藍寶石單晶爐的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明藍寶石單晶爐，包括：機架、腔體、旋轉機構、運動機構、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中機架包括：底架，在底架上設有安裝孔，腔體設置在安裝孔內；底板，底板設置在底架的下方，底架通過鎖緊螺釘與底板連接；調節(jié)螺釘及調節(jié)螺母，調節(jié)螺釘及調節(jié)螺母設置在底板上；立柱，立柱設置在底架的一側，旋轉機構設置在立柱的上端面；運動機構與旋轉機構連接；橫梁，橫梁設置在底架上，控制柜通過螺釘固定在橫梁上。本發(fā)明藍寶石單晶爐將設備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運輸到使用場所，減少在安裝場地的工作量，縮短安裝、調整的時間，快速進入工作狀態(tài)，提高效率。
【專利說明】藍寶石單晶爐

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體生產領域，特別是一種藍寶石單晶爐。

【背景技術】
[0002]藍寶石晶體具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性，強度高、硬度大、耐腐蝕，可在接近2000°C高溫的惡劣條件下工作，因而得到廣泛的應用。是半導體發(fā)光二極管(LED)，大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導納米結構薄膜等最為理想的襯底材料。
[0003]藍寶石單晶爐是針對藍寶石晶體的廣泛應用而開發(fā)的晶體生長設備。傳統(tǒng)的藍寶石單晶爐是把設備的幾個組成部分拼合、擺放在一起組成一臺設備，缺乏統(tǒng)一的安裝平臺來整體布局，造成安裝時工作量相對較大，對安裝人員的技術水平要求高，輔助設備占用率高，效率低。


【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明提供了一種方便裝配及運輸的藍寶石單晶爐。
[0005]為解決上述技術問題，本發(fā)明藍寶石單晶爐，包括:機架、腔體、旋轉機構、運動機構、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中所述機架包括:底架，在所述底架上設有安裝孔，所述腔體設置在所述安裝孔內；底板，所述底板設置在所述底架的下方，所述底架通過鎖緊螺釘與所述底板連接；調節(jié)螺釘及調節(jié)螺母，所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母設置在所述底板上；立柱，所述立柱設置在所述底架的一側，所述旋轉機構設置在所述立柱的上端面；所述運動機構與所述旋轉機構連接；橫梁，所述橫梁設置在所述底架上，所述控制柜通過螺釘固定在所述橫梁上。
[0006]所述底板、所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母的數量為四個，四個所述底板、所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母的數量為四個分別設置在所述底板的四個角。
[0007]所述旋轉機構包括:底座,所述底座為一貫通的柱體,所述底座的一端插入所述立柱內；轉軸，所述轉軸穿設于所述底座，所述轉軸的兩端分別伸出所述底座的兩端；支座，所述支座通過螺釘設置在所述轉軸上部。
[0008]在所述底座上、下兩端的內壁上分別環(huán)接有襯套。
[0009]在所述襯套上設有油槽。
[0010]所述設有油槽為半圓形環(huán)形。
[0011]在所述轉軸插入所述立柱內的一端的末端設有擋圈。
[0012]本發(fā)明藍寶石單晶爐將設備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運輸到使用場所，減少在安裝場地的工作量，縮短安裝、調整的時間，快速進入工作狀態(tài)，提高效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明藍寶石單晶爐結構示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明藍寶石單晶爐機架結構示意圖；
[0015]圖3為本發(fā)明藍寶石單晶爐旋轉機構結構示意圖。
[0016]本發(fā)明藍寶石單晶爐附圖中附圖標記說明:
[0017]1-底板2-底架3-橫梁
[0018]4-立柱5-鎖緊螺釘6-調節(jié)螺釘
[0019]7-調節(jié)螺母8-安裝孔9-底座
[0020]10-轉軸11-襯套12-支座
[0021]13-螺釘14-擋圈15-機架
[0022]16-腔體17-旋轉機構18-運動機構
[0023]19-電源20-控制柜21-水冷系統(tǒng)

【具體實施方式】
[0024]下面結合附圖對本發(fā)明藍寶石單晶爐作進一步詳細說明。
[0025]如圖1?圖3所示，本發(fā)明藍寶石單晶爐的機架15，按預定位置將四塊底板I用地腳螺栓固定在地基上，將底架2按裝配關系放置在底板I之上，然后用調節(jié)螺釘6和調節(jié)螺母7調整底架2水平度，最后用鎖緊螺釘13固定好底架2的位置。
[0026]將立柱4裝入底架2的一側，用螺栓固定，其上端用于安裝旋轉及運動機構18。再將橫梁3裝入底架2，并固定，實現(xiàn)電氣控制系統(tǒng)的固定。同時，底架2上中空的安裝孔8安裝平面用于安裝設備的腔體16部分。
[0027]旋轉機構17包括:形狀為一貫通的柱體的底座9，底座9的一端插入立柱4內。在底座9的兩端的開口處分別裝入滑動襯套11，在滑動襯套11的半圓形環(huán)形油槽(圖中未示出)中涂少量潤滑脂。然后將轉軸10裝入兩個滑動襯套11中，并貫穿整個底座9。同時，在轉軸10插入立柱4內的一端的末端設有擋圈14。此時，通過底座9及其上的襯套11能保證轉軸10的旋轉平穩(wěn)，無卡阻現(xiàn)象。并且具備足夠的抵抗變形的能力。
[0028]然后，將支座12安裝在轉軸10上部，并通過螺釘13固定。再將運動機構18安裝通過支座12連接在轉軸10上，可實現(xiàn)大角度旋轉，并使設備結構得以簡化，降低空間尺寸，使設備進一步小型化、輕量化。
[0029]最后，在機架15上安裝腔體16，用螺釘緊固；在機架15橫梁3上安裝控制柜20，用螺釘緊固；電源電極板與腔體16上安裝的電極位置對正，固定電源19位置；根據進、排水主管位置確定水冷系統(tǒng)21匯水排方向，在設備占地面積范圍內。
[0030]本發(fā)明藍寶石單晶爐將設備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運輸到使用場所，減少在安裝場地的工作量，縮短安裝、調整的時間，快速進入工作狀態(tài)，提高效率。
[0031]以上已對本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明，但本發(fā)明創(chuàng)造并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。
【權利要求】
1.藍寶石單晶爐，其特征在于，包括機架、腔體、旋轉機構、運動機構、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中 所述機架包括: 底架，在所述底架上設有安裝孔，所述腔體設置在所述安裝孔內； 底板，所述底板設置在所述底架的下方，所述底架通過鎖緊螺釘與所述底板連接； 調節(jié)螺釘及調節(jié)螺母，所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母設置在所述底板上； 立柱，所述立柱設置在所述底架的一側，所述旋轉機構設置在所述立柱的上端面；所述運動機構與所述旋轉機構連接； 橫梁，所述橫梁設置在所述底架上，所述控制柜通過螺釘固定在所述橫梁上。
2.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，所述底板、所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母的數量為四個，四個所述底板、所述調節(jié)螺釘及所述調節(jié)螺母的數量為四個分別設置在所述底板的四個角。
3.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，所述旋轉機構包括: 底座，所述底座為一貫通的柱體，所述底座的一端插入所述立柱內； 轉軸，所述轉軸穿設于所述底座，所述轉軸的兩端分別伸出所述底座的兩端； 支座，所述支座通過螺釘設置在所述轉軸上部。
4.根據權利要求3所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，在所述底座上、下兩端的內壁上分別環(huán)接有襯套。
5.根據權利要求4所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，在所述襯套上設有油槽。
6.根據權利要求5所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，所述設有油槽為半圓形環(huán)形。
7.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐，其特征在于，在所述轉軸插入所述立柱內的一端的末端設有擋圈。
【文檔編號】C30B29/20GK104278325SQ201410490325
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年9月23日 優(yōu)先權日:2014年9月23日
【發(fā)明者】宋奇 申請人:上海朗兆機電設備有限公司