坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu)及生長(zhǎng)爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種適用于大尺寸藍(lán)寶石坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu);所述坩堝桿密封機(jī)構(gòu)包括坩堝桿和爐體,坩堝桿穿過爐體的底部至爐膛內(nèi),且坩堝桿可相對(duì)于爐體上下升降,爐體的坩堝桿配合面上設(shè)置有上密封機(jī)構(gòu),坩堝桿的爐體外側(cè)段還套設(shè)有可伸縮套件,可伸縮套件的上端與爐體密封連接,下端與坩堝桿密封配合;本實(shí)用新型的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),在坩堝桿上下移動(dòng)過程中始終處在可伸縮套件的伸縮范圍中,上密封機(jī)構(gòu)的作用是阻擋顆粒狀的保溫材料掉入可伸縮部件內(nèi),爐膛與坩堝桿的密封主要是靠下密封機(jī)構(gòu)進(jìn)行密封,有利于消除坩堝桿與下密封機(jī)構(gòu)之間的磨損,大大提高了密封的性能,同時(shí)也提高了下密封機(jī)構(gòu)和坩堝桿的使用壽命。
【專利說明】坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu)及生長(zhǎng)爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種密封結(jié)構(gòu),特別是一種適用于大尺寸藍(lán)寶石坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu)及其生長(zhǎng)爐,屬于晶體生長(zhǎng)爐密封【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶體生長(zhǎng)真空爐中,有一種結(jié)構(gòu)是通過坩堝桿升降來進(jìn)行晶體的拉制,而坩堝則設(shè)置于坩堝桿上,坩堝桿與爐體間的密封通常采用的是二個(gè)骨架油封進(jìn)行密封,在實(shí)際使用中,由于在裝爐和出爐時(shí)不可避免地會(huì)掉一些保溫材料的細(xì)小顆粒及粉塵在密封處,而保溫材料的硬度又較高,在坩堝桿上下移動(dòng)過程中造成密封損壞及坩堝桿表面劃傷,從而引起漏氣。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于:針對(duì)上述存在的問題,提供一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),以克服現(xiàn)有密封結(jié)構(gòu)缺點(diǎn),避免保溫材料的細(xì)小顆粒及粉塵對(duì)密封件和坩堝桿表面造成的磨損,保證真空爐的密封性。
[0004]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),包括坩堝桿和爐體,所述坩堝桿穿過爐體的底部至爐膛內(nèi),且坩堝桿可相對(duì)于爐體上下升降,爐體的坩堝桿配合面上設(shè)置有上密封機(jī)構(gòu),坩堝桿的爐體外側(cè)段還套設(shè)有可伸縮套件,所述可伸縮套件的上端與爐體密封連接,下端與坩堝桿密封配合。
[0006]進(jìn)一步的,所述坩堝桿套設(shè)有上接頭,所述上接頭固定于爐體上,且爐體和上接頭間設(shè)置有密封圈,所述可伸縮套件的上端通過上接頭與爐體密封連接。
[0007]進(jìn)一步的,所述可伸縮套件的下端與坩堝桿的配合面設(shè)置有下密封機(jī)構(gòu),所述可伸縮套件的下端通過下密封機(jī)構(gòu)與坩堝桿密封配合。
[0008]進(jìn)一步的,所述下密封機(jī)構(gòu)為油封。
[0009]進(jìn)一步的,所述上密封機(jī)構(gòu)為油封。
[0010]本實(shí)用新型的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),還包括升降座,所述坩堝桿的下端連接于升降座上。
[0011]進(jìn)一步的,所述可伸縮套件的下端固定設(shè)置于坩堝桿或升降座上。
[0012]進(jìn)一步的,所述可伸縮套件的下端通過下接頭與設(shè)置于坩堝桿或升降座上的連接盤連接。
[0013]一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐,采用所述的坩堝桿密封機(jī)構(gòu)。
[0014]綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是:所述坩堝桿在上下移動(dòng)過程中始終處在可伸縮套件的伸縮范圍中,上密封機(jī)構(gòu)的作用是阻擋顆粒狀的保溫材料掉入可伸縮部件內(nèi),從功能上與該位置傳統(tǒng)密封件的作用不同,爐膛與坩堝桿的密封主要是靠下密封機(jī)構(gòu)進(jìn)行密封,而進(jìn)一步的將可伸縮套件的下端固定設(shè)置于坩堝桿或升降座上,使得下密封機(jī)構(gòu)與坩堝桿之間始終處在一種相對(duì)靜止的密封狀態(tài),有利于提高密封的可靠性,所述坩堝桿密封機(jī)構(gòu)有利于消除坩堝桿與下密封機(jī)構(gòu)之間的磨損,大大提高了密封的性能,同時(shí)也提高了下密封機(jī)構(gòu)和坩堝桿的使用壽命。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中標(biāo)記:1-坩堝桿、2-爐體、3-上密封機(jī)構(gòu)、4-密封圈、5-上接頭、6-連接件、7-可伸縮套件、8-下密封機(jī)構(gòu)、9-下接頭、10-連接盤、11-升降座。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。
[0018]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。
實(shí)施例
[0019]本實(shí)用新型的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括坩堝桿I和爐體2,所述坩堝桿I穿過爐體2的底部至爐膛內(nèi),且坩堝桿I可相對(duì)于爐體2上下升降,爐體2的坩堝桿I配合面上設(shè)置有上密封機(jī)構(gòu)3,坩堝桿I的爐體2外側(cè)段還套設(shè)有可伸縮套件7,所述可伸縮套件7的上端與爐體2密封連接,下端與坩堝桿I密封配合。
[0020]本實(shí)施例中,所述坩堝桿I套設(shè)有上接頭5,所述上接頭5固定于爐體2上,且爐體2和上接頭5間設(shè)置有密封圈4,所述可伸縮套件7的上端通過上接頭5與爐體2直接密封連接,或者可伸縮套件7的上端和上接頭5間通過連接件6來間接密封連接;所述可伸縮套件7的下端與坩堝桿I的配合面設(shè)置有下密封機(jī)構(gòu)8,所述可伸縮套件7的下端通過下密封機(jī)構(gòu)8與坩堝桿I密封配合,使得爐體2、坩堝桿I和可伸縮套件7形成完整的密封空間,且具有上下兩處密封結(jié)構(gòu)。
[0021]本實(shí)施例中,所述下密封機(jī)構(gòu)8和上密封機(jī)構(gòu)3均為油封。
[0022]進(jìn)一步的,本實(shí)用新型的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),還包括升降座11,所述坩堝桿I的下端連接于升降座11上;所述可伸縮套件7的下端固定設(shè)置于坩堝桿I或升降座11上。
[0023]本實(shí)施例中,所述可伸縮套件7的下端通過下接頭9與設(shè)置于坩堝桿I或升降座11上的連接盤10連接,使得下密封機(jī)構(gòu)8與坩堝桿I之間始終處在一種相對(duì)靜止的密封狀態(tài)。
[0024]一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐,包含所述坩堝桿密封機(jī)構(gòu)和其他必要的部件組成。
[0025]所述坩堝桿在上下移動(dòng)過程中始終處在可伸縮套件的伸縮范圍中,上密封機(jī)構(gòu)的作用是阻擋顆粒狀的保溫材料掉入可伸縮部件內(nèi),從功能上與該位置傳統(tǒng)密封件的作用不同,爐膛與坩堝桿的密封主要是靠下密封機(jī)構(gòu)進(jìn)行密封,而進(jìn)一步的將可伸縮套件的下端固定設(shè)置于坩堝桿或升降座上,使得下密封機(jī)構(gòu)與坩堝桿之間始終處在一種相對(duì)靜止的密封狀態(tài),有利于提高密封的可靠性,所述坩堝桿密封機(jī)構(gòu)有利于消除坩堝桿與下密封機(jī)構(gòu)之間的磨損,大大提高了密封的性能,同時(shí)也提高了下密封機(jī)構(gòu)和坩堝桿的使用壽命。
[0026]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:包括坩堝桿(I)和爐體(2),所述坩堝桿(I)穿過爐體(2)的底部至爐膛內(nèi),且坩堝桿(I)可相對(duì)于爐體(2)上下升降,爐體(2)的坩堝桿(I)配合面上設(shè)置有上密封機(jī)構(gòu)(3),坩堝桿(I)的爐體(2)外側(cè)段還套設(shè)有可伸縮套件(7),所述可伸縮套件(7)的上端與爐體(2)密封連接,下端與坩堝桿(I)密封配合。
2.如權(quán)利要求1所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述坩堝桿(I)套設(shè)有上接頭(5),所述上接頭(5)固定于爐體(2)上,且爐體(2)和上接頭(5)間設(shè)置有密封圈(4),所述可伸縮套件(7)的上端通過上接頭(5)與爐體(2)密封連接。
3.如權(quán)利要求1所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述可伸縮套件(7)的下端與坩堝桿(I)的配合面設(shè)置有下密封機(jī)構(gòu)(8),所述可伸縮套件(7)的下端通過下密封機(jī)構(gòu)(8 )與坩堝桿(I)密封配合。
4.如權(quán)利要求3所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述下密封機(jī)構(gòu)(8)為油封。
5.如權(quán)利要求1所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述上密封機(jī)構(gòu)(3)為油封。
6.如權(quán)利要求1所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:還包括升降座(11),所述坩堝桿(I)的下端連接于升降座(11)上。
7.如權(quán)利要求6所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述可伸縮套件(7)的下端固定設(shè)置于坩堝桿(I)或升降座(11)上。
8.如權(quán)利要求7所述的坩堝下降法生長(zhǎng)爐的坩堝桿密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述可伸縮套件(7)的下端通過下接頭(9)與設(shè)置于坩堝桿(I)或升降座(11)上的連接盤(10)連接。
9.一種坩堝下降法生長(zhǎng)爐,其特征在于:采用如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的坩堝桿密封機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C30B11/00GK204080175SQ201420584845
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月11日
【發(fā)明者】龔四均 申請(qǐng)人:成都東駿激光股份有限公司