泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置制造方法
【專利摘要】一種泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅動籽晶桿旋轉的晶轉驅動系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)，所述的快速提拉系統(tǒng)和慢速提拉系統(tǒng)通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接，設置可以啟動或者停止所述的晶轉驅動系統(tǒng)的晶轉按鍵，以及控制快速提拉系統(tǒng)的數(shù)字提拉按鍵，所述的晶轉按鍵和數(shù)字提拉按鍵與所述的控制器連接，所述的晶轉按鍵設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)，所述的數(shù)字提拉按鍵設置向上1毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下1毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。
【專利說明】泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及泡生法藍寶石晶體制造領域，尤其涉及一種泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，同時可適用于其他相似領域。
【背景技術】
[0002]由于藍寶石晶體的光學穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度激光鏡片材料及掩模材料上。目前超聞売度白/監(jiān)光LED的品質取決于氣化嫁外延(GaN)的材料品質，而氣化嫁外延品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關，藍寶石(單晶Al2O3) C面II1- V和I1- VI族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小，同時符合GaN外延工藝中耐高溫的要求，使得藍寶石晶片成為制作白/藍/綠光LED的關鍵材料。
[0003]目前最成熟的生長大尺寸低應力無缺陷藍寶石晶體的技術仍然還是泡生法。但是泡生法生產藍寶石還沒有完全實現(xiàn)自動化，在引晶過程中還需要依靠經(jīng)驗豐富的引晶工程師進行操作。這種工作方式不利于進行大規(guī)模的工業(yè)生產。因此我們提出自動化的泡生法藍寶石生產方式，這種理念設計出來的自動長晶設備不需要長晶工程師在長晶過程中操作籽晶桿的旋轉和提拉，因此人工式的機械提拉機構是多余的，但是考慮的多年積累下的操作習慣，需要留出一個人工操作接口。
【發(fā)明內容】
[0004](一)要解決的技術問題
[0005]本發(fā)明的主要目的在于提供一種泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長晶設備的人工操作方式，而且省略了機械式的提拉結構。
[0006](二)技術方案
[0007]為達到上述目的，本發(fā)明提供一種泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅動籽晶桿旋轉的晶轉驅動系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)，所述的快速提拉系統(tǒng)和慢速提拉系統(tǒng)通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接，設置可以啟動或者停止所述的晶轉驅動系統(tǒng)的晶轉按鍵，以及控制快速提拉系統(tǒng)的數(shù)字提拉按鍵，所述的晶轉按鍵和數(shù)字提拉按鍵與所述的控制器連接。
[0008]所述的晶轉按鍵設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)。
[0009]所述的數(shù)字提拉按鍵設置向上I毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下I毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。
[0010](三)有益效果
[0011]從上述技術方案可以看出，本專利具有以下有益效果:
[0012]1、為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，按照提拉方向分別設置I毫米和2毫米提拉按鍵，可以精確控制提拉精度；
[0013]2、結構上進行了簡化，節(jié)省制造成本，也提升了系統(tǒng)可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為自動長晶設備的外形不意圖；
[0015]圖2為本專利的外形示意圖；
[0016]圖3為本專利的控制結構圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結合具體的實施實例對本實用新型作進一步展開說明，但需要指出的是，本實用新型所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。對于本領域普通技術人員可以推知的其他結構形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護的范圍之內。
[0018]請參閱圖1、圖2，一種泡生法藍寶石自動長晶設備9的數(shù)字式提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)5，進行集中控制的控制器4，所述的控制器4可設置為可編程控制器，也可以設置為工業(yè)控制計算機。
[0019]還設置可以驅動籽晶桿旋轉的晶轉驅動系統(tǒng)8，以保證晶體生長的均勻性，還包括驅動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)6，可以驅動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)7，所述的快速提拉系統(tǒng)6和慢速提拉系統(tǒng)7通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接。所述的快速提拉系統(tǒng)6，慢速提拉系統(tǒng)7和晶轉驅動系統(tǒng)8分別由電機及電機驅動器、減速機構組成。
[0020]還設置可以啟動或者停止所述的晶轉驅動系統(tǒng)8的晶轉按鍵2，所述的晶轉按鍵2設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)。還設置控制快速提拉系統(tǒng)6的數(shù)字提拉按鍵3。所述的數(shù)字提拉按鍵3設置設置向上I毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下I毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。所述的晶轉按鍵2和數(shù)字提拉按鍵3與所述的控制器4連接。
[0021 ] 還設置起容納和保護作用的殼體I，所述的晶轉按鍵2和數(shù)字提拉按鍵3安裝在所述的殼體I上，以方便工作人員操作。
[0022]綜上所述，在實際使用過程中，通過所述的晶轉按鍵2可以啟動或者停止所述的籽晶桿的旋轉運動，根據(jù)提拉方向和提拉距離，選擇對應的數(shù)字提拉按鍵3，可以控制所述的籽晶桿向上或者向下的精確運動。因此，該裝置為人工操作自動長晶設備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長晶設備的人工操作方式，而且省略了機械式的提拉結構。
【權利要求】
1.泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，設置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅動籽晶桿旋轉的晶轉驅動系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿快速上下運動的快速提拉系統(tǒng)，可以驅動所述的籽晶桿慢速上下運動的慢速提拉系統(tǒng)，所述的快速提拉系統(tǒng)和慢速提拉系統(tǒng)通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接，其特征在于:設置可以啟動或者停止所述的晶轉驅動系統(tǒng)的晶轉按鍵，以及控制快速提拉系統(tǒng)的數(shù)字提拉按鍵，所述的晶轉按鍵和數(shù)字提拉按鍵與所述的控制器連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，其特征在于:所述的晶轉按鍵設置自鎖裝置，可以保持斷開和閉合兩種狀態(tài)。
3.根據(jù)權利要求1所述的泡生法藍寶石自動長晶設備的數(shù)字式提拉裝置，其特征在于:所述的數(shù)字提拉按鍵設置向上1毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下1毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。
【文檔編號】C30B29/20GK204237888SQ201420710467
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年11月24日 優(yōu)先權日:2014年11月24日
【發(fā)明者】劉瑜, 胡軒, 杜慧江 申請人:杭州晶一智能科技有限公司