一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，包括矩形波導諧振腔，載氣模塊，調節(jié)模塊，光路模塊，電路控制系統(tǒng)，維持氣控制系統(tǒng)，樣品載氣控制系統(tǒng)。本發(fā)明提供了一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，激發(fā)能量可以從200瓦到數千瓦，在電路控制系統(tǒng)的作用下，微波能量在諧振腔中將通過的載氣電離形成等離子體，這種等離子體含有樣品光譜信息并可以通過光路模塊傳遞出來，以實現(xiàn)對介質氣中的物質進行分析的目的。
【專利說明】一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及精密分析儀器領域，尤其涉及一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝 置。

【背景技術】
[0002] 矩形波導是某一形式的電磁波在金屬諧振腔中進行能量傳遞的裝置。以微波頻段 在金屬矩形腔中進行能量交換就是矩形微波諧振，它可以提供很高的能量，例如：家用的微 波爐、商用的微波加熱、烘干設備等，就是利用微波在金屬矩形腔中的諧振產生能量為人們 服務。上述的這些舉例中的設備對微波能量的許多技術參數，例如微波能量穩(wěn)定性等，要求 并不高。作為儀器分析使用的微波目前僅限于在同軸諧振腔內諧振產生等離子體，它的激 發(fā)能量受到了限制（一般小于200瓦）。鑒于科學的進步與發(fā)展，探索儀器分析使用的高能 量、高穩(wěn)定性微波等離子體的發(fā)生成為必然。


【發(fā)明內容】

[0003] 為了解決上述現(xiàn)有技術中存在的缺陷，本發(fā)明提供了一種矩形波導微波等離子體 源發(fā)生裝置，激發(fā)能量可以達到數千瓦，在電路控制系統(tǒng)的作用下，微波能量在諧振腔中將 通過的載氣電離形成等離子體，這種等離子體含有樣品光譜信息并可以通過光路模塊傳遞 出來，以實現(xiàn)對介質氣中的物質進行分析的目的。
[0004] 為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，包括：
[0005] 矩形波導諧振腔；
[0006] 電路控制系統(tǒng)，連接于所屬矩形波導諧振腔的一側端面上，用于將微波能量輸送 到矩形波導諧振腔中；
[0007] 載氣模塊，包括連接至維持氣控制系統(tǒng)并將維持氣輸送至矩形波導諧振腔內的維 持氣輸送通道，以及連接至樣品載氣控制系統(tǒng)并將樣品載氣輸送至矩形波導諧振腔內的樣 品載氣輸送通道；
[0008] 光路模塊，用于將維持氣與樣品載氣的混合氣在矩形波導諧振腔內受微波激發(fā)產 生微波等離子體時所發(fā)出的光信號導出至分析儀器；
[0009] 維持氣控制系統(tǒng)，用于向矩形波導諧振腔內提供維持氣；
[0010] 樣品載氣控制系統(tǒng)，用于向矩形波導諧振腔內提供樣品載氣。
[0011] 所述矩形波導諧振腔滿足以下條件：
[0012] a= 0? 7 入，b=a/2, 1 =入 /2，入=122. 2mm，
[0013] 其中a、b、1分別為矩形波導諧振腔的寬、高、長，A為波導波長。
[0014] 所述載氣模塊，包括在所述矩形波導諧振腔的上、下端面中心位置貫通設置的石 英外管，所述樣品載氣輸送通道以及所述維持氣輸送通道連接至所述石英外管內。
[0015] 所述石英外管的下端設置有柱塞，所述維持氣輸送通道及所述樣品載氣輸送通道 開設在所述柱塞內；所述樣品載氣輸送通道內設置有與所述電路控制系統(tǒng)相關聯(lián)以完成耦 合探針功能的導氣銅管，所述導氣銅管與所述石英外管同軸并向上延伸至所述矩形波導諧 振腔的內部。
[0016] 所述光路模塊靠近所述矩形波導諧振腔內部的中心點，包括由同軸設置的三個凸 透鏡組成的透鏡組以及用于安裝所述透鏡組的透鏡基座；所述透鏡組，包括靠近所述中心 點并將點光源折射形成平行光的第一凸透鏡，與第一凸透鏡相鄰并將平行光匯聚形成點光 源的第二凸透鏡，以及與第二凸透鏡相鄰并將點光源折射形成平行光的第三凸透鏡。
[0017] 所述第一凸透鏡、第二凸透鏡的直徑①為12cm，焦距f為6cm;所述第三透鏡直徑 ①為6cm，焦距f為3cm。
[0018] 所述透鏡基座為設置有內螺紋的筒狀結構；所述第一凸透鏡、第二凸透鏡、第三凸 透鏡間隔設置在透鏡基座內；所述透鏡基座內還設置有用于卡住所述第一凸透鏡、第二凸 透鏡、第三凸透鏡的多個外螺紋鎖緊環(huán)。
[0019] 所述矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，還包括調節(jié)模塊；所述調節(jié)模塊包括設 置在所述矩形波導諧振腔內并且可在矩形波導諧振腔內滑動的反射滑板，以及與所述反射 滑板相連，用于帶動所述反射滑板移動的傳動部。
[0020] 所述傳動部包括用于傳動的絲杠；所述絲杠穿過位于所述矩形波導諧振腔側壁上 具有內螺紋的絲杠孔，一端與所述反射滑板可轉動地連接，另一端連接動力源。
[0021] 技術原理：
[0022] 微波能是一種電磁能，因此它遵循電磁理論。駐波是頻率和振幅均相同、振動方向 一致、傳播方向相反的兩列波疊加后形成的波，兩列波疊加后波形并不向前推進。在矩形波 導諧振腔中，電磁場被限制在腔體內，振蕩實際上是由電磁波在腔壁上來回反射而形成的 穩(wěn)定駐波。也就是入射波（推進波）與反射波相互干擾而形成的波形不再向前推進（僅波 腹上、下振動，波節(jié)不移動）的電磁波。
[0023] 矩形波導諧振腔是幾何形狀最簡單的一種空腔諧振器，是由一段兩端用導體板 封閉的矩形波導構成的諧振腔，腔體的尺寸為aXbXl(a為矩形波導諧振腔體橫截面的 寬，b為矩形波導諧振腔體橫截面的高，1為矩形波導諧振腔體的長度）。在一定的腔體 尺寸下，不是任意波長的電磁波都能在腔中振蕩的，而只有那些能夠在腔中滿足一定駐波 分布的電磁波才能夠振蕩，它們的波導波長是由腔的尺寸所決定的。依據電磁理論得出 入/1.8〈a〈入，（入為波導波長），0〈b〈l1 =p?入/2,（p可以取1，2,3-)。在以上電磁 理論指導下，通過實踐得出本發(fā)明采用微波波導的實際經驗值，a= 0.7A，b=a/2, 1 = 入/2。依據電磁理論，在矩形波導諧振腔中電場與磁場之間有90度相位差，電場瞬時值達 到純駐波振幅值的瞬間，磁場瞬時值為零，腔內電場能量最大，磁場能量為零；在相隔1/4 周期的瞬間，磁場瞬時值達到純駐波的振幅值，電場瞬時值為零，腔內磁場能量最大，電場 能量為零。腔體左右和前后四周的內表面中心線處是純駐波磁場的波腹（磁場有最大的切 向分量），也是純駐波電場的波節(jié)（電場的切向分量為零）。在電磁能量（微波能量）足夠 大的情況下，就可以將此處的介質氣體激發(fā)產生微波等離子體。
[0024] 此時，以純凈的氣體作為激發(fā)產生微波等離子體的維持氣，再通入含有樣品的氣 體進入微波等離子體中共同激發(fā)產生等離子體，微波等離子體中就含有了樣品的成分，它 以光信號的形式傳遞出來。對此信號加以分析，就可以檢測得知待檢測樣品及其含量。因 此，在矩形波導諧振腔的側壁與微波等離子體中心位置之間安放一光路模塊，將微波等離 子體轉換成儀器可以檢測的光信號。
[0025] 依據光學原理，矩形波導諧振腔中的微波等離子體視為點光源，進入光路模塊的 第一凸透鏡后出射平行光，平行光進入第二凸透鏡后聚焦于一點，以此點為點光源進入第 三凸透鏡后出射平行光。當然，第三個雙凸透鏡采用比較小的焦半徑，這樣出射平行光可視 為點光源便于儀器接收，整體構成光路模塊。
[0026] 在矩形波導諧振腔中產生微波等離子體是需要能量的，本發(fā)明采用的振蕩激勵方 式為探針耦合，通過它將微波能量輸送到矩形波導諧振腔中產生諧振并激發(fā)微波等離子 體，具體耦合探針為一銅管深入矩形波導諧振腔中相關部位，同時可以輸送樣品載體于矩 形波導諧振腔中。而為了控制產生微波等離子體，在耦合探針外套一石英外管，可以通入產 生微波等離子體的維持氣體。
[0027] 依據電磁理論，矩形波導諧振腔的腔壁有微小的變化，矩形波導諧振腔中的諧振 頻率會有微小的變化，也就是產生微波等離子體的能量有微小的變化。因此，在本發(fā)明中采 用在矩形波導諧振腔內一端放置移動金屬滑板的調節(jié)模塊以微調微波等離子體，保持穩(wěn)定 的等離子體離子源。
[0028] 采用上述技術方案，本發(fā)明的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，具有以下有益 效果：
[0029] 1、該裝置通過矩形波導諧振腔可以產生較大的激發(fā)能量，從而對通過維持氣控制 系統(tǒng)、樣品載氣控制系統(tǒng)和載氣模塊輸送至矩形波導諧振腔內的含有檢測物質的氣體電離 形成等離子體；
[0030] 2、本發(fā)明的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置同時還能夠對在諧振腔內電離形 成的等離子體所含有樣品光譜信息通過光路模塊傳遞出來，對樣品載氣中的物質進行分 析，從而使該裝置能夠應用于離子源精密分析領域；
[0031]3、在矩形波導諧振腔中，采用a= 0. 7A，b=a/2, 1 =A/2,在微波能量滿足條 件的情況下，可以產生微波等離子體；
[0032] 4、通過所述透鏡組，可以將最終出射的平行光視為點光源便于儀器接收；
[0033] 5、所述導氣銅管既是樣品載氣通道又是耦合探針，使用方便；
[0034] 6、通過調節(jié)模塊，可以調節(jié)反射滑板的位置以實現(xiàn)對矩形波導諧振腔尺寸的微 調，使矩形波導諧振腔中的諧振頻率會有微小的變化，也就使得產生微波等離子體的能量 有微小的變化，從而能夠通過微調手段保持穩(wěn)定的等離子體離子源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0035] 圖1為本發(fā)明整體結構示意圖。
[0036] 圖2為本發(fā)明中矩形波導諧振腔結構示意圖。
[0037] 圖3為本發(fā)明中載氣模塊結構示意圖。
[0038] 圖4為本發(fā)明中石英外管結構示意圖。
[0039] 圖5為本發(fā)明中導氣銅管結構示意圖。
[0040] 圖6為本發(fā)明中基座結構示意圖。
[0041] 圖7為本發(fā)明中調節(jié)模塊結構示意圖。
[0042] 圖8為本發(fā)明中手輪結構示意圖。
[0043] 圖9為本發(fā)明中反射滑板結構示意圖。
[0044] 圖10為本發(fā)明中鎖緊螺母結構示意圖。
[0045] 圖11為本發(fā)明中光路模塊結構示意圖。
[0046] 圖12為本發(fā)明中透鏡基座結構示意圖。
[0047] 圖13為本發(fā)明中第一凸透鏡結構示意圖。
[0048] 圖14為本發(fā)明中第三鎖緊環(huán)結構示意圖。
[0049] 圖15為本發(fā)明中第二凸透鏡結構示意圖。
[0050] 圖16為本發(fā)明中第二鎖緊環(huán)結構示意圖。
[0051] 圖17為本發(fā)明中第三凸透鏡結構示意圖。
[0052] 圖18為本發(fā)明中第一鎖緊環(huán)結構示意圖。
[0053] 圖19為本發(fā)明原理結構示意圖。
[0054] 圖20為本發(fā)明中光路模塊工作原理示意圖。
[0055] 圖中：1、矩形波導諧振腔；2、載氣模塊；3、調節(jié)模塊；4、光路模塊；5、電路控制系 統(tǒng)；6、維持氣控制系統(tǒng)；7、樣品載氣控制系統(tǒng)；11、法蘭結構；12、腔體；13、通孔；131、通 孔；14、絲杠孔；15、光路導孔；21、石英外管；22、導氣銅管；23、柱塞；231、樣品載氣輸送通 道；232、臺肩；233、維持氣輸送通道；31、傳動部；32、反射滑板；33、鎖緊螺母；311、手輪； 312、絲杠；313、連接柱；321、螺母槽；322、插入孔；41、透鏡基座；42、第二凸透鏡；43第二 鎖緊環(huán)；44、第一凸透鏡；45、第一鎖緊環(huán)；46、第三凸透鏡；47、第三鎖緊環(huán)；411、第一臺階； 412、第二臺階。

【具體實施方式】
[0056] 本發(fā)明針對目前現(xiàn)有的作為儀器分析使用的微波僅限于在同軸諧振腔內諧振產 生等離子體的缺陷，使用矩形波導微波等離子體諧振腔，在電路控制系統(tǒng)的作用下，微波能 量在諧振腔中將通過的載氣電離形成等離子體，這種等離子體含有樣品光譜信息并可以通 過光路模塊傳遞出來，以作為離子源應用于精密分析儀器中。
[0057] 以下通過附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0058] 參見圖1，本發(fā)明的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，包括矩形波導諧振腔1， 載氣模塊2,調節(jié)模塊3,光路模塊4,電路控制系統(tǒng)5,維持氣控制系統(tǒng)6,樣品載氣控制系統(tǒng) 7〇
[0059] 參見圖2所示，所述矩形波導諧振腔1包括一封閉金屬腔體12,在所述腔體12的 一側端面上設置有法蘭結構11，連接有電路控制系統(tǒng)5,包括控制電路、磁控管和機動調諧 器等，用于將適當的微波能量輸送到矩形波導諧振腔中，上述電路控制系統(tǒng)5為常規(guī)器件， 不做敘述。
[0060] 在所述腔體12的上、下端面正中位置分別設置有通孔13、131。如圖3?6所示， 載氣模塊2包括貫通所述通孔13、131的石英外管21，所述石英外管21的下端設置有柱塞 23,石英外管21的底部與柱塞23上的臺肩232緊密配合。
[0061] 所述柱塞內開設有連接至維持氣控制系統(tǒng)6并將維持氣輸送至石英外管21內的 維持氣輸送通道233,以及連接至樣品載氣控制系統(tǒng)7并將樣品載氣輸送至石英外管21內 的樣品載氣輸送通道231。
[0062] 產生微波等離子體的維持氣通過維持氣通道233進入石英外管21，待微波波導諧 振后激發(fā)形成等離子體。其中，維持氣的輸送通過維持氣控制系統(tǒng)6控制。本發(fā)明采用高 純凈氬氣作為等離子體維持氣。
[0063] 導氣銅管22為銅管式耦合探針，與所述石英外管21同軸，底部穿過樣品載氣輸送 通道231后與樣品載氣控制系統(tǒng)7相連接，并且與電路控制系統(tǒng)5相關聯(lián)以完成耦合探針 的功能，實現(xiàn)振蕩激勵作用。樣品載氣通過導氣銅管22后，與石英外管21中的維持氣混合。 本發(fā)明采用高純凈氬氣作為樣品載氣。所述維持氣控制系統(tǒng)6、樣品載氣控制系統(tǒng)7均為常 規(guī)設備，在此不做敘述。
[0064] 參見圖19,示出了矩形諧振腔中的氣體產生微波等離子體原理結構示意。依據電 磁理論，在矩形波導諧振腔中，腔體的左、右和前、后側壁的內表面中心線處，即區(qū)域20,是 純駐波磁場的波腹（磁場有最大的切向分量），也是純駐波電場的波節(jié)（電場的切向分量為 零）。在電磁能量（微波能量）足夠大的情況下，就可以將此處的介質氣體激發(fā)產生微波等 離子體。
[0065] 在電磁理論指導下，通過實踐得出本發(fā)明采用微波波導的實際經驗值，a= 0.7 入，b=a/2，l=入/2〇
[0066]采用f=2450MHZ的微波，
[0067]因為人=v/f，v= 3X108m，
[0068]那么人=3X108m/2450MHZ = 122. 2mm〇
[0069]因此，矩形波導諧振腔a=0.7人=0.7X 122. 2mm=85. 54mm，
[0070]則取a= 85. 5mm時，b=a/2 = 42. 7mm，1 =入/2 = 61.lmm〇
[0071] 滿足以上數據，矩形諧振腔中的波導就會以微波2450MHZ左右的頻率發(fā)生諧振， 并激發(fā)矩形諧振腔中的氣體產生微波等離子體。
[0072] 圖11?18示出了光路模塊4的結構，所述光路模塊4通過位于腔體12側壁上的 光路導孔15處嵌入矩形波導諧振腔中，包括由第一凸透鏡44、第二凸透鏡42、第三凸透鏡 46間隔設置組成的透鏡組以及用于安裝所述透鏡組的透鏡基座41
[0073] 所述透鏡基座41可以為發(fā)黑處理后的鋁合金材料的筒狀結構，內壁設有能夠與 多個外螺紋的鎖緊環(huán)相互配合的內螺紋。所述多個鎖緊環(huán)為鋁合金材料并發(fā)黑處理。
[0074] 在所述透鏡基座41位于所述第二凸透鏡42遠離所述第一凸透鏡44的一側設置 有徑向向內用于卡住第二凸透鏡42的第二臺階412 ;在所述透鏡基座41位于所述第三凸 透鏡46靠近所述第二凸透鏡42 -側的位置設置有徑向向內用于擋住第三凸透鏡46的第 一臺階411。如圖11、12所示，透鏡組的安裝結構的位置關系為依次設置的第一鎖緊環(huán)45、 第一凸透鏡44、第二鎖緊環(huán)43、第二凸透鏡42、第二臺階412、第一臺階411、第三凸透鏡 46、第三鎖緊環(huán)47。
[0075] 所述透鏡組的三個凸透鏡均為雙凸透鏡。所述第三凸透鏡46參數采用①=6cm、 f= 3cm。第二凸透鏡42與第一凸透鏡44的參數均采用①=12cm、f= 6cm。以上透鏡 放置均位于同一中心軸線上。
[0076] 參見圖20,顯示了光路模塊4的光學原理。依據光學理論中的費馬原理，將等離子 體電離的區(qū)域20視為點光源，那么，它的發(fā)射光通過第一凸透鏡44后形成平行光經過第二 凸透鏡42折射后聚焦于一點，放置透鏡時使第三凸透鏡46的焦點位置與第二凸透鏡44的 焦點位置重合，那么此處的點光源通過第三凸透鏡46后形成平行光，由于它的透鏡參數變 化，在檢測儀器中可視為此時的出射平行光為平行光點光源，此時它攜帶的樣品的光譜信 息沒有變化，而作為分析儀器點光源就非常實用、方便，可以直接作為儀器離子源與分析儀 器中光學單色儀或其它檢測接收部分連接。
[0077] 參見圖7?10,示出了調節(jié)模塊3結構。所述調節(jié)模塊3包括設置在所述矩形波 導諧振腔內并且可在矩形波導諧振腔內滑動的反射滑板32,以及與所述反射滑板32相連， 用于帶動所述反射滑板移動的傳動部31。
[0078] 所述傳動部31包括用于傳動的絲杠312 ;在腔體12與法蘭結構11相對的一側端 面中心位置開設有一內螺紋的絲杠孔14,所述絲杠312穿過所述絲杠孔14, 一端與所述反 射滑板32可轉動地連接，另一端連接動力源（圖中未示出）。所述動力源可以為人力，也 可以是其他動力機構，諸如電機等。本實施例中采用人力輸入，所述絲杠412連接有一手輪 311，通過轉動手輪311帶動絲杠312旋轉，從而絲杠312帶動所述反射滑板32滑動以微調 微波等離子體來保持穩(wěn)定的等離子體的穩(wěn)定。
[0079] 所述絲杠312靠近反射滑板32的端部設置有向外伸出的連接柱313,連接柱313 的端部設置有外螺紋，該連接柱313插入到所述反射滑板32中心位置的插入孔322內，并 與位于反射滑板32另一側的一鎖緊螺母33螺紋連接。所述鎖緊螺母33嵌入在所述反射 滑板32中的螺母槽321內。所述連接柱313端部與所述鎖緊螺母33連接后，所述連接柱 313能夠在插入孔322內自由轉動。
[0080] 將本發(fā)明作為離子源安裝在安捷倫發(fā)射光譜儀ICP--0ESE-700上進行試驗，得出 相關數據如下表：
[0081]

【權利要求】
1. 一種矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，包括： 矩形波導諧振腔； 電路控制系統(tǒng)，連接于所述矩形波導諧振腔的一側端面上，用于將微波能量輸送到矩 形波導諧振腔中； 載氣模塊，包括連接至維持氣控制系統(tǒng)并將維持氣輸送至矩形波導諧振腔內的維持氣 輸送通道，以及連接至樣品載氣控制系統(tǒng)并將樣品載氣輸送至矩形波導諧振腔內的樣品載 氣輸送通道； 光路模塊，用于將維持氣與樣品載氣的混合氣在矩形波導諧振腔內受微波激發(fā)產生微 波等離子體時所發(fā)出的光信號導出至分析儀器； 維持氣控制系統(tǒng)，用于向矩形波導諧振腔內提供維持氣； 樣品載氣控制系統(tǒng)，用于向矩形波導諧振腔內提供樣品載氣。
2. 如權利要求1所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述矩形波 導諧振腔滿足以下條件： a = 0.7 入，b = a/2，l =入/2，入=122. 2mm， 其中a、b、l分別為矩形波導諧振腔的寬、高、長，X為波導波長。
3. 如權利要求1或2所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述載氣 模塊，包括在所述矩形波導諧振腔的上、下端面中心位置貫通設置的石英外管，所述樣品載 氣輸送通道以及所述維持氣輸送通道連接至所述石英外管內。
4. 如權利要求3所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述石英外 管的下端設置有柱塞，所述維持氣輸送通道及所述樣品載氣輸送通道開設在所述柱塞內。
5. 如權利要求4所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述樣品載 氣輸送通道內設置有與所述電路控制系統(tǒng)相關聯(lián)以完成耦合探針功能的導氣銅管，所述導 氣銅管與所述石英外管同軸設置并向上延伸至所述矩形波導諧振腔的內部。
6. 如權利要求1或2所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述光路 模塊的位置靠近所述矩形波導諧振腔內部的中心點，包括由同軸設置的三個凸透鏡組成的 透鏡組以及用于安裝所述透鏡組的透鏡基座；所述透鏡組，包括靠近所述中心點并將點光 源折射形成平行光的第一凸透鏡，與第一凸透鏡相鄰并將平行光匯聚形成點光源的第二凸 透鏡，以及與第二凸透鏡相鄰并將點光源折射形成平行光的第三凸透鏡。
7. 如權利要求6所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述第一凸 透鏡、第二凸透鏡的直徑①為12cm，焦距f為6cm ;所述第三透鏡直徑〇)為6cm，焦距f?為 3cm〇
8. 如權利要求6所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述透鏡基 座為設置有內螺紋的筒狀結構；所述第一凸透鏡、第二凸透鏡、第三凸透鏡間隔設置在透鏡 基座內；所述透鏡基座內還設置有用于卡住所述第一凸透鏡、第二凸透鏡、第三凸透鏡的多 個外螺紋鎖緊環(huán)。
9. 如權利要求1或2所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，還包括調 節(jié)模塊；所述調節(jié)模塊包括設置在所述矩形波導諧振腔內并且可在矩形波導諧振腔內滑動 的反射滑板，以及與所述反射滑板相連，用于帶動所述反射滑板移動的傳動部。
10. 如權利要求9所述的矩形波導微波等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于，所述傳動部 包括絲杠；所述絲杠穿過位于所述矩形波導諧振腔側壁上具有內螺紋的絲杠孔，一端與所 述反射滑板可轉動地連接，另一端連接動力源。
【文檔編號】H05H1/46GK104507249SQ201410756311
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月9日 優(yōu)先權日:2014年12月9日
【發(fā)明者】于永, 王興華, 張寒琦, 馮果棟, 單洪巖, 霍陽, 趙振英, 王小艷, 于愛華, 梁芳慧, 霍德發(fā), 夏國海, 于愛民 申請人:吉林大學