一種多晶爐管道自動控制裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種多晶爐管道自動控制裝置,涉及多晶爐制造【技術(shù)領(lǐng)域】,該裝置用于連接真空腔室的抽氣口和氣冷系統(tǒng)的抽氣管道,包括水冷套和套設(shè)在所述水冷套外部的真空波紋管,還包括分別設(shè)置在所述真空波紋管兩側(cè)的預(yù)緊機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu),可以控制所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面與所述抽氣口的法蘭貼合或脫開。本發(fā)明提供的多晶爐管道自動控制裝置,能夠自動控制真空腔室的抽氣口與氣冷系統(tǒng)的抽氣管道的貼合或脫開,進(jìn)而大大提高多晶爐的自動化程度,提高了工作效率,執(zhí)行的動作準(zhǔn)確、安全可靠。此外,本發(fā)明提供的裝置不需要人工操作,消除了操作人員被燙傷的安全隱患。
【專利說明】—種多晶爐管道自動控制裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多晶爐制造【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種多晶爐管道自動控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶爐是生產(chǎn)太陽能光伏發(fā)電領(lǐng)域的重要生產(chǎn)設(shè)備,該設(shè)備將多晶硅碎塊料、頭尾料、堝底料、各種單晶廢片等材料裝入爐內(nèi)化料的石英坩堝內(nèi),經(jīng)熔化、重新定向結(jié)晶及退火等工藝,鑄成生產(chǎn)太陽電池的前道原料一多晶硅硅錠。
[0003]隨著技術(shù)的發(fā)展,未來進(jìn)一步提高硅片轉(zhuǎn)換效率,諸多商家已經(jīng)將目光投向了氣冷多晶爐這一全新的技術(shù)。然而,市面上眾多的氣冷多晶爐在氣冷系統(tǒng)的抽氣管道和爐體真空腔室抽氣口處的連接大多采用快卸法蘭、螺紋連接等傳統(tǒng)的“死連接”連接件,在多晶爐開爐時必須人工拆卸打開快卸法蘭、螺紋連接等連接件才能脫開管道,使得多晶爐的自動化程度大大降低,工作效率較低。此外,由于抽氣管道距離爐體的真空腔室較近,加之內(nèi)部有熱交換后的氣體通過,溫度較高,人工拆裝時存在被燙傷的安全隱患。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明提供一種多晶爐管道自動控制裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中連接件存在的自動化程度低、工作效率低以及存在安全隱患的問題。
[0005]本發(fā)明實施例公開了一種多晶爐管道自動控制裝置,用于連接真空腔室的抽氣口和氣冷系統(tǒng)的抽氣管道,所述裝置包括水冷套和套設(shè)在所述水冷套外部的真空波紋管,所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面貼在所述抽氣口的法蘭上,所述水冷套的法蘭的另一面固定在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上,所述真空波紋管靠近所述抽氣管道的一端的法蘭固定在所述抽氣管道的法蘭上;所述裝置還包括分別設(shè)置在所述真空波紋管兩側(cè)的預(yù)緊機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu),所述預(yù)緊機(jī)構(gòu)使所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面與所述抽氣口的法蘭貼合或脫開,所述微調(diào)機(jī)構(gòu)使所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面與所述抽氣口的法蘭緊貼。
[0006]結(jié)合上述方案,在第一種可能的實現(xiàn)方式中,所述預(yù)緊機(jī)構(gòu)包括氣缸,所述氣缸的一端固定在所述抽氣管道的法蘭上,所述氣缸的另一端固定在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上。
[0007]結(jié)合上述方案,在第二種可能的實現(xiàn)方式中,所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)桿、調(diào)節(jié)螺母、導(dǎo)套、調(diào)節(jié)彈簧和直線軸承,所述導(dǎo)桿的一端固定在所述抽氣管道的法蘭上,所述導(dǎo)桿的另一端通過所述直線軸承連接在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上,所述調(diào)節(jié)彈簧、所述導(dǎo)套和所述調(diào)節(jié)螺母依次連接后套裝在所述導(dǎo)桿上,所述調(diào)節(jié)彈簧還與所述直線軸承連接。
[0008]本發(fā)明提供的多晶爐管道自動控制裝置,能夠自動控制真空腔室的抽氣口與氣冷系統(tǒng)的抽氣管道的貼合或脫開,進(jìn)而大大提高多晶爐的自動化程度,提高了工作效率,執(zhí)行的動作準(zhǔn)確、安全可靠。此外,本發(fā)明提供的裝置不需要人工操作,消除了操作人員被燙傷的安全隱患。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案,下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0010]圖1為本發(fā)明實施例提供的多晶爐管道自動控制裝置與真空腔室的抽氣口貼合的狀態(tài)示意圖;
圖2為本發(fā)明實施例提供的多晶爐管道自動控制裝置與真空腔室的抽氣口脫開的狀態(tài)示意圖。
[0011]其中,1、抽氣管道,2、導(dǎo)桿,3、調(diào)節(jié)螺母,4、氣缸,5、真空波紋管,6、導(dǎo)套,7、調(diào)節(jié)彈簧,8、直線軸承,9、水冷套,10、抽氣口。
【具體實施方式】
[0012]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0013]本發(fā)明實施例公開了一種多晶爐管道自動控制裝置,一般應(yīng)用于氣冷多晶爐中,用于連接真空腔室的抽氣口和氣冷系統(tǒng)的抽氣管道。
[0014]參照圖1和圖2,該裝置包括水冷套9和套設(shè)在該水冷套9外部的真空波紋管5,用于連接真空腔室的抽氣口 10和氣冷系統(tǒng)的抽氣管道I。其中,抽氣口 10設(shè)有法蘭,抽氣管道I和水冷套9與抽氣口 10相對的一端也均設(shè)有法蘭,真空波紋管5的兩端也分別設(shè)有法蘭。
[0015]具體地,水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面貼在抽氣口 10的法蘭上,水冷套9的法蘭的另一面固定在真空波紋管5靠近抽氣口 10的一端的法蘭上,真空波紋管5靠近抽氣管道I的一端的法蘭固定在抽氣管道I的法蘭上。
[0016]該裝置還包括分別設(shè)置在真空波紋管5兩側(cè)的預(yù)緊機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu),該預(yù)緊機(jī)構(gòu)使水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面與抽氣口 10的法蘭貼合或脫開,微調(diào)機(jī)構(gòu)使水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面與抽氣口 10的法蘭緊貼。
[0017]具體地,預(yù)緊機(jī)構(gòu)包括氣缸4,設(shè)置在真空波紋管5的一側(cè),該氣缸4的一端固定在抽氣管道I的法蘭上,氣缸4的另一端固定在真空波紋管5靠近抽氣口 10的一端的法蘭上。氣缸4伸縮,從而帶動整個裝置伸縮,使得水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面與抽氣口 10的法蘭貼合或脫開。
[0018]微調(diào)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)桿2、調(diào)節(jié)螺母3、導(dǎo)套6、調(diào)節(jié)彈簧7和直線軸承8,導(dǎo)桿2的一端固定在抽氣管道I的法蘭上,導(dǎo)桿2的另一端通過直線軸承8連接在真空波紋管5靠近抽氣口 10的一端的法蘭上,調(diào)節(jié)彈簧7、導(dǎo)套6和調(diào)節(jié)螺母3依次連接后套裝在導(dǎo)桿2上,其中調(diào)節(jié)彈簧7還與直線軸承8連接。首次運行時,通過調(diào)節(jié)螺母3控制調(diào)節(jié)彈簧的壓縮量,在氣缸帶動水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面與抽氣口 10的法蘭貼合時,進(jìn)一步對水冷套9的法蘭與抽氣口 10的法蘭之間的距離進(jìn)行微調(diào),使得水冷套9的法蘭靠近抽氣口 10的一面與抽氣口 10的法蘭平行緊貼。水冷套9的法蘭與抽氣口 10的法蘭之間的距離調(diào)整到合適位置后,保持調(diào)節(jié)螺母3在導(dǎo)桿2的位置,此后操作無需再對調(diào)節(jié)螺母3進(jìn)行調(diào)整。
[0019]此外,圖1示出了多晶爐管道自動控制裝置與真空腔室的抽氣口貼合的狀態(tài)。在氣冷多晶爐正常運行過程中,氣缸4伸開,在氣缸4和調(diào)節(jié)彈簧7的預(yù)緊力作用下,水冷套9的法蘭與抽氣口 10的法蘭緊貼,此時真空腔室與氣冷系統(tǒng)形成密閉循環(huán)空間,為硅錠提供良好的生長環(huán)境。
[0020]圖2示出了多晶爐管道自動控制裝置與真空腔室的抽氣口脫開的狀態(tài)。在氣冷多晶爐運行過程結(jié)束,需要開爐時,氣缸4收縮,在氣缸4的作用下,真空波紋管5和調(diào)節(jié)彈簧7被壓縮,整個裝置沿導(dǎo)桿2向抽氣管道I的方向移動,水冷套9的法蘭與抽氣口 10的法蘭脫開,此時真空腔室可自由上下運動。
[0021]在整個過程中,本發(fā)明提供的多晶爐管道自動控制裝置能夠自動控制真空腔室的抽氣口與氣冷系統(tǒng)的抽氣管道的貼合或脫開,大大提高了多晶爐的自動化程度,提高了工作效率,執(zhí)行的動作準(zhǔn)確、安全可靠。整個過程不需要人工操作,消除了操作人員被燙傷的安全隱患。
[0022]需要說明的是,本說明書中所述的氣冷多晶爐為設(shè)有氣冷系統(tǒng)的多晶爐的簡稱。
[0023]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶爐管道自動控制裝置,用于連接真空腔室的抽氣口和氣冷系統(tǒng)的抽氣管道,其特征在于,所述裝置包括水冷套和套設(shè)在所述水冷套外部的真空波紋管,所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面貼在所述抽氣口的法蘭上,所述水冷套的法蘭的另一面固定在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上,所述真空波紋管靠近所述抽氣管道的一端的法蘭固定在所述抽氣管道的法蘭上;所述裝置還包括分別設(shè)置在所述真空波紋管兩側(cè)的預(yù)緊機(jī)構(gòu)和微調(diào)機(jī)構(gòu),所述預(yù)緊機(jī)構(gòu)使所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面與所述抽氣口的法蘭貼合或脫開,所述微調(diào)機(jī)構(gòu)使所述水冷套的法蘭靠近所述抽氣口的一面與所述抽氣口的法蘭緊貼。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述預(yù)緊機(jī)構(gòu)包括氣缸,所述氣缸的一端固定在所述抽氣管道的法蘭上,所述氣缸的另一端固定在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述微調(diào)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)桿、調(diào)節(jié)螺母、導(dǎo)套、調(diào)節(jié)彈簧和直線軸承,所述導(dǎo)桿的一端固定在所述抽氣管道的法蘭上,所述導(dǎo)桿的另一端通過所述直線軸承連接在所述真空波紋管靠近所述抽氣口的一端的法蘭上,所述調(diào)節(jié)彈簧、所述導(dǎo)套和所述調(diào)節(jié)螺母依次連接后套裝在所述導(dǎo)桿上,所述調(diào)節(jié)彈簧還與所述直線軸承連接。
【文檔編號】C30B29/06GK104372405SQ201410756334
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月11日
【發(fā)明者】時剛, 周龍, 武海軍 申請人:西安創(chuàng)聯(lián)新能源設(shè)備有限公司