隙，容易導(dǎo)致磁力線外泄，從而影響電子顯微鏡的檢測精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是為避免上述已有技術(shù)中存在的不足之處，提供一種低頻消磁減震減噪防護(hù)，用于電子顯微鏡等精密設(shè)備對外界低頻磁場、震動(dòng)和噪聲干擾的防護(hù)，以確保電子顯微鏡的工作環(huán)境的密封性、提高被防護(hù)設(shè)備的檢測精度和使用性能。
[0007]本發(fā)明為解決技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案。
[0008]低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，包括呈六面體形的方形柜體，所述方形柜體的外表面上設(shè)置有一層由導(dǎo)磁材料制成磁屏蔽層；所述方形柜體的側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)向外打開的柜門，所述柜門上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)門把手；所述柜門的門邊處設(shè)置有多個(gè)波導(dǎo)口 ；
[0009]所述方形柜體的內(nèi)壁面為多孔鋁板；所述多孔鋁板和所述磁屏蔽層之間設(shè)置有高分子吸音材料制成的吸音層；所述方形柜體的頂面設(shè)置有多個(gè)通風(fēng)口，所述多個(gè)通風(fēng)口的每一個(gè)通風(fēng)口內(nèi)均嵌設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇。
[0010]本發(fā)明低頻消磁減震減噪防護(hù)罩的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)也在于:
[0011 ] 所述柜門的下部設(shè)置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)口，所述進(jìn)風(fēng)口上設(shè)置有過濾網(wǎng)。
[0012]所述方形柜體的底板上設(shè)置有用于通過螺栓將所述方形柜體固定于地面上的螺栓孔。[0013]所述方形柜體的底板上設(shè)置有波導(dǎo)口，所述波導(dǎo)口內(nèi)設(shè)置有波導(dǎo)口軟塞。
[0014]在所述方形柜體內(nèi)配置有一套主動(dòng)式低頻消磁器。
[0015]與已有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果體現(xiàn)在:
[0016]本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩具有以下幾個(gè)方面的技術(shù)特點(diǎn)。
[0017]I)保證電子顯微鏡不受外界電磁和噪聲環(huán)境干擾，減少外界震動(dòng)環(huán)境干擾；
[0018]2)可以保持原房間的基本設(shè)置，不因二次裝修造成浪費(fèi)，完全避免了對建筑整體結(jié)構(gòu)的損傷；
[0019]3)體積小型化(僅為現(xiàn)行磁屏蔽體積的二十到三十分之一)，改現(xiàn)場施工為工廠加工和現(xiàn)場快速裝配。體積小型化的另一優(yōu)勢為大大減少對寶貴的室內(nèi)面積占用(一體化方案本身對室內(nèi)面積的占用僅為現(xiàn)行磁屏蔽方案的十到十五分之一);
[0020]4)產(chǎn)品模塊化，可以根據(jù)不同需要靈活組合搭配；
[0021]5)性價(jià)比提高，絕對價(jià)格下降，降低用戶購置成本。據(jù)測算，單一磁屏蔽模式的價(jià)格約為現(xiàn)行磁屏蔽價(jià)格的三分之一；組合了減震和消音的功能后價(jià)格更是降低到現(xiàn)行環(huán)境改善方案的五分之一以下；
[0022]6)外形美觀大方。產(chǎn)品為立方體箱式結(jié)構(gòu)，周圍四面均有活動(dòng)門以方便操作和維修。外表為靜電噴涂烤漆。
[0023]本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，用于電子顯微鏡、光刻機(jī)、核磁共振等需要消磁、減震、減噪的精密儀器類，具有可有效保證電子顯微鏡不受外界低頻磁場、震動(dòng)噪聲的干擾、提高設(shè)備的檢測精度和性能、便于小型化、移動(dòng)方便、成本低且外形美觀大方等優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1為本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩的主視圖。
[0025]圖2為本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩俯視圖。
[0026]圖3為本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩的內(nèi)部示意圖。
[0027]圖4為本發(fā)明的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩的底板和側(cè)壁的斷面圖。
[0028]圖1?圖4中標(biāo)號(hào)為:1方形柜體，2磁屏蔽層，3吸音層，4多孔鋁板，5柜門，6門把手，7波導(dǎo)口，8通風(fēng)口，9排風(fēng)扇，10底板，11電子顯微鏡底座，12電子顯微鏡，13進(jìn)風(fēng)口，14過濾網(wǎng)，15螺栓孔，16波導(dǎo)口軟塞，17減震裝置。
[0029]以下通過【具體實(shí)施方式】，并結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
【具體實(shí)施方式】
[0030]參見圖1?圖4，低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其包括呈六面體形的方形柜體1，所述方形柜體I的外表面上設(shè)置有一層由導(dǎo)磁材料制成磁屏蔽層2 ;所述方形柜體I的側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)向外打開的柜門5，所述柜門5上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)門把手6 ;所述柜門5的門邊處設(shè)置有多個(gè)波導(dǎo)口 7 ；
[0031]所述方形柜體I的內(nèi)壁面為多孔鋁板4 ;所述多孔鋁板4和所述磁屏蔽層2之間設(shè)置有高分子吸音材料制成的吸音層3 ;所述方形柜體I的頂面設(shè)置有多個(gè)通風(fēng)口 8，所述多個(gè)通風(fēng)口 8的每一個(gè)通風(fēng)口 8內(nèi)均嵌設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇9。
[0032]所述柜門5的下部設(shè)置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)口 13，所述進(jìn)風(fēng)口 13上設(shè)置有過濾網(wǎng)14。[0033]所述方形柜體I的底板10上設(shè)置有用于通過螺栓將所述方形柜體I固定于地面上的螺栓孔15。
[0034]所述方形柜體I的底板10上設(shè)置有波導(dǎo)口 7，所述波導(dǎo)口 7內(nèi)設(shè)置有波導(dǎo)口軟塞16。
[0035]在所述方形柜體I內(nèi)配置有一套主動(dòng)式低頻消磁器，用于消除NEAR DC、準(zhǔn)直流磁場(又稱直流磁場)。
[0036]方形柜體的底板、頂板和側(cè)壁均包括有三層，最外層為導(dǎo)磁材料制成的磁屏蔽層，中間層為吸音材料制成的殼體作為吸音層，最內(nèi)層為用于降低環(huán)境噪音的多孔鋁板。側(cè)壁上設(shè)置有外開的柜門，可方便電子顯微鏡的操作、維修和維護(hù)等工作的進(jìn)行。外開門使得開門關(guān)門不影響柜門內(nèi)的設(shè)備工作。吸音材料主要為高分子材料石棉等，其它如軟塞等，也是高分子材料。所述方形柜體I用于放置電子顯微鏡等設(shè)備的空間，電子顯微鏡12和電子顯微鏡底座11為電子顯微鏡部分，所述的底部通過減震裝置17設(shè)置于所述方形柜體I的底板10上。
[0037]為方便電子顯微鏡的操作、維修和維護(hù)，可在方形柜體的一個(gè)側(cè)壁或多個(gè)側(cè)壁上開設(shè)柜門。方形柜體的外表為靜電噴涂烤漆的烤漆層。
[0038]長、寬、高一般為1.2?3.Sm，根據(jù)設(shè)備確定，開門把手位置及開門方向亦由設(shè)備確定。
[0039]在開門處、進(jìn)風(fēng)口和通風(fēng)口及底板上，設(shè)置有多處波導(dǎo)口，可以確保屏蔽體內(nèi)的磁力線不會(huì)外溢。
[0040]根據(jù)低頻電磁屏蔽的特殊機(jī)理(針對低頻電磁場的磁場分量采用并聯(lián)磁路分流)，采用導(dǎo)磁性材料，為設(shè)備度身定做一個(gè)密閉的矩形六面體，可以將低頻電磁干擾降低到原有的二十分之一以下。全部開孔和各門與框架的接合處均為波導(dǎo)口，可以確保屏蔽體內(nèi)的磁力線不會(huì)外溢。全部開孔和各門與框架的接合處均為波導(dǎo)口。
[0041]特殊處理的矩形六面體底面確保不會(huì)將矩形六面體的諧振傳導(dǎo)到電子顯微鏡上去，必要時(shí)還可以加上磁力減震模塊，以改善震動(dòng)環(huán)境；也可以加上主動(dòng)式低頻消磁器用于消除或者減少NEAR DC、準(zhǔn)直流磁場(又稱直流磁場)。
[0042]密閉的矩形六面體內(nèi)表面為多孔鋁板，其內(nèi)部還有高分子吸音材料，可以將環(huán)境噪聲降低18?28分貝，改善噪聲環(huán)境。
【權(quán)利要求】
1.低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其特征是，包括呈六面體形的方形柜體(I)，所述方形柜體(I)的外表面上設(shè)置有一層由導(dǎo)磁材料制成磁屏蔽層(2);所述方形柜體(I)的側(cè)壁上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)向外打開的柜門(5),所述柜門(5)上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)門把手(6);所述柜門(5)的門邊處設(shè)置有多個(gè)波導(dǎo)口(7)。 所述方形柜體(I)的內(nèi)壁面為多孔鋁板(4);所述多孔鋁板(4)和所述磁屏蔽層(2)之間設(shè)置有高分子吸音材料制成的吸音層(3);所述方形柜體(I)的頂面設(shè)置有多個(gè)通風(fēng)口(8),所述多個(gè)通風(fēng)口(8)的每一個(gè)通風(fēng)口(8)內(nèi)均嵌設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其特征是，所述柜門(5)的下部設(shè)置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)口(13)，所述風(fēng)口(13)上設(shè)置有過濾網(wǎng)(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其特征是，所述方形柜(I)的底板(10)上設(shè)置有用于通過螺栓將所述方形柜體(I)固定于地面上的螺栓孔(15)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其特征是，所述方形柜體(I)的底板(10 )上設(shè)置有波導(dǎo)口( 7 )，所述波導(dǎo)口( 7 )內(nèi)設(shè)置有波導(dǎo)口軟塞(16 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低頻消磁減震減噪防護(hù)罩，其特征是，在所述方形柜體(I)內(nèi)配置有一套主動(dòng)式低頻消磁器。
【文檔編號(hào)】H05K9/00GK103796465SQ201410080776
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2014年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月6日
【發(fā)明者】張小建 申請人:安徽建永商貿(mào)有限公司