可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，設(shè)置起支撐作用的立柱，所述的立柱上設(shè)置升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)上設(shè)置絲桿和標(biāo)尺，所述的絲桿連接籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)和手輪，所述的絲桿上設(shè)置籽晶桿支架，所述的籽晶桿支架上設(shè)置籽晶桿，所述的籽晶桿上設(shè)置籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)，所述的籽晶桿支架在靠近所述的標(biāo)尺的位置設(shè)置指針，所述的升降機構(gòu)上設(shè)置電子位移傳感器，所述的電子位移傳感器的活動端連接所述的籽晶桿支架，還設(shè)置電子控制裝置，所述的電子控制裝置設(shè)置進(jìn)行集中處理的控制器，所述的控制器連接所述的籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)和籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和信號接口電路，所述的信號接口電路連接所述的電子位移傳感器。
【專利說明】可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及泡生法藍(lán)寶石晶體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，同時可適用于其他相似領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體的組成為氧化鋁(Al2O3)，是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式結(jié)合而成，其晶體結(jié)構(gòu)為六方晶格結(jié)構(gòu)，常被應(yīng)用的切面有a-Plane、c-Plane及r_Plane。由于藍(lán)寶石晶體的光學(xué)穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學(xué)元件、紅外裝置、高強度激光鏡片材料及掩模材料上。
[0003]目前超高亮度白/藍(lán)光LED的品質(zhì)取決于氮化鎵外延(GaN)的材料品質(zhì)，而氮化鎵外延品質(zhì)則與所使用的藍(lán)寶石基板表面加工品質(zhì)息息相關(guān)，藍(lán)寶石(單晶Al2O3) C面II1- V和I1-VI族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小，同時符合GaN外延工藝中耐高溫的要求，使得藍(lán)寶石晶片成為制作白/藍(lán)/綠光LED的關(guān)鍵材料。
[0004]而目前最成熟的生長大尺寸低應(yīng)力無缺陷藍(lán)寶石晶體的技術(shù)仍然還是泡生法。但是泡生法生產(chǎn)藍(lán)寶石還沒有完全實現(xiàn)自動化，在引晶過程中還需要依靠經(jīng)驗豐富的引晶工程師進(jìn)行操作。這是因為泡生法生長藍(lán)寶石的溫度高達(dá)2100攝氏度，而溫度梯度又較小，目前的測溫方法都難以達(dá)到其要求。而判斷熔體溫度是引晶的基本要求，通過肉眼觀察并經(jīng)由大量的經(jīng)驗，可以對引晶過程進(jìn)行判斷，由此產(chǎn)生了基于肉眼判斷的純經(jīng)驗引晶方式。引晶過程中因為人工頻繁操作籽晶桿的升或者降，導(dǎo)致電子控制裝置的位置信息失去參考價值，而升降機構(gòu)上的標(biāo)尺只能為引晶工程師提供數(shù)據(jù)，不利于進(jìn)行全自動生產(chǎn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)要解決的技術(shù)問題
[0006]本發(fā)明的主要目的在于提供一種可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，在升降機構(gòu)上設(shè)置電子位移傳感器，并接入電子控制裝置，不管是人工操作還是自動控制籽晶桿的升或者降，都不會導(dǎo)致位置信息的丟失。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，設(shè)置起支撐作用的立柱，所述的立柱上設(shè)置升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)上設(shè)置絲桿和可人工讀取位置的標(biāo)尺，所述的絲桿連接籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)和可人工操作升降的手輪，所述的絲桿上設(shè)置籽晶桿支架，所述的籽晶桿支架上設(shè)置籽晶桿，所述的籽晶桿上設(shè)置籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)，所述的籽晶桿支架在靠近所述的標(biāo)尺的位置設(shè)置指針，用于人工讀取位置信息，還設(shè)置電子控制裝置，所述的電子控制裝置設(shè)置進(jìn)行集中處理的控制器，所述的控制器連接所述的籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)和籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)，以及稱重系統(tǒng)，所述的升降機構(gòu)上設(shè)置電子位移傳感器，所述的電子位移傳感器的活動端連接所述的籽晶桿支架，所述的電子位移傳感器的信號輸出端連接信號接口電路，所述的信號接口電路連接所述的控制器。
[0009](三)有益效果
[0010]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0011]1、可獲取籽晶桿的絕對位置，不管是人工操作還是自動控制籽晶桿的升或者降，都不會導(dǎo)致位置信息的丟失。
[0012]2、無累計誤差。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明的控制結(jié)構(gòu)圖。

【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合具體的實施實例對本實用新型作進(jìn)一步展開說明，但需要指出的是，本實用新型所要求保護(hù)的結(jié)構(gòu)并不限于實施例及說明書附圖中的具體結(jié)構(gòu)。對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他結(jié)構(gòu)形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
[0016]請一并參閱圖1、圖2，一種可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，在晶體爐I的旁邊設(shè)置起支撐作用的立柱5，所述的立柱5上設(shè)置升降機構(gòu)4，所述的升降機構(gòu)4上設(shè)置絲桿9和可人工讀取位置的標(biāo)尺10，所述的絲桿9連接籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)7和可人工操作升降的手輪11。所述的絲桿9上設(shè)置籽晶桿支架3，所述的籽晶桿支架3上設(shè)置籽晶桿2，所述的籽晶桿2上設(shè)置籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)6，所述的籽晶桿2可放入所述的晶體爐I中。所述的籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)7控制所述的絲桿9旋轉(zhuǎn)，從而控制所述的籽晶桿支架3和籽晶桿2上升或者下降，同時長晶工程師旋轉(zhuǎn)所述的所述的手輪11也可以帶動所述的絲桿9旋轉(zhuǎn)，從而控制所述的籽晶桿支架3和籽晶桿2上升或者下降。而所述的晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)6可以控制所述的籽晶桿2旋轉(zhuǎn)，以控制晶體的生長狀態(tài)。
[0017]所述的籽晶桿2支架在靠近所述的標(biāo)尺10的位置設(shè)置指針12，用于長晶工程師在手動操作所述的籽晶桿2的時候，讀取位置信息。
[0018]還設(shè)置電子控制裝置，所述的電子控制裝置設(shè)置進(jìn)行集中處理的控制器13，所述的控制器13連接所述的籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)6和籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)7，以及稱重系統(tǒng)14。所述的稱重系統(tǒng)14用于獲取晶體的生長重量。所述的升降機構(gòu)4上設(shè)置電子位移傳感器8，所述的電子位移傳感器8的活動端連接所述的籽晶桿2支架，所述的電子位移傳感器8的信號輸出端連接信號接口電路15，所述的信號接口電路15連接所述的控制器13。所述的電子位移傳感器8可設(shè)置為拉桿式直線位移傳感器，拉線式直線位移傳感器，或者光柵尺位移傳感器，不影響專利的實施。
[0019]綜上所述，實施本發(fā)明可獲取籽晶桿的絕對位置，不管是人工操作還是自動控制籽晶桿的升或者降，都不會導(dǎo)致位置信息的丟失，為全自動藍(lán)寶石生長提供保障。
【權(quán)利要求】
1.可獲得絕對位置信息的籽晶桿升降機構(gòu)，設(shè)置起支撐作用的立柱，所述的立柱上設(shè)置升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)上設(shè)置絲桿和可人工讀取位置的標(biāo)尺，所述的絲桿連接籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)和可人工操作升降的手輪，所述的絲桿上設(shè)置籽晶桿支架，所述的籽晶桿支架上設(shè)置籽晶桿，所述的籽晶桿上設(shè)置籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)，所述的籽晶桿支架在靠近所述的標(biāo)尺的位置設(shè)置指針，用于人工讀取位置信息，還設(shè)置電子控制裝置，所述的電子控制裝置設(shè)置進(jìn)行集中處理的控制器，所述的控制器連接所述的籽晶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)和籽晶提拉驅(qū)動系統(tǒng)，以及稱重系統(tǒng)，其特征在于:所述的升降機構(gòu)上設(shè)置電子位移傳感器，所述的電子位移傳感器的活動端連接所述的籽晶桿支架，所述的電子位移傳感器的信號輸出端連接信號接口電路，所述的信號接口電路連接所述的控制器。
【文檔編號】C30B29/20GK204151455SQ201420620814
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年10月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月26日
【發(fā)明者】劉瑜, 陳曉玲 申請人:杭州晶一智能科技有限公司