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可離型的軟性基板的制作方法

文檔序號(hào):12219310閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種可離型的軟性基板,包括:

一支撐載體;

一離型層,附著于該支撐載體上,其包括構(gòu)成該離型層主結(jié)構(gòu)的聚酰亞胺、接著劑及離型劑,該聚酰亞胺由二胺及二酐反應(yīng)而成,該接著劑用于提高該離型層與該支撐載體的附著力;

一聚酰亞胺層,由二胺及二酐反應(yīng)而成、其附著于該離型層上,其中,該離型劑用于提高該聚酰亞胺層與該離型層的離型力,使該離型層與支撐載體的附著度大于該聚酰亞胺層與該離型層的附著度,而可使該聚酰亞胺層可自該離型層上剝離,而該離型層仍附著于該支撐載體上。

2.如權(quán)利要求1所述的可離型的軟性基板,其特征在于,該支撐載體為玻璃、金屬或硅晶圓。

3.如權(quán)利要求1所述的可離型的軟性基板,其特征在于,該離型劑為含氟填充物,其占該離型層總重量的5~45wt%,該接著劑為硅烷化合物,其占該離型層總重量的2~10wt%。

4.如權(quán)利要求1所述的可離型的軟性基板,其特征在于,該離型劑為硅氧烷填充物,該硅氧烷填充物占該離型層總重量的5~45wt%,該接著劑為硅烷化合物,其占該離型層總重量的2~10wt%。

5.如權(quán)利要求1所述的可離型的軟性基板,其特征在于,該聚酰亞胺層由選自4,4′-二胺基二苯醚(4,4′-ODA)、對(duì)苯二胺(p-PDA)、2,2’-雙(三氟甲基)聯(lián)苯胺(TFMB)所成群組的二胺及選自由均苯四甲酸二酐(PMDA)、3,3′,4,4′-聯(lián)苯四羧酸二酐(BPDA)、2,2-雙[4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基]丙烷二酐(BPADA)所成群組的二酐反應(yīng)而得。

6.如權(quán)利要求1所述的可離型的軟性基板,其特征在于,構(gòu)成該離型層主結(jié)構(gòu)的該聚酰亞胺由選自4,4′-二胺基二苯醚(4,4′-ODA)、對(duì)苯二胺(p-PDA)、2,2’-雙(三氟甲基)聯(lián)苯胺(TFMB)所成群組的二胺及選自由均苯四甲酸二酐(PMDA)、3,3′,4,4′-聯(lián)苯四羧酸二酐(BPDA)、2,2-雙[4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基]丙烷二酐(BPADA)所成群組的二酐反應(yīng)而得。

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