一種用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置制造方法
【專利摘要】一種用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，其技術(shù)方案是，它包括抽氣管道、真空泵和一組防爆過(guò)濾罐，所述抽氣管道一端連接單晶爐，另一端連接真空泵，抽氣管道將各防爆過(guò)濾罐串聯(lián)連接，抽氣管道設(shè)置高度不高于各防爆過(guò)濾罐高度的三分之一，所述相鄰防爆過(guò)濾罐之間、防爆過(guò)濾罐與單晶爐之間、防爆過(guò)濾罐與真空泵之間設(shè)置球閥。采用本實(shí)用新型的有益效果是：降低單一過(guò)濾罐內(nèi)易燃揮發(fā)物的堆積量，對(duì)各防爆過(guò)濾罐進(jìn)行緩慢充氧、泄壓防爆，消除了重?fù)焦鑶尉a(chǎn)排氣過(guò)濾的爆炸隱患。
【專利說(shuō)明】一種用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于單晶生產(chǎn)的排氣裝置，特別是用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]重?fù)焦鑶尉且环N重要的半導(dǎo)體材料，生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉紫纫ㄟ^(guò)單晶爐生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉О?，再通過(guò)切片等后續(xù)加工出重?fù)焦鑶尉a(chǎn)品。與普通單晶硅生產(chǎn)不同，重?fù)焦鑶尉г谏a(chǎn)過(guò)程中，需要摻入大量的雜質(zhì)原料，在爐內(nèi)的高溫環(huán)境下，摻雜劑磷大量揮發(fā)，重?fù)絾尉ㄟ^(guò)真空泵的抽氣作業(yè)，將爐內(nèi)的揮發(fā)物吸入管道，再經(jīng)管道進(jìn)入過(guò)濾罐。普通單晶爐的排氣過(guò)濾裝置如圖2所示，由爐內(nèi)抽出的揮發(fā)物雜質(zhì)溫度急劇下降，在抽氣管道和過(guò)濾罐內(nèi)大量堆積，需定期清理抽氣管道和過(guò)濾罐。積存在過(guò)濾罐內(nèi)的雜質(zhì)中含有大量的磷，由于磷的易燃易爆特性，在揮發(fā)物堆積到一定程度時(shí)，當(dāng)打開(kāi)過(guò)濾罐清理時(shí)，揮發(fā)物中磷極易與氧發(fā)生劇烈的氧化反應(yīng)，當(dāng)反應(yīng)過(guò)于劇烈時(shí)，會(huì)形成爆炸。對(duì)操作人員、設(shè)備造成損傷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)之弊端，提供一種可有效防止清理過(guò)濾罐時(shí)發(fā)生爆炸的用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置
[0004]本實(shí)用新型 所述問(wèn)題是以下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，特別之處是，它包括抽氣管道、真空泵和一組防爆過(guò)濾罐，所述抽氣管道一端連接單晶爐，另一端連接真空泵，抽氣管道將各防爆過(guò)濾罐串聯(lián)連接，抽氣管道設(shè)置高度不高于各防爆過(guò)濾罐高度的三分之一，所述相鄰防爆過(guò)濾罐之間、防爆過(guò)濾罐與單晶爐之間、防爆過(guò)濾罐與真空泵之間設(shè)置球閥。
[0006]上述用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，所述各防爆過(guò)濾罐的底部設(shè)有充氣閥，各防爆過(guò)濾罐的頂部設(shè)有防爆泄壓蓋，防爆泄壓蓋包括蓋體、泄壓蓋、支撐架和彈簧，蓋體緊密扣合在防爆過(guò)濾罐體上部，蓋體上設(shè)有泄壓口，泄壓蓋覆蓋泄壓口上，支撐架固定在蓋體上，彈簧位于泄壓蓋上，彈簧兩端分別觸壓支撐架和泄壓蓋。
[0007]上述用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，所述泄壓蓋的底部設(shè)有密封圈，泄壓蓋上部固定彈簧限位桿，彈簧套裝在彈簧限位桿上，限位桿上端穿過(guò)支撐架。
[0008]上述用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，所述一組防爆過(guò)濾罐的數(shù)目≥3。
[0009]本實(shí)用新型針對(duì)解決重?fù)焦鑶尉г谏a(chǎn)過(guò)程清理過(guò)濾罐易發(fā)生爆炸的問(wèn)題進(jìn)行了改進(jìn)，設(shè)計(jì)了一種防爆排氣過(guò)濾裝置。所述裝置由真空泵串聯(lián)多個(gè)防爆過(guò)濾罐構(gòu)成，各防爆過(guò)濾罐間設(shè)置球閥。該裝置首先將爐內(nèi)的揮發(fā)物少量積存在各防爆過(guò)濾罐內(nèi)，避免揮發(fā)物過(guò)量積存；然后通過(guò)控制各防爆過(guò)濾罐充氣閥使氧氣緩慢的進(jìn)入罐內(nèi)，通過(guò)罐內(nèi)揮發(fā)物的逐步氧化，降低揮發(fā)物氧化過(guò)程的反應(yīng)強(qiáng)度，避免爆炸；再者，各防爆過(guò)濾罐上部設(shè)有防爆泄壓蓋，在防爆過(guò)濾罐內(nèi)的氧化過(guò)于激烈時(shí)，對(duì)膨脹的氣體進(jìn)行泄壓。采用本實(shí)用新型的有益效果是:降低單一過(guò)濾罐內(nèi)易燃揮發(fā)物的堆積量，對(duì)各防爆過(guò)濾罐進(jìn)行緩慢充氧、泄壓防爆，消除重?fù)焦鑶尉a(chǎn)中清理過(guò)濾罐的爆炸隱患。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0011]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是防爆過(guò)濾罐結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是改進(jìn)前單晶爐排氣過(guò)濾裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中各標(biāo)號(hào)清單為:1、單晶爐，2、球閥，3、抽氣管道，4、防爆過(guò)濾罐，4-1、充氣閥，4-2、蓋體，4-3、支撐架，4-4、泄壓蓋，4-5、彈簧，4-6、彈簧限位桿，4-7、密封圈，5、真空泵。
【具體實(shí)施方式】
[0015]參看圖1，本實(shí)用新型設(shè)置在單晶爐I的外部，所述防爆排氣過(guò)濾裝置包括抽氣管道3、真空泵5和一組防爆過(guò)濾罐4。抽氣管道3的一端由單晶爐的下部與單晶爐連通，抽氣管道的另一端連接真空泵5，由抽氣管道將各防爆過(guò)濾罐串聯(lián)連接，抽氣管道設(shè)置高度不高于各防爆過(guò)濾罐高度的三分之一，相鄰防爆過(guò)濾罐之間、防爆過(guò)濾罐與單晶爐之間、防爆過(guò)濾罐與真空泵之間設(shè)置球閥2。上述結(jié)構(gòu)由單晶爐內(nèi)抽出的揮發(fā)物首先進(jìn)入與單晶爐相鄰的防爆過(guò)濾罐內(nèi)，當(dāng)該防爆過(guò)濾罐內(nèi)的揮發(fā)物堆積量至抽氣管道高度時(shí)，絕大部分的揮發(fā)物溢出，然后被吸入另一防爆過(guò)濾罐內(nèi)，這樣可防止各防爆過(guò)濾罐內(nèi)揮發(fā)物堆積過(guò)多，使每個(gè)防爆過(guò)濾罐內(nèi)揮發(fā)物堆積不超過(guò)該罐高度的三分之一，從而給揮發(fā)物氧化過(guò)程中反應(yīng)氣體留有較大的膨脹空間。由于重?fù)焦鑶尉a(chǎn)過(guò)程中揮發(fā)物量大，為了充分分散揮發(fā)物，一組防爆過(guò)濾罐的數(shù)目需≥3。
[0016]參看圖2，各防爆過(guò)濾罐4的底部設(shè)有充氣閥4-1，控制各防爆過(guò)濾罐充氣閥開(kāi)度，使氧氣少量緩慢的進(jìn)入罐內(nèi)，通過(guò)罐內(nèi)的揮發(fā)物逐步氧化，降低揮發(fā)物氧化過(guò)程的反應(yīng)強(qiáng)度，避免爆炸。在各防爆過(guò)濾罐的頂部設(shè)有防爆泄壓罐，防爆泄壓蓋包括蓋體4-2、泄壓蓋4-4、支撐架4-3和彈簧4-5，蓋體緊密扣合在防爆過(guò)濾罐的罐體上部，蓋體上設(shè)有泄壓口，泄壓蓋覆蓋在泄壓口上，支撐架固定在蓋體上，彈簧位于泄壓蓋上，彈簧兩端分別觸壓支撐架和泄壓蓋。在泄壓蓋4-4的底部設(shè)有密封圈4-7，由泄壓蓋和密封圈將泄壓口封閉。泄壓蓋上部固定彈簧限位桿4-6，彈簧套裝在彈簧限位桿上，限位桿上端穿過(guò)支撐架，限位桿與可相對(duì)支撐架滑動(dòng)。防爆泄壓罐是防止爆炸的又一道防線，當(dāng)防爆過(guò)濾罐內(nèi)充入氧氣后，罐內(nèi)的揮發(fā)物開(kāi)始逐步自然氧化，如果罐內(nèi)的揮發(fā)物氧化激烈，反應(yīng)氣體快速膨脹，氣流壓力克服彈簧力向上頂起泄壓蓋4-4進(jìn)行泄壓，泄壓后，在彈簧4-5的彈力作用下，泄壓蓋復(fù)位。
[0017]本實(shí)用新型使用時(shí)，當(dāng)單晶爐停爐后，按從單晶爐到真空泵的順序依次關(guān)閉各球閥，然后依次打開(kāi)各防爆過(guò)濾罐的充氣閥進(jìn)行緩慢充氧，使過(guò)罐內(nèi)的揮發(fā)物逐步氧化，待氧化完成后，將防爆過(guò)濾罐的蓋體打開(kāi)，清掃防爆過(guò)濾罐即可。以上操作需每爐進(jìn)行。
【權(quán)利要求】
1.一種用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，其特征在于，它包括抽氣管道(3)、真空泵(5)和一組防爆過(guò)濾罐(4)，所述抽氣管道一端連接單晶爐(1)，另一端連接真空泵，抽氣管道將各防爆過(guò)濾罐串聯(lián)連接，抽氣管道設(shè)置高度不高于各防爆過(guò)濾罐高度的三分之一，所述相鄰防爆過(guò)濾罐之間、防爆過(guò)濾罐與單晶爐之間、防爆過(guò)濾罐與真空泵之間設(shè)置球閥⑵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，其特征在于，所述各防爆過(guò)濾罐的底部設(shè)有充氣閥(4-1)，各防爆過(guò)濾罐的頂部設(shè)有防爆泄壓蓋，防爆泄壓蓋包括蓋體(4-2)、泄壓蓋(4-4)、支撐架(4-3)和彈簧(4-5)，蓋體緊密扣合在防爆過(guò)濾罐體上部，蓋體上設(shè)有泄壓口，泄壓蓋覆蓋泄壓口上，支撐架固定在蓋體上，彈簧位于泄壓蓋上，彈簧兩端分別觸壓支撐架和泄壓蓋。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，其特征在于，所述泄壓蓋(4-4)的底部設(shè)有密封圈(4-7)，泄壓蓋上部固定彈簧限位桿(4-6)，彈簧套裝在彈簧限位桿上，限位桿上端穿過(guò)支撐架。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于生產(chǎn)重?fù)焦鑶尉У姆辣艢膺^(guò)濾裝置，其特征在于，所述一組防爆過(guò)濾罐的數(shù) 目≥3。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK203820916SQ201420109255
【公開(kāi)日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月12日
【發(fā)明者】黃永恩, 張學(xué)強(qiáng), 范全東, 路鵬 申請(qǐng)人:寧晉賽美港龍電子材料有限公司