單晶爐用熱屏的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)的單晶爐用熱屏，包括至少一個(gè)筒主體，筒主體由多個(gè)拼接塊拼接而成。本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏為拼接結(jié)構(gòu)，無(wú)需大塊的材料也可加工而成，加工成本低并且加工難度小，當(dāng)發(fā)生損壞時(shí)，僅需更換發(fā)生損壞的部分即可，進(jìn)一步降低了使用成本，并且其安裝拆卸步驟簡(jiǎn)單，連接牢固，性能可靠。
【專(zhuān)利說(shuō)明】單晶爐用熱屏

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶爐制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種單晶爐用熱屏。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著世界經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，現(xiàn)代化建設(shè)對(duì)高效能源需求不斷增長(zhǎng)。光伏發(fā)電作為綠色能源以及人類(lèi)可持續(xù)發(fā)展的主要能源的一種，日益受到世界各國(guó)的重視并得到大力發(fā)展。單晶硅片作為光伏發(fā)電的基礎(chǔ)材料的一種，有著廣泛的市場(chǎng)需求。單晶硅棒的拉制過(guò)程中，熱屏作為熱場(chǎng)的一個(gè)重要組成部件，用于引導(dǎo)氬氣流向，形成有利于單晶生長(zhǎng)的溫度梯度分布。一種普遍使用的熱屏是由石墨經(jīng)過(guò)機(jī)加工制造而成。隨著單晶爐熱場(chǎng)尺寸的增大，熱屏的尺寸也相應(yīng)增大，直接導(dǎo)致制造成本居高不下。并且，一旦發(fā)生損壞，需要整體更換，不利于降低使用成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種單晶爐用熱屏，以解決現(xiàn)有熱屏一旦發(fā)生損壞需要全部更換從而導(dǎo)致使用成本高的問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，單晶爐用熱屏，包括至少一個(gè)筒主體，筒主體由多個(gè)拼接塊拼接而成。
[0005]本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于，
[0006]筒主體包括一個(gè)連接筒，或者包括至少兩個(gè)連接筒以及與連接筒個(gè)數(shù)相對(duì)應(yīng)的支撐環(huán)，支撐環(huán)連接于相鄰的兩個(gè)連接筒之間。
[0007]筒主體包括相互配合的內(nèi)筒體和外筒體，內(nèi)筒體包括同軸連接的內(nèi)筒主體和第一上沿，外筒體包括同軸連接的外筒主體和第二上沿。
[0008]內(nèi)筒主體開(kāi)口的直徑大于其底部的直徑，外筒主體與內(nèi)筒主體形狀相同或?yàn)閳A筒形。
[0009]內(nèi)筒主體包括多個(gè)依次連接的拼接條，拼接條靠近第一上沿處的寬度大于遠(yuǎn)離第一上沿處的寬度，內(nèi)筒主體遠(yuǎn)離第一上沿處具有下配合凸起。
[0010]內(nèi)筒體還包括同軸連接于內(nèi)筒主體遠(yuǎn)離第一上沿處的內(nèi)筒配合體，內(nèi)筒配合體具有上配合卡槽，內(nèi)筒配合體的上配合卡槽與內(nèi)筒主體的下配合凸起相配合。
[0011]內(nèi)筒配合體還具有遠(yuǎn)離上配合卡槽的下配合卡槽，外筒體還包括同軸連接于外筒主體遠(yuǎn)離第二上沿處的外筒配合體，外筒配合體具有配合卡環(huán)，外筒配合體的配合卡環(huán)與內(nèi)筒配合體的下配合卡槽相配合。
[0012]內(nèi)筒配合體與外筒配合體均為一體成型。
[0013]內(nèi)筒體還包括第一連接環(huán)和多個(gè)內(nèi)固定件，第一連接環(huán)連接于內(nèi)筒主體和第一上沿之間，第一連接環(huán)具有多個(gè)第一固定孔，第一上沿具有與多個(gè)第一固定孔一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二固定孔，多個(gè)內(nèi)固定件與第一固定孔和第二固定孔相對(duì)應(yīng)，每個(gè)內(nèi)固定件均依次插入一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二固定孔和第一固定孔中。
[0014]內(nèi)筒主體靠近第一上沿處具有上配合凸起，內(nèi)筒體還包括第一連接環(huán)，第一連接環(huán)具有連接配合槽，內(nèi)筒主體的上配合凸起容置于連接配合槽。
[0015]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0016]1、本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏為拼接結(jié)構(gòu)，材料成本低。發(fā)生損壞時(shí)，僅需更換發(fā)生損壞的部分即可，進(jìn)一步降低了使用成本。
[0017]2、本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏安裝拆卸步驟簡(jiǎn)單，連接牢固，性能可靠。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏的分解示意圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏的剖視圖；
[0021]圖4為本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏的內(nèi)筒體的分解示意圖；
[0022]圖5為本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏的外筒體的分解示意圖。
[0023]圖中，100.單晶爐用熱屏，101.下端，102.上端，10.內(nèi)筒體，11.內(nèi)筒配合體，110.上配合卡槽，111.下配合卡槽，112.第一配合孔，12.內(nèi)筒主體，120.下配合凸起，121.上配合凸起，122.第二配合孔，123.第一連接孔，124.拼接條，125.下凸塊，126.上凸塊，13.第一連接環(huán)，130.第一連接拼接塊，131.連接配合槽，132.第二連接孔，133.第一固定孔，14.第一上沿，140.第一上沿拼接塊，141.第二固定孔，150.內(nèi)配合件，151.內(nèi)連接件，152.內(nèi)固定件，20.外筒體，21.外筒配合體，210.配合卡環(huán)，211.插接槽，212.第一外配合孔，22.外筒主體，220.下插接環(huán)，221.上插接環(huán)，222.第二外配合孔，223.第一外連接孔，224.外連接筒，225.外支撐環(huán)，226.支撐配合環(huán)，227.支撐配合槽，228.連接塊，229.支撐拼接塊，2290.固定銷(xiāo)，23.第二連接環(huán)，230.第二連接拼接塊，231.連接插接槽，232.第二外連接孔，233.第一外固定孔，24.第二上沿，240.第二上沿拼接塊，241.第二外固定孔，250.外配合件，251.外連接件，252.外固定件。

【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0025]本實(shí)用新型提供一種單晶爐用熱屏，包括至少一個(gè)筒體，所述筒體包括同軸連接的筒主體和上沿，所述筒主體由多個(gè)拼接塊拼接而成。如圖1和圖2所示，本實(shí)施例中，單晶爐用熱屏100包括內(nèi)筒體10和套設(shè)于內(nèi)筒體10外的外筒體20。熱屏100具有靠近單晶爐爐底的下端101和遠(yuǎn)離單晶爐爐底的上端102。
[0026]內(nèi)筒體10位于上端102的口徑大于下端101的口徑，本實(shí)施例中，內(nèi)筒體10大致為倒圓臺(tái)形。如圖4所示，本實(shí)施例中，內(nèi)筒體10由多個(gè)拼接塊拼接而成。具體地，自下端101往上端102，內(nèi)筒體10包括依次連接的內(nèi)筒配合體11、內(nèi)筒主體12、第一連接環(huán)13、第一上沿14以及內(nèi)固定機(jī)構(gòu)。其中，內(nèi)筒主體12、第一連接環(huán)13以及第一上沿14分別由多個(gè)拼接塊拼接而成。
[0027]內(nèi)筒配合體11大致為倒圓臺(tái)形，優(yōu)選為一體成型。內(nèi)筒配合體11具有上配合卡槽110、下配合卡槽111和多個(gè)第一配合孔112。其中，上配合卡槽110和下配合卡槽111均為自?xún)?nèi)筒配合體11的內(nèi)表面向外表面方向開(kāi)設(shè)的環(huán)形盲槽，上配合卡槽110靠近上端102處、與內(nèi)筒主體12配合，下配合卡槽111靠近下端101處、與外筒體20配合。每個(gè)第一配合孔112均與上配合卡槽110相連通、且貫穿至內(nèi)筒體10的外表面。優(yōu)選地，多個(gè)第一配合孔112相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。
[0028]內(nèi)筒主體12靠近下端101的直徑小于靠近上端102的直徑，大致為倒圓臺(tái)形。內(nèi)筒主體12具有靠近下端101的下配合凸起120和靠近上端102的上配合凸起121。下配合凸起120開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二配合孔122。上配合凸起121開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一連接孔123。優(yōu)選地，多個(gè)第二配合孔122和多個(gè)第一連接孔123分別相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。下配合凸起120容置并配合于內(nèi)筒配合體11的上配合卡槽110，下配合凸起120的多個(gè)第二配合孔122與上配合卡槽110的多個(gè)第一配合孔112 —一對(duì)應(yīng)連通。內(nèi)筒主體12可為僅包括一個(gè)內(nèi)連接筒的單層結(jié)構(gòu)，或者為包括多個(gè)內(nèi)連接筒以及一個(gè)或多個(gè)連接于相鄰的兩個(gè)內(nèi)連接筒之間的內(nèi)支撐環(huán)的多層結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例中，內(nèi)筒主體12為包括一個(gè)內(nèi)連接筒的單層結(jié)構(gòu)，由多個(gè)依次連接的拼接條124圍合而成。拼接條124靠近上端102的寬度大于靠近下端101的寬度，且具有靠近下端101的下凸塊125和靠近上端102的上凸塊126。下配合凸起120由多個(gè)拼接條124的下凸塊125共同構(gòu)成。上配合凸起121由多個(gè)拼接條124的上凸塊126共同構(gòu)成。本實(shí)施例中，每個(gè)第二配合孔122均貫穿一個(gè)拼接條124的下凸塊125，每個(gè)第一連接孔123均貫穿一個(gè)拼接條124的上凸塊126。
[0029]第一連接環(huán)13由多個(gè)依次連接的第一連接拼接塊130圍合而成。第一連接環(huán)13具有連接配合槽131、多個(gè)第二連接孔132和多個(gè)第一固定孔133。連接配合槽131靠近內(nèi)筒主體12，為自第一連接環(huán)13的內(nèi)表面向外表面方向開(kāi)設(shè)的盲槽。每個(gè)第二連接孔132均貫穿至第一連接環(huán)13的外表面，且與連接配合槽131相連通。每個(gè)第一固定孔133均為自第一連接環(huán)13的靠近上端102的上表面向遠(yuǎn)離上端102的下表面方向開(kāi)設(shè)的盲孔。優(yōu)選地，多個(gè)第二連接孔132和多個(gè)第一固定孔133分別相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。連接配合槽131的形狀大小與上配合凸起121的形狀大小相匹配，上配合凸起121容置于連接配合槽131內(nèi)。上配合凸起121的多個(gè)第一連接孔124與個(gè)第二連接孔132 —一對(duì)應(yīng)連通。第一連接環(huán)13可為僅包括一個(gè)環(huán)的單層結(jié)構(gòu)，或者為包括多個(gè)環(huán)依次堆疊而成的多層結(jié)構(gòu)。第一連接環(huán)13為多層結(jié)構(gòu)的，相鄰的兩個(gè)環(huán)中的第一連接拼接塊130之間的接縫錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，且第一固定孔133在第一連接環(huán)13包括的所有環(huán)中均有分布。本實(shí)施例中，第一連接環(huán)13為包括兩個(gè)環(huán)依次堆疊而成的多層結(jié)構(gòu)，上部環(huán)與下部環(huán)中的接縫錯(cuò)開(kāi)，每個(gè)第一固定孔133均貫穿上部環(huán)且延伸至下部環(huán)。
[0030]第一上沿14由多個(gè)依次連接的第一上沿拼接塊140圍合而成。第一上沿14具有與多個(gè)第一固定孔133 —一對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二固定孔141。
[0031]內(nèi)固定機(jī)構(gòu)包括多個(gè)內(nèi)配合件150、多個(gè)內(nèi)連接件151和多個(gè)內(nèi)固定件152。內(nèi)配合件150的數(shù)量及形狀大小均與第一配合孔112或第二配合孔122相對(duì)應(yīng)。每個(gè)內(nèi)配合件150依次插入第一配合孔112及第二配合孔122中，實(shí)現(xiàn)內(nèi)筒配合體11與內(nèi)筒主體12之間的固定。內(nèi)連接件151的數(shù)量及形狀大小均與第一連接孔123或第二連接孔132相對(duì)應(yīng)。每個(gè)內(nèi)連接件151依次插入第二連接孔132及第一連接孔123中，實(shí)現(xiàn)第一連接環(huán)13與內(nèi)筒主體12之間的固定。多個(gè)內(nèi)固定件152的數(shù)量及形狀大小均與第一固定孔133和第二固定孔141相對(duì)應(yīng)，每個(gè)內(nèi)固定件152依次插入第二固定孔141和第一固定孔133中，實(shí)現(xiàn)第一上沿14與第一連接環(huán)13之間的固定。
[0032]外筒體20可與內(nèi)筒體10形狀相同，或?yàn)閳A筒狀。如圖5所示，本實(shí)施例中，外筒體20為圓筒狀，也由多個(gè)拼接塊拼接而成。具體地，自下端101往上端102，外筒體20包括依次連接的外筒配合體21、外筒主體22、第二連接環(huán)23、第二上沿24和外固定機(jī)構(gòu)。其中，外筒主體22、第二連接環(huán)23及第二上沿24分別由多個(gè)拼接塊拼接而成。
[0033]如圖3和圖5所示，外筒配合體21為環(huán)形，優(yōu)選為一體成型。外筒配合體21連接于內(nèi)筒配合體11與外筒主體22之間。外筒配合體21具有配合卡環(huán)210、插接槽211和多個(gè)第一外配合孔212。配合卡環(huán)210與內(nèi)筒配合體11的下配合卡槽111相配合。插接槽211靠近外筒主體22，為自外筒配合體21靠近上端102的端面向下端101開(kāi)設(shè)的盲槽。每個(gè)第一外配合孔212均與插接槽211相連通，且被插接槽211分成靠近外筒配合體21的外表面的第一孔段和靠近內(nèi)表面的第二孔段。本實(shí)施例中，多個(gè)第一外配合孔212相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。
[0034]外筒主體22為筒狀，具有靠近下端101的下插接環(huán)220和靠近上端102的上插接環(huán)221。下插接環(huán)220與插接槽211相匹配。下插接環(huán)220上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二外配合孔222。插接槽211與下插接環(huán)220相配合時(shí)，第二外配合孔222與第一外配合孔212相連通，每個(gè)第二外配合孔222均連接于第一外配合孔212的第一孔段和第二孔段之間。上插接環(huán)221上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一外連接孔223。優(yōu)選地，多個(gè)第二外配合孔222和多個(gè)第一外連接孔223分別相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。外筒主體22可為僅包括一個(gè)外連接筒的單層結(jié)構(gòu)，或者為包括多個(gè)外連接筒以及一個(gè)或多個(gè)連接于相鄰的兩個(gè)外連接筒之間的外支撐環(huán)的多層結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例中，外筒主體22為包括兩個(gè)外連接筒224和一個(gè)外支撐環(huán)225的多層結(jié)構(gòu)。下插接環(huán)220和上插接環(huán)221分別位于兩個(gè)外連接筒224遠(yuǎn)離外支撐環(huán)225的端部。兩個(gè)外連接筒224靠近外支撐環(huán)225的端部均具有支撐配合環(huán)226。支撐環(huán)225開(kāi)設(shè)有與兩個(gè)支撐配合環(huán)226相配合的支撐配合槽227。具體地，連接筒224由多個(gè)連接塊228依次連接圍合而成。支撐環(huán)225由多個(gè)支撐拼接塊229連接圍合而成，且本實(shí)施例中，支撐環(huán)225為多個(gè)環(huán)依次堆疊形成的多層結(jié)構(gòu)，相鄰的兩層中的支撐拼接塊229之間的接縫錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，且相鄰的層間通過(guò)沿單晶爐用熱屏100軸向設(shè)置的固定銷(xiāo)2290固定。本實(shí)施例中，相較于支撐環(huán)225的外表面，支撐配合槽227更靠近支撐環(huán)225的內(nèi)表面設(shè)置，連接塊228插接于支撐配合槽227中，連接塊228的外表面與支撐環(huán)225的外表面平齊。
[0035]第二連接環(huán)23由多個(gè)依次連接的第二連接拼接塊230圍合而成。第二連接環(huán)23具有連接插接槽231、多個(gè)第二外連接孔232和多個(gè)第一外固定孔233。連接插接槽231靠近外筒主體22，為自第二連接環(huán)23靠近下端101的端面向內(nèi)開(kāi)設(shè)的盲槽。每個(gè)第二外連接孔232均貫穿第二連接環(huán)23的內(nèi)表面和外表面，且與連接插接槽231相連通。每個(gè)第一外固定孔233均為自第二連接環(huán)23的靠近上端102的上表面向遠(yuǎn)離上端102的下表面方向開(kāi)設(shè)的盲孔。優(yōu)選地，多個(gè)第二外連接孔232和多個(gè)第一外固定孔233分別相對(duì)于熱屏100的中心軸線等角度分布。連接插接槽231的形狀大小與上插接環(huán)221的形狀大小相匹配，上插接環(huán)221容置于連接插接槽231內(nèi)。上插接環(huán)221的多個(gè)第一外連接孔223與個(gè)第二外連接孔232 —一對(duì)應(yīng)連通。第二連接環(huán)23可為僅包括一個(gè)環(huán)的單層結(jié)構(gòu)，或者為包括多個(gè)環(huán)依次堆疊而成的多層結(jié)構(gòu)。第二連接環(huán)23為多層結(jié)構(gòu)的，相鄰的兩個(gè)環(huán)中的第二連接拼接塊230之間的接縫錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，且第一外固定孔233在第二連接環(huán)23包括的所有環(huán)中均有分布。本實(shí)施例中，第二連接環(huán)23為包括兩個(gè)環(huán)依次堆疊而成的多層結(jié)構(gòu)，上部環(huán)與下部環(huán)中的接縫錯(cuò)開(kāi)，每個(gè)第一外固定孔233均貫穿上部環(huán)且延伸至下部環(huán)。
[0036]第二上沿24由多個(gè)依次連接的第二上沿拼接塊240圍合而成。第二上沿24具有與多個(gè)第一外固定孔233 —一對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二外固定孔241。
[0037]外固定機(jī)構(gòu)包括多個(gè)外配合件250、多個(gè)外連接件251和多個(gè)外固定件252。外配合件250的數(shù)量及形狀大小均與第一外配合孔212或第二外配合孔222相對(duì)應(yīng)。每個(gè)外配合件250依次插入第一配合孔112及第二配合孔123中，實(shí)現(xiàn)內(nèi)筒配合體11與內(nèi)筒主體12之間的固定。內(nèi)連接件151的數(shù)量及形狀大小均與第一連接孔124或第二連接孔132相對(duì)應(yīng)。每個(gè)內(nèi)連接件151依次插入第二連接孔132及第一連接孔124中，實(shí)現(xiàn)第一連接環(huán)13與內(nèi)筒主體12之間的固定。多個(gè)內(nèi)固定件152的數(shù)量及形狀大小均與第一固定孔133和第二固定孔141相對(duì)應(yīng)，每個(gè)內(nèi)固定件152依次插入第二固定孔141和第一固定孔133中，實(shí)現(xiàn)第一上沿14與第一連接環(huán)13之間的固定。
[0038]本實(shí)施例中，內(nèi)筒體10和外筒體20配合，第一上沿14與第二上沿24之間存在一定間距，當(dāng)然，根據(jù)熱場(chǎng)實(shí)際結(jié)構(gòu)需要，也可以使第一上沿14承載于第二上沿24上。
[0039]本實(shí)用新型的單晶爐用熱屏100為拼接結(jié)構(gòu)，無(wú)需大塊的材料也可加工而成，成本低。發(fā)生損壞時(shí)，僅需更換發(fā)生損壞的部分即可，進(jìn)一步降低了使用成本。并且安裝拆卸步驟簡(jiǎn)單，連接牢固，性能可靠。
【權(quán)利要求】
1.單晶爐用熱屏，包括至少一個(gè)筒主體，所述筒主體由多個(gè)拼接塊拼接而成。
2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述筒主體包括一個(gè)連接筒，或者包括至少兩個(gè)所述連接筒以及與所述連接筒個(gè)數(shù)相對(duì)應(yīng)的支撐環(huán)，所述支撐環(huán)連接于相鄰的兩個(gè)連接筒之間。
3.如權(quán)利要求1或2所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述筒主體包括相互配合的內(nèi)筒體和外筒體，所述內(nèi)筒體包括同軸連接的內(nèi)筒主體和第一上沿，所述外筒體包括同軸連接的外筒主體和第二上沿。
4.如權(quán)利要求3所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒主體開(kāi)口的直徑大于其底部的直徑，所述外筒主體與所述內(nèi)筒主體形狀相同或?yàn)閳A筒形。
5.如權(quán)利要求4所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒主體包括多個(gè)依次連接的拼接條，所述拼接條靠近所述第一上沿處的寬度大于遠(yuǎn)離第一上沿處的寬度，所述內(nèi)筒主體遠(yuǎn)離所述第一上沿處具有下配合凸起。
6.如權(quán)利要求5所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒體還包括同軸連接于所述內(nèi)筒主體遠(yuǎn)離所述第一上沿處的內(nèi)筒配合體，所述內(nèi)筒配合體具有上配合卡槽，所述內(nèi)筒配合體的上配合卡槽與所述內(nèi)筒主體的下配合凸起相配合。
7.如權(quán)利要求6所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒配合體還具有遠(yuǎn)離上配合卡槽的下配合卡槽，所述外筒體還包括同軸連接于所述外筒主體遠(yuǎn)離所述第二上沿處的外筒配合體，所述外筒配合體具有配合卡環(huán)，所述外筒配合體的配合卡環(huán)與所述內(nèi)筒配合體的下配合卡槽相配合。
8.如權(quán)利要求7所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒配合體與所述外筒配合體均為一體成型。
9.如權(quán)利要求5所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒體還包括第一連接環(huán)和多個(gè)內(nèi)固定件，所述第一連接環(huán)連接于所述內(nèi)筒主體和所述第一上沿之間，所述第一連接環(huán)具有多個(gè)第一固定孔，所述第一上沿具有與多個(gè)第一固定孔一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二固定孔，所述多個(gè)內(nèi)固定件與第一固定孔和第二固定孔相對(duì)應(yīng)，每個(gè)內(nèi)固定件均依次插入一個(gè)對(duì)應(yīng)的第二固定孔和第一固定孔中。
10.如權(quán)利要求5所述的單晶爐用熱屏，其特征在于:所述內(nèi)筒主體靠近所述第一上沿處具有上配合凸起，所述內(nèi)筒體還包括第一連接環(huán)，所述第一連接環(huán)具有連接配合槽，所述內(nèi)筒主體的上配合凸起容置于所述連接配合槽。
【文檔編號(hào)】C30B15/14GK203923446SQ201420323003
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年6月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月17日
【發(fā)明者】馬少林, 李靖 申請(qǐng)人:西安隆基硅材料股份有限公司