一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，包括：穩(wěn)壓源、繼電器I、動力裝置I、繼電器II、動力裝置II、傳動裝置、限位裝置、電源裝換裝置、啟動裝置，所述繼電器I與繼電器II通過穩(wěn)壓源連接于380V市電，繼電器I與繼電器II分別連接于動力裝置I與動力裝置II，動力裝置I與動力裝置II并聯(lián)連接，動力裝置I與動力裝置II通過傳動裝置連接于反應室上蓋，啟動裝置連接于繼電器I、繼電器II與穩(wěn)壓源之間，啟動裝置通過限位裝置、電源裝換裝置連接控制繼電器I、繼電器II。本發(fā)明可以將設備維護由之前的三個工程師減少到一個工程師，減輕了工作量，提高了工作效率，降低人工成本；另外，本發(fā)明有效避免了在操作叉車是帶來的各種工作失誤，提高了設備的稼動率。
【專利說明】一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體制造【技術領域】，具體為一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在半導體制造行業(yè)，現(xiàn)有的設備在生長一段時間后，需要對制程腔體進行徹底清理，以維持工藝環(huán)境及保證腔體壓力，目前主要是通過外置叉車將上蓋進行打開，這樣操作，主要存在兩個方面的問題:1、每次維護至少需要三名設備工程師同時操作，反應室上蓋過重約200千克；2、進場出現(xiàn)由于叉車不易控制將氣體管道撞彎或撞斷，需要對管道進行修復，往往設備只能停機等待，造成設備的稼動率較低。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明所解決的技術問題在于提供一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，以解決上述【背景技術】中的問題。
[0004]本發(fā)明所解決的技術問題采用以下技術方案來實現(xiàn):一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，包括:穩(wěn)壓源、繼電器1、動力裝置1、繼電器I1、動力裝置I1、傳動裝置、限位裝置、電源裝換裝置、啟動裝置，所述繼電器I與繼電器II通過穩(wěn)壓源連接于380V市電，繼電器I與繼電器II分別連接于動力裝置I與動力裝置II，動力裝置I與動力裝置II并聯(lián)連接，動力裝置I與動力裝置II通過傳動裝置連接于反應室上蓋，啟動裝置連接于繼電器1、繼電器II與穩(wěn)壓源之間，啟動裝置通過限位裝置、電源裝換裝置連接控制繼電器1、繼電器II。
[0005]所述傳動裝置為傳動鏈條。
[0006]所述限位裝置為行程開關。
[0007]所述電源轉換裝置為24V電源轉換裝置。
[0008]與已公開技術相比，本發(fā)明存在以下優(yōu)點:本發(fā)明可以將設備維護由之前的三個工程師減少到一個工程師，減輕了工作量，提高了工作效率，降低人工成本；另外，本發(fā)明有效避免了在操作叉車是帶來的各種工作失誤，提高了設備的稼動率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]為了使本發(fā)明的技術手段、創(chuàng)作特征、工作流程、使用方法達成目的與功效易于明白了解，下面將結合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0011]一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，包括:穩(wěn)壓源、繼電器1、動力裝置1、繼電器I1、動力裝置I1、傳動裝置、限位裝置、電源裝換裝置、啟動裝置，所述繼電器I與繼電器II通過穩(wěn)壓源連接于380V市電，繼電器I與繼電器II分別連接于動力裝置I與動力裝置II，動力裝置I與動力裝置II并聯(lián)連接，動力裝置I與動力裝置II通過傳動裝置連接于反應室上蓋，啟動裝置連接于繼電器1、繼電器II與穩(wěn)壓源之間，啟動裝置通過限位裝置、電源裝換裝置連接控制繼電器1、繼電器II。
[0012]具體地,所述傳動裝置為傳動鏈條。
[0013]具體地，所述限位裝置為行程開關。
[0014]具體地，所述電源轉換裝置為24V電源轉換裝置。
[0015]本發(fā)明的工作原理為:由市電(380V)提供電源給伺服電機，伺服電機將通過傳動裝置，將能量轉換成上下運動的勢能，通過傳動裝置將反應室升起，當升起一定高度時(方便維護)將會碰到限位裝置(行程開關)，限位開關發(fā)出信號通過繼電器傳遞給控制按鈕，按鈕自動斷開，下降主要是通過另外一個伺服電機執(zhí)行，當碰到下面的限位裝置時，將停止動作。
[0016]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征及本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內。本發(fā)明的要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，包括:穩(wěn)壓源、繼電器1、動力裝置1、繼電器I1、動力裝置I1、傳動裝置、限位裝置、電源裝換裝置、啟動裝置，其特征在于:所述繼電器I與繼電器II通過穩(wěn)壓源連接于380V市電，繼電器I與繼電器II分別連接于動力裝置I與動力裝置II，動力裝置I與動力裝置II并聯(lián)連接，動力裝置I與動力裝置II通過傳動裝置連接于反應室上蓋，啟動裝置連接于繼電器1、繼電器II與穩(wěn)壓源之間，啟動裝置通過限位裝置、電源裝換裝置連接控制繼電器1、繼電器II。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，其特征在于:所述傳動裝置為傳動鏈條。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，其特征在于:所所述限位裝置為行程開關。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種反應室腔體上蓋起降系統(tǒng)，其特征在于:所所述電源轉換裝置為24V電源轉換裝置。
【文檔編號】B66F19/00GK103818861SQ201410091110
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2014年3月12日 優(yōu)先權日:2014年3月12日
【發(fā)明者】林長軍 申請人:合肥彩虹藍光科技有限公司